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CN111458343B - 检测设备及检测方法 - Google Patents
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Abstract

本发明提供一种检测设备及检测方法,其中,检测设备包括:第一频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第一探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光;第二频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第二探测光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光,所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光;第一探测装置,被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。所述检测设备结构简单,成本较低,且能够减少误检。

Description

检测设备及检测方法
技术领域
本发明涉及检测领域,特别涉及一种检测设备及检测方法。
背景技术
玻璃材料在现代工业制造中被广泛使用,例如作为手机屏幕、光学透镜、电池片、曲面显示屏等。随着加工水平的进步,越来越多的玻璃产品被设计成曲面结构,以实现更好的功能或达到更好的外观。由于曲面部分加工难度较大,镜面曲面有较大的可能出现缺陷,从而影响其功能及外观,因此需要对这部分进行检测,以保证产品合格率。
对玻璃产品表面缺陷的检测主要采用光学检测的方法,为了增加检测精度,减少误检率,往往需要对产品进行多通道检测,包括明场检测、暗场检测和背光检测。明场检测是通过探测待测物表面反射的光束强度,来实现对待测物表面进行检测的方法。明场检测具有灵敏度高、程序设定简单等优点,在工业检测中具有重要应用。暗场检测是通过探测待测物表面的散射光强度,来实现对待测物表面进行检测的方法。暗场检测对凸起等缺陷的检测可实现更好的灵敏度。背光检测是通过使光束穿过玻璃产品,对透过玻璃产品的光束进行探测。背光探测对检测玻璃产品的崩边具有很高的精度。
然而,现有技术通过多通道对产品进行检测的设备往往体积较大,结构复杂,成本较高。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种检测设备和检测方法,能够简化多通道检测设备的结构,降低成本。
为解决上述问题,本发明提供一种检测设备,包括用于放置待测物的承载面,其特征在于,检测设备包括:第一频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第一探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光;第二频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第二探测光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光,所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光;第一探测装置,被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。
可选的,所述第一探测光和第二探测光的波长相同。
可选的,所述检测设备包括移动装置,所述移动装置用于带动待测物相对于所述第一光源、第二光源和第一探测装置移动。
可选的,所述移动装置包括多个传送带装置,多个传送带装置用于使待测物沿相同的传送方向移动;相邻传送带装置之间具有空隙;所述承载面位于传送带装置表面,检测时待测物位于所述承载面且横跨所述空隙。
可选的,所述传送带装置具有一个或多个空隙,所述一个或多个空隙包括第一空隙,所述第二频闪光源位于承载面靠近所述传送装置的一侧;所述第二探测光用于穿过所述第一空隙到达待测物表面。
可选的,所述第一频闪光源为明场光源,所述第二频闪光源为暗场光源或背光源;或者,所述第一频闪光源和第二频闪光源均为暗场光源,所述第一探测光和第二探测光的传播方向不同;或者,所述第二频闪光源为明场光源,所述第一频闪光源为暗场光源或背光源。
可选的,所述检测设备还包括第三频闪光源,被配置为向待测物发射第三探测光,所述第三探测光经待测物形成第三信号光,所述第一光源、第二光源和第三光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光、第二探测光和第三探测光;所述第一探测装置还被配置为探测所述第三探测光;所述第三频闪光源为暗场光源,所述第三频闪光源的个数为一个或多个,多个暗场光源发射的探测光的传播方向不同。
可选的,所述第一频闪光源和第二频闪光源为线光源,所述第一频闪光源和第二频闪光源在待测物表面形成光斑的延伸方向垂直于传送方向,且光斑沿传送方向贯穿待测物的待测区。
可选的,所述第一探测装置的频率为15k~25k次/秒;所述第一频闪光源的闪光频率为30k~50k次/秒;所述第二频闪光源的闪光频率为30k~50k次/秒。
可选的,所述检测设备还包括:第一照明光源,所述第一照明光源为弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝背离承载面的方向凸出;所述第一照明光源被配置为向待测物发射第四探测光,所述第四探测光经待测物反射形成第四信号光;第二探测装置,用于探测所述第四信号光获取第二探测信息。
可选的,所述第一频闪光源为明场光源,所述第一频闪光源的发光面为平面或弧面;所述第一照明光源与第一频闪光源分别用于照射待测物相对的两个表面。
可选的,还包括:移动装置,所述移动装置包括多个传送带装置,多个传送带装置用于使待测物沿相同的传送方向移动,所述承载面位于传送带装置表面;相邻传送带装置之间具有空隙;所述传送带装置具有一个或多个空隙,所述一个或多个空隙包括第二空隙,检测时所述待测物位于所述承载面且横跨所述第二空隙;所述第四探测装置及至少部分第一照明光源位于所述承载面靠近第二空隙一侧,所述第四探测光用于穿过所述第二空隙到达所述待测物表面。
可选的,所述第一频闪光源为明场光源,所述第二频闪光源为背光源;所述一个或多个空隙包括第三空隙;所述检测设备还包括:第二照明光源,用于向所述第三空隙发射第六探测光,所述第六探测光经待测物散射形成第六信号光;第四探测装置,用于探测所述第六信号光获取第四探测信息;第三照明光源,用于向所述第三空隙发射第七探测光,所述第七探测光经待测物散射形成第七信号光,所述第三照明光源和第二照明光源分别用于照射待测物相对的两个面;第五探测装置,用于探测所述第七信号光获取第四探测信息。
