JP2540201B2 - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 半導体記憶装置に関し、 ワード線/ビット線のブロック間にまたがるような不
良箇所があっても、確実に救済してデータの信頼性を向
上できる半導体記憶装置を提供することを目的とし、 複数の行線あるいは列線を構成するラインが、N本(N
は自然数)のラインからなる組で構成された行列構成の
メモリセルアレイと、該メモリセルアレイの行又は列の
うち少なくとも一方に不良がある場合にその不良の行あ
るいは列と置換可能なスペアセルと、前記不良の行ある
いは列のラインの属する組のアドレスを記憶する不良ア
ドレス記憶部と、該不良アドレスに基づいて、前記不良
のラインの属する組に隣接する組のアドレスを演算する
演算部と、外部アドレスと、前記不良アドレス及び前記
演算部からのアドレスをそれぞれ比較するアドレス比較
回路とを有するように構成する。The present invention relates to a semiconductor memory device, and a semiconductor memory device capable of surely relieving even if there is a defective portion extending between blocks of word lines / bit lines to improve data reliability. For the purpose of providing, there are N (N
Is a natural number), and a memory cell array having a matrix configuration composed of a set of lines, and a spare cell capable of replacing the defective row or column when at least one of the rows or columns of the memory cell array is defective, A defective address storage unit that stores an address of a set to which a defective row or column line belongs, an operation unit that calculates an address of a set adjacent to the defective line to the set that belongs to the defective line, and an external address And an address comparison circuit for comparing the defective address and the address from the arithmetic unit, respectively.
本発明は、半導体記憶装置に係り、詳しくは、メモリ
セルについて冗長構成を採用している半導体記憶装置に
関する。The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor memory device that employs a redundant configuration for memory cells.
メモリLSIの高密度化、大容量化に伴って、チップ全
体が無欠陥であることを期待するのは次第に困難になり
つつある。そのため、半導体メモリ、例えばSRAMにおい
ても16Kビットから不良救済回路を内蔵した冗長構成
(リダンダンシィ:redundancy)を採用する素子が現れ
始めた。そして64Kビット以上のSRAMでは冗長構成の採
用は一般的になりつつある。As the density and capacity of memory LSIs increase, it is becoming increasingly difficult to expect that the entire chip is defect-free. Therefore, even in semiconductor memories, for example, SRAMs, elements using a redundancy configuration (redundancy) incorporating a defect repair circuit from 16 Kbits have begun to appear. The adoption of redundant configurations is becoming more common in SRAMs of 64K bits or more.
すなわち、メモリチップの製造歩留りを実用的水準以
上に保つことは、記憶容量の増大に伴って難しくなる。
この歩留り低下の主原因である欠陥メモリセルを救済す
るために、欠陥メモリセルを回路的に置換することがで
きる予備メモリセルを予めチップ内に配置する方法が用
いられる。このようなメモリ構成は冗長構成と称され
る。近時は、SRAMに限らず、DRAM、EPROM、マスクROMに
もメモリセルの冗長が要求されている。That is, it becomes difficult to keep the production yield of the memory chip at a practical level or higher as the storage capacity increases.
In order to relieve the defective memory cell, which is the main cause of the decrease in yield, a method of arranging a spare memory cell capable of replacing the defective memory cell in a circuit in advance in a chip is used. Such a memory configuration is called a redundant configuration. Recently, not only SRAM but also DRAM, EPROM, mask ROM are required to have memory cell redundancy.
