DE1773635B2

DE1773635B2 - Vorrichtung zur oberflaechenpruefung von koerpern mit reflektierender oberflaeche

Info

Publication number: DE1773635B2
Application number: DE19681773635
Authority: DE
Inventors: Jaroslav Dipl.-Ing.; Panek Jirzi Dipl.-Ing.; Havel Stanislav Dipl.-Ing.; Prag Brany
Original assignee: Vyzkumny Ustav Strojirenske Technologie A Ekonomiky, Prag
Priority date: 1968-06-15
Filing date: 1968-06-15
Publication date: 1976-05-06
Also published as: DE1773635A1; US3586864A; DE1773635C3

Description

der Diode des Speicherkreises und dem Speicherkondensator über eine weitere Diode und ein?n veränderlichen Widerstand eine Hilfsspannung angeschlossen ist, wobei die an dem Punkt anliegenden Dioden gegensinnig gepolt sind. S

Anders als bei der entgegengehaltenen Vorrichtung wird also bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Spannung am Ausgang des Speicherkreises nicht direkt einem Eingang des Differenzverstärkers zugeführt, sondern nur ein über einem Potentiometer abgegriffener Teil dieser Spannung. Die Auslöseschaltung spricht »n, und ein Fehler wird somit als solcher nachgewiesen, sobald die Spannung am Ausgang des nicht speichernden Kreises gleich dem am Potentiometer abgegriffenen Spannungsteil des Speicherkreises und damit die Spannung am Ausgang des Differenzverstärkers zu Null wird. Ob die Spannungswerte am Üiingang des Differenzverstärkers einander gleich werden oder nicht, hängt nur von der Größe des Oberflächenfehlers des Körpers ab, nicht jedoch von seinem durch seine Geometrie und die Abtastgeschwindigkeit des Abtaststrahls gegebenen zeitlichen Verlauf am Ort des Abtaststrahls solange jedenfalls, und das ist immer vorausgesetzt, die Randbedingung eingehalten ist, daß die Änderungen verglichen mit der Zeitkonstanten des Speicherkreises rasch vor sich gehea Die Eichung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist somit im Rahmen der durch die Zeitkonstante des Speicherkrtises gegebenen Grenzen unabhängig von der Geschwindigkeit, mit der der Prüfling abgetastet wird. Es liegt eine reine Amplitudenauswertung des Fehlers vor.

Überdies läßt sich bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung schon wegen des linearen Zusammenhangs zwischen Potentiometerstellung und Grenzfehler dieser wesentlich leichter einstellen und hinsichtlich seiner Einstellung beurteilen als bei der bekannten Vorrichtung, wo Veränderungen am Differenzierglied vorgenommen werden müssen. Durch die Ausbildung der Widerstandselemente in den beiden Kreisen als Dioden und die Zuführung einer einstellbaren Hilfsspannung über eine Diode an den gemeinsamen Punkt von Potentiometer und Diode des Speicherkreises wird es möglich, ein Absinken der Potentiometerausgangsspannung unter einen gewissen Wert zu verhindern und somit beim Absinken der Spannung am Verstärkerausgang unter einen bestimmten Wert in jedem Fall ein Ansprechen der Vorrichtung zu erreichen.

Die Merkmale und Vorteile der Erfindung werden nachstehend an Hand von Zeichnungen in Ausführungsbeispielen näher erläutert. Hierbei zeigt so

Fig. 1 eine Schaltung zur Oberflächenprüfung von unbegrenzten Rächen,

Fig.2 eine Schaltung zur Oberflächenprüfung von begrenzten Flächen,

F i g. 3 die Schaltung des Speicherkreises der in F i g. 2 dargestellten Anordnung,

Fig.4 die Spannungsverhältnisse an verschiedenen Stellen des Speicherkreises aus F i g. 3 und

Fig.5 ein Blockschaltbild einer Schaltung mit zwei Speicherkreisen zur Oberflächenprüfung insbesondere von unbegrenzten Flächen.

