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JP2557076B2 - Force sensor with posture change compensation function - Google Patents
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JP2557076B2 - Force sensor with posture change compensation function - Google Patents

Force sensor with posture change compensation function

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JP2557076B2
JP2557076B2 JP62301149A JP30114987A JP2557076B2 JP 2557076 B2 JP2557076 B2 JP 2557076B2 JP 62301149 A JP62301149 A JP 62301149A JP 30114987 A JP30114987 A JP 30114987A JP 2557076 B2 JP2557076 B2 JP 2557076B2
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fixed
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 工業用ロボットにより予め教示された軌跡に沿って加
工ツールを移動させて工作物のバリ取り等の加工を行う
場合には、バリの状態や工具の摩耗や工作物の取り付誤
差等により加工ツールの加工部に加わる加工反力は変化
する。例えば、この加工反力が一定の値以上にならない
ように加工ツールの軌跡を補正する制御を行うために
は、前記加工反力を検出する力センサが必要となる。本
発明は加工ツールの加工部に加わる加工反力を検出する
力センサに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) When performing machining such as deburring of a workpiece by moving a machining tool along a locus taught in advance by an industrial robot, the state of burrs and The machining reaction force applied to the machining part of the machining tool changes due to wear of the tool, mounting error of the workpiece, and the like. For example, a force sensor for detecting the processing reaction force is required to perform control for correcting the locus of the processing tool so that the processing reaction force does not exceed a certain value. The present invention relates to a force sensor that detects a processing reaction force applied to a processing portion of a processing tool.

(従来の技術) この種の力センサを備えた産業用ロボット装置として
は、例えば特開昭62−103707号公報に開示された技術が
ある。この従来技術においてはロボットアームの先端に
弾性的に傾斜可能に支持された駆動軸を設け、この駆動
軸に回転駆動機と加工工具よりなる加工ツールを取り付
け、加工工具に加わる加工反力に応じて生ずる駆動軸の
傾斜により加工反力を検出するようにしている。
(Prior Art) As an industrial robot apparatus equipped with this type of force sensor, for example, there is a technology disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-103707. In this conventional technique, a drive shaft supported elastically inclinable is provided at the tip of a robot arm, and a processing tool composed of a rotary drive and a processing tool is attached to this drive shaft, and the processing reaction force applied to the processing tool is adjusted. The processing reaction force is detected based on the inclination of the drive shaft generated as a result.

(発明が解決しようとする問題点) このような従来技術においては、駆動軸の支持部には
加工反力によるモーメントの他に加工ツール等の重心に
作用する重力によるモーメントが加わり、このうち重力
によるモーメントは加工ツールの姿勢により変化するの
で、姿勢と無関係に正確な加工反力を検出することがで
きないという問題がある。本発明はこのような問題を解
決しようとするものである。
(Problems to be Solved by the Invention) In such a conventional technique, a moment due to gravity acting on the center of gravity of a machining tool or the like is added to the support portion of the drive shaft in addition to the moment due to the machining reaction force. Since the moment due to changes depending on the posture of the machining tool, there is a problem that an accurate machining reaction force cannot be detected regardless of the posture. The present invention is intended to solve such a problem.

