JP2581256B2 - Method for fixing optical waveguide device - Google Patents
Method for fixing optical waveguide deviceInfo
- Publication number
- JP2581256B2 JP2581256B2 JP2102590A JP10259090A JP2581256B2 JP 2581256 B2 JP2581256 B2 JP 2581256B2 JP 2102590 A JP2102590 A JP 2102590A JP 10259090 A JP10259090 A JP 10259090A JP 2581256 B2 JP2581256 B2 JP 2581256B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- waveguide device
- optical
- housing
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 光通信システム等の光回路構成部品における光導波路
デバイスの筺体に対する固定方法に関し、 固定時における光導波路デバイスの特性変化をなくし
て生産性の向上を図ることを目的とし、 強誘電体結晶からなる光導波路デバイスの筺体に対す
る固定方法であって、前記光導波路デバイスを、該光導
波路デバイスの裏面の1箇所の微小領域のみで筺体の所
定位置に接続固定して構成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] The present invention relates to a method for fixing an optical waveguide device to a housing in an optical circuit component such as an optical communication system, and to improve the productivity by eliminating the characteristic change of the optical waveguide device during fixing. A method of fixing an optical waveguide device made of a ferroelectric crystal to a housing, wherein the optical waveguide device is connected and fixed to a predetermined position of the housing only at one small area on the back surface of the optical waveguide device. It is composed.
本発明は光通信システム等の光回路構成部品に係り、
特に光導波路デバイスを筺体に固定する際に発生する該
光導波路デバイスの特性変化をなくすことで生産性の向
上を図った光導波路デバイスの固定方法に関する。The present invention relates to optical circuit components such as optical communication systems,
In particular, the present invention relates to a method for fixing an optical waveguide device that improves productivity by eliminating a change in characteristics of the optical waveguide device that occurs when the optical waveguide device is fixed to a housing.
光通信技術の進展につれて各種機能を持つ光回路構成
部品が求められているが、これらの光回路構成部品は通
常各種機能を持つ光導波路デバイスを筺体に固定して構
成している。With the development of optical communication technology, optical circuit components having various functions are required, and these optical circuit components are usually configured by fixing an optical waveguide device having various functions to a housing.
しかし、光導波路デバイスを筺体に固定する際に両者
の熱膨張係数の差等によって該光導波路デバイスに内部
応力が発生し、光導波路デバイスとしての特性が変化す
ることからその解決が強く望まれている。However, when the optical waveguide device is fixed to the housing, internal stress is generated in the optical waveguide device due to a difference in thermal expansion coefficient between the two and the like, and the characteristics as the optical waveguide device are changed. I have.
一般に光回路構成部品は、通常各種機能を持つ光導波
路デバイスを箱形筺体の所定位置に固定した後、該デバ
イスの入出力用光導波路端面に光信号伝送用の光ファイ
バを接続して構成するようにしている。Generally, an optical circuit component is configured by fixing an optical waveguide device having various functions at a predetermined position of a box-shaped housing and then connecting an optical fiber for transmitting an optical signal to an input / output optical waveguide end face of the device. Like that.
第3図は従来の光回路構成部品の構成例を示す図であ
り、(1)は斜視断面図,(2)は光導波路デバイス部
分を示す拡大図である。FIG. 3 is a view showing a configuration example of a conventional optical circuit component, where (1) is a perspective sectional view and (2) is an enlarged view showing an optical waveguide device portion.
完成状態を示す第3図(1),(2)で、ステンレス
等からなる箱形の筺体1の内側底部所定位置には四角状
に突出するステージ1aが形成されており、該ステージ1a
上には強誘電体結晶“例えばリチウム・ナイオベート
(LiNbO3)”からなる光導波路基板(以下単に基板とす
る)2aの表面にパターン形成されたチタン(Ti)を拡散
して構成した光変調器(図では省略されている)と該光
変調器に繋がる光導波路2bとが形成されている光導波路
デバイス2が例えば導電接着剤3を介して固定されてい
る。In FIGS. 3 (1) and 3 (2) showing the completed state, a square-shaped projecting stage 1a is formed at a predetermined position on the inner bottom of a box-shaped housing 1 made of stainless steel or the like.
An optical modulator formed by diffusing titanium (Ti) patterned on the surface of an optical waveguide substrate (hereinafter simply referred to as a substrate) 2a made of a ferroelectric crystal such as lithium niobate (LiNbO 3 ). An optical waveguide device 2 in which an optical waveguide 2b (not shown in the drawing) and an optical waveguide 2b connected to the optical modulator are formed is fixed via a conductive adhesive 3, for example.
