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JP2505264B2 - Method for manufacturing optical information recording medium - Google Patents
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JP2505264B2 - Method for manufacturing optical information recording medium - Google Patents

Method for manufacturing optical information recording medium

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JP2505264B2 JP30703588A JP30703588A JP2505264B2 JP 2505264 B2 JP2505264 B2 JP 2505264B2 JP 30703588 A JP30703588 A JP 30703588A JP 30703588 A JP30703588 A JP 30703588A JP 2505264 B2 JP2505264 B2 JP 2505264B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、例えば光デイスクなどの光情報記録媒体の
製造方法に係り、特に2P法を用いた光情報記録媒体の製
造方法に関するものである。
The present invention relates to a method for manufacturing an optical information recording medium such as an optical disc, and more particularly to a method for manufacturing an optical information recording medium using the 2P method. .

[従来の技術] 光デイスクの記録方式の一つに、記録エリア上での角
速度が一定のCAV(Constant Angular Velocity)方式が
あるが、この方式ではデイスクの外周側に行くほど徐々
に記録密度が下がるという欠点がある。この欠点を解消
して記録密度を上げるために、CLV(Constant Linear V
elocity)方式、あるいはMCAV(Modified Constant Ang
ular Velocity)方式、MCLV(Modified Constant Linea
r Velocity)方式などが採用されている。
[Prior Art] One of the optical disk recording methods is a CAV (Constant Angular Velocity) method in which the angular velocity on the recording area is constant. In this method, the recording density gradually increases toward the outer periphery of the disk. It has the drawback of going down. In order to eliminate this drawback and increase the recording density, CLV (Constant Linear V
elocity) method or MCAV (Modified Constant Ang
Regular Velocity (MCV) method, MCLV (Modified Constant Linea)
r Velocity) method is adopted.

これらの方式は、デイスクの内周部、中間部ならびに
外周部において記録密度がほぼ一定になるように構成さ
れているが、特にMCAV方式およびMCLV方式のデイスクで
は記録エリアをデイスクの径方向に沿つて数段ないし数
十段のブロツクに分割して、外周へ行くほどブロツク内
のセクター数が増大するようにフオーマツトされてい
る。第8図はこのフオーマツトの説明図で、図中の7は
プリピツト8(第9図参照)が多数列設されたプリピツ
ト集合列である。図に示すように、ほとんどのプリピツ
ト集合列7の端部は隣接するブロツクのプリピツト集合
列7の端部とは位置的にずれて、隣接ブロツクのセクタ
ー部分と対向している。
These systems are configured so that the recording density is almost constant in the inner peripheral portion, the middle portion, and the outer peripheral portion of the disk, but especially in the MCAV type and MCLV type disks, the recording area is arranged along the radial direction of the disk. It is divided into blocks of several to several tens of stages, and the number of sectors in the block increases as it goes to the outer periphery. FIG. 8 is an explanatory view of this format. Reference numeral 7 in the drawing is a prepit set string in which a large number of prepits 8 (see FIG. 9) are arranged. As shown in the figure, the end portions of most of the prepet set rows 7 are displaced from the end portions of the prepet set rows 7 of the adjacent blocks and face the sector portions of the adjacent blocks.

一方、光デイスクの製造方法の一つとして、例えばガ
ラスなどの透明基板と、信号パターンの反転パターンが
形成されているスタンパとの間に、紫外線硬貨性樹脂を
展伸し、そのスタンパの反転パターンをレプリカ層に転
写する、所謂2P法が知られている。
On the other hand, as one of the methods for manufacturing an optical disk, for example, an ultraviolet coin resin is spread between a transparent substrate such as glass and a stamper on which an inversion pattern of a signal pattern is formed, and an inversion pattern of the stamper is formed. There is known a so-called 2P method for transferring a film onto a replica layer.

このようにして、光デイスクの表面にトラツキング用
の溝(プリグルーブ)を形成し、この溝の案内によりデ
イスク表面の記録層にレーザ光をスポツト上に集光し
て、局部的に融解することにより孔(プリピツト)を形
成し所望の情報を記録していた。
In this way, a groove (pre-groove) for tracking is formed on the surface of the optical disk, and the laser beam is focused on the spot on the recording layer on the disk surface by the guide of this groove to locally melt it. By this, holes (pripits) were formed and desired information was recorded.