可选的,还包括:处理系统,用于根据第一探测装置不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,形成第一图像和第二图像。
可选的,还包括:控制装置,用于向第一频闪光源和第一探测装置发送第一频闪触发信号,向第二频闪光源和第一探测装置发送第二频闪触发信号,所述第一频闪触发信号和第二频闪触发信号的触发时间交替排列;所述处理系统用于根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像,并根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
可选的,还包括:第四频闪光源,用于向待测物发射第五探测光,所述第五探测光经待测物形成第五信号光,所述第四频闪光源与第一频闪光源分别位于所述承载面两侧;第三探测装置,用于探测所述第五信号光获取第三探测信息,所述第三探测装置和第一探测装置分别位于所述承载面两侧。
可选的,所述第一频闪光源、第二频闪光源和第四频闪光源用于交替地向待测物发射探测光;或者,所述第四探测光与第一探测光的波长不相同,且所述第四探测光与第二探测光的波长不相同;第一探测装置包括第一滤光组件,用于滤除第四信号光;所述第三探测装置包括第二滤光组件,用于滤除第一信号光和第二信号光。
相应的,本发明还提供一种检测方法,其特征在于,包括:将待测物放置于检测设备的承载面;通过第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光;通过第一探测装置多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。
可选的,所述检测设备还包括处理系统时,检测方法还包括:通过处理系统根据第一探测装置不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,形成第一图像和第二图像。
可选的,所述检测设备还包括控制装置时,通过第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光包括:通过控制装置向第一频闪光源和第一探测装置发送第一频闪触发信号;向第二频闪光源和第二探测装置发送第二频闪触发信号;形成第一图像和第二图像包括:根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像;根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
可选的,当检测设备还包括:第四频闪光源和第三探测装置时;多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光包括:使所述第一频闪光源、第二频闪光源和第四频闪光源多次交替地向待测物发射探测光;获取第一探测信息包括:通过第一探测装置多次交替地探测第一信号光、第二信号光和第五信号光;所述检测方法还包括:通过第三探测装置多次交替地探测第一信号光、第二信号光和第五信号光,获取第三探测信息。
可选的,所述第五探测光与第一探测光的波长不相同,且所述第五探测光与第二探测光的波长不相同时;所述检测方法还包括:通过第三探测装置探测所述第五信号光,获取第三探测信息;通过第三探测装置探测所述第五信号光的时刻与第一探测装置探测第一信号光或第二信号光的时刻部分或全部重叠。
可选的,当所述检测设备还包括:第一照明光源,所述第一照明光源为弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝背离承载面的方向凸出;所述第四探测光用于穿过所述第二空隙到达所述待测物表面时;所述待测物包括相对的第一面和第二面,所述第一面为凹面,所述第二面为凸面;将待测物放置于检测设备的承载面包括:使所述第二面与承载面接触。
与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下优点:
本发明技术方案提供的检测设备中,所述检测设备包括第一频闪光源和第二频闪光源。由于所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光,第一探测装置被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,则能够根据探测时间将第一探测装置根据第一信号光和第二信号光获取的第一探测信息分离,获取不同通道的第一探测信息。由于时间不会有重叠,从而能够提高检测精度。同时,所述检测设备能够通过一个第一探测装置获取第一信号光和第二探测光的第一探测信息,从而能够简化检测设备的结构,提高集成度,并能够降低成本。
进一步,所述检测设备包括移动装置,且所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向待测物发射第一探测光和第二探测光。利用所述检测设备带动待测物移动,并使第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光,利用探测装置进行探测,能够获取待测物表面较大区域的探测图像。
进一步,多个传送带装置之间具有空隙,所述第二探测光能够穿过所述空隙到达待测物,从而能够实现对待测物的背光检测,或者对待测物靠近移动装置的一面进行明场或暗场检测。
进一步,所述检测设备还包括:弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝向背离承载面的方向凹陷。通过所述弧形光源及第二探测装置能够对具有凸面的待测物进行明场检测。所述第一频闪光源的发光面为平面或弧面可实现对具有待测物的平面和凹面进行明场检测。因此,所述检测设备能够实现对具有曲面的待测物进行双面明场检测。
进一步,通过第二探测装置对第四探测光进行探测,能够增加第一探测装置对第一探测光和第二探测光探测的曝光时间,进而能够提高探测图像的清晰度。
附图说明
图1是本发明的检测设备一实施例的结构示意图;
图2和图3是本发明的检测设备二实施例的结构示意图;
图4是本发明的检测设备三实施例的结构示意图;
图5是本发明的检测设备四实施例的结构示意图;
图6是本发明的检测设备五实施例的结构示意图;
图7是本发明的检测方法一实施例中各步骤的流程图。
具体实施方式
现有的检测设备存在诸多问题,例如:检测设备结构复杂,成本较高。
现结合一种检测设备分析其结构复杂,成本较高的原因。
为了提高检测的精度,减少误检,现有的检测设备往往设置多个通道对产品进行检测。由于检测通道较多,导致检测设备结构复杂,成本较高。
为了简化检测设备的结构,一种方法是对不同通道使用不同波长的光束进行探测,根据光束波长不同使不同通道拍摄的图像分离。然而由于可见光范围内的光束往往会有重叠,因此该方法容易导致检测精度降低。