特に該光導波路デバイス2の上記光変調器に繋がる光
導波路2bは、該光変調器を挟む両側の基板2aの各端面に
ほぼ半円形に露出するようになっている。なお該光導波
路デバイス2の上記変調器と光導波路の形成面側の全面
には更にバッファ層が披着形成されているが、本図では
理解し易くするために図示していない。In particular, the optical waveguide 2b of the optical waveguide device 2 connected to the optical modulator is exposed in a substantially semicircular shape on each end face of the substrate 2a on both sides of the optical modulator. A buffer layer is further formed on the entire surface of the optical waveguide device 2 on the side where the modulator and the optical waveguide are formed, but is not shown in the drawing for easy understanding.
また、該光導波路デバイス2の上記各光導波路が露出
する端面と平行する筺体1の各壁面には、上記各光導波
路と対応する位置に貫通孔1bが形成されており、更に該
貫通孔1bには表面がビニールチューブ4で被覆された光
ファイバ5が挿入固定されている。Further, a through hole 1b is formed at a position corresponding to each of the optical waveguides on each wall surface of the housing 1 which is parallel to an end surface of the optical waveguide device 2 where the respective optical waveguides are exposed. An optical fiber 5 whose surface is covered with a vinyl tube 4 is inserted into and fixed to.
そして上記各光ファイバ5の光導波路デバイス2側の
端部は、円内図(1−1)のように該光ファイバ5のコ
ア5aが上記光導波路2bの露出する半円状端面とほぼ同軸
になるように接合されている。The end of each optical fiber 5 on the optical waveguide device 2 side is substantially coaxial with the semicircular end face where the core 5a of the optical fiber 5 is exposed as shown in FIG. It is joined so that it becomes.
なお図の6は上記筺体1のカバーである。 Reference numeral 6 in the figure is a cover of the housing 1.
かかる構成になる光回路構成部品は、先ず筺体1のス
テージ1a面に導電接着剤3を塗布した後上記の光導波路
デバイス2をその光導波路形成面が露出するように載置
した状態で通常120℃程度の温度で両者を接着固定し、
更に上記二箇所の各貫通孔1bに外部からビニールチュー
ブ4で被覆された孔ファイバ4を挿入固定し該孔ファイ
バ4の端部を上記光導波路デバイス2の光導波路2bの半
円状露出端面に合致させて接着することで構成するよう
にしている。An optical circuit component having such a configuration is generally prepared by applying a conductive adhesive 3 to the stage 1a surface of the housing 1 and then placing the optical waveguide device 2 on the stage 1a so that the optical waveguide forming surface is exposed. Adhesively fix both at a temperature of about ℃,
Further, a hole fiber 4 covered with a vinyl tube 4 is inserted and fixed from the outside into each of the two through holes 1b, and the end of the hole fiber 4 is placed on the semicircular exposed end surface of the optical waveguide 2b of the optical waveguide device 2. They are configured by matching and bonding.
しかし、光導波路デバイス2を筺体1に固定するのに
上述した如く120℃程度に加熱しなければならないが、
筺体1のステージ1aと光導波路デバイス2の裏面とが導
電接着剤3を介して面接触した状態で接着されるため温
度変化や筺体1と光導波路デバイス2との間の熱膨張係
数の差等によって光導波路デバイス2に局部的な内部応
力が発生し、結果的に該光導波路デバイス2に部分的な
歪が生ずる。However, in order to fix the optical waveguide device 2 to the housing 1, it is necessary to heat to about 120 ° C. as described above.
Since the stage 1a of the housing 1 and the back surface of the optical waveguide device 2 are bonded in a state of being in surface contact with each other via the conductive adhesive 3, a temperature change, a difference in the thermal expansion coefficient between the housing 1 and the optical waveguide device 2, and the like. As a result, a local internal stress is generated in the optical waveguide device 2, and as a result, a partial distortion is generated in the optical waveguide device 2.
特にこの場合の歪は、上記基板2aが強誘電体結晶“図
ではリチウム・ナイオベート(LiNbO3)”からなってい
るため圧電効果や光弾性効果によって光変調器部分や光
導波路2b部分の屈折率を部分的に変えることになり、結
果的に光導波路デバイス2としての特性の変化を誘起す
る。In particular, the strain in this case is caused by the refractive index of the optical modulator portion and the optical waveguide 2b portion due to the piezoelectric effect and the photoelastic effect because the substrate 2a is made of a ferroelectric crystal “lithium niobate (LiNbO 3 ) in the figure”. Is partially changed, and as a result, a change in characteristics as the optical waveguide device 2 is induced.
