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JP2551795B2 - IC test equipment - Google Patents
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JP2551795B2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP2551795B2
JP2551795B2 JP62301231A JP30123187A JP2551795B2 JP 2551795 B2 JP2551795 B2 JP 2551795B2 JP 62301231 A JP62301231 A JP 62301231A JP 30123187 A JP30123187 A JP 30123187A JP 2551795 B2 JP2551795 B2 JP 2551795B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はデージタルパターン発生部からのデジタル
パターンを被試験IC素子へ供給し、その被試験IC素子の
出力を測定部に取込み、その測定部に取込んだデータを
データ処理部で処理するIC試験装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention supplies a digital pattern from a digital pattern generating section to an IC element under test, takes the output of the IC element under test into a measuring section, and measures the measured value. The present invention relates to an IC test device that processes data taken in by a data processing unit.

[従来の技術] 従来のIC試験装置は第2図に示すようにアナログ波形
発生部11からのアナログ波形が被試験IC素子12へ供給さ
れ、あるいはデジタルパターン発生部13からのデジタル
パターンが波形ホーマッタ14を通じて被試験IC素子12へ
供給される。被試験IC素子12の出力は測定部15の時間間
隔測定部16、波形取込み部17、あるいはバッファメモリ
18に取込まれる。測定部15に与えられたデータはデータ
処理部19でデータ処理される。
[Prior Art] In a conventional IC test apparatus, as shown in FIG. 2, an analog waveform from an analog waveform generator 11 is supplied to an IC element under test 12, or a digital pattern from a digital pattern generator 13 is a waveform formatter. It is supplied to the IC element under test 12 through 14. The output of the IC device under test 12 is the time interval measuring unit 16 of the measuring unit 15, the waveform acquisition unit 17, or the buffer memory.
Taken in 18. The data given to the measuring unit 15 is processed by the data processing unit 19.

制御部21からの取込み可能状態にする信号が測定部15
へ与えられていた状態で、デジタルパターン発生部13か
らデータ取込み開始信号が測定部15に供給されると、被
試験IC素子12の出力デジタルデータがバッファメモリ18
に取込まれる。制御部21からデータ処理開始指令をデー
タ処理部19に入力されるとデータ処理部19はデータ処理
を開始する。
The signal from the control unit 21 that enables the acquisition is the measurement unit 15
When the data acquisition start signal is supplied from the digital pattern generating section 13 to the measuring section 15 in the state of being supplied to the measuring circuit 15, the output digital data of the IC element under test 12 is stored in the buffer memory 18
Be taken into. When the data processing start command is input from the control unit 21 to the data processing unit 19, the data processing unit 19 starts data processing.

従来においては制御部21で各部に対する処理の開始、
処理の待ちなどすべてを管理していた。このため処理プ
ログラムは基本的に逐次的な形式とならざるを得ず、全
体の処理速度を上げることが困難であった。
Conventionally, the control unit 21 starts processing for each unit,
I managed everything such as waiting for processing. Therefore, the processing program basically has to be in a sequential format, and it is difficult to increase the overall processing speed.

「問題点を解決するための手段」 この発明によればイベントマトリクスが設けられ、イ
ベントマトリクスはデジタルパターン発生部からのトリ
ガ信号が入力される入力端子と、測定部からの終了信号
が入力される入力端子と、測定部へ測定開始指示を与え
る出力端子と、データ処理部へデータ処理の開始指示を
与える出力端子とを有し、これら入力端子と出力端子と
は制御部からの指令により任意に接続が可能とされてい
る。
[Means for Solving Problems] According to the present invention, an event matrix is provided, and the event matrix receives an input terminal to which a trigger signal from the digital pattern generating unit is input and an end signal from the measuring unit. It has an input terminal, an output terminal for giving a measurement start instruction to the measuring section, and an output terminal for giving a data processing start instruction to the data processing section.The input terminal and the output terminal are arbitrarily set by a command from the control section. Connection is possible.