为解决所述技术问题,本发明提供了一种检测设备,包括:第一频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第一探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光;第二频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第二探测光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光,所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光;第一探测装置,被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。所述检测设备结构简单,成本较低,且能够减少误检。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图1是本发明的检测设备一实施例的结构示意图。
请参考图1,所述检测设备包括:第一频闪光源121,被配置为向待测物110发射第一探测光,所述第一探测光经待测物110形成第一信号光;
第二频闪光源122,被配置为向待测物110发射第二探测光,所述第二探测光经待测物110形成第二信号光,所述第一频闪光源121和第二频闪光源122被配置为多次交替地向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光;
第一探测装置111,被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。
所述检测设备包括第一频闪光源121和第二频闪光源122。由于所述第一频闪光源121和第二频闪光源122被配置为多次交替地向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光,第一探测装置111被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,则能够根据探测时间将第一探测装置111根据第一信号光和第二信号光获取的第一探测信息分离,获取不同通道的第一探测信息。由于时间不会有重叠,从而能够提高检测精度。同时,所述检测设备能够通过一个第一探测装置111获取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,从而能够简化检测设备的结构,提高集成度,并能够降低成本。
本实施例中,所述检测设备包括用于放置待测物110的承载面。本实施例中,所述检测设备还包括移动装置,移动装置用于带动待测物110相对于所述第一频闪光源121、第二频闪光源122和第一探测装置111移动。
所述移动装置用于带动待测物110相对于所述第一光源、第二光源和第一探测装置111沿传送方向移动。所述承载面位于移动装置表面。
所述待测物110包括相对的第一面和第二面,所述第二面用于与所述移动装置接触。
本实施例中,所述第一频闪光源121为明场光源,所述第一探测光经待测物110反射后形成第一信号光;所述第二频闪光源122为背光源,即所述第二探测光穿过所述待测物110,形成第一信号光被第一探测装置111接收。所述第一频闪光源121与第一探测装置111位于所述承载面的同一侧。具体的,所述第一频闪光源121与第一探测装置111位于所述承载面远离移动装置的一侧;所述第二频闪光源122和第一探测装置111分别位于所述承载面两侧,即所述第二频闪光源122位于所述承载面靠近移动装置的一侧。
本实施例中,所述第一频闪光源121和第二频闪光源122交替发光,所述第一探测装置111仅交替探测所述第一信号光和第二信号光。
本实施例中,所述第一探测光和第二探测光的波长相同。所述第一探测光和第二探测光的波长相同,能够简化第一探测装置111的调节难度。在其他实施例中,所述第一探测光和第二探测光的波长可以不相同。
所述第一探测装置111为线探测器,即所述第一探测装置111在待测物110表面的探测区为线形。具体的,本实施例中,所述探测区为第一探测装置111拍摄一次图像所拍摄的待测物110表面区域。所述第一探测装置111的探测区沿垂直于所述传送方向贯穿所述待测物110的待测区。
所述第一频闪光源121和第二频闪光源122为线光源,所述第一频闪光源121和第二频闪光源122在待测物110表面形成光斑的延伸方向垂直于传送方向,且光斑沿传送方向贯穿所述待测物110的待测区。所述线光源指的是光源发光面的长度远大于宽度。
在其他实施例中,所述第一频闪光源和第二频闪光源可以为面光源,所述第一探测装置可以为面探测器。
本时候例中,所述第一频闪光源121和第二频闪光源122均为LED光源。在其他实施例中,所述第一频闪光源和第二频闪光源可以为激光光源。
本实施例中,所述第一探测光和第二探测光为红光。在其他实施例中,所述第一探测光和第二探测光可以为黄光或蓝光。
通过所述检测设备对待测物110表面进行扫描,获取待测物110表面图像时,需要待测物110相对于所述第一探测装置111移动,如果待测物110移动速度过小,容易降低检测速度,降低检测效率;如果待测物110移动速度过大,不容易使第一探测装置111获取整个待测区表面的图像。
如果第一探测装置111的拍摄频率过小,拍摄一次照片的时间间隔较长,在该时间间隔内待测物110移动的距离较大,从而容易导致待测物110表面部分区域漏拍,因此,第一探测装置111的拍摄频率不宜过小。如果第一探测装置111需要探测的探测光由较多的光源发出,则为了减少漏拍,所述第一探测装置111的拍摄频率较高。
如果第一探测装置111的拍摄频率较高,第一探测装置111拍摄两张图像的时间间隔较小。由于第一探测装置111拍摄每张图像的曝光时间需小于拍摄两张图像之间的时间间隔,因此如果第一探测装置111需要探测的探测光由较多的光源发出,则拍摄每张图像时,第一探测装置111的曝光时间较短,从而容易降低每张图像的清晰度,进而第一探测装置111需要探测的不同探测光的数量不易过多,因此,本实施中,所述第一频闪光源121和第二频闪光源122交替发光,所述第一探测装置111仅交替探测所述的第一信号光和第二信号光。
所述第一探测装置的频率大于或等于发射第一探测装置接受的信号光的探测装置的频率之和。具体的,本实施例中,所述第一探测装置的频率等于发射第一探测装置接受的信号光的探测装置的频率之和。
具体的,本实施例中,所述第一探测装置111的行频为15k~25k次/秒;所述第一频闪光源121的闪光频率为30k~50k次/秒;所述第二频闪光源122的闪光频率为30k~50k次/秒。
本实施例中,所述第一频闪光源121的发光面为平面。平面光源的加工成本低,能够降低检测设备的成本。在其他实施例中,所述第一频闪光源的发光面可以为曲面。
具体的,所述待测物110为手机壳。在其他实施例中,所述待测物可以为平面玻璃。
