DE2640155B2

DE2640155B2 - Measuring device working according to the eddy current principle for continuous measurement of the thickness of a moving metal object.

Info

Publication number: DE2640155B2
Application number: DE19762640155
Authority: DE
Inventors: Dipl.-Ing. Laszle Wimbledon London Urmenyi; Dipl.-Ing. William Robert Kingston Surrey Urmenyi
Original assignee: ELECTRONIC PRODUCTION AIDS Co Ltd WORCESTER PARK SURREY GB
Current assignee: ELECTRONIC PRODUCTION AIDS Co Ltd WORCESTER PARK SURREY GB
Priority date: 1976-09-07
Filing date: 1976-09-07
Publication date: 1981-05-21
Also published as: DE2640155C3; DE2640155A1

Description

Die Erfindung betrifft eine nach dem Wirbelstromprinzip arbeitende Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden MeBobjekts, z. B. einer Folie oder eines Blechs, mit einem die Temperatur des Meßobjekts messenden Element zur Erzeugung eines Kompensationssignals.The invention relates to a measuring device working according to the eddy current principle for continuous Measurement of the thickness of a moving metal object, e.g. B. a film or a Sheet metal, with an element measuring the temperature of the measurement object for generating a compensation signal.

Eine solche Meßvorrichtung, die insbesondere zur Messung der Dicke einer Folie oder eines Bleches dient, ist an sich bekannt (GB-PS 11 73 828) und hat gegenüber anderen bekannten Vorrichtungen den grundsätzlichen Vorteil einer einfachen Handhabung und geringer Herstellungskosten. Ein grundsätzlicher Nachteil einer nach dem Wirbelstromprinzip arbeitenden Meßvorrichtung besteht jedoch darin, daß das Meßergebnis durch Temperaturänderungen des Meßobjekts (Folie oder Blech) beeinflußt ist, da diese Temperaturänderungen den Widerstand des Materials des Meßobjekts verändern. Aus diesem Grunde wird bei der bekannten Meßvorrichtung das Meßobjekt (Folie oder Blech) über eine frei mitlaufende Rolle geführt, die sich auf die Temperatur des Meßobjekts erwärmt, wobei dann durch Messung der Temperatur der Rolle ein Kompensationssignal erzeugt werden kann. Die Verwendung einer speziellen Rolle für die Erzeugung des Kompensationssignals ist jedoch in den meisten Fällen nicht erwünscht, da die Meßvorrichtung durch die Rolle relativ aufwendig und teuer wird und in vielen Fällen die Verwendung einer solchen Rolle schon daran scheitert, daß beispielsweise in einem Walzwerk für die Unterbringung dieser Rolle nicht genügend Platz zur Verfügung steht Außerdem besitzt die zur Messung der Temperatur bei 4£rj£kfnnj£n Meßvorrichtung vorgesehene Rolle eine relativ große Wärmespeicherkapazität, so daß es nicht möglich ist, schnelle Temperaturänderungen bei der Kompensation zu erfassen.Such a measuring device, which is used in particular to measure the thickness of a foil or sheet metal, is known per se (GB-PS 11 73 828) and has opposite other known devices the basic advantage of simple handling and less Manufacturing costs. A fundamental disadvantage of a measuring device operating according to the eddy current principle, however, is that the measurement result through Changes in temperature of the measuring object (foil or sheet metal) is influenced, since these temperature changes change the resistance of the material of the test object. For this reason, the known Measuring device, the object to be measured (foil or sheet metal) guided over a freely rotating roller, which is on the Heated temperature of the object to be measured, in which case a compensation signal can then be generated by measuring the temperature of the roller. The usage however, in most cases there is no special role for the generation of the compensation signal desirable because the measuring device is relatively complex and expensive due to the role and in many cases the Use of such a role fails because, for example, in a rolling mill for the This role does not accommodate enough space is also available for measuring the Temperature at 4 £ rj £ kfnnj £ n measuring device provided role a relatively large heat storage capacity, so that it is not possible to detect rapid temperature changes in the compensation.

