JP2554772B2 - レーザパルスストレッチャー - Google Patents
レーザパルスストレッチャーInfo
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- optical fiber
- laser light
- laser
- light
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はたとえば色素レーザのレーザパルス幅を広
げるレーザパルスストレッチャー関する。
げるレーザパルスストレッチャー関する。
（従来の技術） たとえば、大出力の色素レーザシステムにおいては、
出力を増大するために色素レーザ発振器と色素レーザ増
幅器とからなるシステムが用いられている。このような
色素レーザシステムでは、出力の増大を計る手段とし
て、色素レーザ増幅器から出力されたレーザ光を上記色
素レーザ増幅器を用いて増幅するだけでなく、上記レー
ザ光のパルス幅をレーザパルスストレッチャーによって
広げ、そのレーザ光を色素レーザ増幅器で増幅すること
で増幅効果を増大させるということが行われている。
出力を増大するために色素レーザ発振器と色素レーザ増
幅器とからなるシステムが用いられている。このような
色素レーザシステムでは、出力の増大を計る手段とし
て、色素レーザ増幅器から出力されたレーザ光を上記色
素レーザ増幅器を用いて増幅するだけでなく、上記レー
ザ光のパルス幅をレーザパルスストレッチャーによって
広げ、そのレーザ光を色素レーザ増幅器で増幅すること
で増幅効果を増大させるということが行われている。
従来、上記レーザパルスストレッチャーとしては第３
図あるいは第４図に示す構成のものが用いられていた。
すなわち、第３図に示すレーザパルスストレッチャー
は、パルスレーザ光Ｌに対して45度の角度で傾斜して配
置された両面反射ハーフミラー１を有する。この両面反
射ハーフミラー１の一方の反射面1aに45度の角度で入射
したレーザ光Ｌは、透過光L1と反射光L2とに分けられ
る。
図あるいは第４図に示す構成のものが用いられていた。
すなわち、第３図に示すレーザパルスストレッチャー
は、パルスレーザ光Ｌに対して45度の角度で傾斜して配
置された両面反射ハーフミラー１を有する。この両面反
射ハーフミラー１の一方の反射面1aに45度の角度で入射
したレーザ光Ｌは、透過光L1と反射光L2とに分けられ
る。
上記両面反射ハーフミラー１の第１の反射面1aで反射
した反射光L2は、第１乃至第４の反射ミラー２〜５の反
射面2a〜5aで順次45度の角度で反射して矩形ループ状に
走行して所定時間遅延され、ビーム補正レンズ６でビー
ム径が補正されたのち、上記両面反射ハーフミラー１の
他方の反射面1bで反射する。それによって、反射光L2は
上記両面反射ハーフミラー１を透過した透過光L1と所定
時間遅延して合成されるから、パルス幅が拡大されたレ
ーザ光Ｌ′を得ることができる。
した反射光L2は、第１乃至第４の反射ミラー２〜５の反
射面2a〜5aで順次45度の角度で反射して矩形ループ状に
走行して所定時間遅延され、ビーム補正レンズ６でビー
ム径が補正されたのち、上記両面反射ハーフミラー１の
他方の反射面1bで反射する。それによって、反射光L2は
上記両面反射ハーフミラー１を透過した透過光L1と所定
時間遅延して合成されるから、パルス幅が拡大されたレ
ーザ光Ｌ′を得ることができる。
一方、第４図に示す構成のレーザパルスストレッチャ
ーは、パルスレーザ光Ｌが45度の角度で配置された第１
のビームスプリッタ10によって透過光L1と反射光L2とに
分割される。透過光L1はハーフミラー11を透過するよう
になっている。上記反射光L2は第１の反射ミラー12で反
射して第１の凹面反射ミラー13に形成された第１の通孔
14から入射し、上記第１の凹面反射ミラー13の反射面13
aと、この第１の凹面反射ミラー13に対面して配置され
た第２の凹面反射ミラー15の反射面15aとの間で多重反
射して所定時間遅延される。そして、第２の凹面反射ミ
ラー15に形成された第２の通孔16から出射し、第２の反
射ミラー17で反射してビーム補正レンズ18でビーム径が
補正されたのち、上記ハーフミラー11で反射する。それ