従来の冗長構成を採用した半導体メモリ、例えばSRAM
としては、第4図に示すようなものが知られている。同
図において、1はメモリセルであり、ワード線およびビ
ット線の交点に多数のセルが配置されている。メモリセ
ル1の側方にはワード線およびビット線の方向に沿って
2つのスペアセル2、3が設けられており、メモリセル
1の欠陥セルを救済する単位はワード線およびビット線
に沿った一行、一列のライン(メモリセルセル配列)
で、これを置換するためにスペアセル2、3には通常、
数本の予備ラインが用意されている。欠陥セルFを含む
ライン(以下、欠陥ラインという)1xと予備ラインとの
置換は、通常、予備ラインを選択する不良アドレス記憶
部4にメモリセル1の不良アドレス(欠陥アドレス)を
登録することで行われる。A semiconductor memory that adopts a conventional redundant configuration, such as SRAM
As such, the one shown in FIG. 4 is known. In the figure, reference numeral 1 is a memory cell, and a large number of cells are arranged at intersections of word lines and bit lines. Two spare cells 2 and 3 are provided on the side of the memory cell 1 along the direction of the word line and the bit line, and the unit for repairing the defective cell of the memory cell 1 is one row along the word line and the bit line. , One line (memory cell cell array)
In order to replace this, the spare cells 2 and 3 are normally
Several spare lines are available. The replacement of a line (hereinafter referred to as a defective line) 1x including a defective cell F with a spare line is usually performed by registering the defective address (defective address) of the memory cell 1 in the defective address storage unit 4 that selects the spare line. Done.
メモリセル1のワード線もスペアセル2のワード線も
共に同一のロウデコーダ5に接続され、同様にビット線
についてもメモリセル1およびスペアセル3が同一のコ
ラムデコーダ6に接続される。そして、外部からアドレ
ス信号がアドレスバッファ7に入力ると、このアドレス
信号はアドレス比較回路8にも送出され、アドレス比較
回路8において外部アドレスと予め記憶(登録)してお
いた不良アドレスとが比較され、両者が一致すると一致
信号が制御回路9に出力される。制御回路9はこの一致
信号に基づいて欠陥ライン1xをスペアセル2又はスペア
セル3のラインと交換するようなデコード信号をロウデ
コーダ5およびコラムデコーダ6に出力する。これによ
り、不良であったメモリセル1のワード線又はビット線
がスペアセル2、3のラインと交換され、その交換され
たラインのデータは入出力アンプ10を介して外部に出力
される。なお、不良箇所(欠陥セルF)が無い場合は通
常通り外部アドレスをデコードしてメモリセル1のデー
タが読み出される。Both the word line of the memory cell 1 and the word line of the spare cell 2 are connected to the same row decoder 5, and similarly for the bit line, the memory cell 1 and the spare cell 3 are connected to the same column decoder 6. When an address signal is input to the address buffer 7 from the outside, this address signal is also sent to the address comparison circuit 8, and the address comparison circuit 8 compares the external address with a defective address stored (registered) in advance. When the two match, a match signal is output to the control circuit 9. Based on this coincidence signal, the control circuit 9 outputs a decode signal for exchanging the defective line 1x with the line of the spare cell 2 or the spare cell 3 to the row decoder 5 and the column decoder 6. As a result, the defective word line or bit line of the memory cell 1 is replaced with the line of the spare cells 2 and 3, and the data of the replaced line is output to the outside via the input / output amplifier 10. If there is no defective portion (defective cell F), the external address is decoded as usual to read the data in the memory cell 1.
しかしながら、このような従来の半導体記憶装置にあ
っては、不良アドレス記憶部4に記憶する不良アドレス
がワード線あるいはビット線をブロック単位(詳しくは
1対)で指定するものであり、そのため第5図に示すよ
うにアドレス構成ビットのうち最下位ビットは記憶しな
いものとなっていたことから、不良箇所が2つのブロッ
クにまたがっていると、不良を救済できず、データの信
頼性が低下するという問題点があった。However, in such a conventional semiconductor memory device, the defective address stored in the defective address storage unit 4 designates a word line or a bit line in block units (specifically, a pair), and therefore the fifth address is used. As shown in the figure, since the least significant bit of the address configuration bits is not stored, if the defective portion extends over two blocks, the defect cannot be relieved and the reliability of the data decreases. There was a problem.
