es Wとは 意味・読み方・使い方

By pushing down a ring body RF pinching the peripheral edge of the sheet film F, a gap ES is generated between the sheet film F and a lower surface of the substrate W, outside the carrier placement surface 542.例文帳に追加

シートフィルムＦの周縁部を狭持するリング体ＲＦを下方へ押し下げることにより、担持体載置面５４２よりも外側では基板Ｗ下面とシートフィルムＦとの間に隙間ＥＳが生じる。 - 特許庁

The exposure apparatus 100 comprises a substrate stage WS and a projection optical system PO for projecting light from an original plate onto a substrate W, for exposing the substrate via a liquid filling a gap between an end surface ES of the projection optical system PO and the substrate.例文帳に追加

露光装置１００は、基板ステージＷＳと、原版からの光を基板Ｗに投影する投影光学系ＰＯとを有し、投影光学系ＰＯの最終面ＥＳと基板との間隙に満たされた液体を介して基板を露光する。 - 特許庁