JP2552886B2 - 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 - Google Patents
真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置Info
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空中に於いてシリコンウエハ等のワーク
にスパッタリング等の処理を施すべく交差方向にワーク
を搬送する磁気浮上式の搬送装置に関する。
にスパッタリング等の処理を施すべく交差方向にワーク
を搬送する磁気浮上式の搬送装置に関する。
（従来の技術） 従来、真空中でワークを一方向とこれに交差する方向
とに順次搬送し、該ワークにエッチング、スパッタリン
グ等の処理を順次施すことが行なわれており、その搬送
手段として、ベルト搬送装置やマグネットカップリング
式直線導入装置、ベロー式直線マニピュレータ装置等を
組合せたものが知られている。しかし乍らこれらの装置
はいずれも摺動部分を有するためダスト粒子の発生が多
く、ワークを汚染し勝ちである。
とに順次搬送し、該ワークにエッチング、スパッタリン
グ等の処理を順次施すことが行なわれており、その搬送
手段として、ベルト搬送装置やマグネットカップリング
式直線導入装置、ベロー式直線マニピュレータ装置等を
組合せたものが知られている。しかし乍らこれらの装置
はいずれも摺動部分を有するためダスト粒子の発生が多
く、ワークを汚染し勝ちである。
（発明が解決しようとする問題点） 搬送装置として磁気浮上式のリニアモータを使用すれ
ば非接触式の搬送を行なえ、ダストの発生を少なくする
ことが出来るが、リニアモータはワークの搬送経路に沿
って浮上用の固定子を配置しなければならず、ワークの
搬送経路が交差する個所での固定子の配置が困難で交差
部に於ける可動子の走行制御が容易でない。
ば非接触式の搬送を行なえ、ダストの発生を少なくする
ことが出来るが、リニアモータはワークの搬送経路に沿
って浮上用の固定子を配置しなければならず、ワークの
搬送経路が交差する個所での固定子の配置が困難で交差
部に於ける可動子の走行制御が容易でない。
本発明は真空中でリニアモータによりワークを交差し
た搬送経路で搬送する場合の前記問題点を解決すること
を目的とする。
た搬送経路で搬送する場合の前記問題点を解決すること
を目的とする。
（問題点を解決するための手段） 本発明では、真空中を直線的な長い第１ワーク搬送経
路と、これに交差する直線的な第２ワーク搬送経路に沿
ってワークを搬送するものに於いて、第１ワーク搬送経
路に沿って設けたリニアモータの固定子により磁気浮上
されて往復動する可動子を備えた第１リニアモータと、
前記第２ワーク搬送経路に設けたリニアモータの固定子
により磁気浮上され且つ前記第１リニアモータの可動子
の上方を交差して移動されるリニアモータの可動子を備
えた第２リニアモータとを設備し、該第１リニアモータ
の可動子にその上面と前記第２リニアモータの可動子の
先端部及びワーク昇降台が介在し得る間隔を有するワー
ク保持台を設け、該第１リニアモータと第２リニアモー
タの各可動子の交差部の側方に、前記ワーク昇降台をワ
ーク保持台の上方位置まで昇降させてワークを各可動子
間で受け渡しする昇降駆動装置を設けることにより前記
問題点を解決するようにした。
路と、これに交差する直線的な第２ワーク搬送経路に沿
ってワークを搬送するものに於いて、第１ワーク搬送経
路に沿って設けたリニアモータの固定子により磁気浮上
されて往復動する可動子を備えた第１リニアモータと、
前記第２ワーク搬送経路に設けたリニアモータの固定子
により磁気浮上され且つ前記第１リニアモータの可動子
の上方を交差して移動されるリニアモータの可動子を備
えた第２リニアモータとを設備し、該第１リニアモータ
の可動子にその上面と前記第２リニアモータの可動子の
先端部及びワーク昇降台が介在し得る間隔を有するワー
ク保持台を設け、該第１リニアモータと第２リニアモー
タの各可動子の交差部の側方に、前記ワーク昇降台をワ
ーク保持台の上方位置まで昇降させてワークを各可動子
間で受け渡しする昇降駆動装置を設けることにより前記
問題点を解決するようにした。