所述检测设备还包括:处理系统,用于根据第一探测装置111不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测,形成第一图像和第二图像;控制装置,用于向第一频闪光源121和第一探测装置111发送第一频闪触发信号,向第二频闪光源122和第二探测装置112发送第二频闪触发信号。
所述处理系统用于根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像,并根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
触发时间指的是使光源发射探测光或使探测装置获取第一探测信息的时间。
本实施例中,所述移动装置包括多个传送带装置100,多个传送带装置100用于使待测物110沿相同的传送方向移动;相邻传送带装置100之间具有空隙,所述移动装置用于使待测物110自一个传送装置100横跨所述空隙传送至另一传送装置100。
相邻传送带装置100与待测物110的接触点之间的最小距离小于待测物沿传送方向尺寸的一半。
本实施例中,所述传送带装置100具有一个或多个空隙,所述一个或多个空隙包括第一空隙,所述第二频闪光源122位于承载面靠近所述传送装置的一侧;所述第二探测光用于穿过所述第一空隙到达所述待测物110。
本实施例中,所述第二频闪光源122为背光源,且位于所述承载面靠近移动装置的一侧。所述第二探测光穿过所述第一空隙,照射至待测物110第二面,并透过所述待测物110形成第二信号光,被第一探测装置111接收。
所述传送带装置100包括两个旋转轮101和传送带102,所述传送带102绕在旋转轮101上,所述旋转轮101带动传送带102转动。对待测物110进行检测时,所述待测物110放置于所述传送带102上,当旋转轮101旋转时,传送带102带动所述待测物110沿传送方向移动。
如果相邻传送带装置100之间空隙的深宽比过大,容易对第二探测光产生遮挡;如果相邻传送带装置100之间的深宽比过小,相邻传送带装置100之间间距过大待测物110容易从所述空隙中滑落,如果所述旋转率半径较小,曲率较大,容易导致传送带102与待测物110接触的表面不平。具体的,本实施例中,相邻传送带装置100之间的最小间距为40mm~55m,例如45mm;旋转轮101的直径为13mm~17mm,例如15mm;皮带的直径为1.5mm~2.5mm,例如2mm。
所述第一探测装置111包括物镜和图像传感器,所述物镜用于收集第一信号光和第二信号光,并将第一信号光和第二信号光汇聚至所述图像传感器上;所述图像传感器用于根据所述第一信号光和第二信号光获取第一探测信息。
本实施例中,所述第二频闪光源122为背光源,则所述第二探测光中心轴线与第一探测装置111的物镜光轴平行。由于第一频闪光源121为明场光源,所述第一探测装置111和第一频闪光源121分别位于垂直所述传送方向的平面两侧,且第一探测光的中心轴与垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角等于第一探测装置111的物镜光轴与垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角。
本实施例中,待测物110为手机壳或平面玻璃。
在其他实施中,第一探测光的中心轴与垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角可调;第一探测装置的物镜光轴与垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角可调。
如果第二探测光中心线与所述垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角过大,则第二探测光容易被传送带装置100遮挡;如果第二探测光中心线与所述垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角过小,则第二探测光和第二信号光容易被第一频闪光源121遮挡。具体的,本实施例中,所述第二探测光中心线与所述垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角为25°~35°。
在其他实施例中,第二探测光中心线与垂直所述传送方向的平面之间的锐角夹角可调。
图2和图3是本发明的检测设备另一实施例的结构示意图。
请参考图2和图3,图3是图2中区域1中部分沿x方向的侧视图。
本实施例与上一实施例的相同之处在此不多做赘述,不同之处包括:
本实施中,所述检测设备还包括:第一照明光源131,所述第一照明光源131为弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝背离承载面的方向凹陷;
所述第一照明光源131被配置为向待测物110发射第四探测光,所述第四探测光经待测物110反射形成第四信号光,所述第一照明光源131与第一频闪光源121分别用于照射待测物110相对的两个表面;第二探测装置112,用于探测所述第四信号光获取第二探测信息。
具体的,本实施例中,所述待测物110包括相对的第一面和第二面,所述第一面和第二面具为弧面;所述第一面为凹面,即所述第一面朝向第二面凹陷;所述第二面为凸面,即所述第二面朝背离第一面的方向凸出。
本实施例中,所述第一频闪光源121的发光面为平面,则所述第一频闪光源121用于照射所述第一面,从而对所述第一面进行检测。
所述第一照明光源131被配置为向具有至少一个弯曲检测表面的待测物提供探测光,所述弯曲检测表面在弯曲方向上至少有两个位置的法线不平行;
第二探测装置112用于采集所述探测光在所述待测物沿所述弯曲方向连续的表面的反射光。
本实施例中,所述第一频闪光源121和第二照明光源141能够实现对弯曲待测物110的双面检测。
所述第一照明光源131为弧形光源,用于照射凸面,从而对凸面进行检测。由于所述第一照明光源131为弧形光源,所述弧形光源向凸面发射的第四探测光的传播方向不同,容易保证第四探测光经过凸面反射后形成的第四信号光能够被第二探测装置112接收,从而能够对凸面进行检测。
所述第二探测装置112的镜头的光轴与垂直传送方向的平面之间具有第一锐角夹角。所述第一照明光源131发射的第四探测光具有对称面,所述对称面与垂直于所述传送方向的平面之间具有第二锐角夹角,所述第二锐角夹角等于第一锐角夹角。
本实施中,所述一个或多个空隙还包括第二空隙。
本实施例中,至少部分第一照明光源131及所述第二探测装置112位于承载面靠近移动装置的一侧。所述第四探测光穿过所述第二空隙入射至所述待测物110表面。
如果所述第一锐角夹角过大,容易被移动装置遮挡;如果所述第一锐角夹角过小,不利于第二探测装置112和第一照明光源131的安装。具体的,所述第一锐角夹角为10°~20°。
