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JP2539432B2 - Resin-sealed semiconductor device - Google Patents
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JP2539432B2 - Resin-sealed semiconductor device - Google Patents

Resin-sealed semiconductor device

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JP2539432B2
JP2539432B2 JP62128333A JP12833387A JP2539432B2 JP 2539432 B2 JP2539432 B2 JP 2539432B2 JP 62128333 A JP62128333 A JP 62128333A JP 12833387 A JP12833387 A JP 12833387A JP 2539432 B2 JP2539432 B2 JP 2539432B2
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resin
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stress
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子装置、特に、樹脂封止型パッケージに
おけるクラックの発生防止技術に関し、例えば、表面実
装型プラスチック・パッケージを備えている半導体集積
回路装置(以下、ICという。)に利用して有効な技術に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for preventing the occurrence of cracks in an electronic device, in particular, a resin-sealed package, and, for example, a semiconductor integrated circuit provided with a surface mount type plastic package. The present invention relates to a technology effectively used for a circuit device (hereinafter referred to as IC).

〔従来の技術〕[Conventional technology]

高密度実装を実現するためのICとして、ペレットがボ
ンディングされたタブの平面面積が比較的大きく(例え
ば、5mm□以上)、アウタリードが表面実装されるよう
に構成されている樹脂封止型パッケージを備えているも
のがある。
As an IC for high-density mounting, a resin-sealed package in which the tab to which pellets are bonded has a relatively large planar area (for example, 5 mm □ or more) and the outer leads are surface-mounted I have something to prepare.

なお、このようなICを述べてある例としては、株式会
社工業調査会発行「IC化実装技術」昭和55年1月10日発
行P135〜P155、がある。
As an example of describing such an IC, there is "IC implementation technology" issued by the Industrial Research Institute Co., Ltd., January 10, 1980, P135 to P155.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、このような表面実装型プラスチック・パッケ
ージを備えているICにおいては、ペレットを形成してい
るシリコン、リードフレームを形成している42アロイや
銅、およびパッケージを形成している樹脂についての熱
膨張係数が大きく異なるため、ICが温度サイクル試験や
熱衝撃試験等で、また、実装時におけるはんだディップ
やリフローはんだ工程等で加熱されることにより、パッ
ケージと、ペレットおよびリードフレームのタブとの接
着界面に剥がれが生じ、その結果、樹脂パッケージにタ
ブの裏面を起点とするクラックが発生するという問題点
があることが、本発明者によって明らかにされた。
However, in an IC equipped with such a surface mount plastic package, the heat of the silicon forming the pellet, the 42 alloy or copper forming the lead frame, and the resin forming the package is Due to the large difference in expansion coefficient, the IC is bonded to the pellet and the tab of the lead frame by being heated in the temperature cycle test, thermal shock test, etc., and in the solder dip or reflow soldering process during mounting. It has been clarified by the present inventor that peeling occurs at the interface, and as a result, a crack occurs in the resin package starting from the back surface of the tab.

本発明の目的は、樹脂封止型パッケージにおけるクラ
ックの発生を防止することができる電子装置を提供する
ことにある。
An object of the present invention is to provide an electronic device that can prevent the occurrence of cracks in a resin-sealed package.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of the present invention are as follows.
It will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を説明すれば、次の通りである。
The typical ones of the inventions disclosed in the present application will be outlined as follows.

すなわち、樹脂封止されるペレットの取付部であるタ
ブに第1の方向に沿って形成された略長円形状の複数の
第1の透孔と、第1の方向に直交する第2の方向に沿っ
て形成された略長円形状の複数の第2の透孔とを有する
樹脂封止型半導体装置とするものである。
That is, a plurality of substantially oval first through holes formed along a first direction in a tab that is a mounting portion of a resin-sealed pellet, and a second direction orthogonal to the first direction. The resin-sealed semiconductor device has a plurality of substantially oval-shaped second through holes formed along the above.

