JP2560930B2 - Surface treatment method for ceramics substrate - Google Patents
Surface treatment method for ceramics substrateInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はセラミックス基材の表面
処理方法に係り、特に、セラミックス基材表面に、セラ
ミックスと金属との複合材料(以下、「サーメット」と
称する場合がある。)の被覆層を高い付着強度にて容易
に形成することができるセラミックス基材の表面処理方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating the surface of a ceramic substrate, and more particularly to coating the surface of the ceramic substrate with a composite material of ceramic and metal (hereinafter sometimes referred to as "cermet"). The present invention relates to a surface treatment method for a ceramic base material, which enables a layer to be easily formed with high adhesion strength.
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミックス同士又はセラミックスと金
属とを接合する際の前処理として、多くの場合、セラミ
ックス基材表面に金属の被覆層を形成する、所謂メタラ
イズ処理を施す。このメタライズ処理によれば、ろう付
けなどの比較的低温での接合法を採用することが可能と
なる。従って、被接合材に適したメタライズ化処理法を
選択することにより、低コストにて、高信頼性の接合体
を得ることが可能とされる。2. Description of the Related Art In many cases, a so-called metallizing treatment for forming a metal coating layer on the surface of a ceramic substrate is carried out as a pretreatment for joining ceramics or ceramics and metal. According to this metallizing process, it is possible to use a joining method such as brazing at a relatively low temperature. Therefore, by selecting a metallization treatment method suitable for the materials to be joined, it is possible to obtain a highly reliable joined body at low cost.
【0003】従来、セラミックスのメタライズ処理法と
しては、溶射、メッキ、スプレー、PVD(物理的蒸着
法)、CVD(化学的蒸着法)等の多くの方法があり、
これらはいずれもセラミックス焼結体に対して実施され
ている。Conventionally, there have been many methods such as thermal spraying, plating, spraying, PVD (physical vapor deposition method), CVD (chemical vapor deposition method), etc.
All of these are carried out on the ceramic sintered body.
【0004】例えば、特開平1−119589号には、
セラミックス焼結体にイオンプレーティングによりメタ
ライズ処理を施す方法が開示されている。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-1119589 discloses that
A method of subjecting a ceramics sintered body to a metallizing treatment by ion plating is disclosed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法では、
メタライズ処理するセラミックスと濡れ性の良い金属で
被覆層を形成する場合には、ある程度の付着強度は得ら
れる。しかしながら、被覆層形成に用いる金属は、必ず
しもメタライズ処理するセラミックスと濡れ性の良いも
のとは限らず、濡れ性の悪いものである場合も多い。こ
の場合には、十分な金属被覆層の付着強度が得られず、
結果的に接合体の接合強度が劣るという不具合がある。
また、溶射法による場合には、被溶射体であるセラミッ
クス焼結体に大きな熱衝撃がかかり、セラミックス焼結
体が破損するおそれがある特開平1−119587号に
開示される如く、高エネルギーにて金属元素をセラミッ
クスに打ち込むなどして、被覆層の付着力を向上させる
方法も提案されているが、このような高エネルギーを利
用する方法では処理コストが高くつくという欠点があ
る。In the above conventional method,
When the coating layer is formed of the metallized ceramic and the metal having good wettability, a certain degree of adhesion strength can be obtained. However, the metal used for forming the coating layer does not always have good wettability with the ceramic to be metallized, and often has poor wettability. In this case, sufficient adhesion strength of the metal coating layer cannot be obtained,
As a result, there is a problem that the bonding strength of the bonded body is poor.
Further, in the case of the thermal spraying method, a large thermal shock may be applied to the ceramics sintered body which is the object to be sprayed, and the ceramics sintered body may be damaged, as disclosed in JP-A-1-119587. Although a method of improving the adhesion of the coating layer by implanting a metal element into the ceramics has been proposed, the method using such high energy has a drawback that the processing cost is high.