本实施例中,所述第一照明光源131的发光面为连续的曲面。即所述第一照明光源131中间不具有开口,则所述第一照明光源131能够为待测物110提供强度较均匀的第四探测光,从而能够提高检测精度。
图4是本发明的检测设备第三实施例的结构示意图。
请参考图4,本实施例与图2和图3所示实施例的相同之处在此不多做赘述,不同之处包括:
本实施例中,所述检测设备还包括:第二照明光源141,用于向待测物110发射第六探测光,所述第六探测光经待测物110形成第六信号光;第四探测装置113,用于探测所述第六信号光,获取第四探测信息。
第三照明光源142,用于向待测物110发射第七探测光,所述第七探测光经待测物110形成第七信号光;第五探测装置114,用于探测所述第七信号光,获取第五探测信息。
本实施例中,所述第一频闪光源121为明场光源;所述第二频闪光源122为背光源;所述第二照明光源141为暗场光源,所述六信号光为第六探测光经待测物110散射形成的散射光。所述第一照明光源131为明场光源,所述第三照明光源142为暗场光源。在其他实施例中,所述第一频闪光源为暗场光源,所述第二频闪光源为背光源,所述第二照明光源为明场光源;或者,所述第一频闪光源为明场光源,所述第二频闪光源为暗场光源,所述第二照明光源为背光源,所述第三照明光源为暗场光源。
具体的,第二照明光源141用于向所述第三空隙发射第六探测光,所述第六探测光经待测物110散射形成第六信号光;
第四探测装置113用于探测所述第六信号光获取第四探测信息;
第三照明光源142,用于向所述第三空隙发射第七探测光,所述第七探测光经待测物散射形成第七信号光,所述第三照明光源142和第二照明光源141分别用于照射待测物110相对的两个面;
第五探测装置114用于探测所述第七信号光获取第四探测信息。
本实施例能够实现对待测物110双面的明场和暗场检测,以及背光检测,从而能够对待测物110进行多通道检测,进而提高检测精度,减少缺陷的漏检。
本实施例中,所述第二照明光源141和第三照明光源142的个数为一个。在其他实施例中,所述第二照明光源为暗场光源时,所述第二照明光源的个数可以为多个,多个第二照明光源发射的第六探测光的传播方向不同。所述第三照明光源为暗场光源时,所述第三照明光源的个数可以为多个,多个第三照明光源发射的第七探测光的传播方向不同。
本实施例中,所述第六探测光的传播方向垂直于所述承载面;所述第四探测装置113的镜头的光轴与垂直于所述传送方向的平面之间具有锐角夹角。所述第七探测光的传播方向与垂直于所述传送方向的平面之间具有锐角夹角,所述第五探测装置114的镜头光轴与承载面法线平行。
图5是本发明检测设备第四实施例的结构示意图。
请参考图5,本实施例图1所示实施例的相同之处在此不做赘述,不同之处包括:
本实施例中,所述第二频闪光源221为暗场光源。在其他实施例中,所述第二频闪光源可以为背光源。
本实施例中,所述检测设备还包括第三频闪光源222,被配置为向待测物110发射第三探测光,所述第三探测光经待测物110形成第三信号光,所述第一光源、第二光源和第三光源被配置为多次交替地向所述待测物110发射第一探测光、第二探测光和第三探测光;所述第一探测装置111还被配置为探测所述第三探测光。
本实施例中,所述第三频闪光源222为暗场光源,所述第三频闪光源222的个数为一个或多个,多个暗场光源发射的探测光的传播方向不同。
所述控制装置还用于向第三频闪光源222和第一探测装置111发射第三频闪触发信号,所述第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号的触发时间交替排列。
图6是本发明的检测设备第五实施例的结构示意图。
请参考图6,本实施例与图5所示实施例的相同之处在此不多做赘述,不同之处包括:
本实施例中,所述检测设备还包括:第四频闪光源224,用于向待测物110发射第五探测光,所述第五探测光经待测物110形成第五信号光,所述第四频闪光源224与第一频闪光源121分别位于承载面两侧;第三探测装置211,用于探测所述第五信号光获取第三探测信息,所述第三探测装置211和第一探测装置111分别位于所述承载面两侧。
所述第一频闪光源121位于承载面远离移动装置的一侧,所述第四频闪光源224位于承载面靠近移动装置的一侧。所述第五探测光穿过所述第一空隙照射所述待测物110表面。
所述第一探测装置111和第二探测装置112在承载面的探测区域至少部分重叠。
本实施例中,所述第一频闪光源121、第二频闪光源221、第三频闪光源222和第四频闪光源224交替向待测物110发射探测光。所述第一探测装置111在任意一个频闪光源发光时分别进行一次拍摄处理,获取相应的第一探测信息;所述第三探测装置211在任意一个频闪光源发光时分别进行一次拍摄处理,获取相应的第三探测信息。
本实施例中,所述控制装置还用于向第四频闪光源224和第一探测装置111发送第四频闪触发信号,所述第一频闪触发信号、第二频闪触发信号、第三频闪触发信号和第四频闪触发信号的触发时间交替排列。当不存在第三频闪光源222时,不发送所述第三频闪触发信号。
本实施例中,所述控制装置还用于向所述第二探测装置112发送第一频闪触发信号、第二频闪触发信号、第三频闪触发信号和第四频闪触发信号。
本实施例中,所有探测光的波长相同。具体的,所述第一探测光、第二探测光、第三探测光和第四探测光的波长相同。
本实施例中,所述第一探测装置111还用于探测透过待测物110的第五信号光;所述第二探测装置112还用于探测透过待测物110的第一信号光、第二信号光和第三信号光。
本实施例中,所述第三探测装置211探测的第五信光为第五探测光经待测物散射形成的散射光。所述第四频闪光源224的个数为一个或多个。在其他实施例中,所述第三探测装置211探测的第五信光为第五探测光经待测物反射形成的反射光。
本实施例中,所述第一探测装置111获取第一探测信息的频率大于或等于第一频闪光源121、第二频闪光源221、第三频闪光源222和第四频闪光源224闪光频率之和。当所述检测设备不包括所述第三频闪光源222时,所述第一探测装置111获取第一探测信息的频率大于或等于第一频闪光源121、第二频闪光源221和第四频闪光源224闪光频率之和。
在其他实施例中,所述检测设备可以不包括第三频闪光源222,则第一频闪光源121、第二频闪光源221和第四频闪光源224多次交替地向待测物110发射探测光。所述第一探测光、第二探测光和第四探测光的波长相同。所述第一探测装置111还用于探测第五信号光;所述第三探测装置211还用于探测第一信号光和第二信号光。
在另一实施中,所述第一探测光和第五探测光的波长不相同,所述的第二探测光与第五探测光的波长不同。所述第一探测装置111包括第一滤光组件,用于滤除第五信号光;所述第三探测装置211包括第二滤光组件,用于滤除第一信号光和第二信号光。当所述检测设备包括第三频闪光源222时,所述第二滤光组件还用于滤除第三信号光。
所述第一滤光组件包括滤光片和光栅中的一种或多种组合;所述第二滤光组件包括滤光片和光栅中的一种或多种组合。
