gas sourcesとは 意味・読み方・使い方

To each chamber 4, supply sources 31 to 34 for filming gas and a supply source 35 for PH_3 gas are connected.例文帳に追加

各チャンバ４には、成膜ガスの供給源３１〜３４、及びＰＨ_3ガスの供給源３５が接続されている。 - 特許庁

The gas flow control device adjusts a flow volume of mixture gas generated by mixing gas supplied from a plurality of gas supply sources 40A to 40E.例文帳に追加

複数のガス供給源４０Ａ〜４０Ｅから供給されるガスを混合させて構成した混合ガスの流量を調整するガス流量制御装置である。 - 特許庁

The tubular light sources 13, 13 are arranged in parallel to the flow of harmful gas.例文帳に追加

また、管状光源１３，１３は有害ガスの流れに対して並列に配置されている。 - 特許庁

To superbly realize vapor liquid separation by suppressing pressure loss of offgas (exhaust gas) from a plurality of fuel cell stacks (gas exhaust sources).例文帳に追加

複数の燃料電池スタック（ガス排出源）からのオフガス（排ガス）の圧損を抑えて良好に気液分離を可能にすること。 - 特許庁

To smoothly and automatically switch gases when using two gas supply sources, that is, an air pump and a carbon dioxide gas cylinder.例文帳に追加

エアポンプ及び炭酸ガスボンベなどの二系統の気体供給源を用いる際に、気体の切換を円滑に自動的に行う。 - 特許庁

When one of a plurality of apparatuses which are fuel gas supply sources trips, trip signal is sent to the gas turbine plant.例文帳に追加

燃料ガスの供給源となる複数の機器のうちのいずれかがトリップしたとき、トリップ信号をガスタービンプラントに送信する。 - 特許庁

A gas damper (35) and an electric motor (33) may be used in combination as the power sources.例文帳に追加

また、前記動力源として、ガスダンパー（３５）及び電動モータ（３３）を組み合わせて用いても良い。 - 特許庁

In the dry etching system 10, a chamber 12 for containing an Si wafer W is coupled with supply sources 32, 38, 40 and 42 of SF6 gas, N2 gas, CF4 gas and O2 gas through a gas mixing chamber 30.例文帳に追加

ドライエッチング装置１０は、ＳｉウェハＷが収容されるチャンバ１２に、ガス混合室３０を介して、それぞれＳＦ_6ガス、Ｎ_2ガス、ＣＦ_4ガス及びＯ_2ガスの供給源３２，３８，４０，４２が接続されたものである。 - 特許庁