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決し、セラ
ミックス基材表面に、ろう付け接合等に有効な、サーメ
ットよりなる被覆層を、高い付着強度にて、容易かつ安
価に形成することができるセラミックス基材の表面処理
方法を提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and a coating layer made of cermet, which is effective for brazing and the like, can be easily and inexpensively formed on the surface of a ceramic substrate with high adhesive strength. An object of the present invention is to provide a surface treatment method for a ceramics base material.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1のセラミックス
基材の表面処理方法は、セラミックス基材表面にセラミ
ックスと金属との複合材料の被覆層を形成する方法にお
いて、未焼成のセラミックスグリーン体の表面に、セラ
ミックスと金属酸化物との複合材料の粉末(以下「複合
粉末」と称する。)を付着させた後焼成し、形成された
被覆層を還元処理することを特徴とする。The method for surface treatment of a ceramic base material according to claim 1 is a method of forming a coating layer of a composite material of ceramics and a metal on the surface of a ceramic base material. It is characterized in that a powder of a composite material of ceramics and a metal oxide (hereinafter referred to as "composite powder") is adhered to the surface and then baked, and the formed coating layer is subjected to a reduction treatment.
【0008】請求項2のセラミックス基材の表面処理方
法は、請求項1の方法において、該複合材料のセラミッ
クスは、前記グリーン体を構成するセラミックスを主成
分とするものであり、該複合粉末は、セラミックス粉体
と金属酸化物粉体とを混合して仮焼し、これを粉砕した
ものであることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a surface treatment method for a ceramic base material according to the first aspect, wherein the ceramic material of the composite material is mainly composed of the ceramic material forming the green body. The ceramic powder and the metal oxide powder are mixed, calcined, and then pulverized.
【0009】以下に本発明を詳細に説明する。本発明の
方法において、未焼成のセラミックスグリーン体は、例
えば、母材を構成するセラミックス粉末を適当な有機溶
媒中にて、バインダー、可塑剤等と共に混合して得た成
形材料を所望形状に成形することにより容易に製造する
ことができる。The present invention will be described in detail below. In the method of the present invention, an unfired ceramic green body is obtained, for example, by molding a molding material obtained by mixing ceramic powder constituting a base material in a suitable organic solvent together with a binder, a plasticizer and the like into a desired shape. By doing so, it can be easily manufactured.
【0010】このようにして得られる未焼成のセラミッ
クスグリーン体の表面に付着させる複合粉末は、例え
ば、このグリーン体を構成するセラミックスと金属酸化
物を混合して仮焼し、仮焼物を粉砕することにより容易
に調製することができる。この複合粉末を構成するセラ
ミックスは、該セラミックスグリーン体を構成するセラ
ミックスよりなるものであることが好ましい。一方、金
属酸化物としては、セラミックスグリーン体のセラミッ
クスとの固溶度が高く、かつ、還元により容易に金属と
なるもの、例えば、NiO、CoO等が挙げられる。特
に、NiOは安価であることからコスト面でも好まし
い。The composite powder to be adhered to the surface of the unfired ceramic green body thus obtained is, for example, mixed with the ceramic and the metal oxide forming the green body and calcined to pulverize the calcined product. Therefore, it can be easily prepared. The ceramics forming the composite powder is preferably made of the ceramics forming the ceramic green body. On the other hand, examples of the metal oxide include those having a high solid solubility in the ceramic green body with the ceramic and easily becoming a metal by reduction, such as NiO and CoO. NiO is particularly preferable in terms of cost because it is inexpensive.
【0011】このような複合粉末をセラミックスグリー
ン体表面に付着させる方法としては特に制限はないが、
適当な粒度に整粒した複合粉末をエタノール、トルエン
等の有機溶媒、好ましくはセラミックスグリーン体の製
造に用いた有機溶媒と同一ないし同性状の有機溶媒に分
散させ、必要に応じて適当なバインダーを添加して塗布
液を調製し、これをセラミックスグリーン体表面に、ス
プレー、印刷、刷毛塗り等により塗布する方法が好まし
い。There is no particular limitation on the method for adhering such a composite powder to the surface of the ceramic green body,
The composite powder sized to a suitable particle size is dispersed in an organic solvent such as ethanol or toluene, preferably an organic solvent of the same or similar nature as the organic solvent used in the production of the ceramic green body, and a suitable binder is added if necessary. A method is preferred in which a coating solution is added to prepare a coating solution, and the coating solution is applied to the surface of the ceramic green body by spraying, printing, brush coating, or the like.
