evaporation stageとは 意味・読み方・使い方

In an initial stage of forming the thin film, the gas-feeding amount is much, because the evaporation substance from the evaporation source 20 is little, but the gas-feeding amount decreases, as the evaporation substance from the evaporation source 20 is filled in the chamber 11.例文帳に追加

薄膜形成の初期段階には、蒸発源２０からの蒸発物が少ないので、ガス供給量が多いが、蒸発源２０からの蒸発物がチャンバ１１内に充満するに従って、ガス供給量は少なくなる。 - 特許庁

A vacuum vapor deposition apparatus 10 comprises a vacuum chamber 11, an evaporation source 13 installed in the vacuum chamber, a stage 15 arranged opposite to the evaporation source, a rotating means 18 for rotating the stage in the plane, and an angle adjustment means 19 for changing the installation angle of the stage with respect to the evaporation source.例文帳に追加

本発明に係る真空蒸着装置１０は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ内に設置された蒸発源１３と、蒸発源に対向して配置されたステージ１５と、ステージを面内で回転させる回転手段１８と、蒸発源に対するステージの設置角度を変化させる角度調整手段１９とを備える。 - 特許庁

Then, the evaporation material released from the evaporation system 13 passes through an evaporation material passing hole 12 of a base 3 and reaches the sample 11 on a sample stage arranged on the route of the evaporation material to deposit a thin film of gold on the surface of the sample.例文帳に追加

そして、蒸着装置１３から放出された蒸着物質は、基台３の蒸着物質通過孔１２を通過して、蒸着物質の進路上に配置された試料ステージ上の試料１１に到達し、試料の表面に金の薄膜が形成される。 - 特許庁

This absorption refrigerator 1 comprises a high-temperature regenerator 150, a low-temperature regenerator 10, a condenser 20, a low-pressure stage absorber 30, a low-pressure stage evaporator 40, a high-pressure stage absorber 60, a high-pressure stage evaporator 70 and the piping for connecting them, thus two-stage absorption/two-stage evaporation cycle is formed.例文帳に追加

高温再生器１５０、低温再生器１０、凝縮器２０、低圧段吸収器３０、低圧段蒸発器４０、高圧段吸収器６０、高圧段蒸発器７０及びこれら各機器を接続する配管を備えることにより、二段吸収・二段蒸発サイクルを形成してなる吸収冷凍機１である。 - 特許庁

To provide an exposure system which prevents the evaporation of an immersion liquid 12 in recollect flow paths (22, 24, and 25) of a stage 7, thereby suppressing a drop in a temperature of the stage 7.例文帳に追加

ステージ７の回収流路（２２，２４，２５）で浸液１２が蒸発することにより、ステージ７の温度が低下してしまうことを抑制できる露光装置を提供すること。 - 特許庁

When the thickness measured by the ellipsometer 70 of the evaporation room 12 becomes a predetermined thickness, a robot 11 for vacuum conveyance conveys a glass substrate 51 to which the evaporation object 56 is evaporated to an evaporation room 13 established in the following stage.例文帳に追加

蒸着室１２のエリプソメータ７０により計測した膜厚が、予め設定された膜厚となった場合、真空搬送用ロボット１１は次段階に設けられる蒸着室１３へ蒸着物５６が蒸着されたガラス基板５１を搬送する。 - 特許庁

Then, sulfuric acid by an amount sufficient for suppressing the precipitation of metal components is added to the hydrofluoric acid waste solution in the crude hydrofluoric acid evaporation stage.例文帳に追加

そして、粗フッ酸蒸発工程のフッ酸廃液に金属成分の析出を抑制するに足る量の硫酸を添加する。 - 特許庁

To prevent the occurrence of important impediment such as bursting in advance by accurately detecting the abnormal rise of temperature of an evaporation pipe in an early stage.例文帳に追加

蒸発管温度の異常上昇を早い段階で的確に察知して噴破等の大きな障害の発生を未然に防ぐ。 - 特許庁