[発明が解決しようとする課題] 第9図は、第8図円内のA−A方向の拡大断面図であ
る。図中の3は紫外線硬化樹脂などからなるレプリカ
層、5は記録層、9はプリグルーブである。
[Problems to be Solved by the Invention] FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view in the AA direction in the circle of FIG. In the figure, 3 is a replica layer made of an ultraviolet curable resin or the like, 5 is a recording layer, and 9 is a pre-groove.

ところで前記記録層5は蒸着やスパツタリングなどの
薄膜形成技術を用いて形成されるため、特にプリグルー
ブ9より溝の深い凹状プリピツト8の周面10は膜厚が極
めて薄い。また光デイスクに使用されている紫外線硬化
性樹脂は、吸水率が約2〜3%と比較的高い。そのため
光デイスクの組立中に、点線の矢印で示すように空気中
の水分がプリピツト8の周面10からレプリカ層3に浸透
する。前述のように多数のプリピツト8が列設されてプ
リピツト集合列7を形成しているため、前記水分の浸透
はこのプリピツト集合列7の付近において局部的に生
じ、その結果レプリカ層3が部分的に膨潤する。
By the way, since the recording layer 5 is formed by using a thin film forming technique such as vapor deposition or sputtering, the peripheral surface 10 of the concave pit 8 having a groove deeper than the pregroove 9 has a very thin film thickness. The UV curable resin used for the optical disc has a relatively high water absorption rate of about 2 to 3%. Therefore, during assembly of the optical disk, moisture in the air permeates the replica layer 3 from the peripheral surface 10 of the prepit 8 as indicated by a dotted arrow. As described above, since a large number of prepets 8 are arranged in a row to form the prepit aggregate row 7, the water infiltration locally occurs near the prepite aggregate row 7, and as a result, the replica layer 3 is partially formed. Swell to.

隣接するブロツクどうしのプリピツト集合列7が互に
直接上に並んでいる場合は、前述のレプリカ層3の膨潤
はデイスクの径方向においては互に打ち消し合うためさ
して問題はない。しかし、各ブロツク間においてプリピ
ツト集合列7が互に直線上に配置されることは極くまれ
で、プリピツト集合列7の端部が隣接ブロツクのセクタ
ー部分と対向する場合がほとんどである。そのような場
合、第9図に示すようにレプリカ層3の膨潤が隣接ブロ
ツクのセクター部分までにも及び、そのために前述のCL
V方式、MCAV方式およびMCLV方式では、ブロツクとブロ
ツクの境界付近にある数百から数千トラツクにわたりレ
ーザーのピツクアツプがトラツクの左右に振られる。従
つてトラツキングノイズが高くなり、記録に使用できな
い領域(デツド・ゾーン)が存在し、ブロツク数の多い
光デイスクではこのデツド・ゾーンが多くなり、記録容
量が著しく下がり、場合によつては前記CAV方式よりも
記録密度が下がつてしまう。
When the prepite set rows 7 of adjacent blocks are arranged directly above each other, there is no problem because the swelling of the replica layer 3 cancels each other in the radial direction of the disk. However, it is extremely rare that the prepet set rows 7 are arranged in a straight line with each other between the blocks, and in most cases, the ends of the prepet set rows 7 face the sector portions of the adjacent blocks. In such a case, as shown in FIG. 9, the swelling of the replica layer 3 extends to the sector portion of the adjacent block, and for that reason, the CL
In V, MCAV, and MCLV systems, the laser pick-up is swung to the left and right of the track over hundreds to thousands of tracks near the boundary between the blocks. Therefore, the tracking noise becomes high, and there is an area (dead zone) that cannot be used for recording, and in an optical disc with a large number of blocks, this dead zone becomes large, and the recording capacity drops significantly. The recording density is lower than that of the CAV method.

本発明の目的は、CLV方式、MCAV方式およびMCLV方式
のデイスクについてこのような従来技術の欠点を解消
し、トラツキングノイズを低減して信頼性の高い光情報
記録媒体の製造方法を提供するにある。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a highly reliable optical information recording medium by solving the drawbacks of the prior art with respect to the CLV system, MCAV system and MCLV system disks and reducing tracking noise. is there.

