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JP2552923B2 - Imaging device - Google Patents
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JP2552923B2 - Imaging device - Google Patents

Imaging device

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JP2552923B2
JP2552923B2 JP1241692A JP24169289A JP2552923B2 JP 2552923 B2 JP2552923 B2 JP 2552923B2 JP 1241692 A JP1241692 A JP 1241692A JP 24169289 A JP24169289 A JP 24169289A JP 2552923 B2 JP2552923 B2 JP 2552923B2
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signal
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charge transfer
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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フレームインターライントランスファ方式
の電荷結合型固体撮像デバイス(FIT−CCD)を用いた撮
像装置に関し、特に、電子シャッター機能を持たせて撮
像を行う撮像装置に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an image pickup apparatus using a charge-coupled solid-state image pickup device (FIT-CCD) of a frame interline transfer system, and particularly to an electronic shutter function. The present invention relates to an imaging apparatus that performs imaging by using

〔従来の技術〕[Conventional technology]

このような撮像装置に使用する電荷結合型固体撮像デ
バイスは、第8図に示す構造となっている。
A charge-coupled solid-state image pickup device used in such an image pickup apparatus has a structure shown in FIG.

即ち、不要電荷を排出するためのドレイン部1、被写
体光学像を受光するための受光部2、受光部2で発生し
た画素毎の信号電荷を一時的に保持する蓄積部3と、蓄
積部3の信号電荷を外へ読み出すための水平電荷転送路
4などで構成され、半導体製造技術によって形成されて
いる。
That is, a drain unit 1 for discharging unnecessary charges, a light receiving unit 2 for receiving an optical image of an object, a storage unit 3 for temporarily holding signal charges generated in the light receiving unit 2 for each pixel, and a storage unit 3 The horizontal charge transfer path 4 and the like for reading out the signal charges of the above is formed by a semiconductor manufacturing technique.

更に各部分の構造を説明すると、まず、受光部2は、
垂直走査方向Vと水平走査方向Hに沿って複数のフォト
ダイオートがマトリクス状に配列され、例えば原色スト
ライプフィルターの場合、図中の第1列に並ぶフォトダ
イオード群の表面に赤(R)のカラーフィルタ、第2列
に並ぶフォトダイオード群の表面に緑(G)のカラーフ
ィルタ、第3列に並ぶフォトダイオード群の表面に青
(B)のカラーフィルタが積層され、これらの3列を一
組として水平走査方向Hへ繰り返し配列されて、夫々の
フォトダイオードが画素に相当している。尚、これらの
フォトダイオードは垂直走査方向VにおいてM行(Mは
偶数)配列されるものとすると、ドレイン部1側から見
て奇数行に位置するフォトダイオード群は第1フィール
ド、偶数行に位置するフォトダイオード群は第2フィー
ルドとして扱われる。
To further describe the structure of each part, first, the light receiving section 2
A plurality of photodiodes are arranged in a matrix along the vertical scanning direction V and the horizontal scanning direction H. For example, in the case of a primary color stripe filter, red (R) is formed on the surface of the photodiode group arranged in the first column in the figure. A color filter, a green (G) color filter is stacked on the surface of the photodiode group arranged in the second row, and a blue (B) color filter is stacked on the surface of the photodiode group arranged in the third row. The photodiodes are repeatedly arranged as a set in the horizontal scanning direction H, and each photodiode corresponds to a pixel. Assuming that these photodiodes are arranged in M rows (M is an even number) in the vertical scanning direction V, a photodiode group located in an odd row when viewed from the drain section 1 side is located in an even row in the first field. The photodiode group is treated as a second field.

又、各列のフォトダイオード群に隣接して垂直電荷転
送部l1〜lNが形成され、それらの垂直電荷転送路の上面
に積層された転送電極群(図示せず)に4相駆動信号φ
I1I2I3I4を印加することによって、信号電荷
を垂直走査方向Vへ転送させるための転送エレメントを
発生させる。又、全ての垂直電荷転送路l1〜lNの上面に
は光の入射を遮断するための遮光層が形成されている。
Further, vertical charge transfer portions l 1 to l N are formed adjacent to the photodiode groups in each column, and a four-phase drive signal is applied to transfer electrode groups (not shown) stacked on the upper surfaces of the vertical charge transfer paths. φ
I1, φ I2, φ I3, by applying a phi I4, to generate a transfer element for transferring the signal charges to the vertical scanning direction V. In addition, a light-shielding layer for blocking the incidence of light is formed on the upper surfaces of all the vertical charge transfer paths l 1 to l N.

更に、夫々のフォトダイオードとそれに隣接関係にあ
る垂直電荷転送路の電送転送エレメントの間にはトラン
スファゲート(例えば、図中のTGで代表して示す)が設
けられており、これらのトランスファゲートを導通する
ことによって夫々のフォトダイオードに発生した信号電
荷を垂直電荷転送路の電荷転送エレメントへ転送する。
尚、トランスファゲートを駆動するあためのゲート電極
は、垂直電荷転送路の転送電極と一体に形成されてお
り、駆動信号を所定のタイミングで高電圧に設定するこ
とによりトランスファゲートを導通状態に設定するよう
になっている。
Further, transfer gates (for example, represented by TG in the figure) are provided between the respective photodiodes and the transfer transfer elements of the vertical charge transfer paths adjacent to the photodiodes. The signal charges generated in the respective photodiodes by being conducted are transferred to the charge transfer elements of the vertical charge transfer paths.
The gate electrode for driving the transfer gate is formed integrally with the transfer electrode of the vertical charge transfer path, and the transfer gate is set to the conductive state by setting the drive signal to a high voltage at a predetermined timing. It is supposed to do.

