JP2504142B2 - Piezoelectric actuator - Google Patents
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は圧電アクチュエータに関し、特に圧電横効
果を利用した多層型の圧電アクチュエータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric actuator, and more particularly to a multi-layer type piezoelectric actuator utilizing the piezoelectric lateral effect.
(従来技術) 第3図ないし第5図は、それぞれ、従来の圧電板4層
型の圧電アクチュエータの一例を示す要部斜視図であ
る。(Prior Art) FIGS. 3 to 5 are perspective views of essential parts showing an example of a conventional piezoelectric actuator of a four-layer piezoelectric plate type.
第3図に示す圧電アクチュエータ1では、積層される
4層の圧電板2a,2b,2cおよび2dのうち外側の圧電板2aお
よび2dの端部に切欠部を形成し、それらの切欠部におい
てリード線3をはんだ付けすることによって、外側の圧
電板2aおよび2dと内側の圧電板2bおよび2cとの間の電極
が引き出される。In the piezoelectric actuator 1 shown in FIG. 3, of the four laminated piezoelectric plates 2a, 2b, 2c and 2d, notches are formed at the ends of the outer piezoelectric plates 2a and 2d, and leads are formed at the notches. By soldering the wires 3, the electrodes between the outer piezoelectric plates 2a and 2d and the inner piezoelectric plates 2b and 2c are pulled out.
第4図に示す圧電アクチュエータ1では、外側の圧電
板2aおよび2dの両面の電極にギャップを形成し、そこに
たとえば導電性樹脂材などで折り返し電極4a,4b,4cおよ
び4dを形成することによって、中間層の各電極が外側の
面に引き出される。In the piezoelectric actuator 1 shown in FIG. 4, gaps are formed in the electrodes on both sides of the outer piezoelectric plates 2a and 2d, and the folded electrodes 4a, 4b, 4c and 4d are formed therein with, for example, a conductive resin material. , The electrodes of the intermediate layer are drawn to the outer surface.
また、第5図に示す圧電アクチュエータ1では、外側
の圧電板2aおよび2dにスルーホール5を設け、それらの
スルーホール5を通して中間層の電極が外側の面に引き
出される。Further, in the piezoelectric actuator 1 shown in FIG. 5, through holes 5 are provided in the outer piezoelectric plates 2a and 2d, and the electrode of the intermediate layer is drawn out to the outer surface through the through holes 5.
(発明が解決しようとする課題) 第3図に示す圧電アクチュエータでは、切欠部の形状
が小さいとリード線のはんだ付けの作業性が悪くなると
ともにリード線の接続部分の強度が弱くなって耐久性に
劣り、逆に、切欠部の形状が大きいとその端部での保持
が不安定になるため圧電板ないし圧電体の有効長さを有
効にとることができない。さらに、電極の取り出し箇所
が多いため、電極の取り出しが困難である。(Problems to be Solved by the Invention) In the piezoelectric actuator shown in FIG. 3, if the shape of the notch is small, the workability of soldering the lead wire is deteriorated, and the strength of the connecting portion of the lead wire is weakened, resulting in durability. On the contrary, if the shape of the notch is large, the holding at the end becomes unstable, so that the effective length of the piezoelectric plate or the piezoelectric body cannot be effectively obtained. Furthermore, it is difficult to take out the electrodes because there are many places where the electrodes are taken out.
また、第4図および第5図に示す圧電アクチュエータ
でも、圧電板ないし圧電体の伸縮の繰り返しによって、
導電性樹脂材を使用した部分やスルーホールの部分で断
線することがあって、耐久性に問題がある。さらに、第
4図および第5図に示す圧電アクチュエータでは、主面
の端部に両極の電極が存在するため、電極の取り出し箇
所が多くなり、かつ、端部で保持することができないた
め、圧電板ないし圧電体の有効長さを有効にとることが
できない。Also, in the piezoelectric actuator shown in FIGS. 4 and 5, repeated expansion and contraction of the piezoelectric plate or the piezoelectric body causes
There is a problem in durability because the wire may be broken at a portion where a conductive resin material is used or a through hole portion. Further, in the piezoelectric actuator shown in FIGS. 4 and 5, since the electrodes of both electrodes are present at the ends of the main surface, there are many electrode extraction points and it is not possible to hold the electrodes at the ends. The effective length of the plate or the piezoelectric body cannot be effectively taken.