[課題を解決するための手段] 前述の目的を達成するため、本発明は、少なくとも透
明基板と、その透明基板上に設けられ例えばプリピツト
やプリグルーブなどの信号用の凹部を多数形成したレプ
リカ層と、そのレプリカ層上に例えば蒸着やスパツタリ
ングなどの薄膜形成技術で形成した記録層とを備え、組
立完了後には前記レプリカ層ならびに記録層が大気と遮
断される密閉構造を有する光情報記録媒体の製造方法に
おいて、前記レプリカ層ならびに記録層を大気と遮断す
る前に、レプリカ層に浸透した水分を除去する例えばベ
ーキングや真空脱水などのような脱水工程を設けたこと
を特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides at least a transparent substrate and a replica layer provided on the transparent substrate and provided with a large number of signal recesses such as prepits and pregrooves. And an optical information recording medium having a hermetically sealed structure in which the replica layer and the recording layer are shielded from the atmosphere after the assembly is completed, provided with a recording layer formed on the replica layer by a thin film forming technique such as vapor deposition or sputtering. In the manufacturing method, before the replica layer and the recording layer are shielded from the atmosphere, a dehydration step such as baking or vacuum dehydration for removing water that has permeated the replica layer is provided.

[作用] ベーキングや真空脱水などの脱水処理により、組立工
程中にレプリカ層に浸透した水分を除去することによ
り、レプリカ層の膨潤を減少もしくは皆無にすることが
でき、その結果トラツキングノイズを低減して信頼性の
高い光情報記録媒体を得ることができる。
[Operation] By removing moisture that has penetrated into the replica layer during the assembly process by dehydration processing such as baking or vacuum dehydration, swelling of the replica layer can be reduced or eliminated, and as a result, tracking noise is reduced. Thus, a highly reliable optical information recording medium can be obtained.

[実施例] 第1図(a)〜(d)は、実施例1に係る光デイスク
の記録単板の製造工程を説明するための工程図である。
同図の(a)に示すように、グルーブ(深さ0.09μm、
幅0.40μm)およびピツト(深さ0.16μm、幅0.60μ
m)を有する外径300mmのニツケル製スタンパ1を用意
する。
[Embodiment] FIGS. 1A to 1D are process diagrams for explaining a manufacturing process of a recording single plate of an optical disk according to Embodiment 1. FIGS.
As shown in (a) of the figure, the groove (depth 0.09 μm,
Width 0.40 μm) and pit (depth 0.16 μm, width 0.60 μm)
A nickel stamper 1 having an outer diameter of 300 mm and having a diameter of m) is prepared.

シランカツプリング剤(γ−メタクリロキシプロピル
トリメトキシシラン)を110℃で30分間焼付けた外径300
mm、厚さ1.2mmのガラス円板からなる透明基板2と前記
スタンパ1の間に、後述する紫外線硬化性樹脂3を介在
し、透明基板2をスタンパ1側に押しつけ、樹脂層3の
厚さを約80μmに保持する。
Outside diameter 300 after baking silane coupling agent (γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane) at 110 ℃ for 30 minutes
The thickness of the resin layer 3 is obtained by pressing the transparent substrate 2 to the stamper 1 side by interposing an ultraviolet curable resin 3 described later between the transparent substrate 2 made of a glass disk having a thickness of 1.2 mm and a thickness of 1.2 mm and the stamper 1. Is maintained at about 80 μm.

そして第1図(b)に示すように、透明基板2側から
波長320〜400nmにおける光強度が150mw/cm2のエネルギ
ー線を高圧水銀灯4を用いて30秒間照射し、前記紫外線
硬化性樹脂層3を硬化させてレプリカ層とする。
Then, as shown in FIG. 1 (b), an energy ray having a light intensity of 150 mw / cm 2 at a wavelength of 320 to 400 nm is irradiated from the transparent substrate 2 side for 30 seconds by using a high-pressure mercury lamp 4, and the ultraviolet curable resin layer 3 is cured to form a replica layer.

次に第1図(c)に示すように、スタンパ1を樹脂層
3(レプリカ層)から剥離し、情報パターン付きの透明
基板2を得る。しかる後、第1図(d)に示す如く樹脂
層3上にTe-Se-Pb系の記録層5を30nmの厚さに真空蒸着
する。
Next, as shown in FIG. 1C, the stamper 1 is peeled off from the resin layer 3 (replica layer) to obtain a transparent substrate 2 with an information pattern. Thereafter, as shown in FIG. 1D, a Te—Se—Pb type recording layer 5 is vacuum-deposited on the resin layer 3 to a thickness of 30 nm.