Die Anordnung zur Oberflächenprüfung nach F i g. 1 ist besonders für Kugeln geeignet Der Beleuchtungsteil besteht aus einer BeleuchtungsqueJle 1 und einer Beleuchtungsoptik 14. Der Abtastteil besteht aus einer Abtastoptik 15, einer Blende 16 und einer Photozelle 3. Ein Verstärker 4 ist einerseits über eine Diode 5 des direkten Zweiges an den einen Eingang eines Differenzverstärkers 11 angeschlossen und lädt andererseits über eine Diode 6 des Speicherzweiges einen Speicherkondensator 8 auf. Diesem Speicherkondensator 8 ist ein Potentiometer 10 parallel geschaltet Außerdem ist an dem Eingang des Speicherkondensators 8 über eine Hiifsdiode 9 und einen veränderlichen Widerstand 13 eine Hilfsspannung angeschlossen. Der Schleifer des Potentiometers 10 ist an den zweiten Eingang des Differenzverstärkers 11 und der Ausgang des Differenzverstärkers an eine Auslöseschaltung 12 angeschlossen. Im direkten Zweig ist der Symmetrie wegen ein Widerstand 7 vorgesehen.

Um nun die Oberflächenfehler der Körper mit reflektierender Oberfläche prüfen zu können, ohne daß veränderliche Faktoren, wie z. B. die Glanzschwankung der Oberfläche und/oder die Änderungen der Parameter des optischen Kanals und/oder die Änderungen der Verstärkungseigenschaften des Verstärkers und/oder das Reflexionsprofil des Fehlers auf der Oberfläche in die Messung eingehea ist es nötig, diese Faktoren von einem Einfluß auf das Meßergebnis auszuschließen, und das Meßergebnis nur von den wirklichen Fehlern und allein von deren Größe abhängig zu machen. Dies wird, wie schon ausgeführt, erfindungsgemäß dadurch erreicht daß das Auflösungsvermögen der Schaltung nur durch die Größe der Kompensationsspannung bestimmt wird, welche durch das Potentiometer fließend eingestellt werden kann. Das abgetastete und das verstärkte Signal werden auf zwei Zweige, auf einen direkten und einen Speicherzweig, aufgeteilt Im direkten Zweig wirkt das Signal direkt auf den Differenzverstärker, und im Speicherzweig wird der Pegel des Signals gespeichert Von diesem Pegel wird die Kompensationsspannung, die auf den zweiten Eingang des Differenzverstärkers wirkt, abgeleitet Sind die Spannungen sowohl des direkten Zweiges, das ist des Meßzweiges, als auch die Spannungen des Speicherzweiges, das ist des Kompensationszweiges, gleich, so werden nachgeschaltete Kippkreise in Wirkung gesetzt und mit Hilfe eines Sortiermechanismus die entsprechenden Teile als fehlerhaft aussortiert

Ist die Auslöseschaltung so eingestellt, daß der Fehler in dem Augenblick indiziert wird, wenn die Spannung E_m des direkten Meßzweiges und die Spannung £* des Speicherkompensationszweiges gleich sind, das ist

1E = E_n, -E₁₁ = Q,
so gelten folgende vereinfachte Beziehungen:

AE = E_m - E_k = *„*[«, (F₁ - F_x) + F_xa_xl- Ic^F₁ «, ,

(D

(2)

kk die Proportionalitätskonstante des Speicherzwei- λ* der Koeffizient des Reflexionsvermögens der

ges und 65 fehlerhaften Oberfläche,

k_m die des direkten Zweiges ist, Fi die gesamte Fläche der geprüften Stelle,

«ι der Koeffizient des Reflexionsvermögens der F, die Fläche des Fehlers und

guten Oberfläche. Φ der Lichtstrom der Quelle.

