JP2569637B2 - Suction cup - Google Patents
Suction cupInfo
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- JP2569637B2 JP2569637B2 JP62302161A JP30216187A JP2569637B2 JP 2569637 B2 JP2569637 B2 JP 2569637B2 JP 62302161 A JP62302161 A JP 62302161A JP 30216187 A JP30216187 A JP 30216187A JP 2569637 B2 JP2569637 B2 JP 2569637B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、スライシングマシン等により材料から切
り出されるワークを落下しないように吸着して保持する
吸着盤に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a suction disk that suctions and holds a work cut out of a material by a slicing machine or the like so as not to fall.
［従来の技術」 一般に、シリコンインゴット等の材料から薄板状のワ
ークを切り出す作業においては、切り出されたワークが
落下しないようにするために、ワークが材料から切り出
されるまでに、それを保持する必要性があり、このよう
なワークの保持には、ワークの厚さが薄くし、しかも傷
等を付けないようにするために、切り出されるワークを
吸着することにより保持する吸着盤が用いられている。[Prior Art] Generally, in a work of cutting a thin plate-shaped work from a material such as a silicon ingot, it is necessary to hold the work before the work is cut from the material in order to prevent the cut work from falling. In order to hold such a work, a suction plate that holds the cut work by suction is used to reduce the thickness of the work and prevent the work from being damaged. .
第４図ないし第９図は、この種の吸着盤を示す図であ
り、これらの図において符号１は吸着部を示す。この吸
着部１は直方体状のものであり、厚さ方向に直交する吸
着面２には円状の凹部３が４箇所に形成されている。こ
の凹部３の底部の中央部には、上記吸着部１を貫通する
雌ネジ４が形成されており、この雌ネジ４の後端部には
真空用ニップル５がねじ込まれている。また、上記吸着
盤の吸着部２の裏面には、ロッド６が固定されており、
このロッド６を図示しない駆動部により矢印Ａ・Ｂ方向
に移動させることにより、上記吸着盤がＡ・Ｂ方向に移
動するようになっている。FIGS. 4 to 9 are diagrams showing this type of suction disk, and in these figures, reference numeral 1 indicates a suction portion. The suction portion 1 has a rectangular parallelepiped shape, and four circular recesses 3 are formed on a suction surface 2 perpendicular to the thickness direction. A female screw 4 that penetrates the suction portion 1 is formed at the center of the bottom of the concave portion 3, and a vacuum nipple 5 is screwed into the rear end of the female screw 4. A rod 6 is fixed to the back surface of the suction unit 2 of the suction disk.
By moving the rod 6 in the directions of arrows A and B by a drive unit (not shown), the suction disk is moved in the directions of A and B.
上記構成の吸着盤は、吸着部１の吸着面２に、ワーク
６を上記凹部３を塞ぐようにして当接し、真空用ニップ
ル５から凹部３を真空引きすることにより、この凹部３
でワーク６を吸着するものである。In the suction disk having the above-described structure, the work 6 is brought into contact with the suction surface 2 of the suction portion 1 so as to cover the recess 3, and the recess 3 is evacuated from the vacuum nipple 5.
The work 6 is sucked.
次に、上記吸着盤を用いて、スライシングマシンによ
り材料から切り出されるワークを保持する場合について
第６図ないし第９図を参照して説明すると、まず、第６
図に示すように、上下方向に移動自在のテーブル７に固
定された材料８をテーブル７を上昇させることにより、
材料８に、内周に切刃を有するダイヤモンド砥石９を切
り込む。なお、上記材料８は、シリコニンゴット等の材
料部8aと、カーボンヘッド等の保護部8bとで構成されい
る。さらに第７図に示すように、テーブル７を上昇させ
ることによりダイヤモンド砥石９を材料８の材料部8aと
保護部8bとの境界付近まで切り込む。すると、第８図に
示すように、上記吸着盤が矢印Ａ方向に移動してきて、
吸着盤の吸着面２が材料８の端面に当接して吸着する。
その後、第９図に示すように、この吸着した状態でダイ
ヤモンド砥石９により材料８からワーク６が切り出され
ると、吸着盤が矢印Ｂ方向に移動してワーク６を落下さ
せることなく所定の位置まで搬送する。Next, a case where a work cut out from a material by a slicing machine is held by using the suction disk will be described with reference to FIGS. 6 to 9.
