Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP2559848B2 - 流体の流れを測定する装置 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP2559848B2 - 流体の流れを測定する装置 - Google Patents

流体の流れを測定する装置

Info

Publication number
JP2559848B2
JP2559848B2 JP1125489A JP12548989A JP2559848B2 JP 2559848 B2 JP2559848 B2 JP 2559848B2 JP 1125489 A JP1125489 A JP 1125489A JP 12548989 A JP12548989 A JP 12548989A JP 2559848 B2 JP2559848 B2 JP 2559848B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube
flow
measuring
temperature
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1125489A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0219715A (ja
Inventor
ジャン ベルナルド ニーダム ポール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BURUTSUKUSU INSUTORUMENTO BV
Original Assignee
BURUTSUKUSU INSUTORUMENTO BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BURUTSUKUSU INSUTORUMENTO BV filed Critical BURUTSUKUSU INSUTORUMENTO BV
Publication of JPH0219715A publication Critical patent/JPH0219715A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2559848B2 publication Critical patent/JP2559848B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、測定すべき流体を導くことができる管、こ
の管の選択した位置における温度を変える装置、この選
択位置の上流および下流の流れの流の所定箇所における
温度を測定する検出器、この温度の測定値から媒体の流
量を決定する装置、または温度の測定値を別個の決定装
置へ供給する装置を含む、流体の流れを測定する装置に
関する。
〔従来の技術〕
上記型式の流量計は、特に気体の流量を測定するよう
構成されたものとして米国特許第3,650,151号の開示さ
れている。この公知の流量計の作動は、流れがないと
き、選択位置における温度の変動がこの選択位置に関し
て対称に位置する2つの部分において一定で等しいが、
管方向に逆の温度勾配を原理的に生じさせる事実、およ
び管のそのような温度プロフィールが気体の通過流量の
影響を受けてシフトするという現象に基づいている。そ
して、このシフトの程度は流量を示すことになる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の流量計は、液体の流量を測定するには適してい
ない。すなわち、気体または蒸気の熱容量に比較して液
体の熱容量が大きいことを考慮すると、公知の流量計
は、流量が大きすぎない場合のみ機能することができ、
またその場合でさえ不十分にしか機能しない。流量は、
流量を測定すべき大きな主導管に体して断面積の小さい
バイパスに適用できるように流量計を構成した場合に、
時として制限されることがある。このようなバイパスを
流れる流量は、計算可能な程度には主導管におけるそれ
よりは少ない。しかしながら、問題は、液体中の空気ま
たは蒸気の泡の存在、およびバイパスおよび主導管など
における粘度の相違により測定ミスがしばしば起こるこ
とである。
また、いずれにしても、液体または蒸気の流量が最
小、例えば1時間当たり数立方センチの程度の流量のと
きに、従来の流量計は適正に機能することができない。
本発明の目的は、上記の問題を生じることなく、液体
および気体の双方の流量を測定するのに適当な流量計を
提供することである。
〔課題を解決するための手段、作用及び効果〕
上記目的は、上記形式の流体の流れを測定する装置に
おいて、管がこの管に対して概ね直交した方向に該管の
一部分から他の部分または該管から離れた熱導体へと熱
を伝達する材料層に固定されているか、またはこの材料
層に埋め込まれている構成にすることにより達成され
る。
本発明の以下の説明において、便宜上、管の選択した
位置において管を適当な手段により加熱する結果、その
選択位置の温度が上昇するものとする。しかしながら、
本発明は、その選択位置において冷却される管を有する