Weiterhin ist ein Temperatürmeßgerät bekannt (DE-OS 14 98 490), welches ausschließlich zur berührungslosen Bestimmung der Temperatur von bahnfermigen Meßobjekten geeignet ist die sich an dem Temperaturmeßgerät vorbeibewegen. Das vorzugsweise rohrförmige und in seinem Inneren mit einemFurthermore, a temperature measuring device is known (DE-OS 14 98 490), which is suitable exclusively for the non-contact determination of the temperature of railway-like objects to be measured which is located on the Move the temperature measuring device past. The preferably tubular and in its interior with a

ίο Temperaturfühler versehene Temperaturmeßgerät ist an seinem dem Meßobjekt zugewandten Ende mit einer Fläche versehen, die mit der Oberfläche des Meßobjekts einen sich in Bewegungsrichtung dieses Meßobjektes verengenden, etwa keilförmigen Raum bildet In derίο is a temperature measuring device provided with a temperature sensor provided at its end facing the measurement object with a surface that is aligned with the surface of the measurement object in the direction of movement of this measurement object narrowing, approximately wedge-shaped space

is diesen keilförmigen Raum bildenden Fläche sind Öffnungen vorgesehen, die den keilförmigen Raum mit dem Inneren des Temperaturmeßgerätes bzw. mit dem Raum des Temperaturmeßgerätes verbinden, in welchem der Temperaturfühler angeordnet istis this wedge-shaped space forming surface Openings provided that the wedge-shaped space with the interior of the temperature measuring device or with the Connect the room of the temperature measuring device in which the temperature sensor is arranged

Durch den zwischen Meßobjekt und Temperaturmeßgerät gebildeten keilförmigen Raum soll bei diesem bekannten Temperaturmeßgerät eine möglichst genaue Bestimmung der Temperatur eines sich schnell bewegenden Meßobjektes erreicht werden. Das bekannteThrough the wedge-shaped space formed between the object to be measured and the temperature measuring device, in this case known temperature measuring device, the most accurate possible determination of the temperature of a rapidly moving object to be measured can be achieved. The known Meßgerät eignet sich jedoch nicht zur Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes, und auch die angestrebte Verbesserung hinsichtlich der Genauigkeit der Temperaturbestimmung wird nur dann erreicht, wenn sich das MeßobjektHowever, the measuring device is not suitable for measuring the thickness of a moving metal Measurement object, and also the desired improvement in terms of the accuracy of the temperature determination is only achieved when the measurement object sehr schnell an dem Temperaturmeßgerät vorbeibewegt Bei sich langsam bewegenden Meßobjekten hat der keilförmige Raum des bekannten Temperaturmeßgerätes nicht die angestrebte Wirkung. Ein grundsätzlicher Nachteil des bekannten TemperaturmeßgerätesMoves past the temperature measuring device very quickly For slowly moving objects to be measured the wedge-shaped space of the known temperature measuring device does not have the desired effect. A fundamental disadvantage of the known temperature measuring device besteht noch darin, daß der Abstand zwischen dem Temperaturmeßgerät und der Oberfläche des Meßobjekts sehr gering und äußerst konstant sein muß. Das bekannte Temperaturmeßgerät eignet sich daher in erster Linie zur Messung der Temperatur rotierender,still consists in the fact that the distance between the temperature measuring device and the surface of the measuring object must be very small and extremely constant. That known temperature measuring device is therefore primarily suitable for measuring the temperature of rotating,

