JP2539966B2 - 高真空装置でのドアまたはカバ―のたわみによって引き起こされる微粒子発生を削減する方法および装置 - Google Patents
高真空装置でのドアまたはカバ―のたわみによって引き起こされる微粒子発生を削減する方法および装置Info
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高真空装置において、
たわみによって起きる微粒子発生を削減するためのドア
やふたの構造に関する。
たわみによって起きる微粒子発生を削減するためのドア
やふたの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば集積回路の加工に用いられる処理
室やロードロック室等の真空室のような高真空装置にお
いては、排気および通気が頻繁に行われる。圧力の絶え
間ない変化によって室へのドアまたはふたがたわむ場合
がある。ドアまたはふたが充分に堅く且つボルトでしめ
られていない場合は、ドアまたはふたのたわみが、ドア
またはふたが室壁に接触する場所におけるドアまたはふ
たのこすれの原因となる。このようなこすれは、汚染物
質として室に侵入し得る粒子を生成する。また、ふたの
内側にたわんだ表面によってもこれよりは少ない程度の
粒子が生成される。
室やロードロック室等の真空室のような高真空装置にお
いては、排気および通気が頻繁に行われる。圧力の絶え
間ない変化によって室へのドアまたはふたがたわむ場合
がある。ドアまたはふたが充分に堅く且つボルトでしめ
られていない場合は、ドアまたはふたのたわみが、ドア
またはふたが室壁に接触する場所におけるドアまたはふ
たのこすれの原因となる。このようなこすれは、汚染物
質として室に侵入し得る粒子を生成する。また、ふたの
内側にたわんだ表面によってもこれよりは少ない程度の
粒子が生成される。
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明の推奨実施例によ
れば、真空室の内側領域をおおう方法および装置がもた
らされる。真空室に取り付けられた内ぶたが、内側領域
をおおう。これも真空室に取りつけられている外ぶた
が、内ぶたと外ぶたとの間に領域を残すように内ぶたを
おおう。気体の導管が真空室の内側領域と内ぶたと外ぶ
たとの間の領域との間で気体が流れるようにしている。
この気体導管の中またはすぐ外にはフィルタが配置され
て、内ぶたと外ぶたとの間の領域から真空室の内側領域
に粒子が侵入するのを防いでいる。内ぶたの上と下とで
圧力が同じであることから、真空室が排気または通気さ
れる場合に、内ぶたがたわむことはなく、真空室に対し
てこすれることはない。
れば、真空室の内側領域をおおう方法および装置がもた
らされる。真空室に取り付けられた内ぶたが、内側領域
をおおう。これも真空室に取りつけられている外ぶた
が、内ぶたと外ぶたとの間に領域を残すように内ぶたを
おおう。気体の導管が真空室の内側領域と内ぶたと外ぶ
たとの間の領域との間で気体が流れるようにしている。
この気体導管の中またはすぐ外にはフィルタが配置され
て、内ぶたと外ぶたとの間の領域から真空室の内側領域
に粒子が侵入するのを防いでいる。内ぶたの上と下とで
圧力が同じであることから、真空室が排気または通気さ
れる場合に、内ぶたがたわむことはなく、真空室に対し
てこすれることはない。
【０００４】本発明の推奨実施例のうちの別の実施例に
おいては、真空室に取り付けられた内ぶたが内側領域を
おおう。これも真空室に取り付けられている外ぶたが、
内ぶたと外ぶたとの間に領域を残すように内ぶたをおお
う。第１の気体導管が、内側の領域の排気または通気を
可能にしている。第２の気体導管が、内ぶたと外ぶたと
の間の領域の排気または通気を可能にしている。しか
し、排気または通気の途中において、真空室の内側領域
と内ぶたと外ぶたの間の領域とは同じ相対的圧力で保た
れる。内ぶたの上と下とで圧力が同じであることから、
真空室が排気される場合に、内ぶたがたわむことはな
く、真空室に対してこすれることはない。
おいては、真空室に取り付けられた内ぶたが内側領域を
おおう。これも真空室に取り付けられている外ぶたが、
内ぶたと外ぶたとの間に領域を残すように内ぶたをおお
う。第１の気体導管が、内側の領域の排気または通気を
可能にしている。第２の気体導管が、内ぶたと外ぶたと
の間の領域の排気または通気を可能にしている。しか
し、排気または通気の途中において、真空室の内側領域
