fine line fabricationとは 意味・読み方・使い方

When display devices and the semiconductor devices having fine elements are manufactured on the same substrate, a resist is exposed by using a first exposure means for exposing the patterns of the display devices and a second exposure means for exposing the patterns of the semiconductor devices to a workpiece which requires micro-fabrication, by which the semiconductor devices varying in line width rules may be manufactured with the good productivity.例文帳に追加

同一基板上に表示装置と、微細素子を有する半導体装置とを作製する際に、微細加工が必要な被加工物に対して、表示装置のパターンを露光する第１の露光手段と、半導体装置のパターンを露光する第２の露光手段とを用いてレジストを露光することにより、線幅ルールの異なる半導体装置を生産性良く作製することができる。 - 特許庁