（作 用） 第１リニアモータの可動子を磁気浮上させ、該可動子
の上方の保持台にワークが載置されると、固定子により
走行制御されて第１ワーク搬送経路に沿い該可動子がワ
ークを第２ワーク搬送経路と交差する位置にまで搬送す
る。ワークがこの交差部に到着すると昇降装置によりワ
ーク昇降台が下方から上昇し、該保持台上のワークを該
ワーク昇降台で受取り、該ワーク保持台よりも高い位置
にまで上昇する。
の上方の保持台にワークが載置されると、固定子により
走行制御されて第１ワーク搬送経路に沿い該可動子がワ
ークを第２ワーク搬送経路と交差する位置にまで搬送す
る。ワークがこの交差部に到着すると昇降装置によりワ
ーク昇降台が下方から上昇し、該保持台上のワークを該
ワーク昇降台で受取り、該ワーク保持台よりも高い位置
にまで上昇する。
次いで第１リニアモータの可動子が移動し、ワーク昇
降台を降下させるとその降下の途中に於いてワーク昇降
台のワークが第２リニアモータの可動子に移し変えら
れ、該第２リニアモータの固定子により走行制御されて
その可動子が第２ワーク搬送経路に沿いワークを搬送す
る。
降台を降下させるとその降下の途中に於いてワーク昇降
台のワークが第２リニアモータの可動子に移し変えら
れ、該第２リニアモータの固定子により走行制御されて
その可動子が第２ワーク搬送経路に沿いワークを搬送す
る。
該第１リニアモータ及び第２リニアモータの各可動子
は夫々の固定子により制御されて往復移動し、交差部に
於いて昇降装置を適時昇降作動させることにより、ワー
クを第１ワーク搬送経路から第２ワーク搬送経路を往復
搬送し、更に第１ワーク搬送経路から元の位置へ或は他
の位置へと搬送することが出来、搬送のための摺動部は
昇降装置にしか存在しないので真空中へのダストの発生
も少なくなる。
は夫々の固定子により制御されて往復移動し、交差部に
於いて昇降装置を適時昇降作動させることにより、ワー
クを第１ワーク搬送経路から第２ワーク搬送経路を往復
搬送し、更に第１ワーク搬送経路から元の位置へ或は他
の位置へと搬送することが出来、搬送のための摺動部は
昇降装置にしか存在しないので真空中へのダストの発生
も少なくなる。
（実施例） 本発明の実施例を図面に基づき説明すると、第１図に
於いて符号（１）は内部を真空ポンプにより真空排気さ
れた真空室を示し、該真空室（１）には外部へシリコン
ウエハ等のワーク（２）を出し入れするためのロード室
（３）とアンロード室（４）及び該ワーク（２）にスパ
ッタリング、スパッタエッチング等の処理を施すための
幾つかの処理室（５）（５）が設けられる。該ワーク
（２）はロード室（３）からアンロード室（４）へ向う
直線的な比較的長い第１ワーク搬送経路（６）と、これ
に交差してロード室（３）、アンロード室（４）、各処
理室（５）（５）へ夫々向かう数本の直線的な第２ワー
ク搬送経路（７）（７）に沿って搬送され、図示の例で
はロード室（３）のワーク（２）は処理室（５）（５）
を順次巡ってアンロード室（４）へと運ばれる。
於いて符号（１）は内部を真空ポンプにより真空排気さ
れた真空室を示し、該真空室（１）には外部へシリコン
ウエハ等のワーク（２）を出し入れするためのロード室
（３）とアンロード室（４）及び該ワーク（２）にスパ
ッタリング、スパッタエッチング等の処理を施すための
幾つかの処理室（５）（５）が設けられる。該ワーク
（２）はロード室（３）からアンロード室（４）へ向う
直線的な比較的長い第１ワーク搬送経路（６）と、これ
に交差してロード室（３）、アンロード室（４）、各処
理室（５）（５）へ夫々向かう数本の直線的な第２ワー
ク搬送経路（７）（７）に沿って搬送され、図示の例で
はロード室（３）のワーク（２）は処理室（５）（５）
を順次巡ってアンロード室（４）へと運ばれる。
（８）は第１ワーク搬送経路（６）に沿ってワーク
（２）を搬送する第１リニアモータ、（９）（９）は第
２ワーク搬送経路（７）（７）に沿ってワークを搬送す
る第２リニアモータで、第１リニアモータ（８）は第２
図のような固定子（10）と可動子（11）で構成され、該
固定子（10）は第１ワーク搬送経路（６）に沿い間隔を
存して２個設けるようにし、該可動子（11）は各固定子
（10）の上面及び両側と覆うチャンネル形の断面形状の
長尺体で構成するようにした。また各第２リニアモータ