ドレイン部1は、全ての垂直電荷転送路l1〜lNの一端
に接続するように形成された所定の不純物層から成り、
垂直電荷転送路を介して転送されてくる不要電荷を半導
体基板へ排出する。
The drain portion 1 is formed of a predetermined impurity layer formed to be connected to one end of all the vertical charge transfer paths l 1 to l N.
Unnecessary charges transferred through the vertical charge transfer path are discharged to the semiconductor substrate.

蓄積部3は、全ての垂直電荷転送路l1〜lNの他端に続
いて延設された電荷転送路群から成り、それらの電荷転
送路の上面に積層された転送電極群(図示せず)に4相
駆動信号φS1S2S3S4を印加することによっ
て、受光部2から転送されてくる信号電荷を垂直走査方
向Vへ転送させると共に、駆動信号を一時的に停止する
ことで信号電荷を所定の電荷転送エレメント群に保持す
る機能を有する。したがって、M/2行分(換言すれば、
1フィールド分)のフォトダイオードに発生した信号電
荷を一時的に保持し得るだけの転送エレメント群を発生
することができる様になっている。又、全ての電荷転送
路の上面には光の入射を遮断する為の遮光層が形成され
ている。
The storage unit 3 is composed of a group of charge transfer paths extending from the other ends of all the vertical charge transfer paths l 1 to l N , and a group of transfer electrodes (shown in the figure) stacked on the upper surfaces of the charge transfer paths. ), Four-phase drive signals φ S1 , φ S2 , φ S3 , φ S4 are applied to transfer the signal charges transferred from the light receiving unit 2 in the vertical scanning direction V and temporarily drive the signals. Stopping has a function of holding signal charges in a predetermined charge transfer element group. Therefore, for M / 2 lines (in other words,
It is possible to generate a transfer element group capable of temporarily holding the signal charge generated in the photodiode for one field). Further, a light shielding layer for blocking the incidence of light is formed on the upper surfaces of all the charge transfer paths.

水平電荷転送路4は、蓄積部3の電荷転送路群の全て
の終端に接続し、上面に形成された転送電極群(図示せ
ず)に印加される2相駆動信号φH1AH2に同期して水
平走査方向Hへ信号電荷を転送する。そして、2相駆動
信号φH1AH2に同期して転送される信号電荷は、ゲー
ト信号φRSH1Bに同期してフローティングディフュー
ジョンアンプ5でインピーダンス変換して各画素ごとの
色信号として出力端子6へ出力される。
The horizontal charge transfer path 4 is connected to all the ends of the charge transfer path group of the storage unit 3 and receives two-phase drive signals φ H1A and φ H2 applied to a transfer electrode group (not shown) formed on the upper surface. The signal charges are transferred in the horizontal scanning direction H in synchronization. The signal charges transferred in synchronization with the two-phase drive signals φ H1A and φ H2 are impedance-converted by the floating diffusion amplifier 5 in synchronization with the gate signals φ RS and φ H1B and output as color signals for each pixel. Output to the terminal 6.

第9図は、電子シャッター機能を有する電子スチルカ
メラなどにおける撮像タイミングを示し、第10図(a)
〜(h)は第9図中の時点t1〜t8毎の動作を示してい
る。尚、第10図は説明を簡略にするために、相互に隣接
関係にある赤(R)、青(B)、緑(G)の3列及び2
行の画素群に関する読出し走査を代表して示している。
FIG. 9 shows the image pickup timing in an electronic still camera having an electronic shutter function, and FIG.
~ (H) shows the operation of each time point t 1 ~t 8 in FIG. 9. For simplification of description, FIG. 10 shows three columns of red (R), blue (B), and green (G) which are adjacent to each other and two columns.
A read scan for a pixel group in a row is shown as a representative.

第9図及び第10図に基づいて動作を説明すると、ま
ず、第9図中のVDは60分の1秒毎に“H"となる。
The operation will be described with reference to FIGS. 9 and 10. First, VD in FIG. 9 becomes "H" every 1/60 second.

時点t1において電子スチルカメラのシャッターレリー
ズボタンが押圧されるとすると、第1フィールドの電荷
転送モードとなり、それに同期して4相駆動信号φI1,
φI3I4を“M"レベル(垂直電荷転送路に転送エレメ
ントを発生させるための電圧)としたままで、駆動信号
φI2だけを高電圧“HH"とすることにより、第10図
(a)に示すように、第1フィールドに対応するトラン
スファゲートを導通(即ち、ポテンシャルレベルがフォ
トダイオードのポテンシャルレベルより深くなる)に
し、該第1フィールドの全てのフォトダイオード中の不
要電荷を隣の垂直電荷転送路の転送エレメントへ転送す
る。これと同時に水平電荷転送路4の電荷転送動作が開
始して所定期間内に水平電荷転送路4中の不要電荷をフ
ローティングディフュージョンアンプ5を介して外部へ
排出する。
When the shutter release button of the electronic still camera at time t 1 is to be pressed, it is the charge transfer mode in the first field, it four-phase drive signals synchronously phi I1,
By keeping only the drive signal φ I2 at the high voltage “HH” while keeping φ I3 and φ I4 at “M” level (voltage for generating transfer elements in the vertical charge transfer path), As shown in a), the transfer gate corresponding to the first field is made conductive (that is, the potential level becomes deeper than the potential level of the photodiode), and unnecessary charges in all the photodiodes of the first field are adjacent to each other. Transfer to the transfer element of the vertical charge transfer path. At the same time, the charge transfer operation of the horizontal charge transfer path 4 starts, and unnecessary charges in the horizontal charge transfer path 4 are discharged to the outside via the floating diffusion amplifier 5 within a predetermined period.

次に、第2フィールドの電荷転送モードに切り換わ
り、時点t2において駆動信号φI4だけを高電圧“HH"と
することにより、第10図(b)に示すように、第2フィ
ールドに対応するトランスファゲートを導通にし、該第
2フィールドの全てのフォトダイオード中の不要電荷を
隣の垂直電荷転送路の転送エレメントへ転送する。
Next, by switching to the charge transfer mode of the second field and setting only the drive signal φ I4 to the high voltage “HH” at time t 2 , the second field is supported as shown in FIG. 10 (b). The transfer gates are turned on, and the unnecessary charges in all the photodiodes of the second field are transferred to the transfer element of the adjacent vertical charge transfer path.

