longitudinal dissociationとは 意味・読み方・使い方

In this plasma processing apparatus 10, the electronic energy distribution of the plasma generated in the plasma generating chamber 12 can be controlled by just moving the operation bar 171 with the moving mechanism 172 in a longitudinal direction to adjust the distance between the high-frequency antenna 16 and the plasma controlling plate 17; therefore, the plasma processing in accordance with the kind of gas molecules to be dissociated or its dissociation energy can be easily performed.例文帳に追加

このプラズマ処理装置１０では、移動機構１７２により操作棒１７１を長手方向に動かし、高周波アンテナ１６とプラズマ制御板１７の間の距離を調整するだけで、プラズマ生成室１２内で生成されたプラズマの電子エネルギー分布を制御することができるため、解離させるガス分子の種類やその解離エネルギーに応じたプラズマ処理を容易に行うことができる。 - 特許庁