〔作用〕[Action]

前記した手段によれば、熱ストレスによる繰り返し応
力により、タブ下面とパッケージまたはタブとペレット
との界面に対してこれを剥離させようとする力が作用し
たとしても、透孔内に充填されているパッケージの樹脂
が投錨効果を発揮することにより、その剥離力に対して
充分に抗することができるため、剥離は確実に防止され
る。剥離が発生しない場合には、パッケージ内部におい
てタブの裏面における外縁付近に応力が集中したとして
も、そこを起点とするクラックは発生しない。
According to the above-mentioned means, even if a force for peeling the interface between the lower surface of the tab and the package or the interface between the tab and the pellet acts due to the repeated stress due to the thermal stress, it is filled in the through hole. Since the resin of the package exerts the anchoring effect, the peeling force can be sufficiently resisted, so that the peeling is surely prevented. When peeling does not occur, even if stress concentrates near the outer edge on the back surface of the tab inside the package, cracks originating from the stress do not occur.

また、タブに透孔が開設されていることにより、タブ
の横断面積は減少されているため、タブの熱膨張による
伸び量が縮小されることになる。その結果、タブの外側
縁辺においてタブとパッケージ樹脂との熱膨張差によっ
て発生する集中応力の大きさ自体が小さく抑制されるた
め、万一、剥離が発生したとしても、パッケージ内部に
おいて応力集中箇所を起点とするクラックの発生は防止
されることになる。
Further, since the through hole is formed in the tab, the cross-sectional area of the tab is reduced, so that the elongation amount due to the thermal expansion of the tab is reduced. As a result, the magnitude of the concentrated stress generated due to the difference in thermal expansion between the tab and the package resin on the outer edge of the tab is suppressed to a small level. The generation of cracks from the starting point will be prevented.

〔実施例1〕 第1図は本発明の一実施例である表面実装型樹脂封止
パッケージを備えているICを示す縦断面図、第2図はそ
のタブを示す拡大部分平面図、第3図はその製造途中を
示す平面図、第4図はその作用を説明するためのパッケ
ージ内部の応力分布図である。
[Embodiment 1] FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an IC equipped with a surface mount type resin-sealed package which is an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged partial plan view showing its tab. FIG. 4 is a plan view showing the manufacturing process, and FIG. 4 is a stress distribution diagram inside the package for explaining its operation.

本実施例において、表面実装型樹脂封止パッケージを
備えているIC1はリードフレーム2を備えており、リー
ドフレーム2はパッケージング以前には第3図に示され
ているように構成されている。すなわち、リードフレー
ム2は交差部に略正方形の空所3が残るように略十字形
状に配設されている複数本のインナリード4と、各イン
ナリード4にそれぞれ一体的に連設されている複数本の
アウタリード5と、隣り合うアウタリード5、5間に架
設されているダム6と、一対のアウタリード5群に連設
されている一対の外枠7と、空所3に配されてこれより
も若干小さめの略正方形の平板形状に形成されているタ
ブ8と、ダム6に四隅からそれぞれ突設されてタブ8を
吊持している保持部材9とを備えている。
In the present embodiment, the IC 1 equipped with the surface mount type resin-sealed package is equipped with the lead frame 2, and the lead frame 2 is configured as shown in FIG. 3 before packaging. That is, the lead frame 2 is integrally connected to each of the inner leads 4 and a plurality of inner leads 4 arranged in a substantially cross shape so that a substantially square space 3 remains at the intersection. A plurality of outer leads 5, a dam 6 installed between adjacent outer leads 5 and 5, a pair of outer frames 7 connected to a pair of outer leads 5 group, and arranged in the void 3 The tab 8 is formed in a slightly smaller, substantially square flat plate shape, and the holding member 9 is provided to project from the four corners of the dam 6 and suspends the tab 8.

タブ8は略正方形の平板形状に形成されており、その
中央部には透孔10が同心的に配されて、肉厚方向に貫通
するように開設されている。透孔10は横断面形状が真円
形状に、また、縦断面形状がペレットボンディング面側
(以下、上面とする。)が次第に大口径になるテーパ形
状に形成されている。タブ8の上面には環状溝11が透孔
10を取り囲むように配されて刻設されている。リードフ
レーム2は打ち抜きプレス加工により形成される。そこ
で、例えば、タブ8を打ち抜くプレス金型の刃に透孔10
を打ち抜く歯を形成しておくことにより、透孔10はタブ
8の打ち抜き加工と同時に形成することができる。ま
た、タブ8にエッチング加工を施しても透孔10を形成す
ることができるし、環状溝11も同様にして形成すること
ができる。
The tab 8 is formed in a substantially square flat plate shape, and a through hole 10 is concentrically arranged in the central portion thereof so as to be penetrated in the thickness direction. The through hole 10 has a cross-sectional shape that is a perfect circle, and a vertical cross-section that has a taper shape in which the diameter of the pellet bonding surface side (hereinafter referred to as the upper surface) gradually increases. An annular groove 11 is formed on the upper surface of the tab 8 as a through hole.
It is arranged and engraved so as to surround 10. The lead frame 2 is formed by punching press work. Therefore, for example, the through hole 10 is formed in the blade of the press die for punching out the tab 8.
By forming the teeth for punching, the through hole 10 can be formed at the same time as the tab 8 is punched. Further, the through hole 10 can be formed even if the tab 8 is subjected to etching processing, and the annular groove 11 can be similarly formed.

