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immersion scanningとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 水浸走査
「immersion scanning」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 9件
To improve the throughput of an exposure apparatus by increasing scanning speed in an immersion exposure apparatus.例文帳に追加
液浸露光装置において、走査速度を大きくして、露光装置のスループットの向上をはかる。 - 特許庁
In a scanning-type immersion lithography apparatus, an immersion liquid is supplied by one side of space between the projection system and the substrate, and is discharged at the other side so that the liquid flow is almost perpendicular to the scanning direction.例文帳に追加
走査式浸漬リソグラフィ装置において、液体の流れがほぼ走査方向に垂直になるように、浸漬液は投影系と基板の間の空間の一方の側で供給され、もう一方の側で排出される。 - 特許庁
In a scanning immersion lithographic apparatus, immersion liquid is supplied on one side of the space between the projection system and the substrate and drained on the other side so that the flow of liquid is substantially perpendicular to the scan direction.例文帳に追加
走査式浸漬リソグラフィ装置において、液体の流れがほぼ走査方向に垂直になるように、浸漬液は投影系と基板の間の空間の一方の側で供給され、もう一方の側で排出される。 - 特許庁
When a liquid immersion optical system is applied to the scanning exposure system of this convex lens, the structure that the wafer can be accurately aligned and the gas is hardly introduced between the lens and the wafer is obtained in the scanning exposure system.例文帳に追加
この構成の凸レンズをスキャン型露光装置に液浸光学系を適用した場合、ウエハの正確なアライメントが容易にでき、しかもレンズとウエハの間に気体が入り込みにくい構造のスキャン型露光装置が得られる。 - 特許庁
To provide an exposure apparatus which can recover the liquid in a liquid immersion space even when the moving speed (scanning speed) of a substrate is increased and can suppress the remaining of the liquid on the substrate.例文帳に追加
基板の移動速度（走査速度）の高速化しても液浸空間の液体を回収でき、基板上の液体の残留を抑えることができる露光装置を提供する。 - 特許庁
To enhance an NA to the vicinity of a refractive index of a glass material used in a final lens in an immersion optical system suitable as a projective optical system of a scanning photolithography machine.例文帳に追加
走査型露光装置の投影光学系として好適な液浸光学系において、ＮＡを最終レンズに用いられる硝材の屈折率の屈折率近傍以上まで高める。 - 特許庁
An ultrasonic inspection device is constituted of an ultrasonic scanning section equipped with a local immersion type ultrasonic probe 1, the driving section of the scanning section, and an arithmetic processing section which controls the scanning section through the driving section and executes inspections on a coating film formed on the surface of a base material which is an object to be inspected for defects.例文帳に追加
超音波検査装置については、局部水浸式の超音波プローブ１を備えた超音波走査部と、当該超音波走査部の駆動部と、当該駆動部を介して前記超音波走査部を制御し、被検体である母材表面に形成された皮膜の欠陥検査を実行する演算処理部とから超音波検査装置を構成する。 - 特許庁
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「immersion scanning」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 9件
Thus, a high-throughput scanning exposure apparatus having a mounted high-NA lens is manufacturable at a low cost, especially, an exposure apparatus using an ArF immersion optical system having an NA of about 1.2 is providable at a low cost.例文帳に追加
この構成によって、高ＮＡレンズを搭載した高スループットのスキャン型露光装置が安価に製造でき、特にＮＡが１．２程度のＡｒＦ液浸光学系を適用した露光装置を低価格で提供できるようになる。 - 特許庁
The exposure method includes a process that a liquid immersion area is locally formed between an upper surface of a movable moving body holding a substrate and the projection optical system, and exposing light is irradiated on the substrate through the projection optical system and the liquid forming the liquid immersion area, and by moving the substrate for the exposing light, each of a plurality of shot areas on the substrate is exposed by scanning.例文帳に追加
この露光方法は、基板を保持して移動可能な移動体の上面と投影光学系との間に局所的に液浸領域を形成し、投影光学系と液浸領域を形成する液体とを介して基板上に露光光を照射するとともに、露光光に対して基板を移動することによって、基板上の複数のショット領域のそれぞれを走査露光する露光方法である。 - 特許庁
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水浸走査
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