によって、反射光L2は透過光L1と所定時間遅延して合成
されるから、合成されたレーザ光Ｌ′のパルス幅を拡大
することができる。
ーは、パルスレーザ光Ｌが45度の角度で配置された第１
のビームスプリッタ10によって透過光L1と反射光L2とに
分割される。透過光L1はハーフミラー11を透過するよう
になっている。上記反射光L2は第１の反射ミラー12で反
射して第１の凹面反射ミラー13に形成された第１の通孔
14から入射し、上記第１の凹面反射ミラー13の反射面13
aと、この第１の凹面反射ミラー13に対面して配置され
た第２の凹面反射ミラー15の反射面15aとの間で多重反
射して所定時間遅延される。そして、第２の凹面反射ミ
ラー15に形成された第２の通孔16から出射し、第２の反
射ミラー17で反射してビーム補正レンズ18でビーム径が
補正されたのち、上記ハーフミラー11で反射する。それ
によって、反射光L2は透過光L1と所定時間遅延して合成
されるから、合成されたレーザ光Ｌ′のパルス幅を拡大
することができる。
しかしながら、第３図に示された従来の構成では、第
１乃至第４の反射ミラー２〜５の間隔を変えて反射光L2
の遅延時間の調節を行わなければならず、第４図に示さ
れた構成では一対の凹面反射ミラー13、15によって遅延
時間を調節しなければならない。そのため、これら従来
の構成によると、上記第１乃至第４の反射ミラー２〜５
や一対の凹面反射ミラー13、15などの光学系の調節に多
くの手間が掛かるということがあった。また、反射光L2
を遅延させることで透過光L1とビーム径が異なってくる
から、その違いを補正するために、補正レンズ６、18を
用いなければならないということもある。さらに、所定
の遅延時間を得るためには、第３図に示された構成では
各反射ミラー２〜５間の距離を大きくしなければならな
いから、装置が大形化するということがあり、また第４
図に示す構成では一対の凹面反射ミラー13、15間での多
重反射回数を増大させなければならないから、その調節
が非常に難しくなるなどのことが生じる。
１乃至第４の反射ミラー２〜５の間隔を変えて反射光L2
の遅延時間の調節を行わなければならず、第４図に示さ
れた構成では一対の凹面反射ミラー13、15によって遅延
時間を調節しなければならない。そのため、これら従来
の構成によると、上記第１乃至第４の反射ミラー２〜５
や一対の凹面反射ミラー13、15などの光学系の調節に多
くの手間が掛かるということがあった。また、反射光L2
を遅延させることで透過光L1とビーム径が異なってくる
から、その違いを補正するために、補正レンズ６、18を
用いなければならないということもある。さらに、所定
の遅延時間を得るためには、第３図に示された構成では
各反射ミラー２〜５間の距離を大きくしなければならな
いから、装置が大形化するということがあり、また第４
図に示す構成では一対の凹面反射ミラー13、15間での多
重反射回数を増大させなければならないから、その調節
が非常に難しくなるなどのことが生じる。
（発明が解決しようとする課題） このように、従来のレーザパルスストレッチャーは、
光学系によって遅延時間を調節するのに多くの手間が掛
かるばかりか、全体の構成が大形化するなどのことがあ
った。
光学系によって遅延時間を調節するのに多くの手間が掛
かるばかりか、全体の構成が大形化するなどのことがあ
った。
この発明は上記事情にもとづきなされたもので、その
目的とするところは、遅延時間の調節が容易に行えると
ともに、全体の構成が大形化することがないレーザパル
スストレッチャーを提供することにある。
目的とするところは、遅延時間の調節が容易に行えると
ともに、全体の構成が大形化することがないレーザパル
スストレッチャーを提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段及び作用） 上記課題を解決するためにこの発明は、第１の入射端
と第１の出射端とを有し上記第１の入射端からパルスレ
ーザ光が入射し上記第１の出射端から出射する第１の光
ファイバと、第２の入射端と第２の出射端とを有しこれ
ら入射端と出射端とがコネクタによって着脱自在に接続
されてループ状をなした第２の光ファイバと、上記第１
