JP2541564B2 - Gas laser device - Google Patents
Gas laser deviceInfo
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザガスを循環させながらレーザ発振をお
こなうガスレーザ装置に関し、特にガスボンベ等の交換
の際に大気がレーザ管に混入しないようにしたガスレー
ザ装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a gas laser device that oscillates a laser while circulating a laser gas, and particularly to a gas laser device that prevents atmospheric air from entering a laser tube when replacing a gas cylinder or the like. Regarding
ガスレーザ装置では、専用のレーザガスを使用し、こ
れをレーザガス供給装置から供給し、放電で劣化したレ
ーザガスを排気装置で排気している。このために、一定
時間毎にレーザガス供給装置内のガスボンベを交換する
必要がある。このガスボンベ交換作業手順はレーザ発振
器内に大気が混入しないように、発振器側に設けられた
ガス導入弁を閉じた後、ガスボンベとガス導入弁をつな
ぐ配管をガスボンベ側より取り外し、新しいガスボンベ
に取り付ける。In the gas laser device, a dedicated laser gas is used, this is supplied from a laser gas supply device, and the laser gas deteriorated by discharge is exhausted by an exhaust device. Therefore, it is necessary to replace the gas cylinder in the laser gas supply device at regular intervals. In this gas cylinder replacement work procedure, the gas introducing valve provided on the oscillator side is closed, the pipe connecting the gas cylinder and the gas introducing valve is removed from the gas cylinder side and attached to a new gas cylinder so that the atmosphere does not enter the laser oscillator.
〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、ガスボンベと交換する際、レーザガス供給装
置とレーザ発振器側のガス導入弁との間に設けられてい
る配管の内部に大気が流入してしまうことは避けられな
い。このままではガスレーザ装置を運転すると、大気を
含んだレーザガスがレーザ発振器内部に導入されレーザ
出力を低下し、レーザ出力が不安定になるという問題点
がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, when replacing the gas cylinder, it is necessary to avoid the atmosphere from flowing into the inside of the pipe provided between the laser gas supply device and the gas introduction valve on the laser oscillator side. I can't. If the gas laser device is operated in this state, there is a problem that the laser gas containing the atmosphere is introduced into the laser oscillator to reduce the laser output and the laser output becomes unstable.
また、レーザガス圧が低下した状態でレーザ装置の運
転を続行するとガス放電を行う電源を破壊するおそれが
ある。Further, if the operation of the laser device is continued in the state where the laser gas pressure is lowered, the power source for gas discharge may be destroyed.
本発明の目的は上記問題点を解決し、ガスボンベ等の
交換の際に大気がレーザ発振器に流入しないようにした
ガスレーザ装置を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a gas laser device in which the atmosphere does not flow into the laser oscillator when the gas cylinder or the like is replaced.
本発明では上記の問題点を解決するために、 レーザガスを循環させながらレーザ発振をおこなうガ
スレーザ装置において、レーザガス供給装置の出口に設
けられたガス供給弁と、前記ガス供給装置に結合される
ガス配管チューブの先端に、前記ガス配管が外されたと
きに閉じる弁と、前記レーザガス供給装置内のガスボン
ベ等を交換するときに、ガスボンベの圧力の低下を検出
する圧力検出手段と、前記圧力検出手段の圧力低下信号
によって前記レーザガス供給弁を自動的に閉じる制御を
行うガス圧低下防止制御手段と、を有することを特徴と
するガスレーザ装置が、提供される。In order to solve the above problems in the present invention, in a gas laser device that performs laser oscillation while circulating a laser gas, a gas supply valve provided at the outlet of the laser gas supply device and a gas pipe connected to the gas supply device. At the tip of the tube, a valve that closes when the gas pipe is removed, and when replacing a gas cylinder or the like in the laser gas supply device, a pressure detection unit that detects a decrease in the pressure of the gas cylinder, and the pressure detection unit A gas laser device comprising: a gas pressure drop prevention control means for automatically controlling the laser gas supply valve to be closed by a pressure drop signal.