第2図は記録単板の変形例を示す図で、第1図に示し
た光デイスクと相違する点は、レプリカ層3と記録層5
との間に、ニトロセルロースやポリテトラフルオロエチ
レン(フツ素樹脂)などの下地層6が設けられている。
FIG. 2 is a diagram showing a modified example of the recording single plate, and is different from the optical disc shown in FIG. 1 in that the replica layer 3 and the recording layer 5 are different.
A base layer 6 made of nitrocellulose, polytetrafluoroethylene (fluorine resin), or the like is provided between and.

第3図ないし第5図は、これらの記録単板を用いた光
デイスクの断面図である。
3 to 5 are sectional views of an optical disk using these recording single plates.

第3図の光デイスクの場合、2枚の記録単板の記録層
5側を互に内側にし、内周スペーサ11ならびに外周スペ
ーサ12を介して貼合せた両面記録式のエアサンドイツチ
型構造になつている。
In the case of the optical disc shown in FIG. 3, the recording layer 5 side of two recording single plates are placed inside each other, and the recording layer 5 side is laminated with the inner peripheral spacer 11 and the outer peripheral spacer 12 bonded to each other. It has become.

第4図の光デイスクの場合、1枚の記録単板と1枚の
保護板13とを、記録層5が内側になるように、内周スペ
ーサ11ならびに外周スペーサ12を介して貼合わせた片面
記録式のエアサンドイツチ型構造になつている。
In the case of the optical disc shown in FIG. 4, one recording single plate and one protective plate 13 are attached to each other via the inner peripheral spacer 11 and the outer peripheral spacer 12 so that the recording layer 5 is located inside. It has a record-type Air Sun Germany type structure.

第5図の光デイスクの場合、記録単板の記録層5上に
耐湿性の保護層14が塗布形成された単板型構造になつて
いる。
The optical disc shown in FIG. 5 has a single-plate structure in which a moisture-resistant protective layer 14 is formed by coating on the recording layer 5 of the recording single plate.

これら第3図ないし第5図のいずれの構造でも、光デ
イスクの組立てが完了した状態では、記録層5は大気と
遮断された密閉構造となつている。
In any of the structures shown in FIGS. 3 to 5, the recording layer 5 has a closed structure that is shielded from the atmosphere when the optical disc is completely assembled.

これら各種の構造を有するCLV方式、MCAV方式あるい
はMCLV方式の光デイスクは、通常、大気中において組立
てられる訳であるが、記録層5の形成直後はレプリカ層
3中には殆んど水分が浸透しておらず、湿潤も起こつて
いない。しかし、前述のように記録層5を形成して、光
デイスクの組立てが完了するまで、換言すればレプリカ
層3や記録層5が大気と遮断されるまでの間に、プリピ
ツト8の膜厚の薄い部分から水分が浸透して、レプリカ
層3が部分的に膨潤する。
CLV, MCAV, or MCLV optical discs having these various structures are usually assembled in the atmosphere, but most of the water penetrates into the replica layer 3 immediately after the recording layer 5 is formed. No, no wetting has occurred. However, until the recording layer 5 is formed as described above and the assembly of the optical disk is completed, in other words, the replica layer 3 and the recording layer 5 are shielded from the atmosphere, Water penetrates from the thin portion, and the replica layer 3 partially swells.

そこで、レプリカ層3に吸収された水分を脱水すれ
ば、この変形は元に戻ることができる。この脱水処理に
は、ベーキングならびに真空脱水が有効である。
Therefore, if the water absorbed in the replica layer 3 is dehydrated, this deformation can be restored. Baking and vacuum dehydration are effective for this dehydration treatment.

ベーキングの条件としては、透明基板上にレプリカ層
ならびに記録層などを形成した記録単板を、例えば温度
が室温から約100℃の間で、相対湿度が約40%RH以下の
条件下で約30分間から約50時間の間放置して脱水処理を
行ない、その後速やか(例えば約30分間以内)に光デイ
スクを組立てる。
As the baking conditions, for example, a recording single plate having a replica layer and a recording layer formed on a transparent substrate is heated at a temperature between room temperature and about 100 ° C. and a relative humidity of about 40% RH or less at about 30%. Leave it for about 50 minutes to dehydrate, and then assemble the optical disk promptly (for example, within about 30 minutes).

