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irradiation-induced defectsとは 意味・読み方・使い方
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A potential contrast image is acquired to detect defects, in a state of enhancing an electric resistance difference between a normal part and a defective part sufficiently, taking advantage of the electric charges induced by irradiation with an electron beam.例文帳に追加
電子ビーム照射による帯電を利用し、正常部と欠陥部の電気抵抗値の差を十分増大させた状態で電位コントラスト像を取得し、欠陥を検出する。 - 特許庁
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