ガスボンベのガス圧力が低下すると、これを圧力検出
手段で検出し、ガス供給弁を閉じる。即ちガスボンベ側
に設けられたガス供給弁を閉じているので、ガスボンベ
を交換する際に配管チューブ内に大気が流入する量は極
めて少なくなる。さらに、ガス配管チューブの先端にガ
ス配管が外されたときに閉じる弁によって、より一層配
管チューブ内に大気が流入するのを防ぐことができる。When the gas pressure in the gas cylinder drops, the pressure detection means detects this and closes the gas supply valve. That is, since the gas supply valve provided on the gas cylinder side is closed, the amount of atmospheric air flowing into the piping tube when replacing the gas cylinder is extremely small. Further, the valve that closes when the gas pipe is removed from the tip of the gas pipe tube can further prevent air from flowing into the pipe tube.
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。図に
おいて、１は放電管であり、２は全反射鏡、３は出力結
合鏡である。４はルーツブローワであり、レーザガスを
循環させる。放電管１には図示されていない高周波電源
が印加され、放電管１内で放電を励起させて、レーザ光
を出力する。５はレーザガス供給装置であり、その内部
にガスボンベがある。６はガス供給弁であり後述の制御
装置によって開閉される。７はガス供給圧力センサであ
り、ガスボンベに取付けられた減圧弁の２次側のガス圧
力を検出する。21は放電管１内のガス圧力を調整するガ
ス圧力調整弁である。FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a discharge tube, 2 is a total reflection mirror, and 3 is an output coupling mirror. A roots blower 4 circulates a laser gas. A high-frequency power supply (not shown) is applied to the discharge tube 1 to excite a discharge in the discharge tube 1 and output a laser beam. Reference numeral 5 denotes a laser gas supply device, in which a gas cylinder is provided. 6 is a gas supply valve, which is opened and closed by a control device described later. A gas supply pressure sensor 7 detects the gas pressure on the secondary side of the pressure reducing valve attached to the gas cylinder. Reference numeral 21 is a gas pressure adjusting valve for adjusting the gas pressure in the discharge tube 1.
８は排気弁であり、９は排気装置である。レーザ装置
を運転しているときには常時レーザガスはレーザガス供
給装置５から供給され、放電管１内で放電によって劣化
したレーザガスが排気装置９によって排気される。従っ
て、一定時間ガスレーザ装置を運転すると、レーザガス
供給装置５内のガスボンベ内のレーザガスが消費される
ので、ボンベを交換する必要がある。Reference numeral 8 is an exhaust valve, and 9 is an exhaust device. The laser gas is constantly supplied from the laser gas supply device 5 while the laser device is operating, and the laser gas deteriorated by the discharge in the discharge tube 1 is exhausted by the exhaust device 9. Therefore, when the gas laser device is operated for a certain period of time, the laser gas in the gas cylinder in the laser gas supply device 5 is consumed, and the cylinder needs to be replaced.
10はガスレーザ装置を制御する制御装置であり、レー
ザガス制御用の数値制御装置（CNC）等が使用される。1
1はガス供給圧力センサ７の出力をディジタルな値に変
換するA/D変換器である。12はガス圧低下防止制御手段
であり、ガス供給圧力センサ７の検出圧力が低下する
と、これを検出してガス供給弁６を閉じる。13はドライ
バであり、ガス圧低下防止制御手段12からの信号でガス
供給弁を駆動する。14は圧力設定手段であり、ガス圧低
下防止制御手段12がどの程度の圧力低下でガス供給弁６
を閉じるかを設定する。Reference numeral 10 is a control device for controlling the gas laser device, and a numerical control device (CNC) or the like for controlling the laser gas is used. 1
An A / D converter 1 converts the output of the gas supply pressure sensor 7 into a digital value. Reference numeral 12 is a gas pressure drop prevention control means, which detects the decrease in the pressure detected by the gas supply pressure sensor 7 and closes the gas supply valve 6. A driver 13 drives the gas supply valve with a signal from the gas pressure drop prevention control means 12. Reference numeral 14 is a pressure setting means, and the gas pressure drop prevention control means 12 determines how much pressure the gas supply valve 6 has.
Set whether to close.