これらの時点t1及びt2の転送動作により、全てのフォ
トダイオード中に残留していた不要電荷が垂直電荷転送
路へ移る。
The transfer operation of these time points t 1 and t 2, unnecessary charges remaining in all the photodiodes moves to the vertical charge transfer paths.

次に、垂直帰線期間の所定期間内において、受光部2
の垂直電荷転送路及び蓄積部3の電荷転送路が、不要信
号電荷を駆動信号φI1〜φI4及びφS1〜φS4に同期して
ドレイン部1側へ転送することにより排出する。該転送
動作中のある時点t3を第10図(c)に示す。
Next, within a predetermined period of the vertical retrace period, the light receiving unit 2
The vertical signal transfer path and the charge transfer path of the storage unit 3 discharge unnecessary signal charges by transferring them to the drain unit 1 in synchronization with the drive signals φ I1 to φ I4 and φ S1 to φ S4 . FIG. 10 (c) shows a time point t 3 during the transfer operation.

次に、全ての不要電荷の排出動作の完了時点t4におい
て、再び第1フィールドの電荷転送モードに切り換わ
り、時点t1と同様に駆動信号φI2を高電圧“HH"とする
ことにより、第10図(d)に示すように、第1フィール
ドに対応するトランスファゲートを導通にし、該第1フ
ィールドの全てのフォトダイオード中の信号電荷を隣の
垂直電荷転送路の転送エレメントへ転送する。即ち、時
点t1の後にトランスファゲートを非導通とした時点から
再び時点t4でトランスファゲートを導通にするまでの期
間τが、第1フィールドに該当するフォトダイオード
群の露光時間となる。
Next, at the time point t 4 when the discharging operation of all unnecessary charges is completed, the mode is switched to the charge transfer mode of the first field again, and the driving signal φ I 2 is set to the high voltage “HH” as at the time point t 1 . As shown in FIG. 10 (d), the transfer gates corresponding to the first field are made conductive, and the signal charges in all the photodiodes in the first field are transferred to the transfer element of the adjacent vertical charge transfer path. That is, a period tau 1 from the time of non-conductive the transfer gate after time t 1 until the transfer gate to a conducting at time t 4 again, the exposure time of the photo diode group corresponding to the first field.

次に、所定期間中の高速電荷転送動作により、垂直電
荷転送路の信号電荷を蓄積部3の電荷転送路へ転送す
る。第10図(e)に転送中のある時点t5の作動を示す。
この転送動作が完了すると、第1フィールドに該当する
フォトダイオード群の全信号電荷が蓄積部3に保持され
る。
Next, the signal charges in the vertical charge transfer path are transferred to the charge transfer path of the storage unit 3 by a high-speed charge transfer operation during a predetermined period. FIG. 10 (e) shows the operation at a certain time point t 5 during the transfer.
When this transfer operation is completed, all signal charges of the photodiode group corresponding to the first field are held in the storage unit 3.

次に、再び第2フィールドの電荷転送モードに切り換
わり、時点t2から期間τを経過した時点t6において駆
動信号φI4を高電圧“HH"とすることにより、第10図
(f)に示すように、第2フィールドに対応するトラン
スファゲートを導通にし、該第2フィールドの全てのフ
ォトダイオード中の信号電荷を隣の垂直電荷転送路の転
送エレメントへ転送する。即ち、時点t2の後にトランス
ファゲートを非導通とした時点から再び時点t6でトラン
スファゲートを導通にするまでの期間τが、第2フィ
ールドに該当するフォトダイオード群の露光時間とな
る。
Next, the mode is switched to the charge transfer mode of the second field again, and the driving signal φ I4 is set to the high voltage “HH” at the time t 6 when the period τ 1 has passed from the time t 2 so that FIG. As shown in, the transfer gate corresponding to the second field is made conductive, and the signal charges in all the photodiodes in the second field are transferred to the transfer element of the adjacent vertical charge transfer path. That is, the period τ 1 from when the transfer gate is turned off after time t 2 until when the transfer gate is turned on again at time t 6 is the exposure time of the photodiode group corresponding to the second field.

次に、第2フィールドに該当する信号電荷を垂直電荷
転送路に停止させたままで、蓄積部3中の第1フィール
ドに該当する信号電荷を水平電荷転送路4へ垂直電荷転
送すると共に、1水平ライン分の垂直電荷転送を行う毎
に水平電荷転送路4が水平電荷転送することで、第1フ
ィールドに該当する各画素に対応する色信号が出力され
る(図中の期間Δτ)。
Next, while the signal charges corresponding to the second field are stopped in the vertical charge transfer path, the signal charges corresponding to the first field in the storage unit 3 are vertically transferred to the horizontal charge transfer path 4 and one horizontal The horizontal charge transfer path 4 transfers the horizontal charges each time the vertical charges for the lines are transferred, so that color signals corresponding to the pixels corresponding to the first field are output (period Δτ 1 in the figure).

蓄積部3中の信号電荷の読出しが完了すると、次に、
受光部2の垂直電荷転送路の信号電荷を蓄積部3へ転送
する。この様子を時点t7に対応する第10図(g)に示
す。
When the reading of the signal charges from the storage section 3 is completed,
The signal charge in the vertical charge transfer path of the light receiving section 2 is transferred to the storage section 3. This state is shown in FIG. 10 (g) corresponding to the time point t 7 .