As shown in the figure, the material 8 fixed to the table 7 which is movable in the vertical direction is lifted by raising the table 7.
A diamond grindstone 9 having a cutting edge on the inner periphery is cut into the material 8. The material 8 includes a material portion 8a such as a silicon ingot and a protection portion 8b such as a carbon head. Further, as shown in FIG. 7, by raising the table 7, the diamond grindstone 9 is cut into the vicinity of the boundary between the material portion 8a of the material 8 and the protection portion 8b. Then, as shown in FIG. 8, the suction disk moves in the direction of arrow A,
The suction surface 2 of the suction plate comes into contact with the end face of the material 8 and is sucked.
Thereafter, as shown in FIG. 9, when the work 6 is cut out from the material 8 by the diamond grindstone 9 in the sucked state, the suction plate moves in the direction of arrow B to a predetermined position without dropping the work 6. Transport.
「発明が解決しようとする問題点」 ところで、上記の吸着盤においては、材料８の端面に
吸着盤の吸着面２を吸着させた後、さらに材料８にダイ
ヤモンド砥石９を切り込むため、このダイヤモンド砥石
９により材料８から切り出されるワーク６に切り込み方
向（下方）に力が加わり、ワーク６が切り込み方向に若
干たわむ。このため、このワーク６と吸着面２との間で
切り込み方向に滑りが生じてワーク６に傷が付いたり、
ワーク６が吸着盤から離脱してしまうという問題があっ
た。"Problems to be Solved by the Invention" Incidentally, in the above-mentioned suction disc, after the suction face 2 of the suction disc is adsorbed to the end face of the material 8, the diamond whetstone 9 is cut into the material 8 further. 9 applies a force in the cutting direction (downward) to the work 6 cut out from the material 8, and the work 6 slightly bends in the cutting direction. For this reason, slippage occurs in the cutting direction between the work 6 and the suction surface 2 to damage the work 6,
There is a problem that the work 6 separates from the suction plate.
「発明の目的」 この発明は、上記問題点を解消するためになされたも
のであり、ワークと吸着盤との間の滑りを防止すること
により、ワークに傷が付くことなく、かつワークが離脱
することのない吸着盤を提供することを目的としてい
る。[Purpose of the Invention] The present invention has been made to solve the above problems, and prevents slippage between a work and a suction disk so that the work is not damaged and the work is separated. It is an object of the present invention to provide a suction cup that does not need to be used.
「問題点を解決するための手段」 この発明は、吸着部と取付部との間に、該吸着部によ
る吸着方向に直交する移動方向に上記吸着部を移動可能
に支持する板バネを、上記移動方向に横切るように設け
たものである。"Means for Solving the Problems" The present invention provides a leaf spring between a suction portion and a mounting portion, which movably supports the suction portion in a movement direction orthogonal to a suction direction by the suction portion, It is provided so as to cross in the movement direction.
「実施例」 第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示す図で
あり、これらの図において第４図および第５図に示す構
成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説
明を省略する。"Embodiment" Figs. 1 to 3 show one embodiment of the present invention. In these figures, the same elements as those shown in Figs. 4 and 5 are denoted by the same reference numerals. , The description of which is omitted.
第１図ないし第３図に示す吸着盤が、第４図および第
５図に示す吸着盤と異なる点は、吸着部１を取付部20に
板バネ21,21を介して取り付けて、上下方向に移動可能
に支持した点である。The suction cup shown in FIGS. 1 to 3 is different from the suction cup shown in FIGS. 4 and 5 in that the suction part 1 is attached to a mounting part 20 via leaf springs 21 and 21 and the vertical direction. This is a point that is movably supported.