（９）は固定子（12）と可動子（13）で構成され、該可
動子（13）は第１リニアモータ（８）の可動子（11）の
上方で交差するようにその固定子（12）により出没され
る。
（２）を搬送する第１リニアモータ、（９）（９）は第
２ワーク搬送経路（７）（７）に沿ってワークを搬送す
る第２リニアモータで、第１リニアモータ（８）は第２
図のような固定子（10）と可動子（11）で構成され、該
固定子（10）は第１ワーク搬送経路（６）に沿い間隔を
存して２個設けるようにし、該可動子（11）は各固定子
（10）の上面及び両側と覆うチャンネル形の断面形状の
長尺体で構成するようにした。また各第２リニアモータ
（９）は固定子（12）と可動子（13）で構成され、該可
動子（13）は第１リニアモータ（８）の可動子（11）の
上方で交差するようにその固定子（12）により出没され
る。
尚、図示してはないが、第１リニアモータ（８）の固
定子（10）の中には、浮上用コイルと、固定子（10）と
可動子（11）の上下方向のギャップを検出して上下のギ
ャップが均一となるように浮上用コイルを制御する上下
方向ギャップセンサとが設けられ、更に可動子（11）を
固定子（10）に沿って往復移動させるための駆動用コイ
ルが設けられる。また、第２リニアモータも第１リニア
モータと同じ原理で浮上、駆動される。
定子（10）の中には、浮上用コイルと、固定子（10）と
可動子（11）の上下方向のギャップを検出して上下のギ
ャップが均一となるように浮上用コイルを制御する上下
方向ギャップセンサとが設けられ、更に可動子（11）を
固定子（10）に沿って往復移動させるための駆動用コイ
ルが設けられる。また、第２リニアモータも第１リニア
モータと同じ原理で浮上、駆動される。
ワーク（２）は第１リニアモータ（８）及び第２リニ
アモータ（９）の各可動子（11）（13）に交互に載せら
れて搬送されるが、両可動子（11）（13）の交差部の具
体的構成は第２図及び第３図示の如くであり、第１リニ
アモータ（８）の可動子（11）の上面にこれと間隔（1
4）を有する片持ち形でフォーク状のワーク保持台（1
5）を設け、該間隔（14）をその側方から第２リニアモ
ータ（９）の可動子（13）のフォーク状に分岐した先端
部（16）と、該ワーク保持台（15）及び該先端部（16）
のフォークに衝突しないようなフォーク状のワーク昇降
台（17）とを介入し得る程度の長さとし、該ワーク昇降
台（17）は両可動子（11）（13）の交差部の側方に真空
室（１）の外部から導入した上下動するピストン杆から
なる昇降駆動装置（18）により該ワーク保持台（15）の
上方の位置まで昇降されるようにした。尚、実施例では
３個のワーク保持台（15a）（15b）（15c）を等間隔で
可動子（11）上に設けるようにした。
アモータ（９）の各可動子（11）（13）に交互に載せら
れて搬送されるが、両可動子（11）（13）の交差部の具
体的構成は第２図及び第３図示の如くであり、第１リニ
アモータ（８）の可動子（11）の上面にこれと間隔（1
4）を有する片持ち形でフォーク状のワーク保持台（1
5）を設け、該間隔（14）をその側方から第２リニアモ
ータ（９）の可動子（13）のフォーク状に分岐した先端
部（16）と、該ワーク保持台（15）及び該先端部（16）
のフォークに衝突しないようなフォーク状のワーク昇降
台（17）とを介入し得る程度の長さとし、該ワーク昇降
台（17）は両可動子（11）（13）の交差部の側方に真空
室（１）の外部から導入した上下動するピストン杆から
なる昇降駆動装置（18）により該ワーク保持台（15）の
上方の位置まで昇降されるようにした。尚、実施例では
３個のワーク保持台（15a）（15b）（15c）を等間隔で
可動子（11）上に設けるようにした。
その作動を第１図示のような４本の第２ワーク搬送経
路（７）を備え、各搬送経路（７）に沿って４本の第２
リニアモータ（9a）（9b）（9c）（9d）と４個のワーク
昇降台（17a）（17b）（17c）（17d）を設けた場合につ
き説明するに、まずロード室（３）にワーク（２）が用
意されると第２リニアモータ（9a）の可動子（13）が前
進してそのフォーク状の先端部（16）でワーク（２）を
受取り、第１ワーク搬送経路（６）との交差部にまで後
退する。ここでワーク昇降台（17a）が上昇して該可動