装置にも適用可能である。本発明の本質的な特徴は、管
の始端および終端と上記選択位置との間に温度差がある
ということである。
従来の装置と異なり、本発明による装置は、上記の温
度の変動が生じる箇所に対して対称に位置する部分にお
いて、管に対して直交しかつ管の中の媒体の流量に比例
する、等しくかつ逆方向の熱の流れ生じさせる手段を備
えている。
本発明による装置において、管が中または上に据え付
けられる熱伝達の材料層は、熱が選択位置の下流の管部
分から上流の管部分へ伝達されるのを確実にする。しか
して、静止した流体では、温度プロフィールが生成さ
れ、理想的な場合、この温度プロプィールは管の始端か
ら最も熱い箇所(選択位置)まで概ね直線状に延び、そ
して再び同様の直線状の管の終端まで減少する。流体が
管を通って流れるとき、その温度プロフィールは理想的
な場合の直線に対して僅かにシフトするが、熱伝達の材
料層を通って管に対して概ね直交する熱の流れがあるが
故に、温度プロフィールは概ね直線状である。シフトの
程度は流量を示す。
本発明による装置の好適実施例において、管はU字形
の形状を有し、熱伝達の材料層はU字形の管の脚部の間
に設けられ、U字形の管の曲げられた基部が上記温度を
変える位置選択として選択されている。
流体が管を通って流れるとき、常に温度差が生じるか
ら、状況は理想的な場合と同じでない。これは、まず、
基本的に直線状の温度プロフィールの端部に表われる。
管自体における流れのため、これらの端部において吸収
されて熱はもはや放出される熱と完全には等しくない。
したがって、温度プロフィールの線形性は端部において
影響を受ける。この問題は、本発明による装置の好適実
施例において回避される。この好適実施例は、高い熱伝
導率を有する導体材料が管に対して、または管の大部分
に対して離隔し平行な関係に配設されかつ上記材料層に
結合されていることを特徴とする。
このような熱伝達性の導体材料、すなわち線状案内体
の作用は容易に理解されよう。管が加熱される箇所から
その線状案内体を介して管の端部まで連続した熱の流れ
がある。この熱の流れは、熱伝達の材料層および管自体
を通る管に平行な熱の流れよりもずっと大きい。吸収さ
れる熱は長さdx(x:管に平行な方向、y:管に直交する方
向)において放出される熱に等しくないとき、このこと
は、線状案内体によりx方向の熱の移動が生じることを
意味する。線状案内体の良好の熱の伝導により、熱伝達
の材料層の中心における温度プロフィールは、流体が流
れる場合、極めてわずかに変形するだけである。y方向
の熱伝導は線状案内体の付加によって変化せず、線状案
内体は測定される温度差に影響しない。
本発明による装置において、熱伝達の材料層は金属箔
の形態を有するのが好ましい。
本装置の一実施例は、例えばU字形に曲げられた金属
(例えばステンレス鋼)の管を有し、このU字形の管の
脚部の金属箔(例えば銅箔)が延在し、かつ管の脚部は
その金属箔に(例えば半田付けにより)固定されてお
り、U字形の管の脚部間の中央位置に、良好な熱伝導体
の金属ワイヤまたは金属ストリップ(例えば鋼ワイヤま
たは銅ストリップ)が当該脚部に平行に伸びるように上
記金属箔に固定されている。さらにU字形に曲げられた
管を実施例においては、U字形の管の曲げられた基部が
金属(例えば銅)のブロックに固定されてもよく、この
場合、トランジスタが加熱要素としてブロックに設けら
れているのが好ましい。
〔実施例〕
次に、本発明のいくつかの実施例を添付地面を参照し
て説明する。
第1図に概略的に示す装置は、例えば液体または気体
のような流体の輸送管の一部を構成し、U字形に曲げら
れた管1を含む。U字形の管1の端部2,3はブロック4
に嵌め込まれ、管1を組み込んだ搬送導管装置に接続さ
れている。作動時は、ブロック4は隣接の装置の温度To
を有すると仮定される。
U字形に曲げられた管1は、U字形の曲げられた基部
がブロック5に据え付けられ、このブロック5にはブロ
ック5と、U字形の管1の基部の温度をT1まで上昇させ
る適当な手段6とを備えている。
U字形の基部の両側で、管1から対称に離れた2つの
位置で、温度検出器7,8が管1に装着され、これにより
これらの位置における管1の温度が測定され、適当な導
線により、図示しない処理装置へ伝達される。
管1はブロック4,5の間の空間の全長に沿って金属箔
9に取り付けられている。
第4図は本発明による装置の別な実施例を示し、この
実施例が第1図の実施例と異なるのは、U字形の管1の
脚部の間の中央で、かつその脚部に平行に、金属ワイヤ
または金属ストリップ10が金属箔9に取り付けられてい
る点である。この金属ワイヤ10は、上述した線状案内体
の機能を有している。
第5a図と第5b図は第4図に示す装置のV−V線断面で
の2つの形態を示す。第5a図に示す形態においては、管
1は金属箔9に固定され、金属ストリップ10は管1の2
つの脚部の中央に延びている。第5b図に示す形態におい
ては、金属箔9は弓形に曲げられ、金属ワイヤまたは金
属ストリップ10は弓形の頂部に固定されている。金属ス
トリップ10からU字形の管1の両側の脚部までの距離は
等しい。
第1図または第4図に示す好適実施例は、例えばブロ
ック4からU字形の基部までの流さが約6cmのステンレ