タブ8上には集積回路を作り込まれたペレット12が銀
ペースト等から成る接着剤層13によりボンディングされ
ており、ペレット12の電極パッドには各インナリード4
との間にワイヤ14がそれぞれボンディングされている。
ペレット12の集積回路は電極パッド、ワイヤ14、インナ
リード4およびアウタリード5を介して電気的に外部に
引き出されるようになっている。
A pellet 12 in which an integrated circuit is formed is bonded on the tab 8 with an adhesive layer 13 made of silver paste or the like, and each inner lead 4 is attached to an electrode pad of the pellet 12.
Wires 14 are respectively bonded between and.
The integrated circuit of the pellet 12 is electrically drawn to the outside through the electrode pad, the wire 14, the inner lead 4 and the outer lead 5.

ここで、ペレット12のタブ8への接着材を用いたボン
ディング作業において、第2図に想像線で示されている
ように接着材13aはタブ8上面における環状溝11の外方
へ散点的に塗布される。続いて、ペレット12がタブ8上
に載せられて微小ストロークをもって全方向に摺動され
る。この摺動により接着材13aは広範囲に拡げられる
が、透孔10内へはみ出す危険がある。しかし、本実施例
においては、環状溝11が透孔10を取り囲むように配設さ
れていることにより、接着材13aはこの溝11にせき止め
られるため、透孔10内にはみ出すことはない。
Here, in the bonding operation of the pellet 12 to the tab 8 using the adhesive, the adhesive 13a is scattered to the outside of the annular groove 11 on the upper surface of the tab 8 as shown by an imaginary line in FIG. Applied to. Then, the pellet 12 is placed on the tab 8 and slid in all directions with a minute stroke. This sliding causes the adhesive material 13a to be spread over a wide range, but there is a risk of protruding into the through hole 10. However, in the present embodiment, since the annular groove 11 is arranged so as to surround the through hole 10, the adhesive material 13a is restrained in this groove 11 and therefore does not protrude into the through hole 10.

そして、ワイヤボンディングされたIC1はパッケージ1
5を樹脂を用いてトランスファ成形法等により略正方形
の平盤形状に一体成形される。このパッケージ15により
前記リードフレーム2の一部、ペレット12、ワイヤ14お
よびタブ8が非気密封止されている。すなわち、タブ8
等以外のアウタリード5群はパッケージ15の4側面から
それぞれ突出され、そして、アウタリード5群はパッケ
ージ15の外部において下方向に屈曲された後、水平外方
向にさらに屈曲されている。ちなみに、パッケージ15の
成形後、前記外枠7および隣接するアウタリード5、5
間は切り落とされる。
And the wire-bonded IC1 is package 1
5 is integrally molded into a substantially square flat plate shape using a transfer molding method using resin. By this package 15, a part of the lead frame 2, the pellet 12, the wire 14 and the tab 8 are hermetically sealed. Ie tab 8
The outer lead groups 5 other than the above are respectively projected from the four side surfaces of the package 15, and the outer lead group 5 is bent downward outside the package 15 and then further bent outward in the horizontal direction. Incidentally, after the package 15 is molded, the outer frame 7 and the adjacent outer leads 5, 5 are formed.
The spaces are cut off.

次に作用を説明する。 Next, the operation will be described.