子（13）の先端部（16）上のワーク（２）を受取り、第
１リニアモータ（８）のワーク保持台（15）よりも高い
位置までワーク（２）を持ち上げる。次いで第１リニア
モータ（８）の可動子（11）が前進移動してそのワーク
保持台（15a）が該ワーク昇降台（17a）の下方に位置す
ると、ワーク昇降台（17a）が降下し、その途中でワー
ク（２）をワーク保持台（15a）に渡す。続いて第１リ
ニアモータ（８）の可動子（11）が後退移動してそのワ
ーク保持台（15a）が次の第２リニアモータ（9b）の可
動子（13）の上方に位置すると、ワーク昇降台（17b）
がワーク保持台（15a）上のワーク（２）を受取って上
昇し、このあと第１リニアモータ（８）の可動子（11）
が再び前進してそのワーク保持台（15a）がワーク昇降
台（17b）の上方から去るとワーク昇降台（17b）が降下
し、待機する第２リニアモータ（9b）の可動子（13）の
先端部（16）にワーク（２）を渡す。該第２リニアモー
タ（9b）の可動子（13）は該ワーク（２）を前方の処理
室（５）に運び込み、これにスパッタリング等の処理が
施されると再びワーク昇降台（17b）の上方へ戻る。次
いで該ワーク昇降台（17b）が上昇して該ワーク（２）
が上方へ持ち上げられると、第１リニアモータ（８）の
可動子（11）が前進し、隣りのワーク保持台（15b）が
上昇したワーク昇降台（17b）の下方に位置したとき該
ワーク昇降台（17b）が降下し、その降下の途中で該ワ
ーク保持台（15b）にワーク（２）を渡す。このあと第
１リニアモータ（８）の可動子（11）は後退移動し、こ
れによりワーク保持台（15b）が隣りのワーク昇降台（1
7c）に位置すると、前記と同様のワーク（２）の受け渡
し作動を行ない、更に該ワーク（２）が次のワーク保持
台（15c）に載せられて最後のワーク昇降台（17d）上に
位置するとロード室（３）に於けるときと逆の順序で各
リニアモータ（８）（9d）及びワーク昇降台（17d）が
作動し、アンロード室（４）に処理済みのワーク（２）
が取り出される。
路（７）を備え、各搬送経路（７）に沿って４本の第２
リニアモータ（9a）（9b）（9c）（9d）と４個のワーク
昇降台（17a）（17b）（17c）（17d）を設けた場合につ
き説明するに、まずロード室（３）にワーク（２）が用
意されると第２リニアモータ（9a）の可動子（13）が前
進してそのフォーク状の先端部（16）でワーク（２）を
受取り、第１ワーク搬送経路（６）との交差部にまで後
退する。ここでワーク昇降台（17a）が上昇して該可動
子（13）の先端部（16）上のワーク（２）を受取り、第
１リニアモータ（８）のワーク保持台（15）よりも高い
位置までワーク（２）を持ち上げる。次いで第１リニア
モータ（８）の可動子（11）が前進移動してそのワーク
保持台（15a）が該ワーク昇降台（17a）の下方に位置す
ると、ワーク昇降台（17a）が降下し、その途中でワー
ク（２）をワーク保持台（15a）に渡す。続いて第１リ
ニアモータ（８）の可動子（11）が後退移動してそのワ
ーク保持台（15a）が次の第２リニアモータ（9b）の可
動子（13）の上方に位置すると、ワーク昇降台（17b）
がワーク保持台（15a）上のワーク（２）を受取って上
昇し、このあと第１リニアモータ（８）の可動子（11）
が再び前進してそのワーク保持台（15a）がワーク昇降
台（17b）の上方から去るとワーク昇降台（17b）が降下
し、待機する第２リニアモータ（9b）の可動子（13）の
先端部（16）にワーク（２）を渡す。該第２リニアモー
タ（9b）の可動子（13）は該ワーク（２）を前方の処理
室（５）に運び込み、これにスパッタリング等の処理が
施されると再びワーク昇降台（17b）の上方へ戻る。次
いで該ワーク昇降台（17b）が上昇して該ワーク（２）
が上方へ持ち上げられると、第１リニアモータ（８）の
可動子（11）が前進し、隣りのワーク保持台（15b）が
上昇したワーク昇降台（17b）の下方に位置したとき該
ワーク昇降台（17b）が降下し、その降下の途中で該ワ
ーク保持台（15b）にワーク（２）を渡す。このあと第
１リニアモータ（８）の可動子（11）は後退移動し、こ
れによりワーク保持台（15b）が隣りのワーク昇降台（1