このようにこの発明によれば、インベントマトリクス
を通じて各部が接続され、各部の処理の手順がハードウ
エアにより速かに行われる。
As described above, according to the present invention, each unit is connected through the event matrix, and the processing procedure of each unit is quickly performed by hardware.

「実施例」 第1図はこの発明の実施例を示し、第2図と対応する
部分には同一符号を付けてある。この発明ではイベント
マトリクス23が設けられる。イベントマトリクス23には
デジタルパターン発生部13の内部同期信号発生器24から
のタイミングトリガ信号が入力される入力端子25、アナ
ログ波形発生部11からの周期信号が入力される入力端子
26、測定部15から終了信号が入力される入力端子27、ク
ロックが入力される入力端子28、タイマ29の出力が入力
される入力端子31を備え、更にこのイベントマトリクス
23は、アナログ波形発生部11に起動を掛ける信号を出力
する出力端子32、デジタルパターン発生部13に起動を掛
ける信号を出力する出力端子33、測定部15に測定開始指
示を与える出力端子34、データ処理部19にデータ処理開
始指示を与える出力端子35、タイマ29へ出力を与える出
力端子36を備えている。
[Embodiment] FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which parts corresponding to those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals. In the present invention, an event matrix 23 is provided. The event matrix 23 has an input terminal 25 to which a timing trigger signal from the internal sync signal generator 24 of the digital pattern generator 13 is input and an input terminal to which a periodic signal from the analog waveform generator 11 is input.
26, an input terminal 27 to which an end signal is input from the measuring unit 15, an input terminal 28 to which a clock is input, and an input terminal 31 to which the output of the timer 29 is input, and this event matrix
23 is an output terminal 32 for outputting a signal for activating the analog waveform generator 11, an output terminal 33 for outputting a signal for activating the digital pattern generator 13, an output terminal 34 for giving a measurement start instruction to the measuring unit 15, An output terminal 35 for giving a data processing start instruction to the data processing section 19 and an output terminal 36 for giving an output to the timer 29 are provided.

これらインベントマトリクス23の入力端子と、出力端
子とが適当に接続されるが、その接続状態が制御部21か
らコントローラ38に与えられる指示により変更され、あ
るいはインベントマトリクス23の出力端子37からの指令
により変更される。
The input terminal and the output terminal of the event matrix 23 are appropriately connected, but the connection state is changed by an instruction given from the control unit 21 to the controller 38, or by a command from the output terminal 37 of the event matrix 23. Be changed.

このように構成されているから例えばデジタルパター
ン発生部13からのタイミングトリガ信号がインベントマ
トリクス23の入力端子25に与えられると、その出力端子
32に起動信号が発生し、アナログ波形発生部11が起動さ
れる。アナログ波形発生部11からのアナログ波形が被試
験IC素子12へ供給されると共に、アナログ波形発生部11
からの周期信号がイベントマトリクス23の入力端子26に
入力されてその出力端子34に測定開始指令が出力され、
測定部15の波形取込み部17に被試験IC素子12の出力が取
込まれる。その取込みが終了すると測定部15から取込み
終了信号がイベントマトリクス23の入力端子27に入力さ
れ、その出力端子35にデータ処理の開始指令が出力さ
れ、データ処理部19ではデータ処理を開始する。
With this configuration, for example, when a timing trigger signal from the digital pattern generator 13 is applied to the input terminal 25 of the event matrix 23, its output terminal
A start signal is generated at 32, and the analog waveform generating section 11 is started. The analog waveform from the analog waveform generator 11 is supplied to the IC device under test 12, and the analog waveform generator 11
The periodic signal from is input to the input terminal 26 of the event matrix 23 and the measurement start command is output to the output terminal 34,
The output of the IC device under test 12 is captured by the waveform capturing section 17 of the measuring section 15. When the capture is completed, a capture end signal is input from the measurement unit 15 to the input terminal 27 of the event matrix 23, a data processing start command is output to the output terminal 35, and the data processing unit 19 starts data processing.