また真空脱水の条件としては、前記記録単板を真空度
が0.1〜1Torrの真空槽中に約12時間放置して脱水処理を
行ない、その後速やか(例えば約30分間以内)に光デイ
スクを組立てる。なお、真空槽内での保持時間を短縮す
るため、真空槽内で記録単板を約100℃以下に加熱する
こともできる。
The conditions for vacuum dehydration are as follows: the recording veneer is left in a vacuum chamber having a vacuum degree of 0.1 to 1 Torr for about 12 hours to perform dehydration treatment, and then an optical disc is assembled promptly (for example, within about 30 minutes). In order to shorten the holding time in the vacuum chamber, the recording veneer can be heated to about 100 ° C. or lower in the vacuum chamber.

次に脱水処理の具体例について説明する。 Next, a specific example of the dehydration process will be described.

(具体例1) 透明基板上にレプリカ層ならびに記録層などを形成し
た記録単板を、80℃,20%RH以下の雰囲気において2時
間放置することによりベーキングを行い、その後30分間
以内に光デイスクの組立てを完了して密閉構造にする。
(Specific Example 1) A recording veneer having a replica layer and a recording layer formed on a transparent substrate is left for 2 hours in an atmosphere of 80 ° C. and 20% RH or less for baking, and then the optical disc is heated within 30 minutes. The assembly is completed to form a closed structure.

(具体例2) 透明基板上にレプリカ層ならびに記録層などを形成し
た記録単板を、真空度1Torrの真空槽中に約12時間報知
して真空脱水を行い、その後30分間以内に光デイスクの
組立てを完了して密閉構造にする。
(Specific Example 2) A recording veneer having a replica layer and a recording layer formed on a transparent substrate is vacuum dehydrated in a vacuum chamber having a vacuum degree of 1 Torr for about 12 hours. Complete the assembly into a closed structure.

前述の具体例では記録単板のベーキングあるいは真空
脱水を行なつたが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、例えば光デイスクを未密閉の状態に組立て、その
後脱水処理を行なつて、処理したあとに密閉構造とする
こともできる。
Although baking or vacuum dehydration of the recording single plate was performed in the above-described specific example, the present invention is not limited to this, and for example, an optical disc is assembled in an unsealed state, and then dehydration treatment is performed. It is also possible to make a closed structure after processing.

第6図はその製造例を示す図で、同図に示すように内
側から外側に向けて貫通した溝あるいは孔などの水分除
去通路15を1本もしくは周方向に所定の間隔をおいて複
数本形成した外周スペーサ12を用いて、光デイスクを非
密閉状態に組立る。これを例えば1〜2Torrの真空度を
有する真空槽中に12時間放置することにより、レプリカ
層中の水分を前記水分除去通路15を通して吸引除去し、
その後直ちに水分除去通路15を例えばエポキシ樹脂など
の接着剤16で閉塞して密閉構造とする。
FIG. 6 is a diagram showing a manufacturing example thereof, and as shown in the figure, one moisture removing passage 15 such as a groove or a hole penetrating from the inside to the outside or a plurality of moisture removing passages 15 at predetermined intervals in the circumferential direction. The optical disk is assembled in a non-sealed state by using the formed outer peripheral spacer 12. For example, by leaving this in a vacuum chamber having a vacuum degree of 1 to 2 Torr for 12 hours, the moisture in the replica layer is sucked and removed through the moisture removal passage 15,
Immediately thereafter, the moisture removal passage 15 is closed with an adhesive 16 such as an epoxy resin to form a closed structure.

[発明の効果] 第7図は、前記具体例1,2ならびにレプリカ層の脱水
処理を行わない従来例のノイズ特性図である。この図
は、縦軸にトラツキングノイズ(レプリカ層の膨潤にと
もなう隣接ブロツクの[ノイズの大きさ/トラツキング
ジヤンプ信号の振幅])をとり、横軸にはブロツク境界
線からのトラツク数(距離/1トラツクのピツチ)をとつ
て、両者の相関関係を示したものである。
[Effects of the Invention] FIG. 7 is a noise characteristic diagram of the first and second specific examples and a conventional example in which the dehydration process of the replica layer is not performed. In this figure, the vertical axis represents tracking noise ([noise magnitude of adjacent blocks due to swelling of the replica layer / amplitude of tracking jump signal]), and the horizontal axis represents the number of tracks (distance from the block boundary line). / 1 track pitch) to show the correlation between the two.