Wenn R] der Widerstand zwischen dem Mittelabgriff des Potentiometers 10 und Erde und /?2 der Widerstand zwischen der Zuführung zum Potentiometer 10 und Erde ist, so gilt weiter:

R₁

~ "Ά7

- k ^Rl K₁

Für einen schwarzen Fehler ist der Koeffizient des Reflexionsvermögens

"x = 0. (4)

Durch Einsetzen von (3) und (4) in (2) wird

\E = fc_m0u,
Für ζ! E = Owird

Es ergibt sich also, daß der Grenzfehler (ausgedrückt durch seine Fläche) vom Lichtstrom Φ und vom Koeffizienten des Reflexionsvermögens «r unabhängig ist und nur von der Lage des Mittelabgriffs des Potentiometers 10 abhängt, der nach den auszusortierenden Fehlergrößen eingestellt wird.

Die Anordnung nach F i g. 2 ist besonders für Zylinder-, Tonnen und Kegelrollen geeignet. Im Beleuchtungs-, Abtast- und Verstärkerteil entspricht sie genau der Anordnung für die Kugeln, welche in F i g. 1 dargestellt ist Der Verstärker 4 nach F i g. 2 ist jedoch an einen Phaseninverter 17 angeschlossen, dessen einer Ausfang Ober die Hilfsdiode 5 des direkten Zweiges und einen Trennkodensator 18 an einen Eingang des Differenzverstärkers 11 und dessen zweiter Ausgang über die Diode 6 des Speicherzweiges an den Speicherkondensator 8 angeschlossen ist An dasselbe Ende des Speicherkondensators 8 ist über die Hilfsdiode 9 und den veränderlichen Widerstand 13 eine Hilfsspannunf angeschlossen. Zum Speicherkondensator 8 sind Potentiometer 10, 19, 20 parallel geschaltet Der Mittelabgriff des Potentiometers 10 ist über Kontakte 21,22 an den Differenzverstärker 11 angeschlossen; der Mittelabgriff des Potentiometers 19 ist über umschaltbare Kontakte 21,22 an den Differenzverstärker 11, und der Schleifer des Potentiometers 20 Ober den umschaltbaren Kontakt 22 an den Differenzverstärker 11 angeschlossen.

Die Fi g. 5 zeigt eine Anordnung mit zwei Speicherkreisen, die besonders zum Sortieren von weichen Körpern mit besonderer Empfindlichkeit auf diese Fehler geeignet ist Der Verstärker 4 ist einerseits mit einem Eingang eines Differenzverstärkers 25 zur Verstärkung der schnellen Signale und andererseits mit einem Speicherkreis 23 zur Aufnahme der momentanen Mittelwerte der Signale mit kurzer Zeitkonstante und mit einem Speicherkreis 24 für die Aufnahme des maximalen Wertes des Signals mit langer Zeitkonstante verbunden. Der Speicherkreis 23 für die Aufnahme des momentanen Mittelwertes ist einerseits an den zweiten Eingang des Differenzverslärkers 25 für die Verstärkung der schnellen Signale und andererseits an einen Eingang des Differenzverstärkers 26 für die Verstärkung der langsamen Signale angeschlossen. An den zweiten Eingang dieses Differenzverstärkers 26 ist der Speicherkreis 24 für die Aufnahme des maximalen Wertes angeschlossen.

ίο Es weise nun der Prüfling 2 eine unbegrenzte Fläche auf, wie z. B. eine Kugel für ein Kugellager (F i g. 1). Er wird dann durch eine Lichtquelle über ein optisches System 14 beleuchtet und durch die Optik 15 abgetastet. Der in dieser Weise aufgenommene Lichtstrom wird

über den Schlitz der Blende 16, welche die Größe der zu prüfenden Stelle begrenzt, der Photozelle 3 geführt. Das Signal aus der Photozelle 3 wird durch den Verstärker 4 verstärkt und dann auf zwei Zweige (einen direkten und einen Speicherzweig) verteilt. Im direkten Zweig geht

das Signal über die Diode 5 in den Differenzverstärker 11, und im Speicherzweig lädt es über die Diode 6 den Speicherkondensator 8 auf. Die Spannung an diesem Kondensator 8 wird für einen gewissen Zeitabschnitt (Abschnitt der geprüften Oberfläche), dessen Länge