次に、第2フィールドに該当する全ての信号電荷が蓄
積部3に転送されると、信号電荷を水平電荷転送路4へ
垂直電荷転送すると共に、1水平ライン分の垂直電荷転
送を行う毎に水平電荷転送路4が水平電荷転用すること
で、第2フィールドに該当する各画素に対応する色信号
が出力される(図中の期間Δτ)。この様子を第10図
(h)に示す。
Next, when all the signal charges corresponding to the second field are transferred to the storage unit 3, the signal charges are vertically transferred to the horizontal charge transfer path 4 and at the same time, the vertical charges for one horizontal line are transferred. By diverting the horizontal charge transfer path 4, the color signal corresponding to each pixel corresponding to the second field is output (period Δτ 2 in the figure). This is shown in FIG. 10 (h).

このように、シャッターレリーズボタンに同期してリ
セット動作し、フォトダイオードに集積される信号電荷
をシャッター速度に応じて垂直電荷転送路へ転送するこ
とにより、擬似的なフレーム電子シャッター機能を得る
ことができるようになっている。
As described above, the reset operation is performed in synchronization with the shutter release button, and the signal charge accumulated in the photodiode is transferred to the vertical charge transfer path according to the shutter speed, thereby obtaining a pseudo frame electronic shutter function. I can do it.

〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながらこのような従来の撮像装置にあっては、
シャッター速度を速くするのに伴ってフィールドフリッ
カが顕著になる問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a conventional imaging device,
There is a problem that the field flicker becomes noticeable as the shutter speed is increased.

即ち、第9図のタイミングチャートに示すように、第
1フィールドに該当する信号電荷を読み出した後に第2
フィールドに該当する信号電荷を読み出す為に、第2フ
ィールドに該当する信号電荷を一時的に受光部中の垂直
電荷転送路に停止するので、この停止期間中に発生する
スメアが第2フィールドに該当する信号電荷に混入し、
このスメア成分がフィールドフリッカの原因となってい
た。第9図においては、期間Δτで第2フィールドに
該当する信号電荷にスメア成分が混入することとなり、
第1フィールドに該当する信号電荷に対するスメアの影
響と比較すると、第2フィールドに該当する信号電荷へ
のスメアの影響のほうが大きくなる。
That is, as shown in the timing chart of FIG. 9, after the signal charge corresponding to the first field is read out, the second charge is read out.
In order to read out the signal charge corresponding to the field, the signal charge corresponding to the second field is temporarily stopped in the vertical charge transfer path in the light receiving portion. Therefore, the smear generated during this stop period corresponds to the second field. Mix into the signal charge to
This smear component was the cause of field flicker. In FIG. 9, the smear component is mixed in the signal charge corresponding to the second field in the period Δτ 1 ,
Compared with the influence of smear on the signal charge corresponding to the first field, the influence of smear on the signal charge corresponding to the second field is larger.

このスメア成分は、フォトダイオードの開口部から入
射した光が電荷転送電極下のシリコン酸化膜中を反射し
ながら垂直電荷転送路へ到達することによって発生した
り、高光強度の光が半導体基板中に不要電荷を発生させ
ることに起因したり、垂直電荷転送路の上面に形成され
ている遮光膜を貫通して入射する光に起因する場合など
が考えられる。
This smear component is generated when light incident from the opening of the photodiode reaches the vertical charge transfer path while reflecting in the silicon oxide film below the charge transfer electrode, or light of high light intensity is generated in the semiconductor substrate. It may be caused by generation of unnecessary charges or by light incident through the light shielding film formed on the upper surface of the vertical charge transfer path.

本発明はこのような課題に鑑みて成されたものであ
り、フィールドフリッカの発生を低減した撮像装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an imaging device in which the occurrence of field flicker is reduced.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

このような目的を達成するために本発明は、画素に相
当する光電変換素子とそれに隣接する垂直電荷転送路と
の間に形成されるトランスファゲートが導通するときの
ポテンシャルレベルを、シャッター速度に応じて制御す
ることとした。
In order to achieve such an object, the present invention sets the potential level when a transfer gate formed between a photoelectric conversion element corresponding to a pixel and a vertical charge transfer path adjacent to the pixel is conductive according to the shutter speed. Decided to control.

更に本発明の原理を第1図乃至第5図に基づいて説明
する。まず、第1図は、従来の擬似的なフレーム電子シ
ャッター機能によって撮像した場合における、シャッタ
ー速度(横軸)に対する第1フィールドに該当する或る
画素の信号電荷と第2フィールドに該当する或る画素の
信号電荷とのレベル差をパーセント表示で示した実測値
であり、赤(R)、青(B)及び緑(G)毎に示してい
る。
Further, the principle of the present invention will be described with reference to FIGS. First, FIG. 1 shows a signal charge of a certain pixel corresponding to the first field with respect to the shutter speed (horizontal axis) and a certain field corresponding to the second field when the image is captured by the conventional pseudo frame electronic shutter function. The level difference from the signal charge of the pixel is an actually measured value shown in percentage, and is shown for each of red (R), blue (B) and green (G).

同図から明らかなように、シャッター速度が高くなる
と、それに伴って入射光強度が高くなるので、第2フィ
ールドに該当する画素信号中のスメア成分が第1フィー
ルドに該当する画素のそれに対して上昇し、その差が約
1パーセント以上に達すると人間の目でも容易にフリッ
カを確認することができるようになる。そして、三原色
の間でもシャッター速度に対して相互に異なった特性を
示すので、輝度によるフィールドフリッカだけでなく、
色による色フリッカも発生する。
As is clear from the figure, when the shutter speed becomes higher, the incident light intensity becomes higher accordingly, so that the smear component in the pixel signal corresponding to the second field rises with respect to that of the pixel corresponding to the first field. However, when the difference reaches about 1% or more, the flicker can be easily confirmed by human eyes. Since the three primary colors show different characteristics with respect to the shutter speed, not only the field flicker due to the brightness but also the
Color flicker due to color also occurs.