すなわち、上記取付部20は、断面略コ字状のものであ
り、その内部に上記吸着部１が位置するようになってい
る。この取付部20の第１図に示す上部内壁面の左側部に
は、上記板バネ21を固定するための凸部22aが形成され
ており、下部内壁面の右側部には、板バネ21を固定する
ための凸部22bが形成されている。また、上記吸着部１
の吸着面２に直交する上側面の右側部には上記板バネ21
を固定するための凸部23aが形成されており、下側面の
左側部には、板バネ21を固定するための凸部23bが形成
されている。そして板バネ21,21のそれぞれの両端部
は、それぞれ上記凸部22a,23a、および22b,23bにネジ24
により固定されている。これにより、上記吸着部１は、
取付部20に板バネ21,21を介して上下方向に移動可能に
支持されているのである。すなわち、吸着部１は、当該
吸着部１による吸着方向に直交する上下方向に移動可能
に支持されているのであり、この吸着部１を支持する上
記板バネ21,21は、この移動方向（上下方向）を横切る
ように設けられているのである。That is, the mounting section 20 has a substantially U-shaped cross section, and the suction section 1 is located inside the mounting section 20. A protrusion 22a for fixing the leaf spring 21 is formed on the left side of the upper inner wall surface shown in FIG. 1 of the mounting portion 20, and the leaf spring 21 is formed on the right side of the lower inner wall surface. A convex portion 22b for fixing is formed. Further, the suction unit 1
On the right side of the upper surface orthogonal to the suction surface 2 of the
A protrusion 23a for fixing the leaf spring 21 is formed on the left side of the lower surface. Both ends of each of the leaf springs 21 and 21 are screwed into the above-mentioned projections 22a and 23a and 22b and 23b, respectively.
It is fixed by. As a result, the suction unit 1
It is supported by the mounting part 20 via leaf springs 21 and 21 so as to be movable in the vertical direction. That is, the suction unit 1 is supported so as to be movable in the vertical direction perpendicular to the suction direction of the suction unit 1, and the leaf springs 21 supporting the suction unit 1 are moved in the moving direction (up and down). Direction).
また、上記吸着盤の取付部20の下端部には、ロッド25
が固定されており、このロッド25を図示しない駆動部に
より矢印Ａ・Ｂ方向に移動させることにより上記吸着盤
がＡ・Ｂ方向に移動するようになっている。A rod 25 is attached to the lower end of the mounting portion 20 of the suction cup.
Is fixed, and when the rod 25 is moved in the directions of arrows A and B by a driving unit (not shown), the suction disk is moved in the directions of A and B.
次に、上記構成の吸着盤を用いて、スライシングマシ
ンにより材料から切り出されるワークを保持する場合に
ついて説明すると、第６図ないし第９図に示したと同様
に、まずテーブル７を上昇させることによりダイヤモン
ド砥石９を材料８の材料部8aと保護部8bとの境界付近ま
で切り込む。すると、上記吸着盤が矢印Ａ方向に移動し
てきてその吸着部１の吸着面２が材料８の端面に当接し
て吸着する。そして、さらにダイヤモンド砥石９を切り
込む。すると、第３図に示すように、このダイヤモンド
砥石９により材料８から切り出されるワーク６に下方に
力が加わり、このワーク６が下方に若干たわみ、吸着部
１の吸着面２上を滑ろうとするが、吸着部１が板バネ2
1,21により上下方向に移動可能にされているので、ワー
ク６が吸着面２上を滑らずに吸着部１自体が下方に移動
する。また、上記ダイヤモンド砥石９による振動等を板
バネ21,21が吸着して、この振動等によるワーク６と吸
着面２との間の滑りを防止している。このことにより、
ワーク６は吸着面２上を滑ることなく材料８から切り出
される。その後、吸着盤が矢印Ｂ方向に移動してワーク
６を落下させることなく所定の位置まで搬送する。