durch die Zeitkonstante des Speicherkreises gegeben ist auf der Größe des der Empfindlichkeit der Photozelle 3, der Verstärkung des Verstärkers 4, des Lichtstromes der Beleuchtungsquelle 1, und des Glanzes des Prüflings entsprechenden Maximal- oder Mittelwertes gehalten, während die Spannung am Widerstand 7 dem momentanen Wert entspricht Die Spannung am Widerstand 7 wird mit der Spannung am Mittelabgriff des Potentiometers 10 verglichen, welche einem bestimmten Teil der gesamten Spannung des Speicher-

kondensators 8 gleich ist Kommt auf der geprüften Oberfläche ein Fehler vor, so sinkt proportional zum Abfall des reflektierten Lichtstroms die Spannung am Widerstand 7, während sich die Spannung am Speicherkondensator 8 und damit auch am Schleifer des

Potentiometers 10 bei geeigneter Zeitkonstante nicht ändert Sinkt die Spannung am W n «and 7 bis auf die am Mittelabgriff des Potentiometers 10 eingestellte Spannung ab, so schaltet die Auslöseschaltung 12 die Sortierklappe und sortiert den Prüfling unter den

Ausschuß. Die Ausgangsspannungsänderungen des Verstärkers 4, die länger als die Entlade- und Aufladezeitkonstante des Speicherkondensators 8 sind, verursachen am Speicherkondensator 8 dieselbe Spannungsänderung wie am Widerstand 7 und das

Auflösungsvermögen und damit die Genauigkeit der ganzen Anlage bleiben unverändert

Bei Prüflingen mit begrenzter Fläche, wie z.B. Zyltnderrollen für Wälzlager, ist das Meßverfahren dem vorigen Falle im Grunde analog. Das Signal aus dem

Verstärker 4 wird hier auf den Phaseninverter 17 und weiter auf einen direkten und einen Speicherzweig geführt Im direkten Zweig wird es über die Diode 5 und den Trennkondensator 18 zum Verstärker 11 geführt Durch geeignete Wahl des Trennkondensators 18

können die langsamen Änderungen des von der geprüften Oberfläche reflektierten Uchtstroms, welche dadurch verursacht werden, daß die begrenzte geprüfte Oberfläche außerhalb der Kontrollstelle zu liegen kommt, abgetrennt werden. So können die Oberflächen

bis zu den Stellen der Obergänge hin kontrolliert werden. Bei den Zylinderrollen sind solche Obergänge z. B. die Obergänge der Zylinder- oder Stirnflächen zu den Radiea Diese Kontrolle wird also ohne eine

Beeinflussung des Auflösungsvermögens der Anlage durch Änderungen des Glanzes der geprüften Oberfläche oder Schwankungen der Parameter des photoelektrischen Kanals bis hinter den Phaseninverter 17 durchgeführt Für den Grenzfehler bei normalem Glanz der geprüften Oberfläche und den Nennparametern des photoelektrischen Kanals, zeigen die F i g. 4a, 4b die Spannungsverläufe an einzelnen Stellen der Anlage. Die Spannungen sind in der Fig.3 näher bezeichnet. Die Fig.4c, 4d zeigen dieselben Spannungen für den Fall, daß der Glanz des Prüflings und die Nennparameter des photoelektrischen Kanals um den Faktor A geändert werden und diese Änderung mindestens dreimal länger als die Auflade- und Entladezeitkonstante des Speicherkondensators 8 ist Da alle in Fig.4 dargestellten Spannungen gleich geändert werden, bleibt das Auflösungsvermögen der Anlage konstant Die Potentiometer 10,19, 20, deren Mittelabgriffe über die durch Nocken betätigten Kontakte 21,22, an den Eingang des Differenzverstärkers 11 angeschlossen sind, ermöglichen es, während der Sortierung eines Teiles verschiedenes Auflösungsvermögen einzustellen, wie es z. B. bei der Kontrolle von Zylinderrollen für Wälzlager notwendig ist, wo die Stirnen, Radien und Mantel geprüft werden.