【0012】この場合、塗布液中の複合粉末濃度は10
〜50重量%程度とするのが好ましく、バインダーを用
いる場合、バインダーとしてはP.V.Bを用いること
ができ、その使用量は塗布液に対して1〜5重量%とす
るのが好ましい。In this case, the concentration of the composite powder in the coating solution is 10
It is preferably about 50 to 50% by weight, and when a binder is used, the binder may be P.I. V. B can be used, and the amount thereof is preferably 1 to 5% by weight based on the coating liquid.
【0013】なお、本発明において、複合粉末を構成す
るセラミックスと金属酸化物との割合には特に制限はな
く、セラミックス0.1〜99.9重量%、金属酸化物
99.9〜0.1重量%の範囲にて、様々な組成を採用
し得る。In the present invention, there is no particular limitation on the ratio of the ceramic and the metal oxide constituting the composite powder, 0.1 to 99.9% by weight of the ceramic and 99.9 to 0.1 of the metal oxide. Various compositions may be employed in the range of wt%.
【0014】本発明の方法においては、上記塗布液をセ
ラミックスグリーン体表面に塗布、乾燥するなどして複
合粉末を付着させた後は、当該セラミックスグリーン体
の焼結温度にて焼成して母材及び被覆層を焼結させる。
その後、還元雰囲気にて焼成するなどの方法により、被
覆層の還元処理を行なう。これにより被覆層中の金属酸
化物が還元されて金属となり、セラミックスと金属との
サーメット被覆層となる。In the method of the present invention, the coating liquid is applied to the surface of the ceramic green body and dried to adhere the composite powder, and then the composite green body is fired at the sintering temperature of the base material. And sintering the coating layer.
After that, the coating layer is reduced by a method such as firing in a reducing atmosphere. As a result, the metal oxide in the coating layer is reduced to a metal, and a cermet coating layer of ceramics and metal is formed.
【0015】本発明の方法では、セラミックス含有量の
異なる複数種類の複合粉末から、それぞれ塗布液を調製
し、セラミックス含有量の多い複合粉末の塗布液から、
セラミックス含有量の少ない複合粉末の塗布液へと、セ
ラミックスグリーン体に順次塗布液を塗布した後乾燥、
焼成、還元することにより、セラミックス含有量が基層
側(セラミックス焼結体側)から表層側へと層厚さ方向
に減少する被覆層を形成することもできる。この場合に
は、基層側はセラミックス含有量が多いため、母材であ
るセラミックス焼結体との接着性が良好であり、また、
表層側はセラミックス含有量が少なく、金属含有量が多
いため、はんだ、ろう付け等の接合処理に有効な被覆層
が形成される。なお、更に表面に金属酸化物のみの塗布
液を塗布した後、乾燥、焼成、還元することにより、表
面層が金属層からなる被覆層とすることもできる。In the method of the present invention, a coating solution is prepared from each of a plurality of kinds of composite powders having different ceramic contents, and the coating solution of the composite powder having a large ceramic content is prepared.
The coating solution of composite powder with a small ceramic content is sequentially coated on the ceramic green body, and then dried.
By firing and reducing, it is also possible to form a coating layer in which the ceramic content decreases in the layer thickness direction from the base layer side (ceramic sintered body side) to the surface layer side. In this case, since the base layer side has a large ceramic content, the adhesiveness with the ceramic sintered body as the base material is good, and
Since the surface layer side has a low ceramic content and a high metal content, a coating layer effective for joining treatment such as soldering or brazing is formed. It is also possible to form a coating layer having a metal layer as the surface layer by further applying a coating solution containing only a metal oxide on the surface, followed by drying, firing and reduction.
