immigration bondとは 意味・読み方・使い方

A silicon dangling bond(SDB) is controlled on a surface of an amorphous silicon layer 122 which was made by dry etching by a lower electrode layer to increase immigration from the surface.例文帳に追加

ドーピングされた非晶質シリコン層を下部電極層のパターンで乾式食刻した後、非晶質シリコン層の表面でシリコンダングリングボンドをコントロールし、表面からのシリコンの移動を増大させる。 - 特許庁

To prevent a lower electrode layer surface from forming a natural oxide film and to promote growing of hemisphere crystal particles by controlling a silicon dangling bond on the surface of an amorphous silicon layer which was made dry etching by a lower electrode layer pattern to increase immigration of silicon and to grow hemisphere crystal particles.例文帳に追加

半球形結晶粒子を有するキャパシタにおいて、下部電極層の表面に自然酸化膜が形成されないようにするとともに半球形結晶粒子の成長を増進させ得る半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