4i rotationssymmetrischer Körper. Zur Messung der Temperatur von Folien oder Blechen ist das bekannte Temperaturmeßgerät sicherlich nicht geeignet, da Folien bzw. Bleche nach dem Verlassen der Walzen eines Walzwerkes in der Regel vibrieren und außerdem4i rotationally symmetrical body. To measure the The known temperature measuring device is certainly not suitable for the temperature of foils or sheets, since Foils or sheets usually vibrate after leaving the rollers of a rolling mill and also sich die Bewegungsgeschwindigkeit einer Folie bzw. eines Bleches stark ändern kann, d.h. bei der Herstellung eines Bleches oder einer Folie gibt es Phasen, in denen das Blech bzw. die Folie stillsteht oder sich nur langsam bewegt. Bekannt ist weiterhin einthe speed of movement of a foil or sheet metal can change significantly, i.e. during the In the manufacture of a sheet metal or a foil, there are phases in which the sheet metal or the foil stands still or moves slowly. One is still known

so Temperaturmeßgerät zum berührungslosen Messen der Temperatur eines Meßobjektes (DE-AS 21 03 048). Dieses bekannte Temperaturmeßgerät besteht aus einem Gehäuse, in welchem ein Temperaturfühler untergebracht ist Der Temperaturfühler befindet sichso temperature measuring device for non-contact measurement of the temperature of an object to be measured (DE-AS 21 03 048). This known temperature measuring device consists of a housing in which a temperature sensor The temperature sensor is located dabei in einem Kanal, der zu der dem Meßobjekt benachbart liegenden Seite des Temperaturmeßgeräts bzw. des Gehäuses hin durch eine erste Öffnung offen ist. Um diese erste Öffnung sind mehrer zweite Öffnungen angeordnet, durch die ein Gas austritt,thereby in a channel that leads to that of the test object adjacent side of the temperature measuring device or the housing is open through a first opening is. Several second openings are arranged around this first opening, through which a gas exits, welches durch Entlangströmen am Meßobjekt erwärmt wird und in die erste Öffnung eintritt. Der Temperaturfühler mißt dann die Temperatur des an ihm vorbeiströmenden Gases, so daß hieraus die Temperatur des Meßobjektes ermittelt werden kann. Auch dieseswhich is heated by flowing along the measurement object and enters the first opening. The temperature sensor then measures the temperature of the on him gas flowing past, so that the temperature of the measurement object can be determined from this. This too bekannte Gerät ist nicht geeignet, um die Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes zu bestimmen. Grundsätzlich hat das bekannte Temperaturmeßgerät den Nachteil, daß auch die Temperaturknown device is not suitable for measuring the thickness of a moving metal object to be measured to determine. Basically, the known temperature measuring device has the disadvantage that the temperature

des aus den zweiten öffnungen austretenden Gases ermittelt werden muß, um zu genauen Meßergebnissen zu gelangen. Darüber hinaus ist dieses bekannte Temperaturmeßgerät im Aufbau relativ kompliziert und daher teuer. Durch seine konstruktionsbedingten relativ großen Abmessungen ist es weiterhin nicht möglich, dieses bekannte Temperaturmeßgerät in unmittelbarer Nähe eines Meßkopfes für die Dickenmessung anzuordnen. Gerade bei dünnen Folien bzw. Blechen tritt eine starke Abkühlung auf, so daß zur Erzeugung des Kompensationssignals die Temperatur bei einer nach dem Wirbelstromprinzip arbeitenden Dickenmeßvorrichtung in unmittelbarer Nähe des Dicken-Meßkopfes ermittelt werden muß. Dies wäre bei Verwendung des bekannten Temperaturmeßgerätes nicht möglich.of the gas emerging from the second openings must be determined in order to obtain accurate measurement results to get. In addition, this known temperature measuring device is relatively complicated in structure and therefore expensive. Due to its construction-related relatively large dimensions, it is still not possible to to arrange this known temperature measuring device in the immediate vicinity of a measuring head for thickness measurement. Particularly in the case of thin foils or sheets, strong cooling occurs, so that the generation of the Compensation signal the temperature in a thickness measuring device working according to the eddy current principle must be determined in the immediate vicinity of the thickness measuring head. This would be when using the known temperature measuring device is not possible.