【0016】[0016]
【作用】本発明のセラミックス基材の表面処理方法にあ
っては、セラミックスのグリーン体にセラミックスと金
属酸化物よりなる複合粉末を付着させて焼成するため、
形成される被覆層は母材のセラミックス焼結体と強固に
焼結一体化される。しかも、金属成分をセラミックスと
の複合粉末として、均一分散状態にて被覆層中に存在さ
せることができるため、金属がセラミックス内に均一分
散状態にて封じ込められたサーメット被覆層とすること
ができることからも、強固な界面接着強度を得ることが
でき、被覆層剥離のおそれも殆どない。In the surface treatment method for the ceramic substrate of the present invention, since the composite powder of the ceramic and the metal oxide is adhered to the green body of the ceramic and fired,
The formed coating layer is firmly sintered and integrated with the ceramic sintered body of the base material. Moreover, since the metal component can be present in the coating layer as a composite powder with ceramics in a uniformly dispersed state, a cermet coating layer in which the metal is contained in the ceramics in a uniformly dispersed state can be obtained. However, a strong interfacial adhesion strength can be obtained, and there is almost no risk of peeling of the coating layer.
【0017】特に、複合粉末のセラミックスとしてセラ
ミックスグリーン体を構成するセラミックスを採用する
ことにより、より一層高い付着力が得られる。In particular, even higher adhesion can be obtained by adopting the ceramics forming the ceramic green body as the composite powder ceramics.
【0018】また、複合粉末を塗布液としてセラミック
スグリーン体表面に付着させる場合には、塗布液の溶媒
がセラミックスグリーン体表面をわずかに溶かして、母
材と塗膜とが界面でまざり合うことにより、より一層高
い付着力が得られる。When the composite powder is applied to the surface of the ceramic green body as a coating liquid, the solvent of the coating liquid slightly dissolves the surface of the ceramic green body, and the base material and the coating film are mixed at the interface. , Even higher adhesion can be obtained.
【0019】本発明の方法では、金属含有量の少ないも
のから多いものまで、様々な組成のサーメット被覆層を
高い付着力にてセラミックス基材表面に形成することが
でき、また、基材側から、表面側へ、厚さ方向に金属含
有量が増加する被覆層を形成し、最外表面は金属層とす
ることも可能である。このようにして最外表面を金属層
としたものは、特に、ろう付け等の接合に極めて有効で
ある。According to the method of the present invention, a cermet coating layer having various compositions ranging from a low metal content to a high metal content can be formed on the surface of a ceramic substrate with high adhesion, and from the substrate side. It is also possible to form a coating layer on the surface side of which the metal content increases in the thickness direction and to make the outermost surface a metal layer. The metal layer having the outermost surface in this manner is extremely effective for joining such as brazing.
【0020】[0020]
【実施例】以下に実施例を挙げて、本発明をより具体的
に説明する。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
【0021】実施例1セラミックスグリーン体の 製造 8モル%イットリア安定化ジルコニア(以下「YSZ」
と称す。)粉体を、エタノールとトルエンとの混合溶媒
中に投入し、粉体量に見合ったバインダー、可塑剤をこ
の溶媒中に加えた。これを自動乳鉢の中で長時間撹拌し
た。得られた高粘度スラリーを乾燥した後成形して、グ
リーン体を得た。Example 1 Production of Ceramic Green Body 8 mol% yttria-stabilized zirconia (hereinafter referred to as "YSZ")
Called. ) The powder was put into a mixed solvent of ethanol and toluene, and a binder and a plasticizer corresponding to the powder amount were added to this solvent. This was stirred for a long time in an automatic mortar. The high viscosity slurry obtained was dried and then molded to obtain a green body.
【0022】スプレー材の調製 焼成、還元後の組成が下記〜の組成となるように、
NiO粉体とYSZ粉体を秤量し(ただし、ではNi
O粉体のみ)、これらを遊星型ボールミルを用いて混合
した。十分な混合をした後、一軸プレスにて成形し、1
200℃で5時間、大気中で仮焼を行なった。これを粉
砕し複合粉体を得た。この複合粉体をグリーン体作製の
際に用いたのと同様のエタノール−トルエン混合溶媒に
投入し(濃度○○重量%)、更にバインダーとしてP.