従来は制御部21からいちいち指令を出していたが、こ
の発明によればイベントマトリクス23を通じてハーデウ
ェアにより順次処理が行われる。イベントマトリクス23
において処理を遅らせる場合はイベントマトリクス23か
らタイマ29へ出力を出し、タイマ29の出力を再びイベン
トマトリクス23に入力すればよい。制御部21はある試験
に応じてイベントマトリクス23の状態を設定し、所定の
手順で処理が行われるようにする。イベントマトリクス
23の出力端子37の出力をコントローラ38に入力して、イ
ベントマトリクス23の接続状態を変えるようにすること
もできる。例えば、測定部15に複数の取込みユニットが
あり、その1つのユニットへの取込みが終了すると、そ
の終了信号がイベントマトリクス23を通じてコントロー
ラ38に入力され、次の取込みは2番目のユニットに対し
て行われるようにすることもできる。
Conventionally, the control unit 21 issued a command one by one, but according to the present invention, the processing is sequentially performed by the hardware through the event matrix 23. Event matrix 23
In the case of delaying the processing in, the output from the event matrix 23 to the timer 29 may be output, and the output from the timer 29 may be input to the event matrix 23 again. The control unit 21 sets the state of the event matrix 23 according to a certain test so that the processing is performed in a predetermined procedure. Event matrix
The output of the output terminal 37 of 23 can be input to the controller 38 to change the connection state of the event matrix 23. For example, when the measuring unit 15 has a plurality of acquisition units and the acquisition to one unit is completed, the completion signal is input to the controller 38 through the event matrix 23, and the next acquisition is performed to the second unit. You can choose to be invited.

「発明の効果」 以上述べたように従来においては制御部から各部に対
する処理指令をいちいち出していたが、この発明によれ
ば制御部21はどのような試験を行うかをイベントマトリ
クス23に設定すれば、各部の順次処理がイベントマトリ
クス23を通じてハードウエアにより行われる。このため
この発明によれば全体の処理速度を向上させることがで
きる。
"Effects of the Invention" As described above, in the past, the control unit issued a processing command to each unit one by one, but according to the present invention, the control unit 21 sets in the event matrix 23 what test is to be performed. For example, the sequential processing of each unit is performed by hardware through the event matrix 23. Therefore, according to the present invention, the overall processing speed can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの発明によるIC試験装置の一例を示すブロッ
ク図、第2図は従来のIC試験装置を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing an example of an IC test apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a conventional IC test apparatus.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】デジタルパターン発生部からのデジタルパ
ターンを被試験IC素子へ供給し、その被試験IC素子の出
力を測定部に取込み、その測定部に取込んだデータをデ
ータ処理部で処理するIC試験装置において、 上記デジタルパターン発生部からのトリガ信号が入力さ
れる入力端子と、上記測定部からの終了信号が入力され
る入力端子と、上記測定部へ測定開始指示を与える出力
端子と、上記データ処理部へデータ処理の開始指示を与
える出力端子とを有し、これら入力端子と出力端子とは
制御部からの指令により任意に接続が可能とされたイベ
ントマトリクスを備えていることを特徴とするIC試験装
置。
1. A digital pattern from a digital pattern generating section is supplied to an IC element under test, the output of the IC element under test is taken into a measuring section, and the data taken into the measuring section is processed by a data processing section. In the IC test apparatus, an input terminal to which the trigger signal from the digital pattern generation unit is input, an input terminal to which an end signal from the measurement unit is input, and an output terminal that gives a measurement start instruction to the measurement unit, It has an output terminal for giving an instruction to start data processing to the data processing section, and the input terminal and the output terminal are provided with an event matrix which can be arbitrarily connected by a command from the control section. IC test equipment.
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JP4999232B2 (en) * 2001-02-09 2012-08-15 株式会社アドバンテスト Test system for analog / digital hybrid IC
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