ion irradiation effectとは 意味・読み方・使い方

To evaluate with higher accuracy the influence on atoms forming a substrate due to irradiation of ion in regard to ion radiation effect evaluation method, process simulator, and device simulator.例文帳に追加

イオン照射効果評価方法、プロセスシミュレータ及びデバイスシミュレータに関し、イオン照射にともなって基板を構成する原子が受ける影響を精度良く評価する。 - 特許庁

The probe device reduces adverse effect on the sample caused by sputter particles generated by ion beam irradiation to the probe, debris of the probe, and the ion beams passing through the vicinity of the probe.例文帳に追加

本発明により、プローブへのイオンビーム照射により発生したスパッタ粒子，プローブの破片，プローブの近傍を通過したイオンビームなどによる試料などへの悪影響を低減できる。 - 特許庁

By setting to the low frequency, an ion irradiation rate onto a semiconductor substrate of an H radical is raised, and the H_2 passivation effect of the semiconductor substrate is enhanced.例文帳に追加

低周波とすることで、Ｈラジカルの半導体基板へのイオン照射率を高め、半導体基板のＨ_２パッシベーション効果を高める。 - 特許庁

To provide an ion beam irradiation device capable of performing maintenance without having an adverse effect on other processing chambers when performing maintenance of an ion beam supply device in use corresponding to an in-line method.例文帳に追加

インライン方式に相当する使用においてイオンビーム供給装置のメンテナンスを行う際、他の処理室に悪影響を与えることなくメンテナンスを行うことができるイオンビーム照射装置を提供する。 - 特許庁

Even if metal ions are implanted in the semiconductor substrate, together with the hydrogen ions in the step of hydrogen ion irradiation, the effect of metal contamination can be suppressed by the gettering process.例文帳に追加

水素イオンの照射工程で、水素イオンと共に金属イオンが半導体基板中に打ち込まれても、ゲッタリング処理によって、金属汚染の影響を抑えることができる。 - 特許庁

By optimizing the quantity of the introduced gas and an irradiation condition of the primary ion beam, a matrix effect between the compound and the substrate is removed, and simultaneously the position of the compound film/substrate interface can be specified.例文帳に追加

導入するガス量および一次イオンビームの照射条件を最適化することにより、化合物と基板におけるマトリックス効果を解消すると同時に、化合物膜／基板界面の位置を特定することが可能となる。 - 特許庁

To provide a negative ion generator which can create a more comfortable environment by changing the amount of negative ions (photoelectrons) to be generated without losing the bactericidal effect possessed by a UV irradiation source.例文帳に追加

紫外線照射源のもつ除菌効果を失うことなくマイナスイオン（光電子）の発生量を変えることにより、より快適な環境を作り出せるマイナスイオン発生装置を提供することを目的とするものである。 - 特許庁