Es wurde bereits auch vorgeschlagen (CH-PS 2 08 570), bei einer Meßvorrichtung zur Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes die Temperatur dieses Meßobjektes durch berührungslos arbeitende elektrische Mittel zu messen, um dann das so erhaltene elektrische Signal der eigentlichen Meßeinrichtung in der Weise zuzuführen, daß der Einfluß der Temperaturänderungen auf das Meßergebnis kompensiert wird.It has already been proposed (CH-PS 2 08 570), in a measuring device for measuring the Thickness of a moving metal object to be measured changes the temperature of this object to be measured to measure non-contact electrical means in order to then use the electrical signal obtained in this way actual measuring device in such a way that the influence of temperature changes on the Measurement result is compensated.

Die bedeutendste Anwendung dieser Meßvorrichtung ist die Messung der Dicke von Aluminiumfolien während der Herstellung bzw. während des Walzvorganges. Da jedoch Aluminium eine sehr geringe Emissionsfähigkeit aufweist und diese Emissionsfähigkeit außerdem in weiten Grenzen mit der Oberflächenbeschaffenheit sowie mit der Dicke und Qualität des Ölfilmes sich ändert, der stets während des Walzvorganges auf der Oberfläche vorhanden ist, ist die Anwendung derartiger Strahlungstemperatur-Meßeinrichtungen äußerst problematisch. J5The most important application of this measuring device is the measurement of the thickness of aluminum foils during manufacture or during the rolling process. However, since aluminum has a very low Has emissivity and this emissivity also has broad limits with the surface properties as well as changes with the thickness and quality of the oil film, which always changes during the rolling process is present on the surface, the use of such radiation temperature measuring devices is extreme problematic. J5

Für die kontaktlose Temperaturmessung bei einer Meßvorrichtung zur Messung der Dicke eines Meßobjektes muß daher auf einen Temperaturfühler zurückgegriffen werden, z. B. auf einen Thermistor oder ein Platin-Widerstand-Thermometer, welcher die Temperatur des Meßobjektes (Folie oder Blech) in der Nähe der Oberfläche mißt. Da die Strahlung nur einen geringen Beitrag für diese Temperaturmessung liefert, mißt der Temperaturfühler im wesentlichen die Temperatur der Luft, und zwar an einem Punkt, wo dieser Fühler montiert ist Um nun den Temperaturfühler vor Beschädigungen durch das sich sehr schnell bewegende Blech bzw. durch die sich sehr schnell bewegende Folie zu bewahren, welches biw. welche z. B. zufällig oder aber durch sorglose Behandlung des Bedienungspersonals reißen kann, ist es grundsätzlich nicht möglich, den Temperaturfühler bzw. das die Temperatur des Meßobjektes messende Element in unmittelbarer Nähe des Meßobjektes anzuordnen. Der Temperaturfühler muß vielmehr innerhalb einer Schutzkammer angeordnet werden, die normalerweise innerhalb des Dicken-Meßkopfes vorgesehen ist oder aber gesondert an diesem Meßkopf angebracht ist Die warme Luft steigt zwar langsam von der Oberfläche des Meßobjektes durch Konvektion auf, bis diese Luft jedoch den Temperaturfühler erreicht, hat sie sich längst mit kälterer Umgebungsluft vermischt und wird darüber hinaus außerdem noch durch die Wände des Schutzgehäuses abgekühlt. Der Meßkopf selbst wärmt sich langsam auf und sein Kühleffekt auf das die Temperatur messende Element ist aus diesem Grunde abnehmend. Das langsame Aufwärmen des Meßkopfes setzt sich auch dann noch fort, wenn das Meßobjekt bereits eine endgültige, nahezu konstante Walztemperatur erreicht hat, wodurch eine Verschiebung der Temperaturkompensation eintritt.For contactless temperature measurement in a measuring device for measuring the thickness of a measurement object must therefore be resorted to a temperature sensor, z. B. on a thermistor or a Platinum resistance thermometer showing the temperature of the object to be measured (foil or sheet metal) in the vicinity of the surface. Since the radiation is only one provides little contribution to this temperature measurement, the temperature sensor measures essentially the Temperature of the air, namely at a point where this sensor is mounted. Now around the temperature sensor from damage by the very fast moving sheet metal or by the very fast to preserve moving film, which biw. which z. B. accidentally or through careless handling of the Operating personnel can tear, it is generally not possible to use the temperature sensor or the To arrange the temperature of the measurement object measuring element in the immediate vicinity of the measurement object. Of the Rather, temperature sensor must be placed inside a protective chamber, which is normally within of the thickness measuring head is provided or is attached separately to this measuring head warm air rises slowly from the surface of the Object to be measured by convection, until this air reaches the temperature sensor, however, it has long been mixed with colder ambient air and is also still through the walls of the protective housing cooled down. The measuring head itself warms up slowly and its cooling effect on the temperature for this reason the measuring element is decreasing. The slow warm-up of the measuring head continues continues even when the test object has already reached a final, almost constant rolling temperature has, whereby a shift in the temperature compensation occurs.