それゆえに、この発明の主たる目的は、耐久性に優
れ、電極の取り出しが容易に行え、かつ、端部での保持
が確実に行え、圧電体の有効長さを有効にとることがで
きる、圧電アクチュエータを提供することである。Therefore, the main object of the present invention is excellent in durability, the electrode can be easily taken out, and the electrode can be surely held at the end, and the effective length of the piezoelectric body can be effectively taken. It is to provide an actuator.
(課題を解決するための手段) この発明は、両面全面に電極が形成された2枚の圧電
板を貼り合わせた圧電体と、両面全面に電極が形成され
た2枚の圧電板を貼り合わせた別の圧電体とが、金属板
の各面に貼り合わされている圧電アクチュエータであっ
て、圧電体を構成する2枚の圧電板のうちの金属板側の
圧電板と、別の圧電体を構成する2枚の圧電板のうちの
金属板側の圧電板と、金属板とに切欠を形成し、切欠に
金属片を挿入することによって、圧電体を構成する2枚
の圧電板が互いに貼り合わされている面に形成されてい
る電極と、別の圧電体を構成する2枚の圧電板が互いに
貼り合わされている面に形成されている電極とが引き出
されている、圧電アクチュエータである。(Means for Solving the Problem) The present invention relates to a piezoelectric body in which two piezoelectric plates having electrodes formed on both entire surfaces are bonded together, and two piezoelectric plates having electrodes formed on both entire surfaces are bonded together. Another piezoelectric body is a piezoelectric actuator bonded to each surface of a metal plate, and the piezoelectric plate on the metal plate side of the two piezoelectric plates forming the piezoelectric body and another piezoelectric body are By forming a notch in the metal plate and the piezoelectric plate on the metal plate side of the two piezoelectric plates constituting the metal plate, and inserting a metal piece into the notch, the two piezoelectric plates constituting the piezoelectric body are attached to each other. This is a piezoelectric actuator in which an electrode formed on a combined surface and an electrode formed on a surface on which two piezoelectric plates constituting another piezoelectric body are attached to each other are drawn out.
(作用) 金属片によって、圧電体を構成する2枚の圧電板が互
いに貼り合わされている面に形成されている電極と、別
の圧電体を構成する2枚の圧電板が互いに貼り合わされ
ている面に形成されている電極とが取り出される。その
ため、圧電アクチュエータの主面には、両極の電極が存
在しないようになる。(Operation) An electrode formed on a surface where two piezoelectric plates constituting a piezoelectric body are bonded to each other and two piezoelectric plates constituting another piezoelectric body are bonded to each other by a metal piece. The electrodes formed on the surface are taken out. Therefore, the electrodes of both polarities do not exist on the main surface of the piezoelectric actuator.
(発明の効果) この発明によれば、従来例のような導電性樹脂材やス
ルーホールを使用しないので、圧電アクチュエータの耐
久性を確保することができる。しかも、圧電アクチュエ
ータの主面に両極の電極が存在しないので、電極の取り
出しが容易になり、端部での保持が容易になり、かつ、
圧電体の有効長さを有効にとることができるようにな
る。(Effects of the Invention) According to the present invention, since the conductive resin material and the through-hole unlike the conventional example are not used, the durability of the piezoelectric actuator can be ensured. Moreover, since the electrodes of both electrodes do not exist on the main surface of the piezoelectric actuator, it is easy to take out the electrodes, and it is easy to hold the electrodes at the ends, and
The effective length of the piezoelectric body can be effectively taken.
