ion saturation currentとは 意味・読み方・使い方

In this constitution, the superior uniformity is realized even if the distance between the antenna 5 and the substrate 9 is diminished, and high ion saturation current density is also obtained.例文帳に追加

この構成により、アンテナ５と基板９との距離を小さくしても均一性が良く、かつ、高いイオン飽和電流密度が得られた。 - 特許庁

To provide a plasma treatment method and apparatus for realizing high ion saturation current density and superior uniformity even if a distance between an antenna and a substrate is diminished.例文帳に追加

アンテナと基板との距離を小さくしても均一性が良く、かつ、高いイオン飽和電流密度が得られるプラズマ処理方法及び装置を提供する。 - 特許庁

In this mass spectrometer, by previously detecting a current value of an ion pulse coming flying from an ion source with two ion detectors 13, 14 provided in two triple-convergence planes of an electrostatic sector electric field type TOFMS spectral part and feeding the detected value to a final ion detector 11, a gain of the final ion detector 11 is controlled to avoid saturation of the final ion detector 11.例文帳に追加

静電セクター電場型ＴＯＦＭＳ分光部の２つの三重収束面に設けられた２つのイオン検出器を用いて、イオン源から飛来するイオンパルスの電流値を予め検知し、検知された量を最終イオン検出器にフィードさせることにより、最終イオン検出器のゲインを制御し、最終イオン検出器の飽和を回避させるように構成した。 - 特許庁