すなわち、第6図に示すようにメモリセル1のワード
線WD0〜WD3……があるとき、1つのブロックBLiを構成
するワード線WD0、WD1に不良箇所Fが存在(例えば、ご
み等の付着によるショートが考えられる)していた場合
であれば、単一のブロックBLiであるから不良アドレス
記憶部4に記憶される最下位ビットを含まない不良アド
レスで救済できるが、第7図(b)に示すように不良箇
所Fが2つのブロックBLi、BLi+1にまたがっているよう
な場合は、ブロック単位の不良アドレス(第7図(a)
に示すような最下位ビットを含まない不良アドレス)で
は救済できない。また、第8図(a)に示すように不良
アドレス記憶部4に記憶される不良アドレスが最下位か
ら2ビットを含まず、第8図(b)に示すようにブロッ
ク単位を4本を「一組」(1ブロック)として指定した
ような場合で不良箇所Fが2つのブロックBLi、BLi+1に
またがっているときも同様に救済できない。That is, as shown in FIG. 6, when there are word lines WD0 to WD3 ... Of the memory cell 1, there is a defective portion F on the word lines WD0 and WD1 forming one block BLi (for example, due to adhesion of dust or the like). If there is a short circuit), since it is a single block BLi, it can be repaired with a defective address that does not include the least significant bit stored in the defective address storage unit 4, but FIG. As shown in the figure, when the defective portion F extends over two blocks BL i and BL i + 1 , a defective address in block units (see FIG. 7A).
A defective address that does not include the least significant bit as shown in (1) cannot be relieved. Further, as shown in FIG. 8A, the defective address stored in the defective address storage unit 4 does not include the lowest 2 bits, and as shown in FIG. Similarly, even when the defective portion F extends over two blocks BL i and BL i + 1 in the case where it is designated as “one set” (one block), it cannot be relieved.
これは、従来、メモリチップの冗長構成による救済は
ブロック単位で行うことである程度の実用的水準を保つ
という要請の下で行われていたいのであるが、最近は製
造歩留りの高い水準が要求される傾向にあり、ブロック
間の不良救済も図る必要が求められていることによる。
なお、上記不具合はビット線についても全く同様であ
る。Conventionally, it has been desired that the repair by the redundant configuration of the memory chip be performed on a block-by-block basis to maintain a practical level to some extent. However, recently, a high manufacturing yield level is required. Therefore, it is necessary to remedy defects between blocks.
Note that the above-mentioned problem is exactly the same for the bit line.
一方、このようなブロック間にまたがる不良救済を図
るものとして、例えば第9図に示すようなものも考えら
れている。第9図では不良アドレス記憶部4の他に不良
アドレスの最下位ビットを記憶する第2の不良アドレス
記憶部21が設けられるとともに、第2の不良アドレス記
憶部21の記憶情報に基づいて以後の冗長処理が行われ
る。したがって、不良アドレスは第10図に示すように最
下位ビットを含んで全てのビットが記憶され、メモリセ
ル1におけるワード線又はビット線が1つずつ特定でき
るようになっている。不良アドレス記憶部4および第2
の不良アドレス記憶部21の出力はアドレス比較回路22に
入力されており、アドレス比較回路22は外部アドレスと
不良アドレスの全ビットが一致したとき一致信号を制御
回路23に出力する。制御回路23は一致信号に基づいて欠
陥ライン1xをスペアセル2又はスペアセル3の単独の1
つのラインと交換するようなデコード信号をロウデコー
ダ5およびコラムデコーダ6に出力する。On the other hand, as shown in FIG. 9, for example, as a measure for repairing defects extending between blocks, there has been considered. In FIG. 9, a second defective address storage unit 21 for storing the least significant bit of the defective address is provided in addition to the defective address storage unit 4, and the subsequent information based on the storage information of the second defective address storage unit 21 is provided. Redundant processing is performed. Therefore, all the bits including the least significant bit are stored in the defective address as shown in FIG. 10, and the word line or bit line in the memory cell 1 can be specified one by one. Bad address storage unit 4 and second
The output of the defective address storage unit 21 is input to the address comparison circuit 22, and the address comparison circuit 22 outputs a match signal to the control circuit 23 when all bits of the external address and the defective address match. The control circuit 23 sets the defective line 1x to the spare cell 2 or the spare cell 3 independently based on the coincidence signal.
A decode signal for exchanging one line is output to the row decoder 5 and the column decoder 6.
以上の構成において、いま第11図に示すようにメモリ
セル1のワード線WD1、W2にまたがるように不良箇所F
があった場合、WD1、WD2の2つのアドレスが全ビットを
含んで不良アドレス記憶部4および第2の不良アドレス
記憶部21に記憶される。そして、アドレス比較回路22に
より外部アドレスがこれらのワード線WD1、WD2のアドレ
スと一致したことが検出されると、一致信号が制御回路
23に出力されたワード線WD1、WD2のラインがスペアセル
2に置き換えられてデータの救済が行われる。In the above structure, as shown in FIG. 11, the defective portion F is formed so as to extend over the word lines WD1 and W2 of the memory cell 1.