例えば、該光導波路デバイス2に形成されている光変
調器が光導波路分岐して形成するマッハツェンダ型変調
器等の場合には、部分的な屈折率の変化が動作点のシフ
トを誘起する等である。For example, in the case where the optical modulator formed in the optical waveguide device 2 is a Mach-Zehnder type modulator formed by branching the optical waveguide, a change in a partial refractive index induces a shift of an operating point. is there.
他方上述した導電接着剤に代えて、ステージ1a面と光
導波路デバイス2の固定面とのそれぞれに例えば金(A
u)蒸着膜等を披着形成した後半田付け作業で両者を固
定する方法もあるが、この場合でも低融点半田を使用し
ても半田接続温度が115℃程度になるため上記導電接着
剤3を使用した場合と同等の結果をもたらすことにな
る。On the other hand, instead of the above-described conductive adhesive, for example, gold (A
u) There is also a method of fixing the both by soldering after depositing a deposited film or the like, but even in this case, even if a low melting point solder is used, the solder connection temperature is about 115 ° C. Will have the same result as using.
従って、単体時の光導波路デバイス2を如何に精度よ
く且つ特性的に安定するように形成しても、光回路構成
部品としての特性が変化することから生産性の向上を期
待することができない欠点がある。Therefore, no matter how accurate and characteristically the optical waveguide device 2 is formed as a single unit, the characteristics as optical circuit components change, so that an improvement in productivity cannot be expected. There is.
従来の光導波路デバイスの固定方法では、筺体のステ
ージ面と光導波路デバイスの裏面とを接触させた状態で
固定しているため、光導波路デバイスに部分的な歪が生
じて光導波路デバイスとしての特性が変化すると言う問
題があった。In the conventional method of fixing an optical waveguide device, since the stage surface of the housing and the back surface of the optical waveguide device are fixed in contact with each other, partial distortion occurs in the optical waveguide device, and characteristics as the optical waveguide device are generated. Had the problem of changing.
上記問題点は、光導波路デバイスの筺体に対する固定
方法であって、前記光導波路デバイスを、該光導波路デ
バイスの裏面で1個所の該光導波路デバイスに比較して
微小領域のみで筺体の所定位置に接続固定する光導波路
デバイスの固定方法によって解決される。The above problem is a method of fixing the optical waveguide device to the housing, wherein the optical waveguide device is located at a predetermined position of the housing only in a small area as compared with one optical waveguide device on the back surface of the optical waveguide device. The problem is solved by a method for fixing an optical waveguide device to be connected and fixed.
筺体のステージ面と光導波路デバイスの裏面との固定
領域を点(ポイント)のように小さい微小領域にする
と、光導波路デバイスに発生する内部応力をなくすこと
ができて光導波路デバイスとしての特性の変化を抑制す
ることができる。When the fixed area between the stage surface of the housing and the back surface of the optical waveguide device is a small area such as a point, the internal stress generated in the optical waveguide device can be eliminated, and the characteristics of the optical waveguide device change. Can be suppressed.
本発明では、筺体のステージ面に1箇所の突起や微小
な固定領域を設けることで筺体のステージ面と光導波路
デバイスの裏面との固定領域を1箇所の微小領域化する
ようにしている。According to the present invention, one projection or a minute fixing region is provided on the stage surface of the housing, so that the fixing region between the stage surface of the housing and the back surface of the optical waveguide device is reduced to one minute region.
従って、筺体との固定時における光導波路デバイスの
特性変化をなくすことができる。Therefore, it is possible to eliminate a change in the characteristics of the optical waveguide device when the optical waveguide device is fixed to the housing.
第1図は本発明になる光導波路デバイスの固定方法を
説明する図であり、第2図は他の実施例を示す図であ
る。FIG. 1 is a view for explaining a method of fixing an optical waveguide device according to the present invention, and FIG. 2 is a view showing another embodiment.
第3図同様の完成状態を示す第1図で、ステンレス等
からなる箱形の筺体11の内側底部所定位置に角状に突出
して設けられたステージ11aのほぼ中央部には突起11bが
形成されており、該突起11b上には第3図で説明した光
導波路デバイス2が導電接着剤3で固定されている。FIG. 1 shows a completed state similar to FIG. 3, and a projection 11b is formed at a substantially central portion of a stage 11a provided at a predetermined position on the inner bottom of a box-shaped housing 11 made of stainless steel or the like. The optical waveguide device 2 described with reference to FIG. 3 is fixed on the protrusion 11b with the conductive adhesive 3.