そこで、本願発明者は、スメアが増加する条件即ち、
シャッター速度が速くなるほどトランスファゲートのポ
テンシャルレベルを浅くして、光電変換素子から垂直電
荷転送路へ転送する信号電荷の量を制限することによ
り、最終的に読み出される第1フィールドに該当する色
信号と第2フィールドに該当する色信号のスメア混合率
が等しくなるように制御することとした。
Therefore, the inventor of the present application has found that the conditions under which smear increases are as follows:
As the shutter speed becomes faster, the potential level of the transfer gate is made shallower to limit the amount of signal charge transferred from the photoelectric conversion element to the vertical charge transfer path, so that the color signal corresponding to the first field to be finally read out can be obtained. The control is performed so that the smear mixing ratios of the color signals corresponding to the second field become equal.

即ち、本発明は第2図に示すように、半導体基板中の
ウェル層中に拡散された不純物層PDによって光電変換素
子(フォトダイオード)を形成し、それに隣接する垂直
電荷転送路をトランスファゲートTGを介して隣接する電
荷転送電極DGの下に形成し、光電変換素子と垂直電荷転
送路のポテンシャルレベルは、第3図に示すように、垂
直電荷転送路が最も深く成るように形成すると共に、露
光中にはトランスファゲートのポテンシャルレベルが最
も浅くなってポテンシャル障壁となるように制御する。
そして、シャッター速度が速い場合には、第4図に示す
ように、トランスファゲートTG下のポテンシャルレベル
を浅くする様に制御して、光電変換素子に発生した信号
電荷の垂直電荷転送路への移動量を制限することによ
り、垂直電荷転送路に発生するスメア成分に相当する信
号電荷量を光電変換素子側に残留させる。一方、シャッ
ター速度が遅い場合には、第5図に示すように、トラン
スファゲートTG下のポテンルレベルを深くする様に制御
して、光電変換素子に発生した信号電荷の垂直電荷転送
路への移動量の制限を緩和する。
That is, according to the present invention, as shown in FIG. 2, a photoelectric conversion element (photodiode) is formed by an impurity layer PD diffused in a well layer in a semiconductor substrate, and a vertical charge transfer path adjacent to the photoelectric conversion element is formed by a transfer gate TG. And the photoelectric conversion element and the vertical charge transfer path are formed such that the potential level of the photoelectric conversion element and the vertical charge transfer path are formed so that the vertical charge transfer path becomes the deepest, as shown in FIG. During exposure, control is performed so that the potential level of the transfer gate becomes the shallowest and becomes a potential barrier.
Then, when the shutter speed is high, as shown in FIG. 4, the potential level under the transfer gate TG is controlled to be shallow so that the signal charge generated in the photoelectric conversion element moves to the vertical charge transfer path. By limiting the amount, the signal charge amount corresponding to the smear component generated in the vertical charge transfer path is left on the photoelectric conversion element side. On the other hand, when the shutter speed is slow, as shown in FIG. 5, the amount of movement of the signal charge generated in the photoelectric conversion element to the vertical charge transfer path is controlled by making the potential level under the transfer gate TG deeper. Relax the restrictions of.

このように、第1図に示した特性曲線に対して逆にト
ランスファゲートのポテンシャルレベルを制御すること
によって、フィールド毎のスメア成分を擬似的に等しく
することができ、フィールドフリッカの発生を低減する
ことができる。
In this way, by controlling the potential level of the transfer gate in the opposite manner to the characteristic curve shown in FIG. 1, the smear components for each field can be made pseudo equal and the occurrence of field flicker is reduced. be able to.

〔作用〕[Action]

このような原理による本発明にあっては、第2フィー
ルドに該当する信号電荷に混合するスメア成分に相当す
る分の信号電荷を、光電変換素子から垂直電荷転送路へ
転送する際にシャッター速度に逆比例してトランスファ
ゲートのポテンシャルレベルを制御することによって読
み出さないようにしたので、各フィールド毎の見かけ上
のスメア成分が等しくなり、フィールドフリッカの発生
を低減することができる。
In the present invention based on such a principle, when the signal charge corresponding to the smear component mixed with the signal charge corresponding to the second field is transferred from the photoelectric conversion element to the vertical charge transfer path, the shutter speed is changed. Since the potential is not read out by controlling the potential level of the transfer gate in inverse proportion, the apparent smear component of each field becomes equal, and the occurrence of field flicker can be reduced.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面と共に説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第6図は電子スチルカメラにおける撮像装置の構造を
示す。尚、撮像デバイスは第8図と同様のFIT−CCDを適
用するものとする。
FIG. 6 shows the structure of an image pickup device in an electronic still camera. Note that the same FIT-CCD as in FIG. 8 is applied to the imaging device.

まず構造を説明すると、7はフレームインターライン
トランスファ方式の電荷結合型固体撮像デバイスであ
り、更に第8図に示すのと同様に、被写体光学像を受光
する受光面に赤(R)、青(B)、緑(G)のストライ
プ上のカラーフィルタ8が形成されている。
First, the structure will be described. Reference numeral 7 is a frame interline transfer type charge-coupled solid-state imaging device. Further, as in the case shown in FIG. 8, red (R), blue ( The color filters 8 are formed on the stripes of B) and green (G).

9は垂直駆動信号用ドライバであり、電荷結合型固体
撮像デバイスの受光部(第8図参照)中の垂直電荷転送
路を駆動するための4相駆動方式の駆動信号φI1I2,
φI3I4と、蓄積部(第8図参照)中の電荷転送路を
駆動するための4相駆方式の駆動動信号φS1S2,
φS3S4をタイミング発生回路10からの同期信号に同
期して発生する。
Reference numeral 9 denotes a vertical drive signal driver, which is a four-phase drive system drive signal φ I1 , φ I2 , for driving a vertical charge transfer path in the light receiving portion (see FIG. 8) of the charge-coupled solid-state imaging device.
φ I3 , φ I4 and four-phase drive driving signals φ S1 , φ S2 , for driving the charge transfer paths in the storage section (see FIG. 8).
φ S3 and φ S4 are generated in synchronization with the synchronization signal from the timing generation circuit 10.