(問題点を解決するための手段) このために、本発明による姿勢変化補償機能を備えた
力センサは、添付図面に例示する如く、工業用ロボット
15の手首部16に取り付けられて工作物を加工する加工ツ
ールTの加工部Taに加わる加工反力を検出する力センサ
において、前記手首部16に固定された基体21と、基端部
が前記基体21に固定された第1柱状体22と、この第1柱
状体の先端に固定されて前記加工ツールTを前記加工反
力が同第1柱状体と常にほぼ直交する方向となるように
支持するブラケット23と、前記第1柱状体22と並行にな
るように基端部が前記基体21に固定されて先端に重錘27
を固定した第2柱状体26と、前記第1柱状体22の基端部
側面に貼付されて同基端部に加わる曲げモーメントを検
出する反力測定用の歪ゲージ24,25と、前記第2柱状体2
6の基端部側面に貼付されて同基端部に加わる曲げモー
メントを検出する姿勢検知用の歪ゲージ28,29と、この
姿勢検知用の歪ゲージ28,29の検出結果に基づき前記反
力測定用の歪ゲージ24,25の検出結果を補正して前記加
工反力のみを演算する演算部30を備えたことを特徴とす
るものである。
(Means for Solving the Problems) For this reason, the force sensor having the posture change compensation function according to the present invention is an industrial robot as illustrated in the accompanying drawings.
In a force sensor which is attached to a wrist portion 16 of 15 and detects a processing reaction force applied to a processing portion Ta of a processing tool T for processing a workpiece, a base body 21 fixed to the wrist portion 16 and a base end portion thereof are The first columnar body 22 fixed to the base body 21 and the machining tool T fixed to the tip of the first columnar body are supported so that the machining reaction force is always in a direction substantially orthogonal to the first columnar body. The bracket 23 and the first columnar body 22 have their base ends fixed to the base body 21 in parallel with each other, and the weight 27 is attached to the tip.
A second columnar body 26 fixed to the first columnar body 22, strain gauges 24 and 25 for measuring a reaction force which is attached to the side surface of the base end portion of the first columnar body 22 and detects a bending moment applied to the base end portion, 2 columns 2
The strain gauges 28 and 29 for posture detection, which are attached to the side surface of the base end portion 6 to detect the bending moment applied to the base end portion, and the reaction force based on the detection results of the strain gauges 28 and 29 for posture detection. The present invention is characterized by including a calculation unit 30 that corrects the detection results of the strain gauges 24, 25 for measurement and calculates only the processing reaction force.

(作用) 第1柱状体22の基端部に貼付された反力測定用の歪ゲ
ージ24,25は加工反力による曲げモーメントと加工ツー
ルT及びブラケット23等の重量による曲げモーメントの
和を検出する。前者の曲げモーメントは加工反力にのみ
比例し、後者の曲げモーメントは加工ツールTの姿勢に
のみ応じて変化する。第2柱状体26の基端部に貼付され
た姿勢検知用の歪ゲージ28,29は重錘27等の重量による
曲げモーメントを検出し、これは加工ツールTの姿勢に
のみ応じて変化する。第1及び第2柱状体22,26は互い
に平行であるので、反力測定用の歪ゲージ24,25が検出
した曲げモーメントのうち前記後者のものと姿勢制御用
の歪ゲージ28,29が検出した曲げモーメントは互いに所
定の関係をもって変化する。従って各部の寸法、重量等
を用いた適切な演算式を使用することにより、姿勢制御
用の歪ゲージ28,29が検出した曲げモーメントに基づ
き、反力測定用の歪ゲージ24,25が検出した曲げモーメ
ントから加工ツールTの姿勢にのみ応じて変化する曲げ
モーメントの影響を取り除くことができる。演算部30は
このような演算を行って加工反力のみによる曲げモーメ
ントを演算し、加工ツールTの姿勢変化の影響を受けな
い正確な加工反力を演算する。
(Operation) The strain gauges 24 and 25 for measuring the reaction force attached to the base end of the first columnar body 22 detect the sum of the bending moment due to the processing reaction force and the bending moment due to the weight of the processing tool T and the bracket 23. To do. The former bending moment is proportional only to the processing reaction force, and the latter bending moment changes only according to the posture of the processing tool T. Strain gauges 28 and 29 for posture detection attached to the base end of the second columnar body 26 detect a bending moment due to the weight of the weight 27 and the like, which changes only depending on the posture of the processing tool T. Since the first and second columnar bodies 22 and 26 are parallel to each other, the latter one of the bending moments detected by the reaction force measurement strain gauges 24 and 25 and the posture control strain gauges 28 and 29 are detected. The bending moments change in a predetermined relationship with each other. Therefore, the strain gauges 24 and 25 for measuring the reaction force are detected based on the bending moments detected by the strain gauges 28 and 29 for posture control by using the appropriate arithmetic expressions using the dimensions and weight of each part. The influence of the bending moment, which changes only depending on the posture of the processing tool T, can be removed from the bending moment. The calculation unit 30 performs the above calculation to calculate the bending moment only by the processing reaction force, and calculates the accurate processing reaction force that is not affected by the change in the posture of the processing tool T.

(発明の効果) 上述の如く、本発明によれば加工ツールの姿勢変化の
影響を受けることなく、正確な加工反力を検出すること
ができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, an accurate processing reaction force can be detected without being affected by the change in the attitude of the processing tool.