If there is, two addresses of WD1 and WD2 are stored in the defective address storage unit 4 and the second defective address storage unit 21 including all bits. Then, when the address comparison circuit 22 detects that the external address matches the address of these word lines WD1 and WD2, the match signal outputs the match signal.
The lines of the word lines WD1 and WD2 output to 23 are replaced with the spare cells 2 to rescue the data.
ここで、第4図の構成例では、第7図に示したような
2つのブロックBLi、BLi+1に不良箇所Fがまたがる場
合、不良アドレスの最下位ビットを記憶していないた
め、救済できないが、第9図の構成例では、第11図に示
すように2つのブロックBLi、BLi+1にまたがるショート
のような場合であっても、不良アドレスの全ビットを記
憶しているため、ワード線WD1、WD2が1つずつ特定さ
れ、スペアセル2のラインと交換される。Here, in the configuration example of FIG. 4, when the defective portion F spans two blocks BL i and BL i + 1 as shown in FIG. 7, since the least significant bit of the defective address is not stored, Although it cannot be relieved, in the configuration example of FIG. 9, all bits of the defective address are stored even if there is a short circuit across the two blocks BL i and BL i + 1 as shown in FIG. Therefore, the word lines WD1 and WD2 are specified one by one and replaced with the line of the spare cell 2.
しかしながら、第9図の構成においては、BLiとBLi+1
という2つのブロック(つまり、2組)にまたがる不良
箇所Fに対して、ワード線WD1とWD2を指定して救済でき
るが、第12図のようにBLi、BLi+1とBLi+2、BLi+3という
4組のブロックに関連してまたがる不良箇所Fの救済は
行なうことができない。仮に、このような不良箇所の救
済を行なうには、ブロックBLi〜BLi+3までの4組全てを
指定しなければならず、これは現実には困難で解決され
ていないという問題点があった。However, in the configuration of FIG. 9, BL i and BL i + 1
A defective portion F extending over two blocks (that is, two sets) can be repaired by designating word lines WD1 and WD2. However, as shown in FIG. 12, BL i , BL i + 1 and BL i + 2 , BL i + 3 , it is not possible to remedy a defective portion F that spans four sets of blocks. To repair such a defective portion, it is necessary to specify all four pairs of blocks BL i to BL i + 3 , which is difficult and has not been solved. there were.
そこで本発明は、ワード線/ビット線のブロック間に
またがるような不良箇所があっても、確実に救済してデ
ータの信頼性を向上できる半導体記憶装置を提供するこ
とを目的としている。Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of surely relieving even if there is a defective portion extending between blocks of word lines / bit lines and improving the reliability of data.
本発明による半導体記憶装置は上記目的達成のため、
複数の行線あるいは列線を構成するラインが、N本(N
は自然数)のラインからなる組で構成された行列構成の
メモリセルアレイと、該メモリセルアレイの行又は列の
うち少なくとも一方に不良がある場合にその不良の行あ
るいは列と置換可能なスペアセルと、前記不良の行ある
いは列のラインの属する組のアドレスを記憶する不良ア
ドレス記憶部と、該不良アドレスに基づいて、前記不良
のラインの属する組に隣接する組のアドレスを演算する
演算部と、外部アドレスと、前記不良アドレス及び前記
演算部からのアドレスをそれぞれ比較するアドレス比較
回路とを有するように構成する。The semiconductor memory device according to the present invention achieves the above object,
There are N (N) lines forming a plurality of row lines or column lines.
Is a natural number), and a memory cell array having a matrix configuration composed of a set of lines, and a spare cell capable of replacing the defective row or column when at least one of the rows or columns of the memory cell array is defective, A defective address storage unit that stores an address of a set to which a defective row or column line belongs, an operation unit that calculates an address of a set adjacent to the defective line to the set that belongs to the defective line, and an external address And an address comparison circuit for comparing the defective address and the address from the arithmetic unit, respectively.