前記構成にかかるICは出荷前に抜き取り検査を実施さ
れる。抜き取り検査としては温度サイクル試験や熱衝撃
試験を含む環境試験が実施される。また、このICがプリ
ント配線基板等に実装される際、はんだディップやリフ
ローはんだ処理によってICは加熱される。
The IC according to the above configuration is subjected to a sampling inspection before shipping. Environmental tests including temperature cycle tests and thermal shock tests are carried out as sampling inspections. Moreover, when this IC is mounted on a printed wiring board or the like, the IC is heated by solder dipping or reflow soldering.

このような環境試験または実装時に熱ストレスが前記
FPPICに加えられた場合、構成材料の熱膨張係数差によ
りパッケージ15の内部に応力が発生する。
When such environmental test or mounting, heat stress is
When applied to FPPIC, stress is generated inside the package 15 due to the difference in the coefficient of thermal expansion of the constituent materials.

ところで、タブの外周縁が鋭い直角に形成されている
場合、第4図に示されているように、パッケージの内部
応力はタブ8の裏面における外縁付近に集中する。但
し、パッケージのクラックはこの程度の応力集中では発
生しない。しかし、度重なる熱ストレスによる繰り返し
応力により、タブ下面とパッケージ、またはタブとペレ
ットとの界面に剥離が発生すると、前記応力集中箇所に
過大な応力が作用するため、そこを起点にしてクラック
が発生する。さらに、パッケージ完成後の保管過程にお
いて、万一、湿気がタブ下面とパッケージとの間に剥離
によって発生した隙間に侵入すると、加熱によって湿気
が膨張することにより、一層過大な応力が発生されるた
め、前記応力集中箇所を起点とするクラックは一層発生
され易くなるという問題点があることが、本発明者によ
って明らかにされた。
By the way, when the outer peripheral edge of the tab is formed at a sharp right angle, the internal stress of the package is concentrated near the outer edge on the back surface of the tab 8, as shown in FIG. However, cracks in the package do not occur at this concentration of stress. However, when peeling occurs at the interface between the tab lower surface and the package or the tab and the pellet due to repeated stress due to repeated thermal stress, excessive stress acts on the stress concentration point, and a crack occurs from that point. To do. Furthermore, in the storage process after the package is completed, if moisture enters the gap between the bottom surface of the tab and the package due to peeling, the moisture expands due to heating, causing even greater stress. It has been clarified by the present inventor that there is a problem that cracks originating from the stress concentration points are more likely to occur.

同様な研究が、財団法人日本科学技術連盟発行「第14
回信頼性シンポジウム発表報文集」1984年5月29日発行
P303〜P306、に発表されている。
A similar study is published in Japan Science and Technology Federation
Annual Reliability Symposium Proceedings "May 29, 1984
Published in P303-P306.

そして、42アロイからなるリードフレームが使用され
ている場合にはタブ下面とパッケージとの界面における
剥離が、銅からなるリードフレームが使用されている場
合にはペレットとタブとの界面における剥離が、それぞ
れ発生したときに、タブ下端部の応力は大幅に増加し、
パッケージにクラックが発生する。特に、熱膨張係数が
パッケージに使用されている樹脂と略同一の銅からなる
リードフレームが使用されている場合でも、ペレットと
タブとの界面における剥離が発生すると、タブ側面に接
するパッケージの樹脂部分が開口し、過大な応力が作用
してクラックが発生する。
And, when the lead frame made of 42 alloy is used, peeling at the interface between the tab lower surface and the package, and when the lead frame made of copper is used, peeling at the interface between the pellet and the tab, When each occurs, the stress at the bottom of the tab increases significantly,
The package cracks. In particular, even when a lead frame made of copper, whose coefficient of thermal expansion is almost the same as that of the resin used in the package, is used, if peeling occurs at the interface between the pellet and the tab, the resin portion of the package that contacts the side surface of the tab Opens, and excessive stress acts to cause cracks.

そして、表面実装型のパッケージを備えているICにお
いてこのようなクラックが発生すると、表面実装の必要
上パッケージが薄く形成されているため、クラックがパ
ッケージ表面に達し易く、その開口からの湿気の侵入の
ため、耐湿性が急激に低下することになる。
When such a crack occurs in an IC equipped with a surface mount type package, the package is made thin due to the need for surface mounting, so the crack easily reaches the package surface, and the intrusion of moisture through the opening. Therefore, the moisture resistance is sharply reduced.

しかし、本実施例においては、タブ8に透孔10が形成
されているため、ペレット14にクラックが発生すること
はない。
However, in this embodiment, since the through hole 10 is formed in the tab 8, the pellet 14 is not cracked.