Um bei der Prüfung von Gegenständen, sowohl mit begrenzter als auch mit unbegrenzter Fläche auch solche Teile, deren Glanz die zulässigen Grenzen unterschreitet sortieren zu können, wird der Speicherkondensator 8 nicht nur durch das verstärkte Signal der Photozelle 3, sondern auch über den veränderlichen Widerstand 13 und die Hilfsdiode 9 von einer Hilfsspannungsquelle aufgeladen und auf diese Weise auf einem gewissen Minimalwert gehalten, der unter noch näher erläuterten Bedingungen auch das Aussortieren von Teilen mit einem Glanz außerhalb der zulässigen Grenzen bewirkt wie es z. B. der Fall bei weichen Teilen oder Teilen mit kleinerem Glanz ist.

Liegen die Schwankungen des Glanzes bei guten Teilen im Bereich A ■ U und die Änderungen der Signalgröße, die von Schwankungen der Lichtstärke der Beleuchtungsquelle 1, von Schwankungen der Empfindlichkeit der Photozelle 3, von Schwankungen der Parameter der optischen Elemente 14, 15 und von Schwankungen der Verstärkung 4 verursacht werden, im Bereich B- U, wo i/die dem maximalen Glanz eines normalen Körpers (100%) entsprechende Spannung ist und die Koeffiziente A, B, entsprechende Schwankungen des Glanzes bzw. Änderungen der Parameter des photoelektrischen Kanals bis hinter den Verstärker 4 ausdrücken, dann genügt es, die Änderungen des Glanzes nur im Bereich U (A + B) τα kompensieren. Am Speicherkondensator 8 kann dann dauernd die Spannung [7(1 — A — B) angeschlossen sein.

Weiche Teile oder Teile mit kleinerem Glanz werden dann unter Ausschuß sortiert, wenn ihr Glanz gegenüber dem maximalen Glanz des normalen Körpers (U für 100%) um ό (%) sinkt:

δ (%) = (A + B) · (1 - U₁) -f O₁,

wo όι die Größe des durch das Potentiometer 10 eingestellten Fehlers ist.

Werden z. B. die Fehler die 10% des Abfalles des Lichtstromes (όι = 0,1) verursachen, bei A + B = 0,12 sortiert, so fällt jeder Gegenstand, dessen Glanz um 20,8% sinkt, unter Ausschuß.

Eine Schaltung, die es ermöglicht, sowohl Oberflächenelemente eines Prüflings als auch ganze Prüflinge hinsichtlich der über ihre untersuchte Oberfläche gemittelten Werte des Glanzeis untereinander zu vergleichen, ist in F i g. 5 dargestellt

Das alle Fehler repräsentierende Signal aus dem Verstärker 4 geht einerseits direkt auf einen Eingang des Differenzverstärkers 25 und andererseits auf zwei Speicherkreise 23 und 24 mit verschiedenen Zeitkonstanten. Der Speicherkreis 23 hat eine kurze Zeitkonstante, deren Wert ungefähr gleich oder kürzer als die für die Kontrolle eines Gegenstandes notwenige Zeit ist, so daß dieser Wert als »momentaner« bezeichnet werden kann. Dieser Speicherkreis 23, der also die Informationen über den Mittelweit des Glanzes des gerade geprüften Prüflings oder des gerade abgetasteten Teiles hiervon, speichert, sendet das Signal einerseits in den Differenzverstärker 25 und andererseits in den Differenzverstärker 26. Im Differenzverstärker 25 wird dieses Signal mit dem aus dem Verstärker 4 kommenden Signal verglichen. Im Differenzverstärkei 25 wird also im wesentlichen der vom Speicherkreis 23 kommende Mittelwert des Glanzes des gerade geprüften Prüflings 2 bzw. der Mittelwert des gewissen gerade geprüften Teiles dieses Prüflings, mit den örtlicher Fehlern dieses Prüflings verglichen, das sind die Fehler die die schnellen Änderungen des von dem Verstärker 4 kommenden Signals hervorrufen.