本発明では、隣接する2組のラインに不良があった場
合、1組の不良アドレス情報をもとに他方の不良ライン
の組の救済も行われる。In the present invention, when there is a defect in two adjacent sets of lines, another set of defective lines is repaired based on one set of defective address information.
したがって、メモリセルの行又は列のうち複数のブロ
ック間にまたがるような不良箇所があっても、メモリセ
ルの特定の欠陥ラインが確実に特定され、不良箇所が確
実に救済される。Therefore, even if there is a defective portion extending over a plurality of blocks in a row or a column of the memory cell, a specific defective line of the memory cell is surely specified and the defective portion is surely relieved.
以下、本発明を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.
第1〜3図は本発明に係る半導体記憶装置の第1実施
例を示す図であり、特に本発明をSRAMに適用した例であ
る。第1図はSRAMの全体構成図であり、本実施例の説明
に当り、第4図に示した従来例と同一構成部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。1 to 3 are diagrams showing a first embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention, and particularly an example in which the present invention is applied to an SRAM. FIG. 1 is an overall configuration diagram of the SRAM, and in describing the present embodiment, the same components as those in the conventional example shown in FIG.
第1図において、本実施例が従来例と異なるのは、従
来と同様の不良アドレス記憶部4の他に加算器31が設け
られ、加算器31は不良アドレス記憶部4に記憶されたア
ドレスを+〔1〕してアドレス比較回路22に出力する。
したがって、不良アドレス記憶部4のアドレスと、加算
器31によって+〔1〕したアドレスとのどちらかのアド
レスが外部アドレスと一致したとき、制御信号が発生し
て欠陥ライン1xがスペアセル2又は3と交換される。こ
こで、上記加算器31の構成は演算部に相当する。In FIG. 1, the present embodiment is different from the conventional example in that an adder 31 is provided in addition to the defective address storage unit 4 similar to the conventional one, and the adder 31 stores the address stored in the defective address storage unit 4. + [1] and output to the address comparison circuit 22.
Therefore, when either the address of the defective address storage unit 4 or the address + [1] by the adder 31 coincides with the external address, a control signal is generated and the defective line 1x becomes the spare cell 2 or 3. Will be exchanged. Here, the configuration of the adder 31 corresponds to a calculation unit.
以上の構成において、不良アドレス記憶部4が第2図
(a)に示すように不良アドレスの全ビットを記憶する
ことにより、1本を1組(ブロック)として指定し、ブ
ロックBLiとBLi+1にまたがる不良箇所Fを救済する場
合、不良アドレス記憶部4が記憶しているブロックBLi
のアドレスと加算器31により+〔1〕された隣接するブ
ロックBLi+1のアドレスの双方がアドレス比較回路22に
おいて外部アドレスと比較され、アドレスが一致したと
き、制御回路23から制御信号が発生し、メモリセルの欠
陥ラインがスペアセル2あるいは3の該当するラインに
置換される。このように、不良アドレス記憶部4に記憶
されたアドレスを加算器31により+〔1〕することによ
り、隣合う2組のブロックにまたがる不良を救済でき
る。また、第2図(b)に示すように不良アドレス記憶
部4において、不良アドレスの最下位ビットを除いて記
憶することにより、2本を1組(1ブロック)として指
定し、第2図(a)同様、不良アドレス記憶部4が記憶
しているブロックBLiのアドレスと加算器31により+
〔1〕された隣接するブロックBLi+1のアドレスの双方
が外部アドレスと比較され、スペアセル2あるいは3の
該当するラインを置換して、2組のブロックBLiとBLi+1
にまたがる不良箇所Fを救済できる。さらに、第2図
(c)に示すように不良アドレス記憶部4において、不
良アドレスの最下位から2ビットを除いて記憶すること
により、4本を1組(1ブロック)として指定し、第2
図(a)、(b)と同様に、2組のブロックBLiとBLi+1
にまたがる不良箇所Fを救済できる。すなわち、1〜複
数本を1組として不良アドレス記憶部4でその1組を指
定し、加算器31によって別のもう1組を指定すること
で、ブロック内の不良は勿論、ブロック間の不良も救済
できる。なお、加算器31の加算は+〔1〕でなく、+
〔n〕としてもよい(nは整数)。In the above configuration, the defective address storage unit 4 stores all the bits of the defective address as shown in FIG. 2 (a), thereby designating one bit as one set (block), and the blocks BL i and BL i are designated. When repairing the defective portion F extending over +1 , the block BL i stored in the defective address storage unit 4 is stored.