11はフィールドシフト制御回路であり、前記受光部中
の画素を構成するフォトダイオードと垂直電荷転送路と
の間に形成されるトランスファゲート(第8図参照)を
制御するため制御信号FSをタイミング発生回路10からの
同期信号に同期して発生する。
Reference numeral 11 is a field shift control circuit, which generates a timing of a control signal FS for controlling a transfer gate (see FIG. 8) formed between a photodiode forming a pixel in the light receiving portion and a vertical charge transfer path. It is generated in synchronization with the sync signal from the circuit 10.

12は水平駆動信号用ドライバであり、水平電荷転送路
(第8図参照)を駆動するための2相駆動方式の駆動信
号φH1A、ゲートを駆動するためのゲート信号φH1B
RSをタイミング発生回路10からの同期信号に同期して発
生する。
Reference numeral 12 denotes a horizontal drive signal driver, which is a two-phase drive type drive signal φ H1A for driving the horizontal charge transfer path (see FIG. 8) and gate signals φ H1B , φ for driving the gates.
RS is generated in synchronization with the synchronization signal from the timing generation circuit 10.

13はサンプルホールド回路14であり、水平電荷転送路
(第8図参照)を介して出力される色信号をタイミング
発生回路10からのタイミング信号SSHに同期して相関二
重サンプリング方式によってサンプリングする。
Reference numeral 13 is a sample and hold circuit 14, which samples the color signal output through the horizontal charge transfer path (see FIG. 8) by the correlated double sampling method in synchronization with the timing signal SSH from the timing generation circuit 10. .

14はプロセス回路であり、サンプルホールド回路13か
ら出力された色信号に対して白バランス調整やγ補正の
処理を行った後、輝度信号及び色差信号を形成して出力
する。
A process circuit 14 performs white balance adjustment and γ correction processing on the color signal output from the sample hold circuit 13, and then forms and outputs a luminance signal and a color difference signal.

15は磁気記録回路であり、プロセス回路14から出力さ
れた輝度信号及び色差信号をFM変調して磁気ディスク等
の記録媒体に記録する。
Reference numeral 15 denotes a magnetic recording circuit, which FM-modulates the luminance signal and the color difference signal output from the process circuit 14 and records them on a recording medium such as a magnetic disk.

16は中央制御回路であり、各回路の全体的な動作タイ
ミングを制御する。
A central control circuit 16 controls the overall operation timing of each circuit.

17はシャッター制御部であり、操作者がシャッターレ
リーズボタンを押圧したことを示す信号を中央制御回路
16へ供給することによって、電子シャッター機能を伴う
一連の撮像動作を起動させる。
Reference numeral 17 denotes a shutter control unit, which outputs a signal indicating that the operator has pressed the shutter release button to the central control circuit.
Supplying to 16 activates a series of imaging operations with an electronic shutter function.

第7図は垂直駆動信号用ドライバ9の構成を更に詳細
に示す。即ち、垂直駆動信号用ドライバ9は、4相駆動
信号φI1I2I3I4を発生する回路(図示せず)
に加えて、中央制御回路16からの電圧指定信号SVにて指
定された電圧を出力する可変電圧回路18を備え、その出
力電圧VTGはアナログスイッチ19を介して加算回路20と2
1に印加させるように成っている。尚、アナログスイッ
チ19は、フィールドシフト制御回路11からの制御信号FS
に従って、第1フィールド読出し操作時には所定タイミ
ングで切換接点a側に切換わり、第2フィールド読出し
操作時には他の所定タイミングで切換接点b側に切換わ
る。又、加算回路20には駆動信号φI2が印加され、加算
回路21には駆動信号φI4が印加される。そして、アナロ
グスイッチ19が切換接点a側に切換わると、加算回路20
からは電圧VTGが重畳した駆動信号φI2が出力され、ア
ナログスイッチ19が切換接点b側に切換わると、加算回
路21からは電圧VTGが重畳した駆動信号φI4が出力され
る。
FIG. 7 shows the configuration of the vertical drive signal driver 9 in more detail. That is, the vertical drive signal driver 9 is a circuit (not shown) that generates four-phase drive signals φ I1 , φ I2 , φ I3 , and φ I4.
In addition, a variable voltage circuit 18 for outputting a voltage designated by the voltage designation signal SV from the central control circuit 16 is provided, and its output voltage V TG is added via the analog switch 19 to the adder circuits 20 and 2
Made to apply to 1. In addition, the analog switch 19 uses the control signal FS from the field shift control circuit 11.
Accordingly, during the first field read operation, it is switched to the switching contact a side at a predetermined timing, and during the second field read operation, it is switched to the switch contact b side at another predetermined timing. The drive signal φ I2 is applied to the adder circuit 20, and the drive signal φ I4 is applied to the adder circuit 21. When the analog switch 19 is switched to the switching contact a side, the adding circuit 20
Outputs a drive signal φ I2 on which the voltage V TG is superimposed, and when the analog switch 19 is switched to the switching contact b side, the adder circuit 21 outputs a drive signal φ I4 on which the voltage V TG is superimposed.

尚、電圧VTGは第1図の特性曲線に対応して、シャッ
ター速度が速くなるほど電圧が低く、逆にシャッター速
度が遅くなるほど電圧が高くなるように設定される。
Incidentally, the voltage V TG is set so as to correspond to the characteristic curve of FIG. 1 so that the voltage becomes lower as the shutter speed becomes faster, and conversely becomes higher as the shutter speed becomes slower.