所述第一频闪光源121和第二频闪光源221多次交替地向待测物110发射探测光,第一探测装置111多次交替地获取第一信号光和第二信号光。当所述第四频闪光源224的个数为多个时,多个第四频闪光源224多次交替地向待测物110发射第五探测光。第四频闪光源224与第一频闪光源121、第二频闪光源221或第三频闪光源222可以同时发射探测光。
具体的,所述控制装置用于向第一频闪光源121和第一探测装置111发送第一频闪触发信号,向第二频闪光源221和第一探测装置111发送第二频闪触发信号,向第四频闪光源224和第二探测装置112发送第四频闪触发信号。当存在第三频闪光源222时,所述控制装置还用于向第三频闪光源222和第一探测装置111发送第三频闪触发信号。
所述处理系统根据第一频闪触发信号的触发时间以及第一探测装置111的第一探测信息获取第一图像;根据第二频闪触发信号的触发时间以及第一探测装置111的第一探测信息获取第二图像;根据第三频闪触发信号的触发时间以及第一探测装置111的第一探测信息获取第三图像;分别根据多个不同第四频闪触发信号的触发时间以及第三探测装置211的第三探测信息获取第四图像。
第一探测装置111获取探测信息的频率大于或等于第一频闪光源121、第二频闪光源221和第三频闪光源222之和;当不存在第三频闪光源222时,第一探测装置111获取探测信息的频率大于或等于第一频闪光源121和第二频闪光源221的闪光频率之和。所述第三探测装置211获取探测信息的频率大于或等于第四频闪光源224的闪光频率之间。
本实施例中,所述第一探测装置111获取探测信息的频率即第一探测装置111拍摄图像的频率;所述第三探测装置211获取探测信息的频率即第三探测装置211拍摄图像的频率。
第四频闪触发信号的触发时间可以与第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号的触发时间部分或全部重叠,能够同时获取不同检测通道的探测信息,能够提高检测速度。同时,第一探测装置111拍摄图像的频率可以较低,从而能够增加拍摄图像的曝光时间,进而增加图像的清晰度,提高检测精度。
图7是本发明的检测方法一实施例各步骤的流程图。
请参考图7,本发明实施例还提供一种检测方法,包括:
步骤S01,将待测物放置于检测设备的承载面。
步骤S02,通过第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光;
步骤S03,通过第一探测装置多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。
下面结合附图对检测方法进行详细说明。
结合参考图4,提供待测物110,所述待测物110包括待测区;提供检测设备。
本实施例中,所述待测物110为曲面或平面玻璃。具体的,所述待测物110为手机壳。所述待测物110包括相对的第一面和第二面,所述第一面为凹面,所述第二面为凸面。所述第二面包括平面和与平面两端连接的弧面。
继续结合参考图4,执行步骤S01,将待测物110放置于检测设备的承载面。
本实施例中,将所述待测物110放置于所述传送装置的承载面包括:使所述第二面与所述承载面接触。所述第二面与所述承载面接触能够使待测物110的平面与承载面接触,能够使待测物110稳定,减少待测物110在检测过程中的偏移。
继续参考图4,将待测物110放置于所述承载面之后,使待测物110相对于所述第一探测装置111、第一频闪光源121和第二频闪光源122移动。
本实施例中,所述承载装置包括移动装置,所述移动装置用于带动待测物110沿传送方向移动。在其他实施例中,可以使移动装置带动第一探测装置、第一频闪光源和第二频闪光源移动。
本实施例中,所述传送装置带动所述待测物110沿传送方向移动。当所述待测物110到达所述第二空隙时,所述检测方法还包括:使所述第一照明光源131向待测物110发射第四探测光,所述第四探测光经待测物110反射形成第四信号光;通过所述第三探测装置211对所述第四信号光进行探测,获取第二探测信息。
由于本实施例中,所述第一照明光源131的发光面为弧形,且至少部分第一照明光源131及所述第二探测装置112位于承载面靠近第二空隙的一侧,所述第一照明光源131的发光面朝背离承载面的方向凹陷,经所述平面和弧面反射形成的第四信号光均能够被第二探测装置112探测,从而能够对待测物110的凸面进行明场检测。
所述第二探测装置112的探测区域沿垂直传送方向上贯穿待测区,因此当待测物110自所述第二空隙穿过之后,所述检测设备能够对整个探测区第二面进行检测。
在对所述待测物110进行检测的过程中,所述待测物110相对于第一照明光源131和第二探测装置112移动。
当所述待测物110到达所述第三空隙时,所述检测方法还包括:使所述第二照明光源141向所述待测物110发射第六探测光,所述第六探测光经待测物110形成第六信号光;通过所述第四探测装置113对所述第六信号光进行探测,获取第四探测信息;使所述第三照明光源142向所述待测物110发射第七探测光,所述第七探测光经待测物110形成第七信号光;通过所述第五探测装置114对所述第七信号光进行探测,获取第五探测信息。
本实施例中,所述第六信号光为第五探测光经待测物110第一面散射形成的散射光;所述第七信号光为第七探测光经待测物110第二面散射形成的散射光。当所述待测物110自所述第三空隙穿过之后,能够实现对待测区第一面和第二面的暗场检测。
继续结合参考图4,执行步骤S02,通过第一频闪光源121和第二频闪光源122多次交替地向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光,所述第一探测光经待测物110形成第一信号光,所述第二探测光经待测物110形成第二信号光;执行步骤S03,通过第一探测装置111多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息。
所述检测设备包括第一频闪光源121和第二频闪光源122。由于所述第一频闪光源121和第二频闪光源122被配置为多次交替地向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光,第一探测装置111被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,则能够根据探测时间将第一探测装置111根据第一信号光和第二信号光获取的第一探测信息分离,获取不同通道的第一探测信息。由于时间不会有重叠,从而能够提高检测精度。同时,所述检测设备能够通过一个第一探测装置111获取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,从而能够简化检测设备的结构,提高集成度,并能够降低成本。
当所述待测物110到达第一空隙时,向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光。