の光ファイバと第２の光ファイバとの中途部を光学的に
接続し上記第１の光ファイバに入射したパルスレーザ光
を上記第１の光ファイバと第２の光ファイバとに所定の
割合で分配する分配手段とを具備したことを特徴とす
る。
と第１の出射端とを有し上記第１の入射端からパルスレ
ーザ光が入射し上記第１の出射端から出射する第１の光
ファイバと、第２の入射端と第２の出射端とを有しこれ
ら入射端と出射端とがコネクタによって着脱自在に接続
されてループ状をなした第２の光ファイバと、上記第１
の光ファイバと第２の光ファイバとの中途部を光学的に
接続し上記第１の光ファイバに入射したパルスレーザ光
を上記第１の光ファイバと第２の光ファイバとに所定の
割合で分配する分配手段とを具備したことを特徴とす
る。
このような構成によれば、第１の光ファイバから第２
の光ファイバに分配されたレーザ光が、この第２の光フ
ァイバを通ることで所定時間遅延したのち、その一部が
上記第１の光ファイバに分配されることで上記第１の光
ファイバから出射するレーザ光のパルス幅を拡大するこ
とができる。
の光ファイバに分配されたレーザ光が、この第２の光フ
ァイバを通ることで所定時間遅延したのち、その一部が
上記第１の光ファイバに分配されることで上記第１の光
ファイバから出射するレーザ光のパルス幅を拡大するこ
とができる。
（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図を参照し説明す
る。第１図に示すレーザパルスストレッチャーは第１の
光ファイバ21と第２の光ファイバ22とを備えている。こ
の第１の光ファイバ21は、一端が第１の入射端23aに形
成され、他端が第１の出射端23bに形成されている。上
記第１の入射端23aからは入射側レンズ24を介してパル
ス状のレーザ光Ｌが入射し、上記第１の出射端23bから
は後述するごとくパルス幅が拡大されたレーザ光Ｌ′が
出射側レンズ25を介して出射される。
る。第１図に示すレーザパルスストレッチャーは第１の
光ファイバ21と第２の光ファイバ22とを備えている。こ
の第１の光ファイバ21は、一端が第１の入射端23aに形
成され、他端が第１の出射端23bに形成されている。上
記第１の入射端23aからは入射側レンズ24を介してパル
ス状のレーザ光Ｌが入射し、上記第１の出射端23bから
は後述するごとくパルス幅が拡大されたレーザ光Ｌ′が
出射側レンズ25を介して出射される。
上記第２の光ファイバ22は一端が第２の入射端26aに
形成され、他端が第２の出射端26bに形成されていて、
これら入射端26aと出射端26bとはコネクタ27によって光
学的に着脱自在に結合されている。それによって、第２
の光ファイバ22はループ状をなしている。
形成され、他端が第２の出射端26bに形成されていて、
これら入射端26aと出射端26bとはコネクタ27によって光
学的に着脱自在に結合されている。それによって、第２
の光ファイバ22はループ状をなしている。
上記第１の光ファイバ21と第２の光ファイバ22との中
途部は、分配手段を構成する方向性結合器28によって光
学的に接続されている。すなわち、この方向性結合器28
は、第１の光ファイバ21の第１の入射端23aに入射した
レーザ光Ｌを上記第１の光ファイバ21の出射端23bと上
記第２の光ファイバ22とに所定の分配比で分配するよう
になっている。それによって、第１の光ファイバ21に入
射したレーザ光Ｌは、上記方向性結合器28に設定された
分配比にもとづいて一部が第２の光ファイバ22に分配さ
れるようになっている。第２の光ファイバ22に分配され
たレーザ光Ｌは、この第２の光ファイバ22を通過するこ
とで所定時間遅延したのち、その一部は上記方向性結合
器28において第１の光ファイバ21の出射端23bに分配さ
れ、残りの一部は再び第２の光ファイバ22を循環するこ
とでさらに所定時間遅延されて分配されるということが
繰り返される。したがって、第１の光ファイバ21の第１
の出射端23bからは、パルス幅が拡大されたレーザ光
Ｌ′が出射されることになる。
途部は、分配手段を構成する方向性結合器28によって光
学的に接続されている。すなわち、この方向性結合器28