と内ぶたと外ぶたの間の領域とは同じ相対的圧力で保た
れる。内ぶたの上と下とで圧力が同じであることから、
真空室が排気される場合に、内ぶたがたわむことはな
く、真空室に対してこすれることはない。
【０００５】
【実施例】図１において、真空室１１の概略的な断面図
を示す。排気中には、真空室１１の内側領域１０が真空
化される。内カバー１６は、例えばねじ１８およびねじ
１９を含むねじによって真空室１１に固着をしている。
シール１９が内カバー１６の周辺での漏れを防いでい
る。外カバー１２は、例えばねじ１４およびねじ１５を
含むねじによって真空室１１に固着をしている。シール
１３が外カバー１６の周辺での漏れを防いでいる。
を示す。排気中には、真空室１１の内側領域１０が真空
化される。内カバー１６は、例えばねじ１８およびねじ
１９を含むねじによって真空室１１に固着をしている。
シール１９が内カバー１６の周辺での漏れを防いでい
る。外カバー１２は、例えばねじ１４およびねじ１５を
含むねじによって真空室１１に固着をしている。シール
１３が外カバー１６の周辺での漏れを防いでいる。
【０００６】導管２２は、内側領域１０を、内カバー１
６と外カバー１２との間の領域２０につなげている。導
管２２を通って流れる気体が、領域２０と内側領域１０
とを同じ圧力に保持つ。領域２０の体積は、排気中にお
いて内側領域１０から除去する必要のある気体の体積を
おさえるために最小限のものとする。内カバー１６の上
と下とで圧力が同じであるから、室１１が排気または通
気ささる場合に、内カバー１６はたわむことがなく、し
たがって室１１に対してこすれることがない。フィルタ
２１は、外カバー１２のたわみに起因する外カバー１２
の室１１に対するこすれによって発生し得る粒子が内側
領域１０に入りこむのを防いでいる。
６と外カバー１２との間の領域２０につなげている。導
管２２を通って流れる気体が、領域２０と内側領域１０
とを同じ圧力に保持つ。領域２０の体積は、排気中にお
いて内側領域１０から除去する必要のある気体の体積を
おさえるために最小限のものとする。内カバー１６の上
と下とで圧力が同じであるから、室１１が排気または通
気ささる場合に、内カバー１６はたわむことがなく、し
たがって室１１に対してこすれることがない。フィルタ
２１は、外カバー１２のたわみに起因する外カバー１２
の室１１に対するこすれによって発生し得る粒子が内側
領域１０に入りこむのを防いでいる。
【０００７】本発明の多数の別の実施例の１つを、第２
図の真空室の概略的断面図によって示す。図２におい
て、内カバー３６は、例えばガイド４３上のばね３８お
よびガイド４４上のばね３９を含む拘束装置によって真
空室３１に固着している。シール３７は内カバー３６周
辺の漏れを防いでいる。ちょうつがい３５につながる外
ドア３２は、例えばねじ３４を含むねじによって真空室
１１に固着している。シール３２が、外ドア３２周辺で
の漏れを防いでいる。外ドア３２が開放されると、ガイ
ド４３およびガイド４４は内カバー３６を捕えて内カバ
ー３６を外ドア３２と共に開放させる。
図の真空室の概略的断面図によって示す。図２におい
て、内カバー３６は、例えばガイド４３上のばね３８お
よびガイド４４上のばね３９を含む拘束装置によって真
空室３１に固着している。シール３７は内カバー３６周
辺の漏れを防いでいる。ちょうつがい３５につながる外
ドア３２は、例えばねじ３４を含むねじによって真空室
１１に固着している。シール３２が、外ドア３２周辺で
の漏れを防いでいる。外ドア３２が開放されると、ガイ
ド４３およびガイド４４は内カバー３６を捕えて内カバ
ー３６を外ドア３２と共に開放させる。
【０００８】外ドア３２が真空室３１を漏れなしに密封
することを確実にするためには、ちょうつがい３５が長
円形状の穴４５によって示されるような何らかの遊びを
有していることが好ましい。これによって、内側領域３
０が真空化された場合に、外ドア３２が真空室３１に完
全に着座することが可能となる。導管４２は、内側領域
３０を、内カバー３６と外ドア３６との間の領域４０に
つなげている。導管４２を通って流れる気体が、領域４
０と内側領域３０とを同じ圧力に保っている。領域４０
の体積は、排気中において内側領域３０から除去する必
要のある気体の体積をおさえるために最小限のものとす
る。
することを確実にするためには、ちょうつがい３５が長
円形状の穴４５によって示されるような何らかの遊びを
有していることが好ましい。これによって、内側領域３
０が真空化された場合に、外ドア３２が真空室３１に完