(実施例) 以下に、貼付図面に示す実施例により本発明の説明を
する。
(Examples) Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples shown in the attached drawings.

第2図に示す如く、基盤10上に設置された多関節形の
工業用ロボット15の手首部16には、検出部20を介して加
工ツールTが取り付けられている。工業用ロボット15は
ロボット制御装置17により制御されて加工ツールTを予
め教示された通りに移動させ、取付台11を介して基盤10
に支持された工作物Waに生じたバリを、加工ツールTの
加工部Taにより取り除くものである。検出部20はそれに
より先の部分に加わる全ての力(加工部Taに加わる加工
反力及び加工ツールT等の重量による力)を検出し、演
算部30はこの検出された力から加工部Taに生ずる加工反
力を演算し、ロボット制御装置17はこの加工反力を入力
し、その値に応じて加工部Taの移動軌跡及び移動速度を
教示された値より補正して、加工反力が所定の値に保た
れるようにする。この検出部20と演算部30により本発明
の姿勢変化補償機能を備えた力センサは構成されてい
る。
As shown in FIG. 2, the processing tool T is attached to the wrist 16 of the articulated industrial robot 15 installed on the base 10 via the detection unit 20. The industrial robot 15 is controlled by the robot controller 17 to move the processing tool T as instructed in advance, and the base 10 is moved via the mount 11.
The burr generated on the workpiece Wa supported by the workpiece Wa is removed by the processing portion Ta of the processing tool T. The detection unit 20 detects all the forces (the processing reaction force applied to the processing unit Ta and the force due to the weight of the processing tool T, etc.) applied to the preceding portion, and the calculation unit 30 calculates the processing unit Ta from the detected force. The robot controller 17 inputs this machining reaction force, corrects the movement locus and movement speed of the machining section Ta from the taught values according to the value, and the machining reaction force is calculated. Try to keep it at a predetermined value. The detection unit 20 and the calculation unit 30 constitute a force sensor having a posture change compensation function of the present invention.

次に、第1図により検出部20の構造の説明をする。検
出部20の基体21は箱状をなし、その内面には一様な円形
断面の第1柱状体22の基端部が固定され、基体21より多
少外部に突出する第1柱状体22の先端には加工ツールT
を支持するブラケット23が固定されている。ブラケット
23は第1柱状体22に固定されたL形部23aと加工ツール
(携帯形グラインダ)Tの本体Tbを着脱可能に固定する
把特部23bよりなっている。第2図に示す如く、加工ツ
ールTはその回転Tcが第1柱状体22と平行となるように
取り付けられ、従って回転軸Tcの先端に装着された加工
部(砥石車)Taに生ずる加工反力F(第1図にはFの紙
面内成分をFxとして示す)は第1柱状体22と直交してい
る。基体21の内面には、第1柱状体22と平行に、同じく
一様な円形断面の第2柱状体22の基端部が固定され、そ
の先端には重錘27が固定されている。本実施例において
は、第1及び第2柱状体22、26及び回転軸Tcの各中心軸
線は、同一平面内にある。
Next, the structure of the detection unit 20 will be described with reference to FIG. The base 21 of the detection unit 20 has a box-like shape, and the base end of the first columnar body 22 having a uniform circular cross section is fixed to the inner surface of the base 21, and the tip of the first columnar body 22 protruding slightly outward from the base 21. Processing tool T
A bracket 23 for supporting is fixed. bracket
The reference numeral 23 includes an L-shaped portion 23a fixed to the first columnar body 22 and a gripping portion 23b for detachably fixing the main body Tb of the processing tool (portable grinder) T. As shown in FIG. 2, the machining tool T is attached so that its rotation Tc is parallel to the first columnar body 22, and therefore, the machining reaction generated in the machining section (grinding wheel) Ta mounted at the tip of the rotary shaft Tc. The force F (in FIG. 1, the in-plane component of F is shown as F x ) is orthogonal to the first columnar body 22. A base end portion of a second columnar body 22 having a uniform circular cross section is fixed to the inner surface of the base body 21 in parallel with the first columnar body 22, and a weight 27 is fixed to the tip thereof. In the present embodiment, the central axes of the first and second columnar bodies 22 and 26 and the rotation axis Tc are in the same plane.