また、該光導波路デバイス2の上記各光導波路が露出
する端面と平行する筺体11の各壁面には、上記各光導波
路と対応する位置に貫通孔11cが形成されており、更に
該貫通孔11bには表面がビニールチューブ4で被覆され
た第3図同様の光ファイバ5が挿入固定されている。Further, a through hole 11c is formed at a position corresponding to each of the optical waveguides on each wall surface of the housing 11 which is parallel to an end face of the optical waveguide device 2 where the respective optical waveguides are exposed. An optical fiber 5 whose surface is covered with a vinyl tube 4 as shown in FIG.
そして上記各光ファイバ5の光導波路デバイス2側の
端部は、該光ファイバ5のコアが上記光導波路2bの露出
する半円状端面とほぼ同軸になるように接合されている
ことは第3図で説明した通りである。The end of each of the optical fibers 5 on the optical waveguide device 2 side is bonded such that the core of the optical fiber 5 is substantially coaxial with the exposed semicircular end surface of the optical waveguide 2b. As described in the figure.
なお図の12は上記筺体11のカバーである。 Reference numeral 12 in the figure is a cover of the housing 11.
かかる構成になる場合では、先ず筺体11の突起11bの
部分に導電接着剤3を塗布した後上記の光導波路デバイ
ス2をその光導波路形成面が露出するように載置し、図
示されない治具で該光導波路デバイス2を保持したまま
120℃程度の温度で両者を接着固定し、更に第3図で説
明したように上記二箇所の各貫通孔11bに外部から挿入
固定した光ファイバ5の端部を上記光導波路デバイス2
の光導波路2bの半円状露出端面に合致させて接着し上記
治具を取り外すことで所要の光回路構成部品を構成する
ことができる。In such a configuration, first, the conductive adhesive 3 is applied to the protrusions 11b of the housing 11, and then the optical waveguide device 2 is placed so that the optical waveguide forming surface is exposed, and a jig (not shown) is used. While holding the optical waveguide device 2
At a temperature of about 120 ° C., the two are bonded and fixed, and as described in FIG. 3, the end of the optical fiber 5 inserted and fixed from the outside into each of the two through holes 11b is connected to the optical waveguide device 2.
A desired optical circuit component can be formed by removing the above jig by bonding it to the semicircular exposed end face of the optical waveguide 2b.
特にこの場合には、上記光導波路デバイス2と筺体11
のステージ11aとは突起11bの部分で固定されているた
め、温度変化や筺体11と光導波路デバイス2との間に熱
膨張係数の差があっても光導波路デバイス2に局部的な
内部応力が発生することがなく、結果的に光導波路デバ
イス2としての特性を変化させることがない。Particularly in this case, the optical waveguide device 2 and the housing 11
Stage 11a is fixed at the projection 11b, so that even if there is a temperature change or a difference in the coefficient of thermal expansion between the housing 11 and the optical waveguide device 2, local internal stress is applied to the optical waveguide device 2. This does not occur, and as a result, the characteristics of the optical waveguide device 2 are not changed.
なお、該光導波路デバイス2に形成されている光変調
器が第3図で説明したマッハツェンダ型変調器等の場合
でも部分的な屈折率の変化が生じないことから動作点が
シフトすることがなく特性的に安定した状態で該光導波
路デバイス2を筺体11に固定することができる。Even when the optical modulator formed in the optical waveguide device 2 is the Mach-Zehnder modulator or the like described in FIG. 3, the operating point does not shift because there is no partial change in the refractive index. The optical waveguide device 2 can be fixed to the housing 11 in a characteristically stable state.
更に、上述した導電接着剤に代えて突起11bと光導波
路デバイス2の固定面とのそれぞれに金(Au)蒸着膜等
を披着形成した後半田付け作業で両者を固定する場合で
も上記導電接着剤3を使用した場合と同等の効果を得る
ことができる。Further, even when a gold (Au) vapor-deposited film or the like is formed on each of the projection 11b and the fixing surface of the optical waveguide device 2 instead of the above-described conductive adhesive, and then both are fixed by soldering, the above-mentioned conductive bonding is also used. The same effect as when the agent 3 is used can be obtained.