Der Speicherkreis 23 kann auch so· ausgelegt sein, daß er anstatt des Mittelwertes die Informationen über den Maximalwert oder eines sonstwie f^vählten Wertes des Glanzes des gerade geprüften Prüf Iu._w viedergibt.

Im Differenzverstärker 26 wird das Signal des Speicherkreises 23 mit dem Signal des Speicherkreises 24 verglichen. Dieser Speicherkreis 24 hat eine lange Zeitkonstante, die größer als die für die Kontrolle eines geprüften Prüflings 2 notwendige Zeit ist so daß die Information über den Glanz entweder des vorgehenden Prüflings 2 oder aber des Prüflings mit einem maximalen Wert aus einer gewissen Zahl vorangehender Prüflinge im Speicherkreis 24 gespeichert bleibt Die Signale von beiden Speicherkreisen 23, 24 kommen in den Differenzverstärker 26, wo also inn wesentlichen der Glanz des Prüflings 2 mit dem maximalen Glanz eines Prüflings aus einer wählbaren Zahl vorangehender Prüflinge verglichen wird.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 609519/31

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Oberflächenprüfung von Körpern mit reflektierender Oberfläche, mit einer einen Abtaststrahl für den Körper erzeugenden Lichtquelle, einem auf den vom Körper reflektierten Lichtstrom ansprechenden und ein diesem entsprechendes elektrisches Signal erzeugenden elektrooptischen Element, einem Verstärker für das elektrisehe Signal, einer Verzweigung für das elektrische Signal auf zwei Kreise, wobei der eine Kreis ein Widerstandselement und der andere Kreis als Speicherkreis ein Widerstandselement und einen Speicherkondensator enthält, einem Differenzverstärker, dessen einer Eingang mit dem Widerstandselement des einen Kreises verbunden ist, und einer dem Differenzverstärker nachgeschalteten Auslöseschaltung, dadurch gekennzeichnet, daß parallel zum Speicherkondensator (8) ein Potentiometer (10) geschaltet ist, daß der Mittelabgriff des Potentiometers mit dem anderen Eingang des Differenzverstärkers (11) verbunden ist und daß die Auslöseschaltung auf das Verschwinden einer Ausgangsspannung am Differenzverstärker (U) ansprechend ausgebildet ist und ferner dadurch, daß die Widerstandselemente gleichsinnig gepolte Dioden (5,6) sind und daß an einen Punkt zwischen der Diode (6) des Speicherkreises und dem Speicherkondensator (8) über eine weitere Diode (9) und einen veränderlichen Widerstand (13) eine Hilfsspannung angeschlossen ist, wobei die an dem Punkt anliegenden Dioden (6,9) gegensinnig gepolt sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Verstärker ein Phaseninverter (17) mit zwei Ausgängen für gegenphasige Signale nachgeschaltet ist, daß die beiden Ausgänge beziehentlich mit den Kreisen verbunden sind und daß in dem einen Kreis ein Trennkondensator (18) eingeschaltet ist

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Potentiometer (10) weitere Potentiometer (19,20) parallel geschaltet sind und daß umschaltbare Kontakte (21,22) zum wahlweisen Schalten des bzw. der Mittelabgriffe eines oder mehrerer dieser Potentiometer auf den anderen Eingang des Differenzverstärkers (U) vorgesehen sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Verstärkers (4) mit einem weiteren Speicherkreis (24) verbunden

ist und daß ein zweiter Differenzverstärker (26) vorgesehen ist, dessen einer Eingang mit dem Ausgang des zweiten Speicherkreises und dessen anderer Eingang mit dem Ausgang des ersten Speicherkreises verbunden ist.