すなわち、前述したような熱ストレスによる繰り返し
応力により、タブ8下面とパッケージ15、またはタブ8
とペレット12との界面に対してこれを剥離させようとす
る力が作用したとしても、透孔10内に充填されているパ
ッケージの樹脂が投錨効果を発揮することにより、その
剥離力に対して充分に抗することができるため、剥離は
確実に防止される。そして、剥離が発生しない場合に
は、タブ8の裏面における外縁付近に応力が集中したと
しても、そこを起点とするクラックが発生しないのは前
述した通りである。ちなみに、透孔10をペレット付け面
側が大口径になるテーパ孔に形成しておくと、前記投錨
効果は一層高くなる。
That is, the lower surface of the tab 8 and the package 15, or the tab 8 is repeatedly subjected to the thermal stress as described above.
Even if a force for peeling this is applied to the interface between the pellet 12 and the pellet 12, the resin of the package filled in the through hole 10 exerts an anchoring effect, so that the peeling force Since it can sufficiently resist, peeling is surely prevented. As described above, when the peeling does not occur, even if the stress is concentrated near the outer edge of the back surface of the tab 8, the crack originating from the stress does not occur. By the way, if the through hole 10 is formed as a tapered hole having a large diameter on the pelletizing surface side, the anchoring effect is further enhanced.

また、タブ8に透孔10が開設されていることによりタ
ブ8の横断面積は減少されているため、タブの熱膨張に
よる伸び量がその分、縮小されることになる。その結
果、タブ8の外側縁辺においてタブとパッケージ樹脂と
の熱膨張差によって発生する集中応力の大きさ自体が小
さく抑制されるため、万一、パッケージ15内部において
前記のような剥離が発生したとしても、応力集中箇所を
起点とするクラックの発生を防止されることになる。
Further, since the cross-sectional area of the tab 8 is reduced by forming the through hole 10 in the tab 8, the amount of expansion due to the thermal expansion of the tab is reduced accordingly. As a result, the magnitude of the concentrated stress generated due to the difference in thermal expansion between the tab and the package resin on the outer edge of the tab 8 is suppressed to a small level, so that the above peeling may occur inside the package 15. Also, the occurrence of cracks originating from the stress concentration point is prevented.

前記実施例によれば次の効果が得られる。 According to the above embodiment, the following effects can be obtained.

(1) タブに透孔を肉厚方向に貫通するように開設す
ることにより、熱ストレスに伴い発生する応力によりタ
ブとパッケージとが剥離されるのを防止することができ
るため、タブの外周縁を起点とするパッケージにおける
クラックの発生を防止することができる。
(1) By opening the through hole in the tab so as to penetrate in the thickness direction, it is possible to prevent the tab and the package from being separated from each other due to the stress generated by the thermal stress. It is possible to prevent the occurrence of cracks in the package starting from.

(2) 前記(1)により、パッケージにおけるクラッ
クの発生を防止することができるので、表面実装型パッ
ケージをさらに薄型で、かつ小型化させることができ、
表面実装型パッケージを備えているICの集積密度および
実装密度をさらに一層高めることができる。
(2) Since the generation of cracks in the package can be prevented by the above (1), the surface mount type package can be made thinner and smaller.
It is possible to further increase the integration density and mounting density of the IC having the surface mount type package.

(3) 透孔をペレット付け面側が大口径になるテーパ
孔に形成しておくことにより、テーパ孔に充填された樹
脂の中実部による投錨効果を高めることができるため、
タブとパッケージとの剥離を確実に防止することによ
り、パッケージにおけるタブの外縁を起点とするクラッ
クの発生を一層確実に防止することができる。
(3) By forming the through hole in a tapered hole having a large diameter on the pelletizing surface side, the anchoring effect of the solid portion of the resin filled in the tapered hole can be enhanced,
By reliably preventing the tab and the package from peeling off, it is possible to more reliably prevent the occurrence of cracks originating from the outer edge of the tab in the package.

(4) 透孔の外方に環状溝を配設することにより、ペ
レットボンディング時に接着剤が透孔にはみ出すのを防
止することができるため、透孔に樹脂を確実に充填させ
ることができる。
(4) By disposing the annular groove outside the through-hole, it is possible to prevent the adhesive from protruding into the through-hole during pellet bonding, so that the through-hole can be reliably filled with the resin.

