ionization gageとは 意味・読み方・使い方

To provide attaching structure for a cold cathode ionization vacuum gage capable of measuring the vacuum in a vacuum vessel under a high-vacuum condition upon restoration of a service power interruption, and capable of replacing the cold cathode ionization vacuum gage while keeping the vacuum vessel at a high vacuum, when the vacuum gage is failed.例文帳に追加

高真空状態の真空槽の真空度を停電復帰後も測定可能な、および真空計が故障時に、真空槽を高真空に維持しつつ冷陰極電離真空計を交換可能な冷陰極電離真空計の取付け配管構造を提供する。 - 特許庁

This electrode is constituted of an ionization gage ion collector and disposed to the spacing between the inner wall of the film deposition chamber and a chamber-deposition shield plate.例文帳に追加

該電極は電離計イオンコレクタで構成し、該成膜室の内壁と該防着板との間の空間に設けた。 - 特許庁

To provide a cold cathode ionization vacuum gage discharging easily by a discharge inducing member, and suppressing furthermore a time delay between a time when a high voltage is applied and a time when a current starts to flow by discharge; and a cold cathode ionization vacuum gage simplifying a cleaning work of a cathode by replacing the discharge inducing member in the cleaning work of the cathode.例文帳に追加

放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。 - 特許庁

In this attaching structure for the cold cathode ionization vacuum gage 21 for measuring the vacuum in the vacuum vessel 11 of a vacuum device, a valve 32 is provided in a midway of piping 31 for connecting the cold cathode ionization vacuum gage 21 to the vacuum vessel 11, and piping 33 for introducing gas via a leak valve 34 is provided between the valve 32 and the cold cathode ionization vacuum gage 21.例文帳に追加

真空装置における真空槽１１の真空度を測定する冷陰極電離真空計２１の取付け配管構造であって、前記真空槽１１と前記冷陰極電離真空計２１を接続する配管３１の途中にバルブ３２を設け、そのバルブ３２と前記冷陰極電離真空計２１との間にリークバルブ３４を介してガスを導入する配管３３を設けている。 - 特許庁

This ionization gage has a measuring element container 2 and a first and a second measuring parts set in the container.例文帳に追加

この発明の電離真空計は、測定子容器２と、この測定子容器中に設けられた第１及び第２の測定部とを具える。 - 特許庁

To provide a pressure corrector for a vacuum gage equipped with a correcting function for clearing a pressure value of the effect not only of charged particles flowing into a gage head of the vacuum gage but also of a noise current flowing into a cable for measurement in a pressure signal transmission system, by jointly using an existing ionization vacuum gage controller.例文帳に追加

既存の電離真空計コントローラを併用して、真空計測定子に流入する荷電粒子のみならず、圧力信号伝達系の計測用ケーブルに流入するノイズ電流による圧力値への影響を除去可能な補正機能を備えた真空計用圧力補正装置を提供することである。 - 特許庁

To reduce a current applied onto current introduction terminals of an ionization vacuum gage and a mass spectrometer having an electrification-heating type grid, to compactify a vacuum terminal part, and to reduce a cost.例文帳に追加

通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。 - 特許庁

A pressure time distribution at the distance X from a nozzle 4 of helium gas as the carrier gas blown out from the nozzle 4 of an injection device 1 is observed by a high-speed ionization vacuum gage 5.例文帳に追加

噴射装置１のノズル４から噴射されるキャリヤガスとしてのヘリウムガスの、ノズル４からの距離Ｘでの圧力時間分布を高速電離真空計５により観測する。 - 特許庁