全に着座することが可能となる。導管４２は、内側領域
３０を、内カバー３６と外ドア３６との間の領域４０に
つなげている。導管４２を通って流れる気体が、領域４
０と内側領域３０とを同じ圧力に保っている。領域４０
の体積は、排気中において内側領域３０から除去する必
要のある気体の体積をおさえるために最小限のものとす
る。
【０００９】内カバー３６の上と下とで圧力が同じであ
るから、室３１が排気または通気される場合に、内カバ
ー３６はたわむことがなく、したがって室１１に対して
こすれることがない。フィルタ４１は、外ドア３２のた
わみに起因する外ドア３２の室３１に対するこすれによ
って発生し得る粒子が内側領域３０に入りこむのを防い
でいる。
るから、室３１が排気または通気される場合に、内カバ
ー３６はたわむことがなく、したがって室１１に対して
こすれることがない。フィルタ４１は、外ドア３２のた
わみに起因する外ドア３２の室３１に対するこすれによ
って発生し得る粒子が内側領域３０に入りこむのを防い
でいる。
【００１０】本発明のさらに別の実施例を図３において
示す。図３において、内カバー１１６は、例えばねじ１
１８およびねじ１１９を含むねじによって真空室１１１
に固着している。シール１１７が内カバー１１６周辺の
漏れを防いでいる。外カバー１１２は、例えばねじ１１
４およびねじ１１５を含むねじによって真空室１１１に
固着している。シール１１３が外カバー１１２周辺での
漏れを防いでいる。
示す。図３において、内カバー１１６は、例えばねじ１
１８およびねじ１１９を含むねじによって真空室１１１
に固着している。シール１１７が内カバー１１６周辺の
漏れを防いでいる。外カバー１１２は、例えばねじ１１
４およびねじ１１５を含むねじによって真空室１１１に
固着している。シール１１３が外カバー１１２周辺での
漏れを防いでいる。
【００１１】導管１２５に連通する導管１２３が、内側
領域１１０を真空ポンプ１２４および窒素タンク１２８
につなげている。導管１２５に連通する導管１２２が、
内カバー１１６と外カバー１１２との間の領域１２０を
真空ポンプ１２４および窒素タンク１２８につなげてい
る。真空ポンプ１２４は、領域１２０と内側領域１１０
とが同じ相対的圧力となるように内側領域１１０および
領域１２０を排気する。排気工程中で且つ内側領域１１
０および領域１２０が排気されている間は、弁１２８が
窒素室１２８を導管１２５からしゃ断する。領域１２０
の体積は、排気中において除去する必要のある気体の体
積をおさえるために最小限のものとする。
領域１１０を真空ポンプ１２４および窒素タンク１２８
につなげている。導管１２５に連通する導管１２２が、
内カバー１１６と外カバー１１２との間の領域１２０を
真空ポンプ１２４および窒素タンク１２８につなげてい
る。真空ポンプ１２４は、領域１２０と内側領域１１０
とが同じ相対的圧力となるように内側領域１１０および
領域１２０を排気する。排気工程中で且つ内側領域１１
０および領域１２０が排気されている間は、弁１２８が
窒素室１２８を導管１２５からしゃ断する。領域１２０
の体積は、排気中において除去する必要のある気体の体
積をおさえるために最小限のものとする。
【００１２】真空ポンプ１２４が内カバー１１６の上と
下とを同じ相対圧力で維持することから、室１１１が排
気される場合に、内カバー１１６はたわむことがなく、
室１１１に対してこすれることもない。内側領域１１０
および領域１２０が通気されると、窒素室１２６から導
管１２５に窒素が徐々に放出される。領域１２０および
内側領域１１０は同じ相対圧力のまま通気される。通気
工程においては、弁１２７が真空ポンプ１２４を導管１
２５からしゃ断する。通気中において、内カバー１１６
の上と下の圧力は同じ相対圧力に保たれ、室１１１が通
気される場合、内カバー１１６はたわむことがなく、室
１１１に対してこすれることがない。排気および通気中
において、このシステムは、一般的に、２００Millitor
r 以下の内カバー１１６を介しての気圧差を維持すべき
ものである。
下とを同じ相対圧力で維持することから、室１１１が排
気される場合に、内カバー１１６はたわむことがなく、
室１１１に対してこすれることもない。内側領域１１０
および領域１２０が通気されると、窒素室１２６から導
管１２５に窒素が徐々に放出される。領域１２０および
内側領域１１０は同じ相対圧力のまま通気される。通気
工程においては、弁１２７が真空ポンプ１２４を導管１