は、第１の光ファイバ21の第１の入射端23aに入射した
レーザ光Ｌを上記第１の光ファイバ21の出射端23bと上
記第２の光ファイバ22とに所定の分配比で分配するよう
になっている。それによって、第１の光ファイバ21に入
射したレーザ光Ｌは、上記方向性結合器28に設定された
分配比にもとづいて一部が第２の光ファイバ22に分配さ
れるようになっている。第２の光ファイバ22に分配され
たレーザ光Ｌは、この第２の光ファイバ22を通過するこ
とで所定時間遅延したのち、その一部は上記方向性結合
器28において第１の光ファイバ21の出射端23bに分配さ
れ、残りの一部は再び第２の光ファイバ22を循環するこ
とでさらに所定時間遅延されて分配されるということが
繰り返される。したがって、第１の光ファイバ21の第１
の出射端23bからは、パルス幅が拡大されたレーザ光
Ｌ′が出射されることになる。
上記第１の光ファイバ21に入射するレーザ光Ｌのパル
ス幅をＴ、ピーク値を１、方向性結合器28による第１の
光ファイバ21から入射した際の同光ファイバ21の出射端
23bと第２の光ファイバ22への分配比を（A:B）、第１の
光ファイバ21の出射端23bから出射されるパルスレーザ
光Ｌ相互の遅延時間をΔｔとすると、第１の光ファイバ
21に入射したレーザ光Ｌは、その出射端23bには｛A/
（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分配されて外部に出射される。
ス幅をＴ、ピーク値を１、方向性結合器28による第１の
光ファイバ21から入射した際の同光ファイバ21の出射端
23bと第２の光ファイバ22への分配比を（A:B）、第１の
光ファイバ21の出射端23bから出射されるパルスレーザ
光Ｌ相互の遅延時間をΔｔとすると、第１の光ファイバ
21に入射したレーザ光Ｌは、その出射端23bには｛A/
（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分配されて外部に出射される。
上記方向性結合器28において、第２の光ファイバ22へ
は｛B/（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分配される。第２の光ファ
イバ22に分配されたレーザ光Ｌは、第２の光ファイバ22
を一回りすることでΔｔ時間遅延し、再び上記方向性結
合器28で第１の光ファイバ21の出射端23bと第２の光フ
ァイバ22とに（B:A）の割合で分配される。よって、こ
のときに｛B2/（Ａ＋Ｂ）２｝の割合で分配されて第１
の光ファアイバ21の出射端23bから出射するレーザ光Ｌ
がその前に出射端23b側に｛A/（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分
配されたレーザ光ＬとΔｔだけ遅れて重なり合う。
は｛B/（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分配される。第２の光ファ
イバ22に分配されたレーザ光Ｌは、第２の光ファイバ22
を一回りすることでΔｔ時間遅延し、再び上記方向性結
合器28で第１の光ファイバ21の出射端23bと第２の光フ
ァイバ22とに（B:A）の割合で分配される。よって、こ
のときに｛B2/（Ａ＋Ｂ）２｝の割合で分配されて第１
の光ファアイバ21の出射端23bから出射するレーザ光Ｌ
がその前に出射端23b側に｛A/（Ａ＋Ｂ）｝の割合で分
配されたレーザ光ＬとΔｔだけ遅れて重なり合う。
また、第２の光ファイバ22へ｛Ａ・B/（Ａ＋Ｂ）２｝
の割合で分割されたレーザ光Ｌは前回と同様にΔｔ時間
遅延して再び第１の光ファイバ21と出射端23bと第２の
光ファイバ22とに分割される。第１の光ファイバ21と出
射端23bへは｛B3/（Ａ＋Ｂ）３｝の割合で出射され、そ
のまえに｛B2/（Ａ＋Ｂ）２｝の割合で分配されたレー
ザ光ＬとΔｔだけ遅延して重なり合う。
の割合で分割されたレーザ光Ｌは前回と同様にΔｔ時間
遅延して再び第１の光ファイバ21と出射端23bと第２の
光ファイバ22とに分割される。第１の光ファイバ21と出
射端23bへは｛B3/（Ａ＋Ｂ）３｝の割合で出射され、そ
のまえに｛B2/（Ａ＋Ｂ）２｝の割合で分配されたレー