通过第一频闪光源121和第二频闪光源122多次交替地向所述待测物110发射第一探测光和第二探测光包括:通过控制装置向第一频闪光源121和第一探测装置111发送第一频闪触发信号,向第二频闪光源122和第二探测装置112发送第二频闪触发信号。
本实施例中,所述第一信号光为第一探测光经第一面反射形成的反射光,所述第一频闪光源121和第一探测装置111能够实现对第一面的明场检测。所述第二频闪光源122为背光源,所述第二频闪光源122和第一探测装置111能够实现对待测物110的背光检测。
所述检测方法还包括通过处理系统根据第一探测装置111不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,形成第一图像和第二图像。
具体的,形成第一图像和第二图像包括:根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像;根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
具体的,形成第一图像包括:根据第一频闪触发信号的触发时间获取第一探测装置111的第一探测信息,并进行拼接形成第一图像;形成第二图像包括:根据第二频闪触发信号的触发时间获取第一探测装置111的第一探测信息,并进行拼接形成第二图像。
结合参考图6,本发明实施例还提供另一种检测方法。
本实施例的检测方法与上一实施例的相同之处在此不做赘述,不同之处包括:
多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光包括:使所述第一频闪光源121、第二频闪光源221和第四频闪光源224多次交替地向待测物110发射探测光;
获取第一探测信息包括:通过第一探测装置111多次交替地探测第一信号光、第二信号光、第三信号光和第五信号光。当不存在第三频闪光源时,不探测第三信号光。
所述检测方法还包括:通过第三探测装置211多次交替地探测第一信号光、第二信号光、第三信号光和第五信号光,获取第三探测信息。当不存在第三频闪光源时,不探测第三信号光。
所述检测方法还包括:向所述第三探测装置211发送第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号,使所述第三探测装置211根据第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号获取第四探测信息。当不存在第三频闪光源222时,不发送第三频闪触发信号。
本实施例中,所述检测方法还包括:向所述第三探测装置211和第四频闪光源224发送第四频闪触发信号,使所述第三探测装置211根据第四频闪触发信号获取第三探测信息。
本实施例中,所述检测方法还包括:向所述第一探测装置111发送第四频闪触发信号;向所述第三探测装置211发送第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号。当不存在第三频闪光源222时,不发送第三频闪触发信号。
第一频闪触发信号、第二频闪触发信号、第三频闪触发信号和第四频闪触发信号的触发时间依次交替排列。第一频闪光源121、第二频闪光源221、第三频闪光源222和第四频闪光源224依次交替地向待测物110发射探测光,且每次光源发射探测光时,第一探测装置111和第三探测装置211均对信号光进行探测,获取第一探测信息和第三探测信息。
本实施例中,在通过第一探测装置111和第三探测装置211对待测物110进行检测的过程中,所述待测物110相对第一探测装置111、第三探测装置211、第一频闪光源121、第二频闪光源221和第四频闪光源224移动。
所述第一探测装置111和第三探测装置211的探测区域重叠。
第一频闪光源121、第二频闪光源221、第三频闪光源222和第四频闪光源224依次交替地向待测物110发射探测光至第一探测装置111获取到整个待测区第一面的探测信息。
在其他实施例中,所述第一频闪触发信号、第二频闪触发信号和第三频闪触发信号仅向第一探测装置111发送;所述第四频闪触发信号仅向第三探测装置211发送。所述第四频闪触发信号的触发时间可以与第一频闪触发信号、第二频闪触发信号或第三频闪触发信号部分或全部重叠。即第四频闪光源224可以与第一频闪光源121、第二频闪光源221或第三频闪光源222发射探测光的时间部分或全部重叠。当第四频闪光源224为多个时,多个第四频闪光源224多次交替向待测物110发射探测光。
所述第一滤光组件能够滤除第五信号光,提高检测精度。所述第二滤光组件能够滤除第一信号光、第二信号光和第三信号光,提高检测精度。
本实施例中,可以在第一空隙、第二空隙和第三空隙处对不同的待测物同时进行检测。
虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (16)

1.一种检测设备,包括用于放置待测物的承载面,其特征在于,检测设备包括:
第一频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第一探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光;
第二频闪光源,被配置为向承载面的待测物发射第二探测光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光,所述第一频闪光源和第二频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光;
第一探测装置,被配置为多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息;
所述检测设备还包括:第一照明光源,所述第一照明光源为弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝背离承载面的方向凹陷;
所述第一照明光源被配置为向待测物的凸面发射第四探测光,所述第四探测光经待测物反射形成第四信号光,其中,所述待测物包括相对的第一面和第二面,所述第一面为凹面,所述第二面为凸面,所述第二面与承载面接触;第二探测装置,用于探测所述第四信号光获取第二探测信息;
所述检测设备还包括:移动装置,所述移动装置包括多个传送带装置,多个传送带装置用于使待测物沿相同的传送方向移动,所述承载面位于传送带装置表面;相邻传送带装置之间具有空隙;所述传送带装置具有一个或多个空隙,所述一个或多个空隙包括第二空隙,检测时所述待测物位于所述承载面且横跨所述第二空隙;
所述第四探测装置及至少部分第一照明光源位于所述承载面靠近第二空隙一侧,所述第四探测光用于穿过所述第二空隙到达所述待测物表面;