トラツキングノイズで通常の記録再生上で影響のない
レベルは、同図において点線で示すように5%以下であ
る。
The level of tracking noise that has no effect on normal recording / reproduction is 5% or less as shown by the dotted line in FIG.

従つて従来のものでは、ブロツク境界線の内周側で40
0トラツク、外周側でも400トラツク程度、合計して800
トラツク程度が記録に使用できず、デツド・ゾーンとな
つている。これに対して本発明のものは、トラツキング
ノイズが低くどのトラツクでも平坦で、ブロツク境界線
近くでも全て使用でき、記録容量の減少を防止し、CLV
方式MCAV方式あるいはMCLV方式の特長が十分に発揮で
き、信頼性の高い光情報記録媒体を製造することができ
る。
Therefore, in the case of the conventional one, 40 on the inner side of the block boundary line.
0 tracks, about 400 tracks on the outer circumference, 800 in total
Tracks are not available for recording and are in dead zone. On the other hand, the present invention has low tracking noise, is flat in any track, and can be used near the block boundary line to prevent a decrease in recording capacity.
The advantages of the MCAV method or the MCLV method can be fully exhibited, and a highly reliable optical information recording medium can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図(a)〜(d)は本発明の実施例に係る記録単板
の製造工程図、第2図は記録単板の変形例を示す断面
図、第3図、第4図ならびに第5図は本発明の実施例に
係る光デイスクの断面図、第6図は脱水処理の他の例を
示す説明図、第7図はトラツキングノイズ特性図、第8
図はCLV方式、MCAV方式あるいはMCLV方式による光デイ
スクの一部拡大平面図、第9図は第8図円内におけるA
−A線方向の拡大断面図である。 2……透明基板、3……レプリカ層、5……記録層、7
……プリピツト集合列、8……プリピツト、9……プリ
グルーブ、15……水分除去通路。
1 (a) to 1 (d) are manufacturing process diagrams of a recording veneer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing a modified example of the recording veneer, FIG. 3, FIG. 4 and FIG. FIG. 5 is a sectional view of an optical disk according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is an explanatory view showing another example of dehydration treatment, FIG. 7 is a tracking noise characteristic view, and FIG.
The figure shows a partially enlarged plan view of an optical disk using the CLV system, MCAV system, or MCLV system. Fig. 9 is A in the circle of Fig. 8.
It is an expanded sectional view of the A line direction. 2 ... Transparent substrate, 3 ... Replica layer, 5 ... Recording layer, 7
…… Prepit assembly line, 8 …… Prepit, 9 …… Pregroove, 15 …… Water removal passage.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも透明基板と、その透明基板上に
設けられ信号用の凹部を多数形成したレプリカ層と、そ
のレプリカ層上に薄膜形成技術で形成した記録層とを備
え、組立完了後には前記レプリカ層ならびに記録層が大
気と遮断される密閉構造を有する光情報記録媒体の製造
方法において、前記レプリカ層ならびに記録層を大気と
遮断する前に、レプリカ層に浸透した水分を除去する脱
水工程を設けたことを特徴とする光情報記録媒体の製造
方法。
1. A transparent substrate, a replica layer formed on the transparent substrate and having a large number of recesses for signals, and a recording layer formed on the replica layer by a thin film forming technique. In a method for manufacturing an optical information recording medium having a hermetically sealed structure in which the replica layer and the recording layer are shielded from the atmosphere, a dehydration step of removing water that has penetrated into the replica layer before shielding the replica layer and the recording layer from the atmosphere A method for manufacturing an optical information recording medium, characterized by comprising:
【請求項2】請求項(1)記載において、前記脱水工程
がベーキングであることを特徴とする光情報記録媒体の
製造方法。
2. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the dehydration step is baking.
【請求項3】請求項(1)記載において、前記脱水工程
が真空脱水処理であることを特徴とする光情報記録媒体
の製造方法。
3. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the dehydration step is a vacuum dehydration process.
JP30703588A 1988-12-06 1988-12-06 Method for manufacturing optical information recording medium Expired - Fee Related JP2505264B2 (en)

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