generation source speciesとは 意味・読み方・使い方

The atomic species of positive ions generation from the sample 11 are identified in an identifying device 20 by measuring both the signal from the detector 14 and the one from the pulse power source 19.例文帳に追加

同定手段２０は、イオン検出器１４からの信号とパルス電源１９からの信号に基づき、試料１１から発生した陽イオンの原子種を同定する。 - 特許庁

Furthermore, a plasma generation method can be applied to an extreme ultraviolet light source device for generating extreme ultraviolet light (EUV) while the laser beam is irradiated to an extreme ultraviolet light emissive species arranged outside a discharge zone and the generated plasma is supplied to the discharge zone, and the plasma can be supplied to the discharge zone while it maintains the high density.例文帳に追加

また、本発明を、放電領域外に配置された極端紫外光放射種にレーザビームを照射し、発生したプラズマを放電領域に供給して、極端紫外光（ＥＵＶ）を発生させるＥＵＶ光源装置にも適用でき、プラズマを高い密度を維持した状態で放電領域に供給することができる。 - 特許庁