第1図に示す如く、第1柱状体22の基端部の位置Mに
は、互いに直交する位置に、第1柱状体22に生ずる曲げ
モーメントMx、Myを検出する反力測定用の歪ゲージ24、2
5が貼付されている。第1図の紙面内にある母線に沿っ
て貼付された一方の歪みゲージ24は紙面と平行な面内の
曲げモーメントMxを検出するものであり、他方の歪ゲー
ジ25は紙面と直交する面内の曲げモーメントMyを検出す
るものである。同様に、第2柱状体26の基端部mの位置
には、第2柱状体26に生ずる、紙面と平行な面内の曲げ
モーメントmxを検出する姿勢検知用の歪ゲージ28と、紙
面と直交する面内の曲げモーメントmyを検出する姿勢検
知用の歪ゲージ29が貼付されている。曲げモーメンMx
びMyは加工部Taに加わる加工反力Fと位置Mより先にあ
る全部分の重心Gに加わる重量Wにより生ずるものであ
り、前者による成分は加工反力Fの大きさにのみ比例し
て変化し、後者による成分は基体31の姿勢すなわち加工
ツールTの姿勢にのみ応じて変化する。曲げモーメント
mx及びmyは位置mより先にある全部分の重心gに加わる
重量wにより生ずるものであり、その値は基体31の姿勢
にのみ応じて変化する。
As shown in FIG. 1, the position M of the base end portion of the first columnar body 22, in a position perpendicular to each other, the moment M x bending occurs in the first columnar body 22, the reaction force measurement for detecting the M y Strain gauge 24, 2
5 is attached. One strain gauge 24 attached along a generatrix in the plane of FIG. 1 detects a bending moment M x in a plane parallel to the plane of the paper, and the other strain gauge 25 is a plane orthogonal to the plane of the paper. The bending moment M y inside is detected. Similarly, at the position of the base end portion m of the second columnar body 26, a strain gauge 28 for posture detection for detecting a bending moment m x generated in the second columnar body 26 in a plane parallel to the paper plane, and a paper plane A strain gauge 29 for posture detection is attached to detect a bending moment m y in a plane orthogonal to. The bending moments M x and M y are generated by the processing reaction force F applied to the processing portion Ta and the weight W applied to the center of gravity G of all the parts ahead of the position M, and the former component is the magnitude of the processing reaction force F. And the component due to the latter changes only in accordance with the posture of the base 31, that is, the posture of the processing tool T. Bending moment
m x and m y are caused by the weight w added to the center of gravity g of all the parts located ahead of the position m, and their values change only depending on the posture of the base 31.

演算部30は各歪ゲージ24,25,28,29により検出された
曲げモーメントMx,My,mx,myに基づいたて、加工ツール
Tの姿勢とは無関係に加工反力Fの値を演算するもので
ある。
Calculation unit 30 is detected bending moment M x by each strain gauges 24,25,28,29, M y, and based on the m x, m y, machining tools T orientation and regardless processing reaction force F is The value is calculated.

次に、本実施例の作用を演算部30が行う演算と共に説
明する。
Next, the operation of this embodiment will be described together with the calculation performed by the calculation unit 30.

加工ツールTの回転軸線が、第1図に示す鉛直状態よ
り任意の方向に傾斜して、第1図の紙面に投影された鉛
直線からの傾斜角がθxとなり、第1図の紙面と直交す
る鉛直面に投影された鉛直線からの傾斜角がθyとなっ
たとすれば、重心G及びgに加わる重力による力W及び
wの方向は第1図の紙面への投影においては図示の如く
第1柱状体22の中心軸線からθxだけ傾斜し、これと直
交する鉛直線への投影においても同様に第1柱状体22の
中心軸線からθyだけ傾斜する。各部の寸法を第1図に
図示する通りとすれば第1柱状体22のM部に生ずる曲げ
モーメントMx,My及び第2柱状体26のm部に生ずる曲げ
モーメントmx,myの値は次の通りとなる。
The rotation axis of the processing tool T is tilted in any direction from the vertical state shown in FIG. 1, and the tilt angle from the vertical line projected on the paper surface of FIG. 1 becomes θ x , which corresponds to the paper surface of FIG. Assuming that the inclination angle from the vertical line projected on the orthogonal vertical plane is θ y , the directions of the forces W and w due to the gravity applied to the centers of gravity G and g are not shown in the drawing on the paper surface of FIG. As described above, the first columnar body 22 is inclined by θ x from the central axis, and the projection on the vertical line orthogonal thereto is also inclined by θ y from the central axis of the first columnar body 22. If as illustrating the size of each part in FIG. 1 M portions to the resulting bending moment M x of the first columnar body 22, M y and m part to produce bending moments m x of the second columnar body 26, the m y The values are as follows.

