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lmisとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 液体金属イオン源
「lmis」を含む例文一覧
該当件数 : 2件
To make ion emission (emission) of a Ga liquid metal ion source (LMIS) stable and having long life.例文帳に追加
Ｇａ液体金属イオン源(LMIS)のイオン放射(エミッション)を安定に、かつ、長寿命にする。 - 特許庁
To provide a charged particle beam device allowing observation by an electron microscope to be rapidly carried out by correctly detecting a foreign substance in a film without causing LMIS pollution; a sample processing method; and a semiconductor inspection device.例文帳に追加
ＬＭＩＳ汚染を発生させることなく、膜中の異物を正確に検出し電子顕微鏡による観察を迅速に行うことができる荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置を提供する。 - 特許庁
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