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Oberflächenprüfung von Körpern mit reflektierender Oberfläche, mit einer einen Abtaststrahl für den Körper erzeugenden Lichtquelle, einem auf den vom Körper reflektierten Lichtstrom ansprechenden und ein diesem entsprechendes elektrisches Signal erzeugenden elektrooptischen Element, einem Verstärker für das elektrische Signal, einer Verzweigung für das elektrische Signal auf zwei Kreise, wöbe· der eine Kreis ein WidersSndselement und der andere Kre* als Spe.cherkretS Widerstandselement und einen Spe.cherkon-Sato? enthält, einem Differenzverstärker, dessen ehTer Eingang mit dem Widerstandselement des einen Seises verbunden ist und einer dem Differenzverstärker nachgeschalteten Auslöseschaltung.

Eine bekannte Vorrichtung dieser Art (DT-AS 1108480) dient dem Nachweis von Fehlern an untersuchten Körpern, wobei störende Einflüsse_ von Sngsamen Veränderungen, wie einer allmählichen Änderung von Eigenschaften dieser Korper als auch VerEdeLgen an der elektrischen bzw. elektronischen Einrichtung ausgeschaltet werden sollen.

Etö^bekannten Vorrichtung ist der Speicherkre.s direkt mit dem anderen Eingang des D.fferenzverstarkers verbunden. Dem Ausgang des Differenzverstärker* £t ein Differenzierglied nachgeschaltet, und die dem Differenziergüed nachgeschaltete Ausloseschahung die bel·der bekannten Vorrichtung auf einen Zähler wirkt wird jedesmal dann wirksam, wenn der am Ausgang des Differenziergüedes erscheinende Impuls einen be-3Sen ScWellwert überschreitet Die Hohe des mpulses am Ausgang des Djferenz.ergl.edes hangt jedoch von zwei Parametern ab, nämhch1 der Hohe des Impulses an seinem Eingang, die dem Fehler entspricht, und der Flankensteilheit des Impulses. Ein niedriger Impuls mit großer Flankensteilheit am Eingang des Differenziergliedes bzw. am Ausgang des Differenzverstärkers kann somit am Ausgang des Differenziergliedes den gleichen Impuls erzeugen wie ein hoher Impuls an seinem Eingang mit kleiner Flankensteilheit

Die bekannte Anordnung hat som.t den Nachteil, daß einem auslösenden Impuls am Ausgang des Differenziergliedes nicht eindeutig ein bestimmter Grenzfehler zuzuordnen ist Die bekannte Vorrichtung kann zwar vom Prüfling und den elektronischen bzw. elektrischen Bausteinen herrührende Langzeitänderungen eliminieren, sie spricht jedoch bei schnell eintretenden Änderungen, wie sie von Fehlern des Pruflngs herrühren, nicht nur auf die Größe der Änderung selbst sondern auch auf ihren Zeitverlauf an. Ihr Zeitverkauf hänet aber beispielsweise auch von der Geschwindigkeit ab, mit der der Abtaststrahl den Prüfling abtastet, so daß für jede Abtastgeschwindigkeit eine spezielle Eichung der Meßanordnung erforderlich ist.

Ferner hat die bekannte Anordnung den Nachteil, langsame Änderungen am Prüfling in praktisch unbegrenztem Ausmaß zuzulassen, ohne daß die Auslöseschaltung zum Ansprechen gebracht wird.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung der genannten Art, bei welcher Langzeitänderungen durch langsame Veränderungen an den Prüflingen und der elektrischen Meßeinrichtung keinen Einfluß auf die Fehlermessung haben, so auszubilden, daß das Meßergebnis nur von der Größe des Fehlers selbst bestimmt wird und langsame Veränderungen der Reflexionseigenschaften der Prüflinge nur bis zu einem bestimmten Absolutwert ohne Fehlermeldung zugelassen werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß parallel zum Speicherkondensator ein Potentiometer geschaltet ist, daß der Mittelabgriff des Potentiometers mit dem anderen Eingang des Differenzverstärkers verbunden ist und daß die Auslöseschaltung auf das Verschwinden einer Ausgangsspannung am Differenzverstärker ansprechend ausgebildet ist und ferner dadurch, daß die Widerstandselemente gleichsinnig gepolte Dioden sind und daß an einen Punkt zwischen