ガスボンベ圧力が低下すると、ガス供給圧力センサ７
が圧力の低下を検出し、ガス圧低下防止制御手段12はガ
ス供給弁６を閉じる。これと同時にガスボンベ圧力低下
信号を制御装置10に送り、レーザ装置を停止させる。こ
れによりガスボンベを新しいものと交換するのである
が、ガス供給弁６が閉じた状態にあるので、配管チュー
ブを取り外しても大気がこのチューブを介してレーザ発
振器内に混入することはない。When the gas cylinder pressure drops, the gas supply pressure sensor 7
Detects a pressure drop, and the gas pressure drop prevention control means 12 closes the gas supply valve 6. At the same time, a gas cylinder pressure drop signal is sent to the control device 10 to stop the laser device. This replaces the gas cylinder with a new one, but since the gas supply valve 6 is in the closed state, even if the piping tube is removed, the atmosphere does not enter the laser oscillator through this tube.
また、レーザガス供給装置５と結合されるガス配管チ
ューブの先端に配管がはずされた時に閉じる弁を取りつ
けることにより、より大気の流入を少なくすることがで
きる。In addition, the inflow of air can be further reduced by attaching a valve that closes when the pipe is disconnected to the tip of the gas pipe tube connected to the laser gas supply device 5.
以上説明したように本発明では、レーザガス供給装置
側の配管途中にガス供給弁を設けて、ガスボンベのガス
圧力が低下したときに閉じることにより、ガスボンベの
交換時に発生するレーザ発振器内部への大気の流入を防
止することができる。また、ガス配管チューブの先端に
ガス配管が外されたときに閉じる弁によって、より一層
配管チューブ内に大気が流入するのを防ぐことができ
る。As described above, in the present invention, by providing a gas supply valve in the middle of the pipe on the side of the laser gas supply device, by closing when the gas pressure of the gas cylinder decreases, the atmosphere of the atmosphere inside the laser oscillator that occurs when the gas cylinder is replaced. Inflow can be prevented. Further, the valve that closes when the gas pipe is disconnected from the tip of the gas pipe tube can further prevent the atmosphere from flowing into the pipe tube.
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。 １……放電管 ２……全反射鏡 ３……出力結合鏡 ５……レーザガス供給装置 ６……ガス供給弁 ７……ガス供給圧力センサ ９……排気装置 10……制御装置 12……ガス圧低下防止制御手段 14……圧力設定手段 FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. 1 ... Discharge tube 2 ... Total reflection mirror 3 ... Output coupling mirror 5 ... Laser gas supply device 6 ... Gas supply valve 7 ... Gas supply pressure sensor 9 ... Exhaust device 10 ... Control device 12 ... Gas Pressure drop prevention control means 14 ... Pressure setting means
Claims (1)
おこなうガスレーザ装置において、 レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、 前記ガス供給装置に結合されるガス配管チューブの先端
に、前記ガス配管が外されたときに閉じる弁と、 前記レーザガス供給装置内のガスボンベ等を交換すると
きに、ガスボンベの圧力の低下を検出する圧力検出手段
と、 前記圧力検出手段の圧力低下信号によって前記レーザガ
ス供給弁を自動的に閉じる制御を行うガス圧低下防止制
御手段と、 を有することを特徴とするガスレーザ装置。1. A gas laser device for oscillating a laser while circulating a laser gas, comprising: a gas supply valve provided at an outlet of the laser gas supply device; and a gas pipe at a tip of a gas pipe tube connected to the gas supply device. A valve that closes when removed, a pressure detection unit that detects a decrease in the pressure of the gas cylinder when replacing the gas cylinder or the like in the laser gas supply device, and the laser gas supply valve based on a pressure decrease signal of the pressure detection unit. A gas laser device comprising: a gas pressure drop prevention control means for automatically closing the gas laser.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169294A JP2541564B2 (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169294A JP2541564B2 (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412590A JPS6412590A (en) | 1989-01-17 |
| JP2541564B2 true JP2541564B2 (en) | 1996-10-09 |
Family
ID=15883852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62169294A Expired - Lifetime JP2541564B2 (en) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2541564B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5800925B2 (en) | 2014-01-24 | 2015-10-28 | ファナック株式会社 | Gas laser system capable of preserving laser gas state when power supply is cut off |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57146356U (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-14 | ||
| JPS58144862U (en) * | 1982-03-25 | 1983-09-29 | 株式会社東芝 | gas laser equipment |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP62169294A patent/JP2541564B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412590A (en) | 1989-01-17 |
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