他の実施例を示す第2図は第3図におけるステージ1a
を中心部と外周部を除いて同心状の溝を形成したもので
あり、他の構成は第3図および第1図と同様である。FIG. 2 showing another embodiment is a stage 1a in FIG.
Are formed with concentric grooves except for the central portion and the outer peripheral portion, and other configurations are the same as those in FIG. 3 and FIG.
第2図で筺体13は、ステンレス等からなる箱形の筺体
11の内側底部所定位置に角状に突出して設けられたステ
ージ13aのほぼ中央部13bと外周部13cを除く領域に同心
状の角型溝13dを形成したものである。In FIG. 2, a housing 13 is a box-shaped housing made of stainless steel or the like.
A concentric square groove 13d is formed in a region excluding a substantially central portion 13b and an outer peripheral portion 13c of a stage 13a provided at a predetermined position on an inner bottom portion of the stage 11 so as to protrude.
かかる構成では、先ず筺体13のステージ13aの中心部1
3b部分に導電接着剤3を塗布した後上記の光導波路デバ
イス2を第1図同様に載置したまま120℃程度で加熱す
ることで両者を接着固定することができる。In such a configuration, first, the central portion 1 of the stage 13a of the housing 13 is
After applying the conductive adhesive 3 to the portion 3b, the optical waveguide device 2 is heated at about 120 ° C. with the optical waveguide device 2 mounted thereon as in FIG.
そこで第1図で説明したように筺体13に設けてある二
箇所の各貫通孔13eに外部から光ファイバ5を挿入固定
し該光ファイバ5の端部を上記光導波路デバイス2の上
述した所定位置に合致させて接着することで所要の光回
路構成部品を構成することができる。Therefore, as described with reference to FIG. 1, the optical fiber 5 is inserted and fixed from the outside into each of the two through holes 13e provided in the housing 13, and the end of the optical fiber 5 is positioned at the above-mentioned predetermined position of the optical waveguide device 2. The required optical circuit components can be formed by bonding the components in accordance with the above.
この場合には、上記光導波路デバイス2と筺体13のス
テージ13aとが中心部13bの部分のみで固定されるため、
温度変化や筺体13と光導波路デバイス2との間に熱膨張
係数の差があっても光導波路デバイス2に局部的な内部
応力が発生することがなく、第1図の場合と同様に光導
波路デバイス2としての特性を変化させることがない。In this case, since the optical waveguide device 2 and the stage 13a of the housing 13 are fixed only at the central portion 13b,
Even if there is a temperature change or a difference in the coefficient of thermal expansion between the housing 13 and the optical waveguide device 2, local internal stress does not occur in the optical waveguide device 2, and the optical waveguide is similar to the case of FIG. The characteristics of the device 2 are not changed.
更に、ステージ13aの中心部13bと光導波路デバイス2
の固定面とのそれぞれに金(Au)蒸着膜等を被着形成し
た後半田付け作業で両者を固定する場合でも、同等の効
果を得ることができる。Further, the central portion 13b of the stage 13a and the optical waveguide device 2
Even if a gold (Au) vapor-deposited film or the like is formed on each of the fixing surfaces and then both are fixed by soldering, the same effect can be obtained.
上述の如く本発明により、光導波路デバイスを筺体に
固定する際に発生する該光導波路デバイスの特性変化を
なくすことで生産性の向上を図った光導波路デバイスの
固定方法を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for fixing an optical waveguide device in which productivity is improved by eliminating a change in characteristics of the optical waveguide device that occurs when the optical waveguide device is fixed to a housing.
なお本発明の説明に当たっては基板にリチウム・ナイ
オベイト(LiNbO3)を使用した場合について行っている
が、該基板がリチウム・タンタレート(LiTaO3)の如き
他の強誘電体結晶からなる光導波路基板の場合でも同等
の効果を得ることができる。Although the In description of the present invention are performed when using lithium Naiobeito (LiNbO 3) substrate, the substrate is an optical waveguide substrate made of another ferroelectric crystal such as lithium tantalate (LiTaO 3) Even in this case, the same effect can be obtained.