次に、このような構成の電子スチルカメラの作動を説
明する。制御タイミングは第9図と同様であり、操作者
がシャッター速度fを設定してから時点t1でシャッター
レリーズボタンを押圧するものとすると、シャッター制
御部17から中央制御回路16へ撮像開始の指示がなされ、
更に、中央制御回路16にはシャッター速度のデータが保
持される。
Next, the operation of the electronic still camera having such a configuration will be described. The control timing is the same as in FIG. 9, and if the operator presses the shutter release button at time t 1 after setting the shutter speed f, the shutter control section 17 instructs the central control circuit 16 to start imaging. Is done,
Further, the central control circuit 16 holds shutter speed data.

そして、時点t1では、画素に相当する光電変換素子の
信号電荷を垂直電荷転送路へ全て転送し得るほどのポテ
ンシャルレベルをトランスファゲートに発生させる最大
電圧VTGを可変電圧回路18に出力させると共に、時点t1
に同期してアナログスイッチ19を短時間だけ接点aに切
換え接続させる。これにより、第1フィールドに該当す
る光電変換素子の不要電荷を垂直電荷転送路へ転送す
る。
Then, at time t 1 , the maximum voltage V TG that causes the transfer gate to generate a potential level enough to transfer all the signal charges of the photoelectric conversion element corresponding to the pixel to the vertical charge transfer path is output to the variable voltage circuit 18. , Time t 1
The analog switch 19 is switched to and connected to the contact a for a short time in synchronization with. As a result, the unnecessary charges of the photoelectric conversion element corresponding to the first field are transferred to the vertical charge transfer path.

次に、可変電圧回路18の出力電圧VTGをそのままに維
持して時点t2においてアナログスイッチ19を短時間だけ
接点bに切換え接続させる。これにより、第2フィール
ドに該当する光電変換素子の不要電荷を垂直電荷転送路
へ転送する。
Next, the output voltage V TG of the variable voltage circuit 18 is maintained as it is, and the analog switch 19 is switched and connected to the contact b for a short time at time t 2 . As a result, the unnecessary charges of the photoelectric conversion element corresponding to the second field are transferred to the vertical charge transfer path.

そして、垂直電荷転送路及び蓄積部の電荷転送路によ
る電荷転送動作により、不要電荷をドレイン部へ排出す
る。
Then, the unnecessary charges are discharged to the drain portion by the charge transfer operation by the vertical charge transfer path and the charge transfer path of the storage section.

次に、可変電圧回路18の出力電圧VTGを上記最大電圧
に維持したままで、時点t4(露光時間τ後)におい
て、アナログスイッチ19を接点a側へ短時間だけ接続す
る。これにより、駆動信号φI2にはシャッター速度に対
応する電圧VTGが重畳され、トランスファゲート下のポ
テンシャルが最も深くなり、第1フィールドに該当する
光電変換素子の全ての信号電荷が垂直電荷転送路へ転送
される。
Next, while keeping the output voltage V TG of the variable voltage circuit 18 at the maximum voltage, at time t 4 (after the exposure time τ 1 ), the analog switch 19 is connected to the contact a side for a short time. As a result, the voltage V TG corresponding to the shutter speed is superimposed on the drive signal φ I2 , the potential under the transfer gate becomes the deepest, and all the signal charges of the photoelectric conversion element corresponding to the first field are transferred to the vertical charge transfer path. Transferred to.

そして、第1フィールドに該当する信号電荷を蓄積部
へ転送してから停止さる。
Then, the signal charge corresponding to the first field is transferred to the storage unit and then stopped.

次に、中央制御回路16が可変電圧回路18に対し、シャ
ッター速度に対応する予め決められた電圧指示信号SVを
供給し、該シャッター速度に対応する電圧VTGを出力さ
せた後、時点t6(露光時間τ後)において、アナログ
スイッチ19を接点b側へ短時間だけ接続する。これによ
り、駆動信号φI4にはシャッター速度に対応する電圧V
TGが重畳され、第2フィールドに対応するトランスファ
ゲート下のポテンシャルは該電圧VTGに比例した深さに
なる。したがって、第3図〜第5図で示したように、光
電変換素子に発生した信号電荷をシャッター速度に応じ
て残留させ、残りの信号電荷を垂直電荷転送路へ転送さ
せる。
Next, after the central control circuit 16 supplies the variable voltage circuit 18 with a predetermined voltage instruction signal SV corresponding to the shutter speed and outputs the voltage V TG corresponding to the shutter speed, the time t 6 At (after exposure time τ 1 ), the analog switch 19 is connected to the contact b side for a short time. As a result, the drive signal φ I4 has a voltage V corresponding to the shutter speed.
TG is superimposed, and the potential under the transfer gate corresponding to the second field has a depth proportional to the voltage V TG . Therefore, as shown in FIGS. 3 to 5, the signal charges generated in the photoelectric conversion element are made to remain according to the shutter speed, and the remaining signal charges are transferred to the vertical charge transfer path.

以下、第9図に示したタイミングで信号電荷を読み出
すことで、全ての画素に対応する色信号を出力する。
Hereinafter, the color signal corresponding to all the pixels is output by reading out the signal charges at the timing shown in FIG.

この実施例によれば、第2番目にフィールド読出しさ
れる信号電荷を受光部中の垂直電荷転送路に一時的に停
止させている間に混入するスメアに相当する分の信号電
荷を、予め光電変換素子から垂直電荷転送路へ転送する
際に制限し、その制限をシャッター速度に応じて行うの
で、最終的に読み出される第1フィールドに該当する色
信号と第2フィールドに該当する色信号のスメア混合率
を、人間の目でフリッカと認識できない程度に等しくす
ることができる。
According to this embodiment, the signal charge corresponding to smear mixed while the second field read signal charge is temporarily stopped in the vertical charge transfer path in the light receiving portion is previously photoelectrically converted. The transfer is limited from the conversion element to the vertical charge transfer path, and the restriction is performed according to the shutter speed. Therefore, the smear of the color signal corresponding to the first field and the color signal corresponding to the second field to be finally read is performed. The mixing ratio can be made equal to the level that human eyes cannot perceive flicker.