所述第一频闪光源为明场光源,所述第二频闪光源为暗场光源或背光源;或者,所述第一频闪光源和第二频闪光源均为暗场光源,所述第一探测光和第二探测光的传播方向不同;或者,所述第二频闪光源为明场光源,所述第一频闪光源为暗场光源或背光源;
所述第一照明光源与第一频闪光源分别用于照射待测物相对的两个表面。
2.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一探测光和第二探测光的波长相同。
3.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述检测设备还包括第三频闪光源,被配置为向待测物发射第三探测光,所述第三探测光经待测物形成第三信号光,所述第一频闪光源、第二频闪光源和第三频闪光源被配置为多次交替地向所述待测物发射第一探测光、第二探测光和第三探测光;所述第一探测装置还被配置为探测所述第三探测光;所述第三频闪光源为暗场光源,所述第三频闪光源的个数为一个或多个,多个暗场光源发射的探测光的传播方向不同。
4.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一频闪光源和第二频闪光源为线光源,所述第一频闪光源和第二频闪光源在待测物表面形成光斑的延伸方向垂直于传送方向,且光斑沿传送方向贯穿待测物的待测区。
5.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一探测装置的频率为15k~25k次/秒;所述第一频闪光源的闪光频率为30k~50k次/秒;所述第二频闪光源的闪光频率为30k~50k次/秒。
6.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一频闪光源为明场光源,所述第一频闪光源的发光面为平面或弧面。
7.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一频闪光源为明场光源,所述第二频闪光源为背光源;所述一个或多个空隙包括第三空隙;所述检测设备还包括:
第二照明光源,用于向所述第三空隙发射第六探测光,所述第六探测光经待测物散射形成第六信号光;
第四探测装置,用于探测所述第六信号光获取第四探测信息;
第三照明光源,用于向所述第三空隙发射第七探测光,所述第七探测光经待测物散射形成第七信号光,所述第三照明光源和第二照明光源分别用于照射待测物相对的两个面;
第五探测装置,用于探测所述第七信号光获取第四探测信息。
8.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,还包括:处理系统,用于根据第一探测装置不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,形成第一图像和第二图像。
9.如权利要求8所述的检测设备,其特征在于,还包括:控制装置,用于向第一频闪光源和第一探测装置发送第一频闪触发信号,向第二频闪光源和第一探测装置发送第二频闪触发信号,所述第一频闪触发信号和第二频闪触发信号的触发时间交替排列;
所述处理系统用于根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像,并根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
10.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,还包括:第四频闪光源,用于向待测物发射第五探测光,所述第五探测光经待测物形成第五信号光,所述第四频闪光源与第一频闪光源分别位于所述承载面两侧;第三探测装置,用于探测所述第五信号光获取第三探测信息,所述第三探测装置和第一探测装置分别位于所述承载面两侧。
11.如权利要求10所述的检测设备,其特征在于,所述第一频闪光源、第二频闪光源和第四频闪光源用于交替地向待测物发射探测光;
或者,所述第四探测光与第一探测光的波长不相同,且所述第四探测光与第二探测光的波长不相同;第一探测装置包括第一滤光组件,用于滤除第四信号光;所述第三探测装置包括第二滤光组件,用于滤除第一信号光和第二信号光。
12.一种基于权利要求1~11任意一项所述的检测设备的检测方法,其特征在于,包括:
将待测物放置于检测设备的承载面;
通过第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光,所述第一探测光经待测物形成第一信号光,所述第二探测光经待测物形成第二信号光;
通过第一探测装置多次交替地探测所述第一信号光和第二信号光,获取第一探测信息;
当所述检测设备还包括:第一照明光源,所述第一照明光源为弧形光源,所述弧形光源的发光面为弧面,所述弧形光源的弧面朝背离承载面的方向凹陷;所述第四探测光用于穿过所述第二空隙到达所述待测物表面时;
所述待测物包括相对的第一面和第二面,所述第一面为凹面,所述第二面为凸面;
将待测物放置于检测设备的承载面包括:使所述第二面与承载面接触。
13.如权利要求12所述的检测方法,其特征在于,所述检测设备还包括处理系统时,检测方法还包括:通过处理系统根据第一探测装置不同时刻的第一探测信息,分别提取第一信号光和第二信号光的第一探测信息,形成第一图像和第二图像。
14.如权利要求13所述的检测方法,其特征在于,所述检测设备还包括控制装置时,通过第一频闪光源和第二频闪光源多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光包括:通过控制装置向第一频闪光源和第一探测装置发送第一频闪触发信号;向第二频闪光源和第二探测装置发送第二频闪触发信号;
形成第一图像和第二图像包括:根据所述第一频闪触发信号的触发时间获取第一信号光的第一探测信息形成第一图像;根据所述第二频闪触发信号的触发时间获取第二信号光的第一探测信息形成第二图像。
15.如权利要求12所述的检测方法,其特征在于,当检测设备还包括:第四频闪光源和第三探测装置时;
多次交替地向所述待测物发射第一探测光和第二探测光包括:使所述第一频闪光源、第二频闪光源和第四频闪光源多次交替地向待测物发射探测光,其中,所述第四频闪光源用于向待测物发射第五探测光,所述第五探测光经待测物形成第五信号光;
获取第一探测信息包括:通过第一探测装置多次交替地探测第一信号光、第二信号光和第五信号光;
所述检测方法还包括:通过第三探测装置多次交替地探测第一信号光、第二信号光和第五信号光,获取第三探测信息。
16.如权利要求15所述的检测方法,其特征在于,所述第五探测光与第一探测光的波长不相同,且所述第五探测光与第二探测光的波长不相同时;
所述检测方法还包括:通过第三探测装置探测所述第五信号光,获取第三探测信息;通过第三探测装置探测所述第五信号光的时刻与第一探测装置探测第一信号光或第二信号光的时刻部分或全部重叠。
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