Aus diesem Grunde ist die Temperaturkompensation durch die beschriebenen Mittel ungenau und einer stetigen Änderung unterworfen.For this reason, the temperature compensation by the means described is imprecise and one subject to constant change.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjektes zu schaffen, bei der mit einfachen Mitteln eine genaue Temperaturkompensation möglich ist und bei der die Temperaturkompensation keiner Verschiebung bzw. Änderung unterworfen istThe invention is based on the object of a measuring device for the continuous measurement of the To create the thickness of a moving object to be measured, made of metal, with simple means an exact temperature compensation is possible and in which the temperature compensation does not shift or is subject to change

Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Meßvorrichtung der eingangs geschilderten Art erfindungsgemäß so ausgebildet, daß das Element in einer schützenden Kammer in der Nähe der Oberfläche des Meßobjekts angeordnet ist, daß die Kammer eine auf das Meßobjekt gerichtete öffnung aufweist daß Mittel vorgesehen sind, um Luft von der Oberfläche des Meßobjekts durch die Kammer anzusaugen, und daß das von dem Element ggf. unter Verwendung eines Meßwandlers erzeugte, von der Temperatur des Meßobjektes abhängige elektrische Signal dem elektrischen Schaltkreis der Meßvorrichtung als Kompensationssignal zugeführt wird.In order to achieve this object, a measuring device of the type described at the outset is according to the invention as follows formed that the element in a protective chamber near the surface of the test object it is arranged that the chamber has an opening directed towards the object to be measured, that means are provided to draw air from the surface of the measurement object through the chamber and that from the element possibly generated using a transducer and dependent on the temperature of the test object electrical signal fed to the electrical circuit of the measuring device as a compensation signal will.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird durch das in der Kammer angeordnete, die Temperatur des Meßobjektes messende Element die Temperatur der Luft bestimmt, die durch diese Kammer angesaugt wird. Die Lufttemperatur folgt in engen Grenzen der tatsächlichen Temperatur des Meßobjektes, so daß hierdurch ein Kompensationssignal erhalten wird, mit welchem Einflüsse durch Temperaturänderungen des Meßobjektes auf das Meßergebnis (Dickenmessung) sehr exakt kompensiert werden können.In the device according to the invention is arranged in the chamber, the temperature of the The measuring object measuring element determines the temperature of the air that is sucked in through this chamber. The air temperature follows the actual temperature of the test object within narrow limits, so that as a result, a compensation signal is obtained, with which influences by temperature changes of the Measurement object can be compensated very precisely for the measurement result (thickness measurement).