第1図は本発明になる光導波路デバイスの固定方法を説
明する図、 第2図は他の実施例を示す図、 第3図は従来の光回路構成部品の構成例を示す図、 である。 図において、 2は光導波路デバイス、2aは光導波路基板、 3は導電接着剤、4はビニールチューブ、 5は光ファイバ、 11,13は筺体、11a,13aはステージ、 11bは突起、11c,13eは貫通孔、 12はカバー、13bは中心部、 13cは角形溝、13dは外周部、 をそれぞれ表わす。FIG. 1 is a diagram for explaining a method of fixing an optical waveguide device according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing another embodiment, and FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of a conventional optical circuit component. . In the figure, 2 is an optical waveguide device, 2a is an optical waveguide substrate, 3 is a conductive adhesive, 4 is a vinyl tube, 5 is an optical fiber, 11 and 13 are housings, 11a and 13a are stages, 11b is a protrusion, 11c and 13e. Represents a through hole, 12 represents a cover, 13b represents a central portion, 13c represents a rectangular groove, and 13d represents an outer peripheral portion.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 嘉伸 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−205617(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yoshinobu Kubota 1015 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Fujitsu Limited (56) References JP-A-63-205617 (JP, A)
Claims (1)
であって、 前記光導波路デバイスを、該光導波路デバイスの裏面で
1個所の該光導波路デバイスに比較して微小領域のみで
筺体の所定位置に接続固定することを特徴とした光導波
路デバイスの固定方法。1. A method for fixing an optical waveguide device to a housing, wherein the optical waveguide device is located at a predetermined position of the housing only in a small area as compared with one optical waveguide device on the back surface of the optical waveguide device. A method for fixing an optical waveguide device, comprising fixing and connecting.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102590A JP2581256B2 (en) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | Method for fixing optical waveguide device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102590A JP2581256B2 (en) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | Method for fixing optical waveguide device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041604A JPH041604A (en) | 1992-01-07 |
| JP2581256B2 true JP2581256B2 (en) | 1997-02-12 |
Family
ID=14331450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102590A Expired - Fee Related JP2581256B2 (en) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | Method for fixing optical waveguide device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2581256B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8545111B2 (en) | 2007-06-28 | 2013-10-01 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical module |
| JP2013125217A (en) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Anritsu Corp | Optical modulator |
| JP6107331B2 (en) * | 2013-03-29 | 2017-04-05 | 住友大阪セメント株式会社 | Optical waveguide device |
| JP2016092088A (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | ファイベスト株式会社 | Optical module |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114295A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Hitachi Ltd | Gas concentration detector |
| JPS593531U (en) * | 1982-06-30 | 1984-01-11 | 日本電気株式会社 | Semiconductor substrate support board |
| JPS6341053A (en) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | Mitsubishi Electric Corp | Package structure of electronic part |
| JPS63124557A (en) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Fujitsu Ltd | Hybrid ic |
| JPS63205617A (en) * | 1987-02-20 | 1988-08-25 | Fujitsu Ltd | Structure of waveguide type optical device |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2102590A patent/JP2581256B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH041604A (en) | 1992-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11402594B2 (en) | Optical waveguide device, and optical modulation device and optical transmission device using same | |
| JPH0692892B2 (en) | Optical interference gyro | |
| JP2581256B2 (en) | Method for fixing optical waveguide device | |
| WO2019187899A1 (en) | Optical modulator | |
| JP2021162643A (en) | Optical waveguide element and optical modulation device including the same, and optical transmission device | |
| US5107535A (en) | Connecting method between waveguide substrate and optical fiber | |
| US6950218B2 (en) | Optical modulator | |
| JP2001350046A (en) | Integrated optical waveguide element | |
| WO2022210852A1 (en) | Optical waveguide element, optical modulation device using optical waveguide element, and optical transmission device using optical waveguide element | |
| JP2782931B2 (en) | Waveguide type optical device | |
| JPH09243845A (en) | Optical waveguide device | |
| JPS63311212A (en) | Optical waveguide device and optical waveguide mounting method | |
| JP2982691B2 (en) | Waveguide type optical circulator | |
| JPH0553157A (en) | Optical control device | |
| JPH04204524A (en) | Light modulator | |
| JPS5936249B2 (en) | light switch | |
| JPH01130110A (en) | Structure for connecting optical fiber of waveguide | |
| JP2003207664A (en) | Optical circuit | |
| JPH05303025A (en) | Connecting structure for optical waveguide and optical fiber | |
| JPH0339913A (en) | Optical wavelength conversion device | |
| JPH06281899A (en) | Branch interferring optical waveguide device | |
| JP2641238B2 (en) | Polarizer | |
| JP2720654B2 (en) | Light control device | |
| JP2900569B2 (en) | Optical waveguide device | |
| JPH05297420A (en) | Optical switch |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091121 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |