monosilaneとは 意味・読み方・使い方

In a step 1, a semiconductor substrate is exposed to monosilane (SiH_4).例文帳に追加

ステップ１では、半導体基板がモノシラン（ＳｉＨ_4）に暴露される。 - 特許庁

CONVERSION METHOD OF HIGH BOILING POINT RESIDUE INTO MONOSILANE BY DIRECT METHOD例文帳に追加

直接法による高沸点残留物のモノシランへの転化法 - 特許庁

The separated monosilane is detoxified by a silane gas detoxifying part 50.例文帳に追加

分離されたモノシランは、シランガス除害部５０により除害される。 - 特許庁

At this time, the flow rate ratios of the monosilane, the ammonia and the hydrogen are so specified that the ammonia is 1 to 30, and the hydrogen is 5 to 400 to 1 monosilane.例文帳に追加

このとき、モノシラン、アンモニア及び水素の流量比は、モノシラン１に対してアンモニアが１以上、３０以下、水素が５以上、４００以下とする。 - 特許庁

This exhaust gas treatment system separates each gas of hydrogen and monosilane from a mixed gas containing the hydrogen and the monosilane discharged from the semiconductor manufacturing device 1 by membrane separation.例文帳に追加

排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される水素およびモノシランを含む混合ガスから膜分離によりそれぞれのガスを分離する。 - 特許庁

To provide a method for converting a polymer silicon-including compound into monosilane.例文帳に追加

ポリマーケイ素含有化合物のモノシランへの転化方法を提供すること。 - 特許庁

In this case, the content of the nonoxidizing gas is preferably made higher than the total content of the amounts of oxygen used for the oxidation reaction of the gaseous monosilane and the oxidizing gas of the gaseous monosilane.例文帳に追加

この場合において、非酸化性ガス量は、モノシランガスとモノシランの酸化性ガスの酸化反応に与る酸素量との合計量よりも多くすることが好ましい。 - 特許庁

In this case, the flow of monosilane and hydrogen is respectively 20 sccm and 20 slm.例文帳に追加

このとき、モノシラン及び水素の各流量は、夫々２０ｓｃｃｍ、２０ｓｌｍとする。 - 特許庁