V.Bを3.5重量%投入してスプレー材を調製した。 40体積%Ni−YSZ 70体積%Ni−YSZ Niサーメット被覆層の形成 前記セラミックスグリーン体の表面に、それぞれ表1に
示すスプレー材を順次スプレーした。なお、スプレー処
理は第1図に示すスプレー装置で実施した。図中、1は
上部に開口1Aを有するスプレー室、2は載置台、3は
セラミックスグリーン体、4は二流体ノズル、5はレギ
ュレーター、6はポンプ、7は空気ボンベ、8はスプレ
ー材、9はスプレー材供給管、10は空気供給管、11
はバルブである。二流体ノズル4はスプレー室1の上部
開口1Aから挿入され、載置台2上のセラミックスグリ
ーン体3の上方に位置している。スプレー材8はポンプ
6により供給管9を経て二流体ノズル4に供給され、空
気ボンベ7から、レギュレーター5により供給管10を
経て供給される空気と共に、二流体ノズル4の先端か
ら、セラミックスグリーン体3の表面に向けて噴出され
る。 Preparation of spray material The composition after firing and reduction should be as follows.
Weigh NiO powder and YSZ powder (however,
O powder only), and these were mixed using a planetary ball mill. After thorough mixing, molding with a uniaxial press,
Calcination was performed in the air at 200 ° C. for 5 hours. This was crushed to obtain a composite powder. This composite powder was put into an ethanol-toluene mixed solvent similar to that used in the production of the green body (concentration: ◯% by weight), and P.O.
V. 3.5 wt% of B was added to prepare a spray material. Formation of 40 vol% Ni-YSZ 70 vol% Ni-YSZ Ni cermet coating layer The spray materials shown in Table 1 were sequentially sprayed onto the surface of the ceramic green body. The spray process was carried out by the spray device shown in FIG. In the figure, 1 is a spray chamber having an opening 1A in the upper portion, 2 is a mounting table, 3 is a ceramic green body, 4 is a two-fluid nozzle, 5 is a regulator, 6 is a pump, 7 is an air cylinder, 8 is a spray material, 9 Is a spray material supply pipe, 10 is an air supply pipe, 11
Is a valve. The two-fluid nozzle 4 is inserted from the upper opening 1A of the spray chamber 1 and is located above the ceramic green body 3 on the mounting table 2. The spray material 8 is supplied to the two-fluid nozzle 4 via the supply pipe 9 by the pump 6, and the air supplied from the air cylinder 7 via the supply pipe 10 by the regulator 5 is also supplied from the tip of the two-fluid nozzle 4 to the ceramic green body. It is jetted toward the surface of No. 3.
【0023】[0023]
【表1】 [Table 1]
【0024】その後一晩放置して溶媒の自然乾燥を行っ
た後、電気炉に入れ、ゆっくりと1200℃まで昇温
し、バインダー、可塑剤溶媒等の脱脂及び仮焼を行っ
た。仮焼後、試料の反りを矯正するために荷重をかけな
がら1500℃で5時間大気中にて焼結を行った。次い
で、水素−窒素混合ガス中で1000℃にて1時間還元
処理することにより、形成された被覆層のNiOをNi
に還元してサーメット被覆層とした。Then, after allowing to stand overnight to naturally dry the solvent, it was placed in an electric furnace and slowly heated to 1200 ° C. to degrease and calcine the binder, plasticizer solvent and the like. After the calcination, sintering was performed in the atmosphere at 1500 ° C. for 5 hours while applying a load to correct the warpage of the sample. Then, a reduction treatment is performed in a hydrogen-nitrogen mixed gas at 1000 ° C. for 1 hour to convert NiO in the formed coating layer to Ni.
To give a cermet coating layer.