Next, a description will be given of a case where a work cut out of a material is held by a slicing machine using the suction disk having the above-described configuration. As shown in FIGS. 6 to 9, the table 7 is first raised to raise the diamond. The grinding stone 9 is cut to the vicinity of the boundary between the material portion 8a of the material 8 and the protection portion 8b. Then, the suction disk moves in the direction of arrow A, and the suction surface 2 of the suction portion 1 comes into contact with the end surface of the material 8 and sucks. Then, the diamond grinding stone 9 is further cut. Then, as shown in FIG. 3, a force is applied downward to the work 6 cut out of the material 8 by the diamond grindstone 9, and the work 6 slightly bends downward and tries to slide on the suction surface 2 of the suction unit 1. But the suction part 1 is a leaf spring 2
Since the workpiece 6 can be moved in the vertical direction by the reference numerals 21 and 21, the suction portion 1 itself moves downward without the work 6 slipping on the suction surface 2. In addition, the leaf springs 21 and 21 absorb the vibration and the like caused by the diamond grindstone 9 to prevent slippage between the work 6 and the suction surface 2 due to the vibration and the like. This allows
The work 6 is cut out of the material 8 without slipping on the suction surface 2. Thereafter, the suction plate moves in the direction of arrow B to transport the work 6 to a predetermined position without dropping.
このように、本実施例の吸着盤によれば、ワーク６と
吸着面２との間にすべりを生じさせることなくワーク６
を吸着することができ、ワーク６に傷が付いたり、ワー
ク６が吸着盤から離脱したりしてしまうような事態を防
止することができる。また、吸着部１は、その移動方向
を横切るように延びる板バネ21,21によって取付部20に
支持されているので、吸着部１と取付部20との間の間隔
が小さい場合であっても、板バネ21,21を設けたために
吸着部１の移動量が制限されてしまうような事態を避け
ることができる。言い換えると、本実施例によれば、吸
着部１に十分な移動量を確保してワーク６の動きに吸着
部を円滑かつ確実に追従させ、その滑りをさらに効果的
に防止しながらも、よりコンパクトな吸着盤を提供する
ことが可能となる。As described above, according to the suction board of the present embodiment, the work 6 is prevented from slipping between the work 6 and the suction surface 2.
Can be adsorbed, and it is possible to prevent a situation in which the work 6 is damaged or the work 6 is detached from the suction plate. Further, since the suction portion 1 is supported by the mounting portion 20 by the leaf springs 21 and 21 extending across the moving direction, even when the distance between the suction portion 1 and the mounting portion 20 is small. In addition, it is possible to avoid a situation in which the movement of the suction unit 1 is limited due to the provision of the leaf springs 21 and 21. In other words, according to the present embodiment, a sufficient amount of movement is secured to the suction unit 1 so that the suction unit smoothly and surely follows the movement of the work 6, and the slip can be more effectively prevented, It is possible to provide a compact suction disk.
なお、上記実施例では、吸着部１が上下方向に移動可
能な板バネ21だけを設けたが、ワーク６にはダイヤモン
ド砥石９の回転により、第１図に示す矢印Ｃ・Ｄ方向に
も力が加わるので、吸着部１を矢印Ｃ・Ｄ方向にも移動
可能にするような板バネ、上記板バネ21,21と同時に設
けてもよい。In the above embodiment, only the leaf spring 21 in which the suction unit 1 can move in the vertical direction is provided. However, the rotation of the diamond grindstone 9 exerts a force on the work 6 in the directions of arrows C and D shown in FIG. Therefore, a leaf spring that enables the suction unit 1 to move in the directions of arrows C and D may be provided simultaneously with the leaf springs 21 and 21.