(5) 透孔はリードフレームの打ち抜きプレス加工時
にタブと同時成形することができるため、作業性の低下
を抑制することができる。
(5) Since the through hole can be formed at the same time as the tab at the time of punching and pressing the lead frame, it is possible to suppress deterioration in workability.

〔実施例2〕 第5図は本発明の実施例2を示すもので、第2図に相
当する拡大部分平面図である。
[Embodiment 2] FIG. 5 shows Embodiment 2 of the present invention and is an enlarged partial plan view corresponding to FIG.

本実施例2が前記実施例1と異なる点は、5個の透孔
10Aがタブ8Aの中心線に沿って四辺および略中央部にそ
れぞれ配されて開設されている点にあり、その作用およ
び効果は前記実施例1と略同様である。
The second embodiment differs from the first embodiment in that it has five through holes.
The tabs 10A are provided along the center line of the tab 8A so as to be arranged on the four sides and substantially in the center, respectively, and the action and effect thereof are substantially the same as those in the first embodiment.

〔実施例3〕 第6図は本発明の実施例3を示すもので、第2図に相
当する拡大部分平面図である。
[Embodiment 3] FIG. 6 shows Embodiment 3 of the present invention and is an enlarged partial plan view corresponding to FIG.

本実施例3が前記実施例1と異なる点は、透孔10Bが
タブ8Bの中央部に同心的に配され、大口径に開設されて
いる点にある。
The third embodiment differs from the first embodiment in that the through hole 10B is concentrically arranged in the central portion of the tab 8B and has a large diameter.

本実施例3によれば、タブ8Bに透孔10Bが大きく開設
されているため、タブ8Bの熱膨張による伸びはきわめて
微小になる。したがって、それに伴って発生する応力も
小さく抑制されることになる。
According to the third embodiment, since the through hole 10B is largely formed in the tab 8B, the elongation due to the thermal expansion of the tab 8B becomes extremely small. Therefore, the stress generated therewith is also suppressed to a small level.

〔実施例4〕 第7図は本発明の実施例4を示すもので、第2図に相
当する拡大部分平面図である。
[Embodiment 4] FIG. 7 shows Embodiment 4 of the present invention and is an enlarged partial plan view corresponding to FIG.

本実施例4が前記実施例1と異なる点は、略長円形状
の透孔10Cが4本、タブ8Cの四辺における中央部に中心
線に沿ってそれぞれ配され、タブ8Cを大きく切り欠くよ
うに開設されている点にある。
The fourth embodiment is different from the first embodiment in that four substantially oval through-holes 10C are arranged along the center line at the center of the four sides of the tab 8C, so that the tab 8C is largely cut away. The point is that it has been opened.

本実施例4によれば、前記実施例3と同様タブ8Cの熱
膨張による影響はきわめて抑制されるため、それに伴っ
て発生する応力も小さく抑制されることになる。
According to the fourth embodiment, the influence of the thermal expansion of the tab 8C is extremely suppressed as in the case of the third embodiment, so that the stress generated therewith is also suppressed to be small.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the embodiments and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Nor.

例えば、透孔は横断面円形形状に形成するに限らず、
正四角形や正六角形等のように正多角形形状等に形成し
てもよい。
For example, the through hole is not limited to be formed in a circular cross section,
It may be formed in a regular polygonal shape such as a regular quadrangle or a regular hexagon.

透孔はテーパ孔に形成するに限らないし、環状溝は省
略してもよい。
The through hole is not limited to the tapered hole, and the annular groove may be omitted.

また、ペレットに集中する応力を分散するには、ペレ
ットの端部に面取り部を形成することが望ましい。さら
に、応力はタブとペレットとの剥がれによって発生する
ので、両者の接着性を強化することが望ましいのは言う
までもない。
Further, in order to disperse the stress concentrated on the pellet, it is desirable to form a chamfered portion at the end of the pellet. Further, since stress is generated by peeling between the tab and the pellet, it goes without saying that it is desirable to enhance the adhesiveness between the two.