尚、トランスファゲートを導通にするためのゲート電
圧発生手段は第7図に示す構成に限るものではなく、同
一機能を有する他の回路を使用してもよい。
The gate voltage generating means for making the transfer gate conductive is not limited to the configuration shown in FIG. 7, and other circuits having the same function may be used.

又、垂直電荷転送路の転送電極とトランスファゲート
のためのゲート電極とを分離した構成にし、赤(R)と
青(B)と緑(G)に関する画素毎にトランスファゲー
トに印加するゲート電圧VTGを制御することにより、色
フリッカを防止するようにしてもよい。
In addition, the transfer electrode of the vertical charge transfer path and the gate electrode for the transfer gate are separated, and the gate voltage V applied to the transfer gate for each pixel for red (R), blue (B), and green (G) Color flicker may be prevented by controlling TG .

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、第2フィール
ドに該当する画素に相当する光電変換素子とそれに隣接
する垂直電荷転送路との間に形成されるトランスファゲ
ートが導通するときのポテンシャルレベルを、シャッタ
ー速度に応じて制御することにより、該第2フィールド
の信号電荷を垂直電荷転送路に停止している期間に混入
するスメア成分に相当する信号電荷だけ予め読み出さな
いようにしたので、第1フィールドと第2フィールドに
該当する夫々の信号電荷のスメア混入率をほぼ等しくす
ることができ、フリッカの発生を低減することができ、
鮮明な再生画像を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the potential level when the transfer gate formed between the photoelectric conversion element corresponding to the pixel corresponding to the second field and the vertical charge transfer path adjacent to the photoelectric conversion element is conductive is set. By controlling according to the shutter speed, the signal charge of the second field is prevented from being read out in advance by the signal charge corresponding to the smear component mixed in the period in which the signal charge is stopped in the vertical charge transfer path. The smear mixing rates of the signal charges corresponding to the field and the second field can be made substantially equal, and the occurrence of flicker can be reduced.
It is possible to provide a clear reproduced image.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図乃至第5図は本発明の原理を説明するための説明
図; 第6図は本発明の一実施例の構成を示す実施例構成図; 第7図は第6図の要部を詳細に示す構成説明図; 第8図はフレームインターライントランスファ方式の電
荷結合型固体撮像デバイスの構造図; 第9図は第8図の電荷結合型固体撮像デバイスの作動を
説明するタイミングチャート; 第10図は第9図の適宜の時点における動作を説明する動
作説明図である。 図中の符号: 1;ドレイン部 2;受光部 3;蓄積部 4;水平電荷転送路 7;電荷結合型固体撮像デバイス 8;カラーフィルタ 9;垂直駆動信号用ドライバ 10;タイミング発生回路 11;フィールドシフト制御回路 12;水平駆動信号用ドライバ 13;サンプルホールド回路 14;プロセス回路 15;磁気記録回路 16;中央制御回路 17;シャッター制御部 18;可変電圧回路 19;アナログスイッチ 20,21;加算回路 l1〜lN;垂直電荷転送路
1 to 5 are explanatory views for explaining the principle of the present invention; FIG. 6 is an embodiment configuration diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention; FIG. 7 is a main part of FIG. FIG. 8 is a structural diagram of a charge-coupled solid-state imaging device of frame interline transfer system; FIG. 9 is a timing chart for explaining the operation of the charge-coupled solid-state imaging device of FIG. 8; FIG. 10 is an operation explanatory view for explaining the operation at the appropriate time point in FIG. Reference numerals in the figure: 1; drain section 2; light receiving section 3; storage section 4; horizontal charge transfer path 7; charge-coupled solid-state imaging device 8; color filter 9; vertical drive signal driver 10; timing generation circuit 11; field Shift control circuit 12; horizontal drive signal driver 13; sample hold circuit 14; process circuit 15; magnetic recording circuit 16; central control circuit 17; shutter control unit 18; variable voltage circuit 19; analog switch 20, 21; adder circuit l 1 to l N ; Vertical charge transfer path

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】フレームインターライントランスファ方式
の電荷結合型固体撮像デバイスの各画素に発生した不要
電荷を一旦排出し、該排出時点からシャッター速度に対
応する露光時間の後に第1フィールドに該当する信号電
荷を蓄積部、第2フィールドに該当する信号電荷を受光
部の垂直電荷転送路に夫々転送させ、次に該第2フィー
ルドに該当する信号電荷を受光部の垂直電荷転送路に停
止する間に第1フィールドに該当する信号電荷を読出し
た後に第2フィールドに該当する信号電荷を読み出すこ
とによって擬似的なフレーム電子シャッター撮像を行う
撮像装置において、 前記第2フィールドに該当する信号電荷を前記垂直電荷
転送路へ転送する際に、画素に相当する光電変換素子と
それに隣接する垂直電荷転送路との間に形成されるトラ
ンスファゲートが導通するときのポテンシャルレベル
を、シャッター速度に応じて制御することを特徴とする
撮像装置。
1. A signal corresponding to the first field after the unnecessary charge generated in each pixel of a frame interline transfer type charge coupled solid-state imaging device is once discharged and after the discharging time corresponding to the shutter speed. While the charge is transferred to the storage section and the signal charge corresponding to the second field is transferred to the vertical charge transfer path of the light receiving section, respectively, and then the signal charge corresponding to the second field is stopped to the vertical charge transfer path of the light receiving section. In an imaging device that performs pseudo frame electronic shutter imaging by reading the signal charge corresponding to the first field and then reading the signal charge corresponding to the second field, the signal charge corresponding to the second field is converted into the vertical charge. When transferring to the transfer path, a transistor formed between the photoelectric conversion element corresponding to the pixel and the vertical charge transfer path adjacent to the photoelectric conversion element is formed. An imaging device, wherein a potential level when the transfer gate is turned on is controlled according to a shutter speed.
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