「発明の効果」 以上説明したように、上記吸着盤によれば、吸着部と
取付部との間に、該吸着部による吸着方向に直交する移
動方向に上記吸着部を移動可能に支持する板バネを、上
記移動方向に横切るように設けており、例えばスライシ
ングマシン等においてワークが切り出される際に上記吸
着部によりワークを吸着し、かつ上記板バネにより吸着
部を、その吸着方向と直交する切り込み方向と同方向に
移動可能にしたので、ワークと吸着部との間の滑りを防
止することができる。よって、ワークに傷等が付くのを
防止することができ、しかもワークの吸着部からの離脱
を防止することができるという効果が得られる。しか
も、上記板バネが、吸着部の移動方向を横切る方向に設
けられているので、吸着部と取付部との間の間隔が小さ
くても、吸着部に十分な移動量を確保して円滑かつ確実
にワークの動きに吸着部を追従させることができ、ワー
クと吸着部との滑りをより効果的に防止しつつ、当該吸
着盤のコンパクト化を図ることが可能となる。[Effects of the Invention] As described above, according to the suction disk, a plate that supports the suction unit movably between the suction unit and the mounting unit in a movement direction orthogonal to the suction direction of the suction unit. A spring is provided so as to traverse in the moving direction. For example, when the work is cut out by a slicing machine or the like, the work is suctioned by the suction portion, and the suction portion is cut by the leaf spring at right angles to the suction direction. Since it is possible to move in the same direction as the direction, slippage between the work and the suction part can be prevented. Therefore, it is possible to prevent the work from being damaged or the like, and to prevent the work from coming off the suction portion. In addition, since the leaf spring is provided in a direction crossing the moving direction of the suction unit, even if the distance between the suction unit and the mounting unit is small, a sufficient amount of movement can be ensured in the suction unit and smooth. The suction portion can reliably follow the movement of the work, and the suction disk can be made more compact while effectively preventing slippage between the work and the suction portion.
第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示す図であ
り、第１図は吸着盤の正面図、第２図は第１図における
II−II線視断面図、第３図は吸着盤の作用を説明するた
めの側面図、第４図ないし第９図は従来の吸着盤の一例
を示す図であり、第４図は吸着盤の正面図、第５図は第
４図におけるＶ−Ｖ線視断面図、第６図ないし第９図は
吸着盤の作用を説明するための概略図である。 １……吸着部、20……取付部、 21…板バネ。1 to 3 are views showing an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a front view of a suction disk, and FIG. 2 is a view in FIG.
FIG. 3 is a side view for explaining the operation of the suction disk, FIGS. 4 to 9 are views showing an example of a conventional suction disk, and FIG. 4 is a suction disk. 5 is a sectional view taken along the line VV in FIG. 4, and FIGS. 6 to 9 are schematic views for explaining the operation of the suction cup. 1 ... suction part, 20 ... mounting part, 21 ... leaf spring.
Claims (1)
吸着方向に直交する移動方向に上記吸着部を移動可能に
支持する板バネを、上記移動方向を横切るように設けて
なることを特徴とする吸着盤。1. A leaf spring for movably supporting the suction portion in a movement direction orthogonal to a suction direction by the suction portion is provided between the suction portion and the mounting portion so as to cross the movement direction. A suction disk characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62302161A JP2569637B2 (en) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Suction cup |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62302161A JP2569637B2 (en) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Suction cup |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141704A JPH01141704A (en) | 1989-06-02 |
| JP2569637B2 true JP2569637B2 (en) | 1997-01-08 |
Family
ID=17905653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62302161A Expired - Lifetime JP2569637B2 (en) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Suction cup |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117086473B (en) * | 2023-04-22 | 2026-04-14 | 杭州银湖激光科技有限公司 | Laser cutting method and device for large-size cultivation of diamond material |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766542U (en) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 | ||
| JPS6233313Y2 (en) * | 1981-03-02 | 1987-08-26 | ||
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-
1987
- 1987-11-30 JP JP62302161A patent/JP2569637B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH01141704A (en) | 1989-06-02 |
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