Der Kühleffekt an den Wänden des Gehäuses bzw. der Kammer wird vernachlässigbar klein, da die Luft in der Nähe des temperaturmessenden Elementes kontinuierlich und schnell durch schnell fließende heiße Luft ersetzt wird. Die Aerodynamik des Luftstromes ist so gewählt, daß der Luftstrom parallel zu der Oberfläche des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches auf die öffnung der Kammer hin gerichtet ist, so daß die Luftströmung die Temperatur des Meßobjektes annimmt und nur ein geringer Teil an kühlerer Umgebungsluft in die Kammer gelangt.The cooling effect on the walls of the housing or the chamber is negligibly small, since the air in the proximity of the temperature measuring element continuously and quickly through fast flowing hot air is replaced. The aerodynamics of the air flow is chosen so that the air flow is parallel to the surface of the test object or the film or the sheet is directed towards the opening of the chamber, so that the Air flow assumes the temperature of the measuring object and only a small part of cooler Ambient air enters the chamber.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, den Anteil kühlerer Umgebungsluft, die in die Kammer eintritt zu reduzieren. Entsprechend der Erfindung kann ein Element, welches eine im wesentlichen ebene Oberfläche aufweist, in der Nähe des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches montiert werden, wobei die ebene Oberfläche parallel zur Oberfläche des Meßobjektes verläuft. Dieses Element bildet vorzugsweise einen Teil des Meßkopfes, wobei die Kammer mit dem Temperatur messenden Element in dem genannten Element vorgesehen ist und wobei der Abstand der öffnung der Kammer von der Kante der erwähnten Ebene größer ist als die öffnung der Kammer. Das erwähnte Element mit der ebenen Oberfläche bildet vorzugsweise eine Abdeckung des zur Messung der Dicke dienenden Meßkopfes. Wenn nun Luft mit genügender Geschwindigkeit in die Kammer eingesaugt wird, bildet sich im Spalt zwischen dem Meßobjekt und der Ebene ein Luftstrom mit solcher Aerodynamik aus, daß lediglich eine dünne Luftschicht in der Nähe des Meßobjektes, die sehr schnell die Temperatur diesesAnother feature of the invention is the proportion of cooler ambient air that enters the chamber reduce entry. According to the invention, an element which has a substantially planar Has surface, be mounted in the vicinity of the test object or the foil or sheet metal, the flat surface parallel to the surface of the measurement object. This element preferably forms part of the measuring head, wherein the chamber with the temperature measuring element in said Element is provided and wherein the distance of the opening of the chamber from the edge of the mentioned Level is greater than the opening of the chamber. The mentioned element forms with the flat surface preferably a cover for the measuring head used to measure the thickness. If now air with is sucked into the chamber at a sufficient speed, forms in the gap between the measuring object and the plane an air flow with such aerodynamics that only a thin layer of air in the vicinity of the Measuring object, the temperature of this very quickly

Meßobjektes annimmt, in die Kammer eintritt, wobei der Zutritt von kühler Umgebungsluft vermieden wird.Assumes the object to be measured, enters the chamber, the entry of cool ambient air is avoided.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß das die Temperatur messende Element (Temperaturfühler) oberhalb oder aber auch unterhalb des Meßobjektes bzw. der Folie oder des Bleches montiert werden kann, während bei bekannten Dicken-Meßvorrichtungen mit berührungslos arbeitenden temperaturmessenden Elementen nur eine Anordnung dieser Elemente oberhalb des Meßobjekles möglich war. Es kann beispielsweise auch der Fall sein, daß das von dem temperaturmessenden Element erhaltene Signal nicht genau der Gesetzmäßigkeit folgt, die für eine exakte Temperaturkompensation notwendig ist. Um hier eine gewisse Korrektur zu schaffen, kann ein Funktionsgenerator zusätzlich vorgesehen werden.Another advantage of the invention is that the element measuring the temperature (temperature sensor) can be mounted above or below the measurement object or the foil or sheet, while in known thickness measuring devices with non-contact temperature measuring elements only an arrangement of these elements above the measuring object was possible. For example also be the case that the signal obtained from the temperature measuring element is not exactly that This follows a regularity that is necessary for an exact temperature compensation. To get some here To create a correction, a function generator can also be provided.