さらに、1つの金属片で圧電体を構成する2枚の圧電
板が互いに貼り合わされている面に形成されている電極
と、別の圧電体を構成する2枚の圧電板が互いに貼り合
わされている面に形成されている電極とが取り出されて
いるので、部品点数を減らすことができ製造工程を簡略
化することができる。そのため、コストダウンを図るこ
とができる。Furthermore, an electrode formed on a surface where two piezoelectric plates constituting a piezoelectric body are bonded to each other by one metal piece, and two piezoelectric plates constituting another piezoelectric body are bonded to each other. Since the electrodes formed on the surface are taken out, the number of parts can be reduced and the manufacturing process can be simplified. Therefore, the cost can be reduced.
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.
(実施例) 第1図および第2図は、それぞれ、この発明の一実施
例を示し、第1図はその要部斜視図であり、第2図はそ
の要部分解斜視図である。(Embodiment) FIG. 1 and FIG. 2 respectively show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a perspective view of a main portion thereof, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the main portion thereof.
この圧電アクチュエータ10は、金属板からなるたとえ
ば短冊状のシム12を含む。このシム12の長手方向の一端
片側には、その長手方向に延びる突片12aが形成されて
いる。さらに、シム12の長手方向の一端中央には、矩形
状の切欠部13が形成されている。The piezoelectric actuator 10 includes, for example, a strip-shaped shim 12 made of a metal plate. A projecting piece 12a extending in the longitudinal direction is formed on one end side of the shim 12 in the longitudinal direction. Furthermore, a rectangular notch 13 is formed at the center of one end of the shim 12 in the longitudinal direction.
シム12の一方主面には、圧電体14が貼り付けられる。
この圧電体14は、積層される2枚の圧電板16および18を
含み、これらの圧電板16および18の両主面には、それぞ
れ、電極16a,16bおよび18a,18bが形成されている。ま
た、シム12の一方主面側の圧電板16には、その長手方向
の一端中央に、シム12と同様に、矩形状の切欠部17が形
成されている。A piezoelectric body 14 is attached to one main surface of the shim 12.
The piezoelectric body 14 includes two laminated piezoelectric plates 16 and 18, and electrodes 16a, 16b and 18a, 18b are formed on both main surfaces of the piezoelectric plates 16 and 18, respectively. Further, the piezoelectric plate 16 on the one main surface side of the shim 12 is provided with a rectangular notch 17 at the center of one end in the longitudinal direction, like the shim 12.
一方、シム12の他方主面にも、別の圧電体20が貼り付
けられる。この別の圧電体20も、圧電体14と同様に、積
層される2枚の圧電板22および24を含み、これらの圧電
板22および24の両主面にも、電極22a,22bおよび24a,24b
がそれぞれ形成されている。そして、シム12他方主面側
の圧電板22にも、その長手方向の一端中央に矩形状の切
欠部23が形成されている。On the other hand, another piezoelectric body 20 is attached to the other main surface of the shim 12. Similar to the piezoelectric body 14, this other piezoelectric body 20 also includes two piezoelectric plates 22 and 24 that are stacked, and the electrodes 22a, 22b and 24a, 24a, 24b
Are formed respectively. The piezoelectric plate 22 on the other principal surface side of the shim 12 also has a rectangular notch 23 formed at the center of one end in the longitudinal direction.
したがって、外側の圧電板18および24の間には、切欠
部13,17および23で直方体状の切欠26が形成される。そ
して、この切欠26には、たとえば断面略M字形の蛇腹構
造の接触片28aを有する金属片ないし端子28が挿入され
かつ固定される。この場合、端子28は、接触片28aの突
部が外側の圧電板18および24の内側の電極18aおよび24a
に接触するように、切欠26内に挿入されかつ固定され
る。なお、切欠26に端子28を固定するためには、接触片
28aと電極18aおよび24aとの接触部分で接着し、あるい
は、切欠26内に絶縁物を充填することによって行われ
る。Therefore, a rectangular parallelepiped notch 26 is formed by the notches 13, 17 and 23 between the outer piezoelectric plates 18 and 24. Then, a metal piece or a terminal 28 having a contact piece 28a having a bellows structure having a substantially M-shaped cross section, for example, is inserted and fixed in the notch 26. In this case, the terminal 28 includes the electrodes 18a and 24a inside the piezoelectric plates 18 and 24 with the protrusions of the contact piece 28a outside.