ザ光ＬとΔｔだけ遅延して重なり合う。
このように、方向性結合器28によって分割されたレー
ザ光Ｌは、ピークがそれぞれ｛A/（Ａ＋Ｂ）｝、｛B2/
（Ａ＋Ｂ）２｝、｛B3/（Ａ＋Ｂ）３｝、……となり、
パルス幅Ｔで遅延時間Δｔずつ遅れて重なり合うことに
なる。
ザ光Ｌは、ピークがそれぞれ｛A/（Ａ＋Ｂ）｝、｛B2/
（Ａ＋Ｂ）２｝、｛B3/（Ａ＋Ｂ）３｝、……となり、
パルス幅Ｔで遅延時間Δｔずつ遅れて重なり合うことに
なる。
したがって、全体としてみたパルスレーザ光Ｌは、分
配されたレーザ光Ｌの和になることから、方向性結合器
28の分配比（A:B）と、遅延時間Δｔ、すなわち第２の
光ファイバ22の長さを適当に設定することで、パルス幅
を変えることができる。上記第２の光ファイバ２の長さ
を変えるためには、入射端26aと出射端26bとのコネクタ
27による接続を外し、これらの間に図示しないが両端に
上記コネクタ27に接続できるコネクタが設けられた所定
の長さの光ファイバを光学的に接続して介在させればよ
い。
配されたレーザ光Ｌの和になることから、方向性結合器
28の分配比（A:B）と、遅延時間Δｔ、すなわち第２の
光ファイバ22の長さを適当に設定することで、パルス幅
を変えることができる。上記第２の光ファイバ２の長さ
を変えるためには、入射端26aと出射端26bとのコネクタ
27による接続を外し、これらの間に図示しないが両端に
上記コネクタ27に接続できるコネクタが設けられた所定
の長さの光ファイバを光学的に接続して介在させればよ
い。
また、パルスレーザ光Ｌの横モードは、シングルモー
ドの第１、第２の光ファイバ21、22を通過することで安
定したシングルモードになり、レーザ光Ｌのパターンも
発振時に色素セルの回析を受けた状態から円形になる。
したがって、第１、第２の光ファイバ21、22のコア径、
コアとクラッドの屈折率の差等の条件を使用する色素レ
ーザの波長に適合させることで、このレーザパルススト
レッチャーの後段に設置される増幅器（図示せず）との
空間マッチングを向上させることができる。
ドの第１、第２の光ファイバ21、22を通過することで安
定したシングルモードになり、レーザ光Ｌのパターンも
発振時に色素セルの回析を受けた状態から円形になる。
したがって、第１、第２の光ファイバ21、22のコア径、
コアとクラッドの屈折率の差等の条件を使用する色素レ
ーザの波長に適合させることで、このレーザパルススト
レッチャーの後段に設置される増幅器（図示せず）との
空間マッチングを向上させることができる。
第３図に示される従来の装置において、たとえば20ns
ecの遅延時間を取りたい場合には、空気中の光速度はお
よそ３×108m/sであるから、両面反射ハーフミラー１で
反射したのち、第１乃至第４の反射ミラー２〜５で反射
するレーザ光Ｌの遅延光路の長さを6mにしなければなら
ない。そのため、装置が大きくなり、設置場所の確保が
難しいことがある。
ecの遅延時間を取りたい場合には、空気中の光速度はお
よそ３×108m/sであるから、両面反射ハーフミラー１で
反射したのち、第１乃至第４の反射ミラー２〜５で反射
するレーザ光Ｌの遅延光路の長さを6mにしなければなら
ない。そのため、装置が大きくなり、設置場所の確保が
難しいことがある。
第４図に示される従来の装置では、一対の凹面反射ミ
ラー13、15で多重反射させて遅延時間を得るため、装置
自体は小形化が可能である。しかしながら、一対の凹面
反射ミラー13、15の間隔を0.1mとし、その他の光路長を
0.1mとした場合、レーザ光Ｌを一対の凹面反射ミラー1
3、15間で58回反射させたのち、第２の凹面反射ミラー1
5の第２の通孔16から出射させることで20nsecの遅延時
間を得ることが可能となる。そのため、レーザ光Ｌを一
対の凹面反射ミラー13、15間で58回反射させてから取り
出すための調節に多大な手間が掛かることになる。
ラー13、15で多重反射させて遅延時間を得るため、装置
自体は小形化が可能である。しかしながら、一対の凹面
反射ミラー13、15の間隔を0.1mとし、その他の光路長を
0.1mとした場合、レーザ光Ｌを一対の凹面反射ミラー1
3、15間で58回反射させたのち、第２の凹面反射ミラー1