Mx=Wx(B+A tanθx)cosθx+Fx・C =Wx(Bcosθx+A sinθx)+Fx・C ・・・(1) My=Wy・A sinθy+Fy・C ・・・(2) mx=wx・a sinθx ・・・(3) my=wy・a sinθy ・・・(4) 但し Wx=W/(1+cos2θx・tan2θy1/2 Wy=W/(1+cos2θy・tan2θx1/2 wx=w/(1+cos2θx・tan2θy1/2 wy=w/(1+cos2θy・tan2θx1/2 此等の値Mx,My,mx,myは各歪ゲージ24,25,28,29により検
出される。演算部30は各値Mx,My,mx,myに基づき、次の
各演算により加工反力Fの第1図の紙面内の成分Fx及び
これと直交する成分Fyを演算し、此等より加工反力Fを
演算する。
M x = W x (B + A tanθ x) cosθ x + F x · C = W x (Bcosθ x + A sinθ x) + F x · C ··· (1) M y = W y · A sinθ y + F y · C ·・ ・ (2) m x = w x・ a sin θ x・ ・ ・ (3) m y = w y・ a sin θ y・ ・ ・ (4) where W x = W / (1 + cos 2 θ x・ tan 2 θ y ) 1/2 W y = W / (1 + cos 2 θ y · tan 2 θ x ) 1/2 w x = w / (1 + cos 2 θ x · tan 2 θ y ) 1/2 w y = w / (1 + cos 2 θ y · tan 2 θ x ) 1/2 These values M x , M y , m x , and m y are detected by the strain gauges 24, 25, 28, 29. Calculation unit 30 the values M x, M y, based on the m x, m y, calculates the component F x and component F y perpendicular thereto in the plane of the first view of the processing reaction force F by the following respective operations Then, the processing reaction force F is calculated from these values.

○加工反力Fの成分Fxの演算 式(3),(4)よりsinθx,cosθx,tanθx,sinθy,co
y,tanθyを演算し、次式によりRxを演算する。
○ Calculation of the component F x of the processing reaction force F From the equations (3) and (4), sin θ x , cos θ x , tan θ x , sin θ y , co
y and tan θ y are calculated, and R x is calculated by the following equation.

Rx=Wx(B cosθx+A sinθx) 上式のRxと式(1)から次式により成分Fxを演算する。R x = W x (B cos θ x + A sin θ x ) The component F x is calculated from the above R x and the equation (1) by the following equation.

Fx=(Mx−Rx)/C ○加工反力Fの成分Fyの演算 同様に、次式によりRyを演算する。F x = (M x −R x ) / C ○ Calculation of component F y of processing reaction force F Similarly, R y is calculated by the following equation.

Ry=Wy・A sinθy 上式のRyと式(2)から次式により成分Fyを演算する。R y = W y · A sin θ y The component F y is calculated from the above R y and the equation (2) by the following equation.

Fy=(My−Ry)/C ○加工反力Fの演算 FxとFyから次式により加工反力Fを演算する。F y = (M y −R y ) / C ○ Calculation of processing reaction force F The processing reaction force F is calculated from F x and F y by the following formula.

F=(Fx2+Fy21/2 上述の如く、本実施例によれば、加工ツールTの加工
部Taに生ずる加工反力Fは、検出部20と演算部30よりな
る力センサにより、加工ツールの傾斜角の影響なしに検
出することができる。
F = (Fx 2 + Fy 2 ) 1/2 As described above, according to the present embodiment, the processing reaction force F generated in the processing portion Ta of the processing tool T is determined by the force sensor including the detecting portion 20 and the calculating portion 30. It can be detected without the influence of the inclination angle of the processing tool.

