quanqiuniu脂润滑复合分子泵

脂润滑复合分子泵在半导体制造、光伏镀膜、真空检测等对真空性能与性要求高的领域，我们推出的脂润滑复合分子泵以紧凑设计、低污染与高稳定性为，为您提供兼具经济性与的真空解决方案。

优势

 • 紧凑设计，灵活适配

作为紧凑型分子泵，拥有700L/S、1300L/S、2000L/S多档抽速可选，结构紧凑且支持任意角度安装，能够轻松适配不同尺寸的真空腔体与复杂的设备布局，安装自由度高。

 • 脂润滑低污染，守护工艺洁净

采用脂润滑技术，对真空系统的污染小，*频繁换油液，有效避免了油蒸汽对工艺环境的干扰，特别适合对洁净度有较高要求的半导体、制灯与真空检漏场景。

 • 高稳定命，降低运维成本

搭载陶瓷轴承，运行振动值≤0.1μm，启动时间＜5分钟，配合风冷散热设计，设备可长期稳定运行，大幅减少非计划停机；脂润滑设计也让日常维护简便，有效降低全生命周期成本。

 • 多场景适配，行业覆盖广

性能稳定、适配性强，广泛应用于半导体设备、太阳能电池、玻璃镀膜、、等离子技术、制灯及真空检漏等行业，满足多领域的真空需求。

 典型应用场景

 • 半导体与微电子：芯片制造、晶圆加工等真空环节

 • 光伏与光学：太阳能电池镀膜、玻璃镀膜、制灯工艺

 • 科研与检测：粒子、真空检漏设备、表面分析仪器

 • 工业制造：等离子体处理、精密电子器件封装

 服务与支持

 我们提供从泵型选型、系统集成到现场调试的全流程服务，技术团队可根据您的工况需求定制解决方案，并提供7×24小时技术响应，您的真空系统持续运行。