And the address of the adjacent block BL i + 1 which is + [1] by the adder 31 are compared with the external address in the address comparison circuit 22, and when the addresses match, a control signal is generated from the control circuit 23. Then, the defective line of the memory cell is replaced with the corresponding line of the spare cell 2 or 3. In this manner, by adding + [1] to the address stored in the defective address storage unit 4 by the adder 31, it is possible to relieve the defect extending over two adjacent blocks. Further, as shown in FIG. 2B, the defective address storage unit 4 stores the defective addresses by excluding the least significant bit, thereby designating two lines as one set (one block). a) Similarly, the address of the block BL i stored in the defective address storage unit 4 and the adder 31 add +
[1] Both of the addresses of the adjacent blocks BL i + 1 which have been [1] are compared with the external address, the corresponding line of the spare cell 2 or 3 is replaced, and two sets of blocks BL i and BL i + 1 are replaced.
It is possible to relieve the defective portion F extending over the Further, as shown in FIG. 2 (c), in the defective address storage unit 4, four bits are designated as one set (one block) by storing the defective address except for the least significant two bits.
Similar to FIGS. (A) and (b), two sets of blocks BL i and BL i + 1
It is possible to relieve the defective portion F extending over the That is, by designating one set of one to a plurality of sets in the defective address storage unit 4 and designating another set by the adder 31, not only the defect in the block but also the defect between the blocks is recognized. I can rescue you. The addition of the adder 31 is not + [1], but +
It may be [n] (n is an integer).
一方、従来例の問題点として挙げた第12図のような場
合を救済するには、第3図に示すように不良アドレス記
憶部4および加算器31によって4本を1組とし、これを
+〔1〕だけ加算した組合せのものを2組指定してやれ
ば不良救済を行うことができる。なお、説明の都合上上
記各組のアドレスは記憶部1、記憶部2(不良アドレス
記憶部4の内部構成に対応)とそれぞれに付く加算器に
分けて図示している。On the other hand, in order to remedy the case shown in FIG. 12 mentioned as a problem of the conventional example, as shown in FIG. 3, the defective address storage unit 4 and the adder 31 form a set of four, and this is set to + If two sets of combinations obtained by adding only [1] are designated, defect relief can be performed. For convenience of explanation, the addresses of each set are separately shown in the storage unit 1 and the storage unit 2 (corresponding to the internal configuration of the defective address storage unit 4) and the adder attached to each.
このように、本実施例では1ブロックを指定すると自
動的に他のブロックも指定でき、特に4つのブロックに
またがるような不良であっても確実に救済することがで
きる。As described above, in the present embodiment, when one block is designated, the other blocks can be automatically designated, and in particular, even a defect extending over four blocks can be reliably repaired.
なお、上記実施例ではワード線の不良救済を例として
いるが、ビット線をスペアセルと交換する場合でも同様
の効果が得られるのは勿論である。In the above embodiment, the defect repair of the word line is taken as an example, but it goes without saying that the same effect can be obtained even when the bit line is replaced with a spare cell.
また、本発明の適用はSRAMに限るものではなく、他の
半導体メモリ、例えばDRAM、EPROM、マスクROM等の冗長
構成を有するものにも適用できる。但し、マスクROM等
についてはスペアセルはメモリセルと別系統にしてデコ
ードする必要がある。Further, the application of the present invention is not limited to SRAM, but can be applied to other semiconductor memories, such as DRAM, EPROM, and mask ROM, which have a redundant configuration. However, for the mask ROM and the like, it is necessary to separate the spare cell from the memory cell for decoding.
本発明によれば、メモリセルのワード線/ビット線の
ブロック間にまたがるような不良箇所があっても、確実
にスペアセルと交換して救済することができ、データの
信頼性を向上させることができる。According to the present invention, even if there is a defective portion extending between blocks of a word line / bit line of a memory cell, it can be replaced with a spare cell without fail, and the reliability of data can be improved. it can.