【0025】この結果、No.1では厚さ70μmの4
0体積%Ni−YSZサーメット被覆層が、No.2で
は厚さ40μmの70体積%Ni−YSZサーメット被
覆層が、No.3では厚さ70μmの40体積%Ni−
YSZサーメット層と厚さ40μmの70体積%Ni−
YSZサーメット層との2層被覆層が、No.4では厚
さ70μmの40体積%Ni−YSZサーメット層と、
厚さ40μmの70体積%Ni−YSZサーメット層
と、厚さ20μmのNi層との3層被覆層が得られた。
No.1〜4で得られた被覆層は、いずれも、高い付着
力を有し、1500℃までの熱処理でも剥離することが
ないことが確認された。As a result, no. 1 is 4 with a thickness of 70 μm
The 0% by volume Ni-YSZ cermet coating layer is No. In No. 2, a 70 volume% Ni-YSZ cermet coating layer having a thickness of 40 μm was formed in No. In No. 3, 40 volume% Ni- with a thickness of 70 μm
YSZ cermet layer and 70 volume% Ni with 40 μm thickness
The two-layer coating layer with the YSZ cermet layer is No. In No. 4, a 40 volume% Ni-YSZ cermet layer having a thickness of 70 μm,
A three-layer coating layer of a 70 volume% Ni-YSZ cermet layer having a thickness of 40 μm and a Ni layer having a thickness of 20 μm was obtained.
No. It was confirmed that all of the coating layers obtained in Nos. 1 to 4 had a high adhesive force and did not peel off even by heat treatment up to 1500 ° C.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のセラミック
ス基材の表面処理方法によれば、セラミックス基材表面
に、金属とのろう付接合等に有用なサーメット被覆層
を、高い付着力にて容易かつ効率的に、低コストに形成
することが可能とされる。As described in detail above, according to the surface treatment method for a ceramic base material of the present invention, a cermet coating layer useful for brazing with a metal or the like is formed on the surface of the ceramic base material with high adhesion. It is possible to easily, efficiently and inexpensively form.
【図1】第1図は実施例で用いたスプレー装置を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a spray device used in Examples.
1 スプレー室 3 セラミックスグリーン体 4 二流体ノズル 8 スプレー材 1 Spray chamber 3 Ceramic green body 4 Two-fluid nozzle 8 Spray material
Claims (2)
金属との複合材料の被覆層を形成する方法において、 未焼成のセラミックスグリーン体の表面に、セラミック
スと金属酸化物との複合材料の粉末を付着させた後焼成
し、形成された被覆層を還元処理することを特徴とする
セラミックス基材の表面処理方法。1. A method of forming a coating layer of a composite material of ceramics and a metal on the surface of a ceramic substrate, comprising depositing a powder of the composite material of a ceramic and a metal oxide on the surface of an unfired ceramic green body. A method for treating the surface of a ceramic base material, which comprises subjecting the formed coating layer to a reduction treatment after firing.
ーン体を構成するセラミックスを主成分とするものであ
り、該複合材料の粉末は、セラミックス粉体と金属酸化
物粉体とを混合して仮焼し、これを粉砕したものである
ことを特徴とする請求項1に記載のセラミックス基材の
表面処理方法。2. The ceramic of the composite material is mainly composed of the ceramic constituting the green body, and the powder of the composite material is a mixture of ceramic powder and metal oxide powder. The method for surface treatment of a ceramic substrate according to claim 1, wherein the surface treatment is performed by calcination and crushing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180806A JP2560930B2 (en) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | Surface treatment method for ceramics substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180806A JP2560930B2 (en) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | Surface treatment method for ceramics substrate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0524029A JPH0524029A (en) | 1993-02-02 |
| JP2560930B2 true JP2560930B2 (en) | 1996-12-04 |
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ID=16089678
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| JP3180806A Expired - Lifetime JP2560930B2 (en) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | Surface treatment method for ceramics substrate |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2560930B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111454064A (en) * | 2020-05-15 | 2020-07-28 | 昆山卡德姆新材料科技有限公司 | Composite ceramic filter and preparation method thereof |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3180806A patent/JP2560930B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0524029A (en) | 1993-02-02 |
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