ス鋼の管で構成されている。この管の径は約1mmであ
り、肉厚は0.1mmである。金属箔として、例えば0.1mmの
銅箔を用いることができ、第4図に示す線状案内体を用
いるとき、約3mmの銅ワイヤが適当である。ブロック5
は銅のブロックが適当であり、金属箔への管および線状
案内体の取り付けおよびブロックへの管の取り付けは、
半田付けにり行われる。
検出器7,8の好適例は、プラチナをサファイア上に置
いたプラチナ要素である。熱カラムまたは半導体装置も
検出器として用いることができる。ブロック4と5の間
の温度差は、適当な手段6でブロック5を加熱すること
により生じさせることができるが、その手段6の好適例
は例えば抵抗素子またはパワートランジスタである。ブ
ロック5は、例えばペルチエ素子により冷却することも
できる。手段6の作動を制御する、図示しない温度検出
器をブロック4と5に設けてもよい。
第2図は管1を通る流れのない場合の、第1図と第4
図に示す装置の温度プロフィールを示す。この温度プロ
フィールは値To(ブロック4の温度)から値T1(ブロッ
ク5の温度)まで延びる直線で与えられる。xmの位置に
は検出器7,8が設けられている。
第3図は管1を通る媒体の流れのあるときの温度プロ
フィールを示す。間隔の開いた2つの線は、U字形の管
1の流れの入る方の脚部(線11)および流れの出る方の
脚部(線12)での管長方向の温度変化を示す。金属箔9
の作用により、線11と12はその流さの大部分に沿って概
ね直線状である。この線径性は、線状案内体10を用いる
ことにより増す。検出器7,8により測定されるxmにおけ
る温度は、管1を通る流体の流量に比例する温度差△Ty
を示す。
第6図は本発明による装置の別な実施例を示し、この
装置は図示しない搬送導管装置16に組み込まれた直線状
の管13を備えている。搬送導管装置16に対する接続部1
4,15の間の管13の部分は搬送導管装置16から離れてい
る。接続部14,15において、管13は、周囲の搬送導管装
置16の温度Toを有する。接続部14,15の間の中央におい
て、管13は、第1図と第4図に示す装置のブロック5に
匹敵するブロック17に取り付けられている。ブロック17
と管13に温度T1を与える、図示しない適当な加熱または
冷却手段がブロック17に設けられている。
管13は、接続部14,15までブロック17の両側に延びて
いる金属箔18に取り付けられている。線状案内体19か、
管13から平行に離隔して金属箔18に取り付けられてい
る。温度検出器20,21が、ブロック17の両側の対称な位
置で管1に取り付けられている。
この実施例において、ブロック17の上流と下流の管13
の2つの部分での管長方向の温度変化は、金属箔18と線
状案内体19の作用により概ね線形であり、また流体が通
過する際でも概ね線形のままである。しかしながら、流
体が通過する際のブロック17の上流と下流の温度変化を
示す線は相互にシフトしている。このシフトの程度は流
量を示す。
本発明による装置の上記実施例は、特に液体用の流量
計として使用するのに適している。特に気体に用いる時
は、熱的遅れの現象が生じることがある。流量が大きい
とき、流体の熱伝導は有限であるから、明らかな熱的遅
れが生じる。管の中心から管壁まで、またの逆の方向に
熱を伝達するには時間がかかる。この熱的遅れの問題を
解決するため、本発明による装置の管は螺旋状構造とす
ることができる。かかる実施例は第7図と第8図に示さ
れる。
図示の実施例は、U字形の形状を有すコイル状の管22
を含み、このU字形のコイル状の管22はU字形の曲げら
れた基部をブロック5上に、U字形の脚部をブロック4
の頂部に取り付けている。U字形の管22の脚部は導管2
5,26に接続され、管22は導管25,26と共に搬送導管装置
に組み込まれている。例えば、パワートランジスタのよ
うな加熱素子6がブロック5に取り付けられている。
コイル状の管22の脚部は、波形の金属箔24に固定され
ている。線状案内体23がU字形の管22の脚部の間の中央
で金属箔24に取り付けられ、かつ脚部に対し平行な関係
で螺旋状にされている。したがって、管22と線状案内体
23の間の距離はあらゆる箇所で同一である。
この実施例の作動は、第2図と第3図により説明した
第4図に示す実施例のものと同じである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による装置の実施例の概略上面図、第2
図は流れのないときの理想的な場合の温度プロフィール
を示す図、第3図は流れのあるときの概ね理想的な場合
の温度プロフィールを示す図、第4図は本発明による装
置の別な実施例の第1図と同様な図、第5a図と第5b図は
第4図のV−V線断面の2つの形態を示す図、第6図は
更に別な実施例を示す概略図、および第7図と第8図は
更に別な実施例の概略上面図および側立面図である。 符号の説明、 1……U字形の管 2,3……U字形の管の端部 4,5,17……ブロック 6……パワートランジスタ 7,8,20,21……温度検出器 9,18,24……金属箔 10……金属ストリップ 13……直線状の管 14,15……接続部 19,23……線状案内体 22……コイル状の管 25,26……導管

