focal reactionとは 意味・読み方・使い方

To provide an in situ observation system in a composite emission electron microscope capable of facilitating LEEM or XPEEM observation under a catalytic reaction condition by utilizing such a characteristic that an electron microscope forms the focal point in a specified position and putting an aperture having a small opening radius in this position.例文帳に追加

電子顕微鏡が特定位置で焦点を結ぶことを利用し、その位置に開口半径の小さいアパーチャーを入れ、ＬＥＥＭやＸＰＥＥＭ観察を触媒反応条件下で容易に行えるようにした複合放出電子顕微鏡におけるその場観察システムを提供する。 - 特許庁

An exposure method for three-dimensional exposure is provided, comprising irradiating a photosensitive material having a predetermined thickness formed on the surface of a substrate with a condensed laser beam, while controlling the beam intensity and the beam scanning speed of the laser beam so as to locally control the reaction time constant of the photosensitive material, and moving the focal position in the vertical direction and in the horizontal direction on the substrate.例文帳に追加

基板の表面に形成された所定厚さの感光性材料に、レーザビームのビーム強度とビーム走査速度を制御しながらレーザビームを集光させ照射し、前記感光性材料の反応時定数を局所的に制御し、基板に垂直方向及び水平方向に焦点位置を移動させながら３次元的に露光を行うことを特徴とする露光方法を提供することにより上記課題を解決する。 - 特許庁