7c）に位置すると、前記と同様のワーク（２）の受け渡
し作動を行ない、更に該ワーク（２）が次のワーク保持
台（15c）に載せられて最後のワーク昇降台（17d）上に
位置するとロード室（３）に於けるときと逆の順序で各
リニアモータ（８）（9d）及びワーク昇降台（17d）が
作動し、アンロード室（４）に処理済みのワーク（２）
が取り出される。
（発明の効果） 以上のように本発明に於いては、真空中で交差する第
１ワーク搬送経路と第２ワーク搬送経路とに沿って互い
に可動子が交差する第１リニアモータと第２リニアモー
タを設け、該第１リニアモータの可動子上にその上面に
対し第２リニアモータの可動子の先端部及び昇降駆動装
置により昇降されるワーク昇降台が介在する間隔を存し
てワーク保持台を設けるようにしたので、真空中に於い
て交差する経路に従いワークを磁気浮上により搬送出
来、その構成も比較的簡単で摺動する部分は昇降駆動装
置のみであるのでダストの発生も少なくクリーンな真空
状態が得られる等の効果がある。
１ワーク搬送経路と第２ワーク搬送経路とに沿って互い
に可動子が交差する第１リニアモータと第２リニアモー
タを設け、該第１リニアモータの可動子上にその上面に
対し第２リニアモータの可動子の先端部及び昇降駆動装
置により昇降されるワーク昇降台が介在する間隔を存し
てワーク保持台を設けるようにしたので、真空中に於い
て交差する経路に従いワークを磁気浮上により搬送出
来、その構成も比較的簡単で摺動する部分は昇降駆動装
置のみであるのでダストの発生も少なくクリーンな真空
状態が得られる等の効果がある。
第１図は本発明の実施例の平面線図、第２図は第１図の
II−II線部分の拡大断面図、第３図は第１及び第２リニ
アモータの可動子の交差部の拡大平面図である。 （１）……真空室 （２）……ワーク （６）……第１ワーク搬送経路 （７）……第２ワーク搬送経路 （８）……第１リニアモータ （９）（9a）（9b）（9c）（9d）……第２リニアモータ （10）（12）……固定子 （11）（13）……可動子 （14）……間隔 （15）（15a）（15b）（15c）……ワーク保持台 （16）……先端部 （17）（17a）（17b）（17c）（17d）……ワーク昇降台
II−II線部分の拡大断面図、第３図は第１及び第２リニ
アモータの可動子の交差部の拡大平面図である。 （１）……真空室 （２）……ワーク （６）……第１ワーク搬送経路 （７）……第２ワーク搬送経路 （８）……第１リニアモータ （９）（9a）（9b）（9c）（9d）……第２リニアモータ （10）（12）……固定子 （11）（13）……可動子 （14）……間隔 （15）（15a）（15b）（15c）……ワーク保持台 （16）……先端部 （17）（17a）（17b）（17c）（17d）……ワーク昇降台
Claims (1)
- 【請求項１】真空中を直線的な長い第１ワーク搬送経路
と、これに交差する直線的な第２ワーク搬送経路に沿っ
てワークを搬送するものに於いて、第１ワーク搬送経路
に沿って設けたリニアモータの固定子により磁気浮上さ
れて往復動する可動子を備えた第１リニアモータと、前
記第２ワーク搬送経路に設けたリニアモータの固定子に
より磁気浮上され且つ前記第１リニアモータの可動子の
上方を交差して移動されるリニアモータの可動子を備え
た第２リニアモータとを設備し、該第１リニアモータの
可動子にその上面と前記第２リニアモータの可動子の先
端部及びワーク昇降台が介在し得る間隔を有するワーク
保持台を設け、該第１リニアモータと第２リニアモータ
の各可動子の交差部の側方に、前記ワーク昇降台をワー
ク保持台の上方位置まで昇降させてワークを各可動子間
で受け渡しする昇降駆動装置を設けたことを特徴とする
真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27391587A JP2552886B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27391587A JP2552886B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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