Die Erfindung wird im folgenden im Zusammenhang mit den Figuren an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. Es zeigtThe invention is explained in more detail below in connection with the figures using an exemplary embodiment explained. It shows

F i g. 1 eine Ausführungsform des Meßkopfes;F i g. 1 shows an embodiment of the measuring head;

Fig. 2 ein Wirbelstrom-Dicken-Meßgerät mit automatischer Temperaturkompensation.Fig. 2 an eddy current thickness measuring device with automatic Temperature compensation.

In F i g. 1 sind I eine zu messende Folie, 2 und 3 zwei Teile eines Meßkopfes, 4 und 5 Abdeckungen aus isolierendem Material, 6 und 7 Primär- bzw. Sekundärspule, 8 ein Element zum Messen einer Temperatur, z. B. ein Widerstandsthermometer, ein Thermistor oder ein Thermoelement, 9 eine Ausnehmung in der Abdeckung 4, 10 Luftleitungen, 11 eine Luftpumpe und 112 elektrische Verbindungsleitungen an das Element zum Messen der Temperatur.In Fig. 1 is one film to be measured, 2 and 3 are two Parts of a measuring head, 4 and 5 covers made of insulating material, 6 and 7 primary and secondary coils, 8 an element for measuring a temperature, e.g. B. a resistance thermometer, a thermistor or a Thermocouple, 9 a recess in the cover 4, 10 air lines, 11 an air pump and 112 electrical connection lines to the element for measuring the temperature.

In Fig.2 sind 13 ein Oszillator, 1 die zu messende Folie, 6 bzw. 7 Primär- bzw. Sekundärspulen, 14 ein Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsgrad; 15 ein Gleichrichter, 16 ein Vervielfacher, 17 ein Wandler, derIn Figure 2, 13 is an oscillator, 1 is the one to be measured Foil, 6 or 7 primary or secondary coils, 14 an amplifier with adjustable gain; 15 a Rectifier, 16 a multiplier, 17 a converter, the

einen Funktionsgenerator enthalten kann, 8 ein Element zum Messen der Temperatur, 18 eine Vergleichsschaltung, 19 eine Bezugsspannung und 20 ein Anzeigegerät. Während des Betriebes pumpt die Pumpe 11 Luft von der Oberfläche der Folie 1 in die Kammer bzw. Ausnehmung 9. Die Luft fließt dann über die Leitungen 10 und die Pumpe 11 in die Atmosphäre. Das Element 8 zum Messen der Temperatur erfaßt sofort die Temperatur der schnell fließenden Luftströmung, wobei diese Temperatur in sehr engen Grenzen der Folientemperatur folgt bzw. entspricht. Verbindungsleitungen 12 verbinden das Element 8 mit einem Umformer 17. Das Signal am Ausgang des Umformers 17 ist eine Funktion der Folientemperatur. Die Spannung, die in der Spule 7 induziert wird, ist eine Funktion der Foiiendicke, hängt jedoch gleichzeitig auch von der Folientemperatur ab. Diese Spannung wird im Verstärker 14 verstärkt, anschließend durch den Gleichrichtermay contain a function generator, 8 an element for measuring the temperature, 18 a comparison circuit, 19 a reference voltage; and 20 a display device. During operation, the pump 11 pumps air from the surface of the film 1 into the chamber or recess 9. The air then flows over the lines 10 and pump 11 into the atmosphere. The element 8 for measuring the temperature immediately detects the temperature of the fast flowing air flow, wherein this temperature follows or corresponds to the film temperature within very narrow limits. Connecting lines 12 connect the element 8 with a converter 17. The signal at the output of the converter 17 is a Function of the film temperature. The voltage induced in the coil 7 is a function of the Foil thickness, however, also depends on the foil temperature. This voltage is in the amplifier 14 amplified, then by the rectifier