Is inserted and fixed in the notch 26 so as to contact the. In addition, in order to fix the terminal 28 in the notch 26, the contact piece
It is performed by adhering 28a and the electrodes 18a and 24a at the contact portions, or by filling the notch 26 with an insulating material.
なお、この圧電アクチュエータ10では、圧電横効果を
利用するため、たとえば、圧電板16および18はその分極
方向が対向するように貼り合わされ、逆に、圧電板22お
よび24はその分極方向が相反するように貼り合わされ
る。In this piezoelectric actuator 10, in order to utilize the piezoelectric lateral effect, for example, the piezoelectric plates 16 and 18 are bonded so that their polarization directions face each other, and conversely, the piezoelectric plates 22 and 24 have their polarization directions opposite to each other. Are stuck together.
さらに、外側の圧電板18および24の外側の電極18bお
よび24bには、それぞれ、外部端子30および32が接続さ
れる。すなわち、外部端子30は、矩形状の接続片30aを
含み、この接続片30aは圧電板18の電極18bに接着され
る。また、この接続片30aの端部には、そこから上述の
シム12の突片12aに延びるクランク状の引出片30bが形成
されている。同様に、外部端子32は、圧電板24の外側の
電極24bに接着される接続片32aを含み、この接続片32a
の端部にも、シム12の突片12aに延びるクランク状の引
出片32bが形成されている。Further, external terminals 30 and 32 are connected to the electrodes 18b and 24b on the outside of the piezoelectric plates 18 and 24 on the outside, respectively. That is, the external terminal 30 includes a rectangular connection piece 30a, and the connection piece 30a is bonded to the electrode 18b of the piezoelectric plate 18. Further, a crank-shaped pull-out piece 30b extending from the connecting piece 30a to the projecting piece 12a of the shim 12 is formed at the end of the connecting piece 30a. Similarly, the external terminal 32 includes a connection piece 32a adhered to the electrode 24b outside the piezoelectric plate 24, and the connection piece 32a.
A crank-shaped pull-out piece 32b extending to the protruding piece 12a of the shim 12 is also formed at the end of the.
この圧電アクチュエータ10では、1つの端子28で内側
の電極が取り出されるので、両主面に一方の極の電極が
存在する。したがって、圧電体14および20の端部での保
持が可能になり、圧電体14および20の長さを有効に生か
すことができる。In this piezoelectric actuator 10, since the inner electrode is taken out by one terminal 28, one pole electrode exists on both main surfaces. Therefore, the piezoelectric bodies 14 and 20 can be held at the ends, and the lengths of the piezoelectric bodies 14 and 20 can be effectively utilized.
さらに、1つの端子28で2箇所の電極を取り出してい
るので、電極を取り出すための部品点数が少なくなる。Further, since the electrodes are taken out at two places with one terminal 28, the number of parts for taking out the electrodes is reduced.
また、端子(金属片)28,30および32で電極を取り出
しているので、圧電体14および20の伸縮運動によって断
線を生じるようなことがなく、耐久性を確保することが
できる。Further, since the electrodes are taken out by the terminals (metal pieces) 28, 30 and 32, the breaking motion is not caused by the expansion and contraction movement of the piezoelectric bodies 14 and 20, and the durability can be secured.
なお、上述の実施例では、断面略M字形の接触片を有
する端子が用いられているが、端子としては、切欠内で
内部の電極に接続される形状のもの、たとえば、断面略
U字状の接触片を有するものなどが用いられてもよく、
その形状は任意に変更可能である。また、外部端子につ
いても、その形状を任意に変更してもよい。In the above-described embodiment, the terminal having the contact piece having a substantially M-shaped cross section is used, but the terminal has a shape connected to the internal electrode in the notch, for example, a substantially U-shaped cross section. Those having a contact piece of may be used,
The shape can be changed arbitrarily. Also, the shape of the external terminal may be changed arbitrarily.
