ion-beam scanningとは 意味・読み方・使い方

In the second mode, the ion beam passes without scanning the beam scanning system 128 and the parallelizer 130 and the workpiece 122 is scanned through the spot ion beam 112 in two dimensions.例文帳に追加

第２モードでは、イオンビームは、ビーム走査システム128とパラライザー130を走査しないで通過し、かつ加工物122は、スポットイオンビーム112を通って二次元で走査される。 - 特許庁

MULTI-DIRECTIONAL SCANNING OF MOVABLE MEMBER AND ION BEAM MONITORING ARRANGEMENT THEREFOR例文帳に追加

可動部材の多方向走査及びそのためのイオンビーム監視構成体 - 特許庁

The beam system includes an ion beam device and a scanning electron microscope with a magnetic objective lens.例文帳に追加

二重ビーム装置はイオン・ビーム装置および磁気対物レンズを備える走査電子顕微鏡を含む。 - 特許庁

The position of the mark 120 is confirmed through scanning, using the convergent ion beam from the medium facing surface to perform working, using the convergent ion beam.例文帳に追加

このマーク120を媒体対向面から、集束イオンビームでスキャンして位置を確認して集束イオンビームで加工を行う。 - 特許庁

Then, a second sectional shape and a second ion density distribution of the ion beam are detected by moving the ion beam along a predetermined scanning path.例文帳に追加

それから、イオンビームの第２の断面形状と第２のイオン密度分布とが、所定のスキャンパスに沿ってイオンビームを移動することによって検出される。 - 特許庁

The focused ion beam device comprises the ion source 2, focusing lens 4 to finely focus the ion beam generated from the ion source 2 on the material 3 to be processed, a deflector 5 for secondary scanning on the sample by means of the ion beam and so forth.例文帳に追加

イオン源２、イオン源２から発生したイオンビームを被加工材料３上に細く集束するための集束レンズ４、及び、イオンビームにより被加工材料３上を二次元的に走査するための偏向器５等を備える。 - 特許庁

The entire processing apparatus can be made to be small by reducing the scanning range of the ion beam 4.例文帳に追加

イオンビーム４の走査範囲を縮小することで、加工装置全体を小型化できる。 - 特許庁

To provide a dual beam system capable of operating an ion beam while feeding a current into a scanning electron microscope (SEM) lens.例文帳に追加

ＳＥＭレンズに電流を流しながらイオン・ビームを操作することのできる二重ビーム装置を提供すること。 - 特許庁