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定すべき流体を導くことができる管、こ
    の管の選択した位置における温度を変える装置、前記選
    択位置の上流および下流の流れの中の所定箇所における
    温度を測定する検出器、およびその温度の測定値から流
    体の流量を決定する装置を備えた流体の流れを測定する
    装置において、 前記管がこの管に対して概ね直交した方向に該管の一部
    分から他の部分または該管から離れた熱導体へと熱を伝
    達する材料層に固定されているか、またはこの材料層に
    埋め込まれていることを特徴とする流体の流れを測定す
    る装置。
  2. 【請求項2】前記管がU字形の形状を有し、前記熱を伝
    達する材料層が前記U字形の管の脚部の間に設けられ、
    前記U字形の管の曲げられた基部が前記温度を変える選
    択位置として選択されていることを特徴とする請求項1
    記載の流体の流れを計測する装置。
  3. 【請求項3】高い熱伝導率を有する導体材料が前記管に
    対して、または該管の大部分に対して離隔し平行な関係
    に配設されかつ前記熱を伝達する材料層に結合されてい
    ることを特徴とする請求項1または2記載の流体の流れ
    を測定する装置。
  4. 【請求項4】前記熱を伝達する材料層が金属箔の形態を
    有することを特徴とする請求項1,2または3記載の流体
    の流れを測定する装置。
  5. 【請求項5】前記管がU字形に曲げられた金属の管であ
    り、前記U字形の管の脚部の間に金属箔が延在し、かつ
    前記U字形の管の脚部を前記金属箔に固定しており、良
    好な熱伝導体である金属のワイヤまたはストリップが前
    記U字形の管の脚部の間の中央位置で前記脚部に平行に
    配置されかつ前記金属箔に固定されていることを特徴と
    する請求項1記載の流体の流れを測定する装置。
  6. 【請求項6】前記U字形の管の曲げられた基部が金属の
    ブロックに固定され、このブロックにトランジスタが加
    熱材料として設けられていることを特徴とする請求項2
    記載の流体の流れを測定する装置。
JP1125489A 1988-05-18 1989-05-18 流体の流れを測定する装置 Expired - Lifetime JP2559848B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8801277 1988-05-18
NL8801277 1988-05-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0219715A JPH0219715A (ja) 1990-01-23
JP2559848B2 true JP2559848B2 (ja) 1996-12-04