15 gleichgerichtet und ebenso wie das Signal des Umformers 17 dem Vervielfacher bzw. Multiplikator 16 zugeführt, wodurch der Einfluß von Variationen bzw. Änderungen der Folientemperatur auf das Meßergebnis kompensiert wird. Das Ausgangssignal des Multiplikators 16 wird einer Vergleichsschaltung 18 zugeführt, die gleichzeitig auch mit einer Bezugsspannung 19 beaufschlagt ist. Wenn das Ausgangssignal des Multiplikators15 rectified and, like the signal from converter 17, to the multiplier 16 supplied, whereby the influence of variations or changes in the film temperature on the measurement result is compensated. The output signal of the multiplier 16 is fed to a comparison circuit 18 which a reference voltage 19 is also applied at the same time. When the output of the multiplier

16 der Vergleichsspannung entspricht, zeigt das Null-Instrument 20 den Wert Null an. Die Verstärkung des in seinem Verstärkungsgrad variablen Verstärkers 14 ist so eingestellt, daß das Nullinstrument 20 immer dann den Wert Null anzeigt, wenn die Folie die erforderliche Nenn-Dicke aufweist.16 corresponds to the comparison voltage, the zero instrument 20 displays the value zero. The reinforcement of the variable gain amplifier 14 is set so that the zero instrument 20 always then shows the value zero if the film has the required nominal thickness.

Die Erfindung kann bei jeder Einrichtung zur Dickenmessung angewandt werden, die nach dem Wirbelstrom-Prinzip arbeitet.The invention can be applied to any device for thickness measurement, which according to the Eddy current principle works.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Nach dem Wirbelstromprinzip arbeitende Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjekts, ζ. B. einer Folie oder eines Bleches, mit einem die Temperatur des Meßobjekts messenden Element zur Erzeugung eines Kompensationssignals, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (8) in einer schützenden Kammer (9) in der Nähe der Oberfläche des Meßobjekts (I) angeordnet ist, daß die Kammer (9) eine auf das Meßobjekt gerichtete Öffnung aufweist, daß Mittel (10, U) vorgesehen sind, um Luft von der Oberfläche des Meßobjekts (1) durch die Kammer (9) anzusaugen, und daß das von dem Element (8) gegebenenfalls unter Verwendung eines Meßwandlers erzeugte, von der Temperatur des Me3objekts abhängige elektrische Signal dem elektrischen Schaltkreis der Meßvorrichtung als Kompensationssignal zugeführt wird.1. According to the eddy current principle working measuring device for continuous measurement of the Thickness of a moving metal object to be measured, ζ. B. a foil or a sheet, with an element measuring the temperature of the measurement object for generating a compensation signal, characterized in that the Element (8) arranged in a protective chamber (9) in the vicinity of the surface of the measurement object (I) is that the chamber (9) has an opening directed towards the measurement object, that means (10, U) are provided to suck in air from the surface of the measurement object (1) through the chamber (9), and that that generated by the element (8), optionally using a transducer, The electrical signal dependent on the temperature of the measurement object is sent to the electrical circuit of the Measuring device is supplied as a compensation signal.

2. MeDvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Abdeckung (4) mit einer im wesentlichen ebenen Oberfläche, die in die Nähe des Meßobjekts (1) gebracht werden kann, wobei die Abdeckung (4) die Öffnung zur Kammer (9) aufweist2. MeD device according to claim 1, characterized by a cover (4) with an im essentially flat surface which can be brought into the vicinity of the measurement object (1), the Cover (4) has the opening to the chamber (9)

3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der geringste Abstand zwischen der Kante der Öffnung der Kammer (9) und der Kante der Abdeckung (4) größer ist als der Durchmesser der Öffnung.3. Measuring device according to claim 2, characterized in that the smallest distance between the edge of the opening of the chamber (9) and the edge of the cover (4) is larger than the diameter of the opening.