5の第２の通孔16から出射させることで20nsecの遅延時
間を得ることが可能となる。そのため、レーザ光Ｌを一
対の凹面反射ミラー13、15間で58回反射させてから取り
出すための調節に多大な手間が掛かることになる。
これに対してこの発明の構成で20nsecの遅延時間を得
るには、遅延回路となる第２の光ファイバ22内における
散乱光の伝播速度は、光ファイバの材質を石英とする
と、およそ2.1×108m/sであるから、上記第２の光ファ
イバ22の全長を4.2mにすればよい。光ファイバは巻き上
げることが可能であるから、長くても場所をとらずにす
む。しかも、遅延時間を変更する場合には第２の光ファ
イバ22の長さを変えるだけでよく、従来のように手間の
掛かる光学系の調節を必要としない。さらに、遅延を受
けるレーザ光Ｌも、遅延を受けないレーザ光Ｌも第１、
第２の光ファイバ21、22を通るため、両者のビーム径に
差が生じることがない。したがって、従来のようにビー
ム径を合わせるための補正レンズが不要となる。
るには、遅延回路となる第２の光ファイバ22内における
散乱光の伝播速度は、光ファイバの材質を石英とする
と、およそ2.1×108m/sであるから、上記第２の光ファ
イバ22の全長を4.2mにすればよい。光ファイバは巻き上
げることが可能であるから、長くても場所をとらずにす
む。しかも、遅延時間を変更する場合には第２の光ファ
イバ22の長さを変えるだけでよく、従来のように手間の
掛かる光学系の調節を必要としない。さらに、遅延を受
けるレーザ光Ｌも、遅延を受けないレーザ光Ｌも第１、
第２の光ファイバ21、22を通るため、両者のビーム径に
差が生じることがない。したがって、従来のようにビー
ム径を合わせるための補正レンズが不要となる。
また、下記（１）式の関係を満すことによって特定の
波長のレーザ光をシングモードにすることが可能であ
る。
波長のレーザ光をシングモードにすることが可能であ
る。
ただし、n:コアの屈折率、Δ：コアとクラッドの屈折
率差、a:コアの半径、λ：レーザ光の波長である。
率差、a:コアの半径、λ：レーザ光の波長である。
そこで、λ＝600nm、ｎ＝1.5、Δ＝0.3％とした場
合、シングルモードの条件はａ＜４μｍとなる。このよ
うに、レーザ光Ｌをシングルモードとすることで、出射
されるレーザ光Ｌの強度分布をガウシアンモードにでき
るから、後段に設置された増幅器との空間のマッチング
を向上させることができる。
合、シングルモードの条件はａ＜４μｍとなる。このよ
うに、レーザ光Ｌをシングルモードとすることで、出射
されるレーザ光Ｌの強度分布をガウシアンモードにでき
るから、後段に設置された増幅器との空間のマッチング
を向上させることができる。
なお、上記一実施例では、第１の光ファイバ21と第２
の光ファイバ22との中途部を方向性結合器28で直接光学
的に接続したが、方向性結合器28の内部には予め光学的
に接続された２本の短い光ファイバ31,32を内蔵してお
き、これらの端部を第２図に示すように方向性結合器28
の側面に設けられた４つのコネクタ31a、31b、32a、32b
の一端に接続する一方、第１、第２の光ファイバ21、22
はそれぞれ２つに分割する。そして、対応する各一対の
コネクタの他端にそれぞれ２つに分割された第１の光フ
ァイバ21の一端部21aと他端部21bおよび第２の光ファイ
バ22の一端部22aと他端部22bをそれぞれ接続する構成と
してもよい。このような構成によれば、第１、第２の光
ファイバ21、22を方向性結合器28に対して着脱できるこ
とで、これら光ファイバの長さの調節などを容易に行う
ことができる。この実施例の場合には、第２の光ファイ
バ22は入射端26aと出射端26bとが着脱自在に接続されて
いるだけでなく、方向性結合器28に対しても着脱自在で
ある。そのため、２つに分割された第２の光ファイバ22
の一端部22aあるいは他端部22bを長さの異なるものに交
換すれば、第２の光ファイバ22の長さを変えることがで
きる。
の光ファイバ22との中途部を方向性結合器28で直接光学
的に接続したが、方向性結合器28の内部には予め光学的
に接続された２本の短い光ファイバ31,32を内蔵してお
き、これらの端部を第２図に示すように方向性結合器28