第1〜3図は本発明に係る半導体記憶装置の一実施例を
示す図であり、 第1図はその構成図、 第2図はそのワード線の不良救済を説明する図、 第3図はそのワード線の他の不良救済を説明する図、 第4〜8図は従来のSRAMを示す図であり、 第4図はその構成図、 第5図はその不良アドレスの記憶ビットを示す図、 第6図はその1つのブロックにおけるワード線の不良箇
所を説明する図、 第7図はそのワード線の不良箇所を説明する図、第8図
はそのワード線の他の不良箇所を説明する図、 第9〜12図は従来の他のSRAMを示す図であり、 第9図はその構成図、 第10図はその不良アドレスの記憶ビットを示す図、 第11図はその2つのブロックにまたがるワード線の不良
箇所を説明する図、第12図はその2つのブロックにまた
がるワード線の他の不良箇所を説明する図である。 1……メモリセル、 2、3……スペアセル、 4……不良アドレス記憶部、 5……ロウデコーダ、 6……コラムデコーダ、 7……アドレスバッファ、 8……アドレス比較回路、 10……入出力アンプ、 21……第2の不良アドレス記憶部、 22……アドレス比較回路、 23……制御回路、 31……加算器。1 to 3 are diagrams showing an embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention. FIG. 1 is a configuration diagram thereof, FIG. 2 is a diagram for explaining defective relief of the word line, and FIG. FIG. 4 is a diagram for explaining another defect relief of the word line, FIGS. 4 to 8 are diagrams showing a conventional SRAM, FIG. 4 is a configuration diagram thereof, and FIG. 5 is a diagram showing memory bits of the defective address, FIG. 6 is a diagram for explaining a defective portion of a word line in the one block, FIG. 7 is a diagram for explaining a defective portion of the word line, and FIG. 8 is a diagram for explaining another defective portion of the word line. 9 to 12 are diagrams showing another conventional SRAM, FIG. 9 is a configuration diagram thereof, FIG. 10 is a diagram showing storage bits of a defective address thereof, and FIG. 11 is a diagram showing the two blocks thereof. FIG. 12 is a diagram for explaining a defective portion of the word line, and FIG. 12 shows another portion of the word line extending over the two blocks. It is a figure explaining a defective part. 1 ... Memory cell, 2,3 ... Spare cell, 4 ... Defective address storage section, 5 ... Row decoder, 6 ... Column decoder, 7 ... Address buffer, 8 ... Address comparison circuit, 10 ... ON Output amplifier, 21 ... Second defective address storage unit, 22 ... Address comparison circuit, 23 ... Control circuit, 31 ... Adder.
Claims (1)
が、N本(Nは自然数)のラインからなる組で構成され
た行列構成のメモリセルアレイと、 該メモリセルアレイの行又は列のうち少なくとも一方に
不良がある場合にその不良の行あるいは列と置換可能な
スペアセルと、 前記不良の行あるいは列のラインの属する組のアドレス
を記憶する不良アドレス記憶部と、 該不良アドレスに基づいて、前記不良のラインの属する
組に隣接する組のアドレスを演算する演算部と、 外部アドレスと、前記不良アドレス及び前記演算部から
のアドレスをそれぞれ比較するアドレス比較回路 とを有することを特徴とする半導体記憶装置。1. A memory cell array having a matrix structure in which a line forming a plurality of row lines or column lines is composed of a set of N lines (N is a natural number), and among the rows or columns of the memory cell array. A spare cell that can be replaced with a defective row or column when at least one is defective, a defective address storage unit that stores an address of a set to which the defective row or column line belongs, and based on the defective address, A semiconductor having an operation unit for operating an address of a set adjacent to a set to which the defective line belongs, an external address, and an address comparison circuit for respectively comparing the defective address and the address from the operation unit. Storage device.
Priority Applications (6)
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| DE1990632844 DE69032844T2 (en) | 1989-01-31 | 1990-01-30 | Semiconductor memory with device for replacing defective memory cells |
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-
1989
- 1989-02-10 JP JP1031561A patent/JP2540201B2/en not_active Expired - Fee Related
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