Family

ID=19852311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1125489A Expired - Lifetime JP2559848B2 (ja) 1988-05-18 1989-05-18 流体の流れを測定する装置

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4972707A (ja)
EP (1) EP0342763B1 (ja)
JP (1) JP2559848B2 (ja)
CN (1) CN1019146B (ja)
AT (1) ATE83072T1 (ja)
CA (1) CA1320359C (ja)
DE (1) DE68903678T2 (ja)
ES (1) ES2037393T3 (ja)
GR (1) GR3006629T3 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015500490A (ja) * 2011-12-12 2015-01-05 カールスルーアー・インスティトゥート・フュア・テヒノロギーKarlsruher Institut fuer Technologie 流体の質量流量を測定する装置および方法

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8900474A (nl) * 1989-02-24 1990-09-17 Bronkhorst High Tech Bv Massa-debietmeter met temperatuursensoren.
US5237866A (en) * 1991-05-10 1993-08-24 Brooks Instrument B.V. Flow sensor for measuring high fluid flow rates
KR940011791B1 (ko) * 1992-04-15 1994-12-26 금성일렉트론주식회사 온도안정화 매스 플로우 컨트롤러 센서
DE4335332A1 (de) * 1993-10-18 1995-04-20 Bitop Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur insbesondere nicht invasiven Ermittlung mindestens eines interessierenden Parameters eines Fluid-Rohr-Systems
NL1001674C2 (nl) * 1995-11-17 1997-05-21 Berkin Bv Debietmeter.
US5868159A (en) * 1996-07-12 1999-02-09 Mks Instruments, Inc. Pressure-based mass flow controller
NL1014797C2 (nl) * 2000-03-30 2001-10-02 Berkin Bv Massadebietmeter.
DE10031813C2 (de) * 2000-06-30 2002-08-01 Fafnir Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Durchflusses eines Gasgemisches
JP4502256B2 (ja) * 2004-09-07 2010-07-14 株式会社山武 流量センサ
WO2007063407A2 (en) * 2005-12-02 2007-06-07 Melexis Nv Thermal mass flow meter
US20090077862A1 (en) 2007-09-25 2009-03-26 Schwab Scott D Lubricity additives and methods of producing lubricity additives
US7971480B2 (en) * 2008-10-13 2011-07-05 Hitachi Metals, Ltd. Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements
JP2013026283A (ja) * 2011-07-15 2013-02-04 Toshiba Corp 干渉露光装置
KR101261627B1 (ko) * 2011-12-07 2013-05-06 인제대학교 산학협력단 열 유속 측정 장치 및 이를 포함하는 열 유속 측정 시스템
DE102012201214A1 (de) * 2012-01-27 2013-08-01 Siemens Aktiengesellschaft Durchfluss-Sensor
DE102014101792A1 (de) * 2014-02-13 2015-08-13 Aixtron Se Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines Gases beziehungsweise Gasgemisches mit ineinandergeschachtelten rohrförmigen Filamentanordnungen
JP2017173143A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 セイコーエプソン株式会社 流量検出装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2594618A (en) * 1945-08-11 1952-04-29 Atomic Energy Commission Thermal flowmeter
BE622482A (ja) * 1962-08-31
US3650151A (en) * 1970-11-18 1972-03-21 Tylan Corp Fluid flow measuring system
DE2856289C2 (de) * 1978-12-27 1987-01-02 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Vorrichtung zur thermischen Massenstrommessung
EP0014934B1 (de) * 1979-02-17 1984-08-01 Battelle-Institut e.V. Vorrichtung zur Messung des Massenflusses und des Wärmeflusses sowie Verfahren zur Bestimmung des Massenflusses
NL7902313A (nl) * 1979-03-23 1980-09-25 Kema Nv Warmtehoeveelheidsmeter.
US4270386A (en) * 1979-08-23 1981-06-02 Teledyne, Inc. Indirectly heated thermal flowmeter
US4440021A (en) * 1980-07-29 1984-04-03 Abouchar John W Mass flow meter with reduced attitude sensitivity
US4484471A (en) * 1981-09-26 1984-11-27 Joshua Swithenbank Flow meters
US4686856A (en) * 1983-02-28 1987-08-18 Vavra Randall J Mass flow meter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015500490A (ja) * 2011-12-12 2015-01-05 カールスルーアー・インスティトゥート・フュア・テヒノロギーKarlsruher Institut fuer Technologie 流体の質量流量を測定する装置および方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE68903678D1 (de) 1993-01-14
CN1038160A (zh) 1989-12-20
US4972707A (en) 1990-11-27
ES2037393T3 (es) 1993-06-16
GR3006629T3 (ja) 1993-06-30
JPH0219715A (ja) 1990-01-23
DE68903678T2 (de) 1993-04-22
CA1320359C (en) 1993-07-20
EP0342763B1 (en) 1992-12-02
EP0342763A1 (en) 1989-11-23
ATE83072T1 (de) 1992-12-15
CN1019146B (zh) 1992-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2559848B2 (ja) 流体の流れを測定する装置
JP4831879B2 (ja) 質量流量計
US7000464B2 (en) Measuring and control of low fluid flow rates with heated conduit walls
US5237866A (en) Flow sensor for measuring high fluid flow rates
EP1477779B1 (en) Mass flowmeter
JP4034379B2 (ja) 流量計
JP5714911B2 (ja) 熱ループフローセンサ
US4016759A (en) Fluid flowmeter
WO1992018833A1 (en) Constant temperature gradient fluid mass flow transducer
US3015232A (en) Flow cell
JPH1038652A (ja) 熱式質量流量計
EP0774649B1 (en) Flow meter
US7509880B2 (en) Fluid flow meter body with high immunity to inlet/outlet flow disturbances
JP2004069667A (ja) 液体用熱式質量流量計
GB1352175A (en) Electrical flowmeters
JP4081639B2 (ja) 液体用熱式質量流量計
JP3267943B2 (ja) 熱式流量計
JP2965464B2 (ja) 流量計
JPS6341494B2 (ja)
JPS58214814A (ja) 感熱形流量検出器
WO2005086730A2 (en) Fluid flow meter conditioning body with immunity to inlet/outlet flow disturbances
JPH10142021A (ja) 熱式質量流量計
JPS60171420A (ja) 感熱形流量検出器
JPH04339219A (ja) 熱式流量計
JPS59105521A (ja) 熱式質量流量計

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960730