の側面に設けられた４つのコネクタ31a、31b、32a、32b
の一端に接続する一方、第１、第２の光ファイバ21、22
はそれぞれ２つに分割する。そして、対応する各一対の
コネクタの他端にそれぞれ２つに分割された第１の光フ
ァイバ21の一端部21aと他端部21bおよび第２の光ファイ
バ22の一端部22aと他端部22bをそれぞれ接続する構成と
してもよい。このような構成によれば、第１、第２の光
ファイバ21、22を方向性結合器28に対して着脱できるこ
とで、これら光ファイバの長さの調節などを容易に行う
ことができる。この実施例の場合には、第２の光ファイ
バ22は入射端26aと出射端26bとが着脱自在に接続されて
いるだけでなく、方向性結合器28に対しても着脱自在で
ある。そのため、２つに分割された第２の光ファイバ22
の一端部22aあるいは他端部22bを長さの異なるものに交
換すれば、第２の光ファイバ22の長さを変えることがで
きる。
［発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、光ファイバを用いてレ
ーザ光のパルス幅を拡大することができるようにしたの
で、装置の小形化が計れるばかりか、所定のパルス幅の
レーザ光を得るための調節を容易に行うことができる。
さらに、分配手段に中途部が接続されてループ状をなし
た第２の光ファイバは、入射端と出射端とがコネクタに
よって着脱自在に接続されているから、その入射端と出
射端との間に所定長さの光ファイバを接続することで、
ループの長さを変えることができる。それによって、そ
のループの長さの変化に応じて出力されるレーザ光のパ
ルス幅を変えることができるなどの利点を有する。
ーザ光のパルス幅を拡大することができるようにしたの
で、装置の小形化が計れるばかりか、所定のパルス幅の
レーザ光を得るための調節を容易に行うことができる。
さらに、分配手段に中途部が接続されてループ状をなし
た第２の光ファイバは、入射端と出射端とがコネクタに
よって着脱自在に接続されているから、その入射端と出
射端との間に所定長さの光ファイバを接続することで、
ループの長さを変えることができる。それによって、そ
のループの長さの変化に応じて出力されるレーザ光のパ
ルス幅を変えることができるなどの利点を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図は同
じくこの発明の他の実施例を示す構成図、第３図と第４
図はそれぞれ従来の構成を示す説明図である。 21……第１の光ファイバ、22……第２の光ファイバ、28
……方向性結合器（分配手段）。
じくこの発明の他の実施例を示す構成図、第３図と第４
図はそれぞれ従来の構成を示す説明図である。 21……第１の光ファイバ、22……第２の光ファイバ、28
……方向性結合器（分配手段）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０１Ｓ 7/48 Ｇ０２Ｂ 27/00 Ｒ
Claims (2)
- 【請求項１】第１の入射端と第１の出射端とを有し上記
第１の入射端からパルスレーザ光が入射し上記第１の出
射端から出射する第１の光ファイバと、第２の入射端と
第２の出射端とを有しこれら入射端と出射端とがコネク
タによって着脱自在に接続されてループ状をなした第２
の光ファイバと、上記第１の光ファイバと第２の光ファ
イバとの中途部を光学的に接続し上記第１の光ファイバ
に入射したパルスレーザ光を上記第１の光ファイバと第
２の光ファイバとに所定の割合で分配する分配手段とを
具備したことを特徴とするレーザパルスストレッチャ
ー。 - 【請求項２】上記第２の光ファイバは上記分配手段に対
して着脱自在に接続されてなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のレーザパルスストレッチャー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2270552A JP2554772B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | レーザパルスストレッチャー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2270552A JP2554772B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | レーザパルスストレッチャー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04147683A JPH04147683A (ja) | 1992-05-21 |