第1図および第2図は、それぞれ、この発明の一実施例
を示し、第1図はその要部斜視図であり、第2図はその
要部分解斜視図である。 第3図ないし第5図は、それぞれ、この発明の背景とな
る従来の圧電アクチュエータの一例を示す要部斜視図で
ある。 図において、10は圧電アクチュエータ、12はシム、14お
よび20は圧電体、16,18,22および24は圧電板、16a,16b,
18a,18b,22a,22b,24aおよび24bは電極、26は切欠、28は
端子、30および32は外部端子を示す。1 and 2 respectively show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a main part thereof, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the main part thereof. 3 to 5 are perspective views of relevant parts showing an example of a conventional piezoelectric actuator which is the background of the present invention. In the figure, 10 is a piezoelectric actuator, 12 is a shim, 14 and 20 are piezoelectric bodies, 16, 18, 22 and 24 are piezoelectric plates, 16a, 16b,
18a, 18b, 22a, 22b, 24a and 24b are electrodes, 26 is a notch, 28 is a terminal, and 30 and 32 are external terminals.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野 士朗 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭54−87087(JP,A) 実開 昭64−48061(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shiro Makino 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Inside Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP 54-87087 (JP, A) 64-48061 (JP, U)
Claims (1)
を貼り合わせた圧電体と、両面全面に電極が形成された
2枚の圧電板を貼り合わせた別の圧電体とが、金属板の
各面に貼り合わされている圧電アクチュエータであっ
て、 前記圧電体を構成する2枚の圧電板のうちの前記金属板
側の圧電板と、前記別の圧電体を構成する2枚の圧電板
のうちの前記金属板側の圧電板と、前記金属板とに切欠
を形成し、前記切欠に金属片を挿入することによって、
前記圧電体を構成する2枚の圧電板が互いに貼り合わさ
れている面に形成されている電極と、前記別の圧電体を
構成する2枚の圧電板が互いに貼り合わされている面に
形成されている電極とが引き出されている、圧電アクチ
ュエータ。1. A piezoelectric body in which two piezoelectric plates each having electrodes formed on both surfaces thereof are bonded together, and another piezoelectric body in which two piezoelectric plates each having electrodes formed on both surfaces are bonded together. A piezoelectric actuator bonded to each surface of a metal plate, wherein a piezoelectric plate on the side of the metal plate of two piezoelectric plates forming the piezoelectric body and two piezoelectric plates forming the other piezoelectric body By forming a notch in the piezoelectric plate on the metal plate side of the piezoelectric plate and the metal plate, and by inserting a metal piece in the notch,
An electrode formed on a surface on which the two piezoelectric plates constituting the piezoelectric body are bonded to each other, and an electrode formed on a surface on which the two piezoelectric plates constituting the other piezoelectric body are bonded to each other, Piezoelectric actuator in which the electrodes that are present are pulled out.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63265834A JP2504142B2 (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63265834A JP2504142B2 (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Piezoelectric actuator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112291A JPH02112291A (en) | 1990-04-24 |
| JP2504142B2 true JP2504142B2 (en) | 1996-06-05 |
Family
ID=17422706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63265834A Expired - Fee Related JP2504142B2 (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Piezoelectric actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2504142B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5487087A (en) * | 1977-12-22 | 1979-07-11 | Ngk Spark Plug Co | Flexible laminate piezooelectric element terminal mounting method |
| JPS62250681A (en) * | 1986-04-23 | 1987-10-31 | Murata Mfg Co Ltd | Laminate bimorph cell having magnetic head fitted on one end side and support member fitted on the other |
-
1988
- 1988-10-20 JP JP63265834A patent/JP2504142B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02112291A (en) | 1990-04-24 |
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