２５からしゃ断する。通気中において、内カバー１１６
の上と下の圧力は同じ相対圧力に保たれ、室１１１が通
気される場合、内カバー１１６はたわむことがなく、室
１１１に対してこすれることがない。排気および通気中
において、このシステムは、一般的に、２００Millitor
r 以下の内カバー１１６を介しての気圧差を維持すべき
ものである。
【図１】本発明の推奨実施例にしたがった構造のカバー
を備えた真空室の簡単な断面図である。
を備えた真空室の簡単な断面図である。
【図２】本発明の別の推奨実施例にしたがった構造のド
アを備えた真空室の簡単な断面図である。
アを備えた真空室の簡単な断面図である。
【図３】本発明のさらに別の推奨実施例にしたがった真
空室の簡単な断面図である。
空室の簡単な断面図である。
１０ 内側領域 １１ 真空室 １２ 外カバー １３ シール １４ ねじ １５ ねじ １６ 内カバー １７ シール １８ ねじ １９ ねじ ２０ 領域 ２１ フィルタ ２２ 導管 ３０ 内側領域 ３１ 真空室 ３２ 外ドア ３３ シール ３５ ちょうつがい ３６ 内カバー ３７ シール ３８ ばね ３９ ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/205 Ｈ０１Ｌ 21/31 Ａ 21/265 21/302 Ｂ 21/31 21/265 Ｄ
Claims (5)
- 【請求項１】 真空室の内側領域を覆う組合せ体であっ
て、前記真空室に結合し、当該真空室の内側領域を覆う
内側覆い手段と、前記真空室に結合し、当該内側覆い手
段との間に空間を残して該内側覆い手段を覆う外側覆い
手段と、前記真空室の前記内側領域及び前記内側覆い手
段と前記外側覆い手段の間の前記空間に直接接続され、
該内側領域及び該空間の圧力が同じであるように構成さ
れる気体導管とを備えていることを特徴とする組合せ
体。 - 【請求項２】 前記真空室の前記内側領域に入ることか
ら前記空間の粒子を防ぐべく前記気体導管に配置された
濾過手段を含むことを特徴とする請求項１に記載の組合
せ体。 - 【請求項３】 前記外側覆い手段は、締結装置によって
前記真空室に取り付けられることを特徴とする請求項１
に記載の組合せ体。 - 【請求項４】 真空室の内側領域を覆う方法であって、
前記真空室の内側領域を第１の蓋で覆い、前記第１の蓋
を、離間された、外側の第２の蓋で覆い、前記真空室及
び前記空間の圧力を等しくすべく前記第１及び第２の蓋
の間の前記空間に直接接続されている気体導管を設け、
該第１の蓋の撓み及び該真空室の壁での該第１の蓋の擦
りによる粒子の発生を防ぐことを特徴とする方法。 - 【請求項５】 前記真空室に入ることから前記空間のあ
らゆる粒子を防ぐべく前記空間の濾過手段を設けること
を特徴とする請求項４に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US56839490A | 1990-08-16 | 1990-08-16 | |
| US568394 | 1990-08-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04281833A JPH04281833A (ja) | 1992-10-07 |
| JP2539966B2 true JP2539966B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=24271108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3202814A Expired - Lifetime JP2539966B2 (ja) | 1990-08-16 | 1991-08-13 | 高真空装置でのドアまたはカバ―のたわみによって引き起こされる微粒子発生を削減する方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0472112B1 (ja) |
| JP (1) | JP2539966B2 (ja) |
| KR (1) | KR920005245A (ja) |
| DE (1) | DE69123008T2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6105435A (en) * | 1997-10-24 | 2000-08-22 | Cypress Semiconductor Corp. | Circuit and apparatus for verifying a chamber seal, and method of depositing a material onto a substrate using the same |