| JP2554772B2 true JP2554772B2 (ja) | 1996-11-13 |
Family
ID=17487769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2270552A Expired - Lifetime JP2554772B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | レーザパルスストレッチャー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2554772B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995026517A1 (en) * | 1992-11-10 | 1995-10-05 | United States Department Of Energy | Laser beam pulse formatting method |
| US5847863A (en) * | 1996-04-25 | 1998-12-08 | Imra America, Inc. | Hybrid short-pulse amplifiers with phase-mismatch compensated pulse stretchers and compressors |
| FR2784461B1 (fr) * | 1998-10-08 | 2000-12-08 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif d'emission d'impulsions electromagnetiques et systeme et procede de test d'elements a fibres optiques |
| US6389045B1 (en) | 1999-04-19 | 2002-05-14 | Lambda Physik Ag | Optical pulse stretching and smoothing for ArF and F2 lithography excimer lasers |
| JP4416481B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2010-02-17 | ギガフォトン株式会社 | 光学的パルス伸長器および露光用放電励起ガスレーザ装置 |
| CN109314365B (zh) * | 2016-07-26 | 2021-05-11 | 极光先进雷射株式会社 | 激光系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4638483A (en) * | 1984-07-30 | 1987-01-20 | At&T Bell Laboratories | High speed intensity modulated light source |
| JPH01132186A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-24 | Toshiba Corp | レーザパルスストレッチャー |
-
1990
- 1990-10-11 JP JP2270552A patent/JP2554772B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04147683A (ja) | 1992-05-21 |
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