heat of immersionとは 意味・読み方・使い方

To provide a substrate stage in which evaporation heat associated with the evaporation of liquid LQ is reduced; exposure equipment and an immersion exposure method using the substrate stage; and a device manufacturing method using the immersion exposure method.例文帳に追加

液体ＬＱの蒸発に伴う気化熱の発生を低減した基板ステージと、基板ステージを用いた露光装置、及び液浸露光方法、並びにデバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁

The treatment of the cooking oil with the treating agent comprises immersion of the treating agent in a cooking oil and heat treatment of the mixture.例文帳に追加

前記処理剤による食用油の処理は、食用油に前記処理剤を浸漬処理し、及び／又は浸漬して加熱処理することを含む。 - 特許庁

To provide a compact device for producing a gas hydrate having better heat efficiency than that of an immersion method using a constant temperature water tank, and without requiring a large-scale heat exchanger such as an external circulation type heat exchanger for cooling hydrate slurry.例文帳に追加

恒温水槽を用いる浸漬方式よりも熱効率が良く、かつ、ハイドレートスラリーを冷却する外部循環式のような大型の熱交換器を必要としないコンパクトなガスハイドレート製造装置。 - 特許庁

A heat attenuating device 111 is provided, and is constituted to reduce variation induced by a temperature distribution TE of the liquid immersion elements by the liquid immersion medium 110.1.例文帳に追加

熱減衰装置１１１が設けられており、この熱減衰装置１１１は、液浸媒体１１０．１によって液浸素子の温度分布ＴＥに誘発される変動を減じるように構成されている。 - 特許庁

In the method of recycling liquid for liquid immersion exposure, the liquid for liquid immersion exposure used for exposure is brought into contact with heat-treated adsorbent for purification, and then is recycled for exposure.例文帳に追加

露光に用いた液浸型露光用液体を、加熱処理された吸着剤に接触させて精製した後、露光に再利用する液浸型露光用液体のリサイクル方法の提供による。 - 特許庁

And terminal parts 13 of the immersion heaters 6 pulled out to outside the reboiler vessel are housed in a vacuum heat insulating vessel to prevent dew condensation of the terminal parts and heat entered from the outside.例文帳に追加

また、リボイラ容器の外側に引き出された投げ込みヒータ６の端子部１３を真空断熱容器内に収容して、端子部の結露並びに外部からの侵入熱を防止する。 - 特許庁

The fluid heat regulation module determines an actuator command for aberration correction of the optical element in the liquid immersion lithography system, based on the one or a plurality of change or changes in the amount of the fluid of a liquid immersion liquid, an exposure dose, and a reticule pattern image.例文帳に追加

流体加熱調整モジュールは、液浸液の流量、露光ドーズ、およびレチクルパターンイメージのうちの１つまたは複数の変化に基づいて、液浸リソグラフィシステム内の光学素子に収差調整を行うためのアクチュエータコマンドを決定する。 - 特許庁

Deformation due to heat of evaporation is suppressed, especially, in an immersion aligner of two-stage arrangement, by setting the position for replacing the stage under the lens thereby suppressing evaporation on the lower surface of the lens.例文帳に追加

特に２ステージ構成の液浸露光装置でステージの交換位置をレンズ下にすることによりレンズ下面の気化を抑制し、レンズの気化熱による変形を抑制する。 - 特許庁