| KR100444719B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2004-08-16 | 동부전자 주식회사 | 자기장을 이용한 반도체 공정 반응실 고정 장치 |
| DE102006047705B4 (de) * | 2006-10-09 | 2011-01-05 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Sicherheitseinrichtung für eine Austrittsöffnung eines Vakuumbehälters |
| WO2014164743A1 (en) * | 2013-03-11 | 2014-10-09 | Applied Materials, Inc. | High temperature process chamber lid |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE62753C (de) * | Firma C. HECKMANN in Breslau | Verschlufsvorrichtung für Vakuum- 1 koch- und ähnliche Apparate | ||
| DE1888623U (de) * | 1964-03-05 | Dr. Schnabel a Co. K.G., Limburg/Lahn | Abdichtung von mit Polytetrafluoräthylen ausgekleideten Bauteilen und Konstruktionselementen | |
| US4469335A (en) * | 1982-07-22 | 1984-09-04 | American Sterilizer Company | Sealing apparatus with sealing device operable under pressure differential established thereacross |
| DE8405991U1 (de) * | 1984-02-28 | 1984-07-05 | Aesculap-Werke Ag Vormals Jetter & Scheerer, 7200 Tuttlingen | Sterilisierbehaelter |
| JPS63283737A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-21 | Babcock Hitachi Kk | 真空用反応容器 |
-
1991
- 1991-08-13 JP JP3202814A patent/JP2539966B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-14 DE DE69123008T patent/DE69123008T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-14 EP EP91113672A patent/EP0472112B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-16 KR KR1019910014116A patent/KR920005245A/ko not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920005245A (ko) | 1992-03-28 |
| DE69123008D1 (de) | 1996-12-12 |
| JPH04281833A (ja) | 1992-10-07 |
| DE69123008T2 (de) | 1997-05-07 |
| EP0472112B1 (en) | 1996-11-06 |
| EP0472112A3 (en) | 1993-05-26 |
| EP0472112A2 (en) | 1992-02-26 |
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