以上の説明では主として本発明者によってなされた発
明をその背景となった利用分野である表面実装型樹脂封
止パッケージを備えているICに適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、その他の樹
脂封止型パッケージを備えたIC等の電子装置全般に適用
することができる。
In the above description, the invention mainly made by the present inventor has been described as applied to an IC having a surface mount type resin-sealed package, which is the field of application of the invention, but is not limited thereto. Also, the present invention can be applied to general electronic devices such as ICs provided with other resin-sealed packages.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りであ
る。
The following is a brief description of an effect obtained by the representative one of the inventions disclosed in the present application.

ペレット取付部であるタブに透孔を肉厚方向に貫通す
るように開設することにより、熱ストレスによって樹脂
封止パッケージとタブとの間に発生する剥離を防止する
ことができるため、タブのコーナを起点とするパッケー
ジクラックの発生を防止することができる。
By opening a through hole in the tab that is the pellet mounting part so as to penetrate in the thickness direction, it is possible to prevent peeling that occurs between the resin-sealed package and the tab due to thermal stress. It is possible to prevent the occurrence of package cracks starting from.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例である表面実装型樹脂封止パ
ッケージを備えているICを示す縦断面図、 第2図はそのタブを示す拡大部分平面図、 第3図はその製造途中を示す平面図、 第4図はその作用を説明するためのパッケージ内部の応
力分布図、 第5図、第6図および第7図は実施例2、3、4をそれ
ぞれ示すもので、第2図に相当する各拡大部分平面図で
ある。 1……表面実装型樹脂封止パッケージを備えているIC
(電子装置)、2……リードフレーム、3……空所、4
……インナリード、5……アウタリード、6……ダム、
7……外枠、8……タブ、9……保持部材、10、10A、1
0B、10C……透孔、11……環状溝、12……ペレット、13
……接着剤層、14……ボンディングワイヤ、15……パッ
ケージ
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing an IC equipped with a surface mount type resin-sealed package according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged partial plan view showing its tab, and FIG. FIG. 4 is a plan view showing the stress distribution inside the package for explaining the action, and FIGS. 5, 6, and 7 show Examples 2, 3 and 4, respectively. It is each expanded partial plan view corresponding to a figure. 1 ... IC equipped with surface mount type resin sealing package
(Electronic device), 2 ... Lead frame, 3 ... Vacancy, 4
…… Inner lead, 5 …… Outer lead, 6 …… Dam,
7 ... Outer frame, 8 ... Tab, 9 ... Holding member, 10, 10A, 1
0B, 10C ... through hole, 11 ... annular groove, 12 ... pellet, 13
...... Adhesive layer, 14 ...... Bonding wire, 15 …… Package

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 澄夫 高崎市西横手町111番地 株式会社日立 製作所高崎工場内 (72)発明者 長峰 徹 埼玉県入間郡毛呂山町大字旭台15番地 日立東部セミコンダクタ株式会社内 (56)参考文献 実開 昭60−118252(JP,U) 実開 昭57−44551(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Sumio Okada 111 Nishi-Yokotemachi, Takasaki City Takasaki Plant, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Toru Nagamine 15 Asahidai, Moroyama-cho, Iruma-gun, Saitama Hitachi Eastern Semiconductor Co., Ltd. (56) References Actually open Sho 60-118252 (JP, U) Actually open 57-44551 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】タブとこのタブに接着される半導体ペレッ
トとを有する樹脂封止型半導体装置であって、上記タブ
に第1の方向に沿って形成された略長円形状の複数の第
1の透孔と、第1の方向に直交する第2の方向に沿って
形成された略長円形状の複数の第2の透孔とを有し、こ
のタブ上に上記半導体ペレットが接着されていることを
特徴とする樹脂封止型半導体装置。
1. A resin-encapsulated semiconductor device having a tab and a semiconductor pellet adhered to the tab, wherein a plurality of substantially elliptical first first electrodes are formed on the tab along a first direction. Through holes and a plurality of substantially oval second through holes formed along a second direction orthogonal to the first direction, and the semiconductor pellets are bonded onto this tab. A resin-encapsulated semiconductor device characterized in that
【請求項2】上記第1の方向と第2の方向との交点を中
心に一直線上に上記略長円形状の複数の第1の透孔及び
第2の透孔が形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の樹脂封止型半導体装置。
2. A plurality of substantially oval first through holes and second through holes are formed on a straight line centering on an intersection of the first direction and the second direction. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, which is characterized in that.
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