上記実施例においては、各曲げモーメントMx,My,mx,m
y,を検出するのに各1個の歪ゲージ24,25,28,29を使用
したが、各曲げモーメントは柱状体22,26の互いに反対
側の位置に貼付した一対の歪みゲージにより検出しても
よく、これによれば柱状体22,26に加わる軸方向の力に
よる誤差を除くことができる。また、加工の際に加工ツ
ールTが互に平行な鉛直面内においてのみ傾斜する場合
には、各柱状体22,26に貼付する歪ゲージは各1個で足
りる。
In the above embodiment, each bending moment M x , M y , m x , m
One strain gauge 24, 25, 28, 29 was used to detect y , but each bending moment was detected by a pair of strain gauges attached to the columns 22 and 26 at positions opposite to each other. However, according to this, an error due to an axial force applied to the columnar bodies 22 and 26 can be eliminated. Further, when the machining tools T are inclined only in the vertical planes parallel to each other during machining, one strain gauge to be attached to each columnar body 22, 26 is sufficient.

なお、本発明は加工部Waを変えることにより、上記実
施例で来したバリ取り作業に限らず磨き作業その他の作
業に適用することにも可能である。
The present invention can be applied not only to the deburring work of the above embodiment but also to the polishing work and other works by changing the processing portion Wa.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

添付図面は本発明による姿勢変化補償機能を備えた力セ
ンサの一実施例を示し、第1図は要部を破断した全体側
面図、第2図は使用状態の側面図である。 15……工業用ロボット、16……手首部、20……検出部、
21……基体、22……第1柱状体、23……ブラケット、2
4,25……歪ゲージ(反力測定用)、26……第2柱状体、
27……重錘、28,29……歪ゲージ(姿勢検知用)、T…
…加工ツール、Ta……加工部。
The attached drawings show an embodiment of a force sensor having a posture change compensating function according to the present invention. FIG. 1 is an overall side view in which essential parts are broken, and FIG. 2 is a side view in use. 15 …… Industrial robot, 16 …… Wrist, 20 …… Detector,
21 ... Base, 22 ... First columnar body, 23 ... Bracket, 2
4,25 …… Strain gauge (for reaction force measurement), 26 …… Second column,
27 …… Weight, 28,29 …… Strain gauge (for attitude detection), T…
… Machining tool, Ta …… Machining department.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】工業用ロボットの手首部に取り付けられて
工作物を加工する加工ツールの加工部に加わる加工反力
を検出する力センサにおいて、前記手首部に固定された
基体と、基端部が前記基体に固定された第1柱状体と、
この第1柱状体の先端に固定されて前記加工ツールを前
記加工反力が同第1柱状体と常にほぼ直交する方向とな
るように支持するブラケットと、前記第1柱状体と平行
になるように基端部が前記基体に固定されて先端に重錘
を固定した第2柱状体と、前記第1柱状体の基端部側面
に貼付されて同基端部に加わる曲げモーメントを検出す
る反力測定用の歪ゲージと、前記第2柱状体の基端部側
面に貼付されて同基端部に加わる曲げモーメントを検出
する姿勢検知用の歪ゲージと、この姿勢検知用の歪ゲー
ジの検出結果に基づき前記反力測定用の歪ゲージの検出
結果を補正して前記加工反力のみを演算する演算部を備
えたことを特徴とする姿勢変化補償機能を備えた力セン
サ。
1. A force sensor attached to a wrist of an industrial robot to detect a processing reaction force applied to a processing portion of a processing tool for processing a workpiece, wherein a base fixed to the wrist and a base end portion. A first columnar body fixed to the substrate,
A bracket that is fixed to the tip of the first columnar body and that supports the machining tool so that the machining reaction force is always in a direction substantially orthogonal to the first columnar body, and a bracket that is parallel to the first columnar body. A second columnar body whose base end is fixed to the base body and a weight is fixed to the tip, and a second columnar body which is attached to the side surface of the base end of the first columnar body and detects a bending moment applied to the base end. A strain gauge for force measurement, a strain gauge for posture detection which is attached to the side surface of the base end portion of the second columnar body and detects a bending moment applied to the base end portion, and a strain gauge for this posture detection A force sensor having a posture change compensating function, comprising: a calculation unit that corrects the detection result of the strain gauge for measuring the reaction force based on the result and calculates only the processing reaction force.
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