divotsとは 意味・読み方・使い方

Even if a pad oxide film 102 is removed by wet etching after a silicon nitride film 103 is removed by anisotropy etching where an etching speed to the silicon oxide film is equal to that to the silicon nitride film, no divots are generated.例文帳に追加

酸化シリコン膜並びに窒化シリコン膜に対するエッチング速度が等しい異方性エッチングにより窒化シリコン膜１０３が除去された後、ウェット・エッチングによりパッド酸化膜１０２の除去しても、ディボットは発生しない。 - 特許庁

To prevent inconvenience resulting from occurrence of divots around an arrestor by wind erosion in observations of blown sand, namely, situations where the lower bottom of aperture to introduce blowing sand is separated from the sand surface to disable accurate capture of blown sand.例文帳に追加

飛砂量の観測において、捕捉器周りに生じる風食作用による窪み発生に伴う不都合すなわち、飛砂を導入するための開口部下端が砂地表面から離開してしまい飛砂の正確な捕捉が困難となる事態を防止する。 - 特許庁

To provide a method of forming element separating film by which the performance and degree of integration of a semiconductor device having a plurality of kinds of transistors respectively using gate insulating films of different thicknesses can be improved, by preventing the occurrence of divots in the edge of an element separating film and, at the same time, the extension of the element separating film onto an element area.例文帳に追加

ゲート絶縁膜の厚さが異なる複数種類のトランジスタを有する半導体装置において、素子分離膜の縁部にディボットが発生することを防止すると共に、素子領域上に素子分離膜が延出することを防止して、半導体装置のより一層の高性能化及び高集積化を達成できる素子分離膜の形成方法を提供する。 - 特許庁