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JP2582829B2 - Electronic parts molding equipment - Google Patents
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JP2582829B2 - Electronic parts molding equipment - Google Patents

Electronic parts molding equipment

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JP2582829B2
JP2582829B2 JP63008903A JP890388A JP2582829B2 JP 2582829 B2 JP2582829 B2 JP 2582829B2 JP 63008903 A JP63008903 A JP 63008903A JP 890388 A JP890388 A JP 890388A JP 2582829 B2 JP2582829 B2 JP 2582829B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は半導体チップがインナリードボンディング
されたキャリヤテープをプレス加工して形成される電子
部品の成形装置に関する。
Description: Object of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to an electronic component molding apparatus formed by pressing a carrier tape on which a semiconductor chip is subjected to inner lead bonding.

(従来の技術) 電子部品にはポリイミドフィルムなどの長尺なキャリ
ヤテープに金属パターンを所定間隔で形成し、各金属パ
ターンに半導体チップをインナリードボンディングして
作られる、いわゆるTAB部品がある。
(Prior Art) As an electronic component, there is a so-called TAB component which is formed by forming a metal pattern on a long carrier tape such as a polyimide film at a predetermined interval and bonding a semiconductor chip to each metal pattern by inner lead bonding.

従来、このようにして作られるTAB部品はキャリヤテ
ープを長尺なままでテープリールに巻取り、その状態で
実装機に供給し、そこで上記キャリヤテープをテープリ
ールから繰出しながらプレス装置でTAB部品を1個ずつ
打抜いた後、そのTAB部品をリードフレームにアウタリ
ードボンディングするようにしている。
Conventionally, TAB parts made in this way are wound up on a tape reel while the carrier tape is long, and supplied to the mounting machine in that state, where the carrier tape is fed out from the tape reel and the TAB parts are pressed by a press device. After punching one by one, the TAB component is outer lead bonded to a lead frame.

しかしながら、このようにしてTAB部品をアウタリー
ドボンディングすると、インナリードボンディングされ
た半導体チップが上記キャリヤテープのパターンに電気
的に確実に接続されているか否やかを検査することがで
きない。そのため、インナリードボンディング状態が不
良であってもTAB部品を実装機でリードフレームにアウ
タリードボンディングしてしまうという問題が生じる。
However, when the TAB component is subjected to the outer lead bonding in this manner, it is not possible to inspect whether or not the inner lead bonded semiconductor chip is securely and electrically connected to the pattern of the carrier tape. Therefore, even if the inner lead bonding state is defective, a problem arises in that the TAB component is outer lead bonded to the lead frame by the mounting machine.

そこで、このような問題をなくすために、半導体チッ
プをインナリードボンディングしたならば、キャリヤテ
ープを巻き取らずに所定の長さの切断片に切断し、その
時点で半導体チップがキャリヤテープのパターンに良好
にインナリードボンディングされているか否やかを検査
するということが考えられている。
In order to eliminate such a problem, if the semiconductor chip is subjected to inner lead bonding, the carrier chip is cut into pieces of a predetermined length without winding the carrier tape, at which point the semiconductor chip is formed into a carrier tape pattern. It has been considered to inspect whether or not the inner lead bonding has been performed well.

このように、インナリードボンディング状態の良否を
検査するようにした場合、検査後に切断片をプレス加工
することにより、上記切断片からTAB部品を打抜くよう
にしなければならない。すると、プレス加工装置に打抜
きかすが残るため、その打抜きかすを除去しなければ、
上記切断片のプレス加工を良好に行なうことができなく
なるという問題が生じる。
As described above, when the quality of the inner lead bonding state is inspected, the TAB component must be punched from the cut piece by pressing the cut piece after the inspection. Then, since the punching residue remains in the press working device, unless the punching residue is removed,
There arises a problem that the press working of the cut piece cannot be performed favorably.

(発明が解決しようとする課題) このように、従来はキャリヤテープを長尺な状態で実
装機に供給してアウタリードボンディングするようにし
ていたので、そのキャリヤテープのパターンに半導体チ
ップが良好にインナリードボンディングされているか否
やかを検査することができず、その検査を良好に行なえ
るようにするため、上記キャリヤテープを予め所定の長
さに切断し、その切断片から電子部品を打抜くようにし
た場合、プレス加工装置に打抜きかすが溜り、プレス加
工を良好に行なうことができなくなるということが生じ
る。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, conventionally, the carrier tape is supplied in a long state to the mounting machine and the outer lead bonding is performed. It is not possible to inspect whether or not the inner lead bonding is performed, and in order to perform the inspection properly, the carrier tape is cut into a predetermined length in advance, and an electronic component is punched from the cut piece. In such a case, punching debris accumulates in the press working device, and the press working cannot be performed well.

この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その
目的とするとことは、キャリヤテープを予め所定の長さ
に切断した切断片から電子部品を打抜くようにした場
合、打抜きかすをプレス加工装置から良好に排除できる
ようにした電子部品の成形装置を提供することにある。
The present invention has been made based on the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a method for punching an electronic component from a cut piece obtained by previously cutting a carrier tape to a predetermined length. An object of the present invention is to provide a molding device for an electronic component that can be favorably removed from a processing device.

[発明の構成] (課題を解決するための手段及び作用) 上記課題を解決するためにこの発明は、複数の半導体
チップがインナリードボンデイングされた長尺状のキャ
リヤテープを上記半導体チップを含んだ所定の長さに切
断することで形成された切断片を、プレス加工装置で打
ち抜いて電子部品を成形する成形装置において、 上記切断片を所定領域で打ち抜くことによって上記プ
レス加工装置に生じる打ち抜きかすは、この打ち抜きか
すの所定方向の一端部と他端部とを吸着する一対の吸着
ノズルを備えた排出装置によって吸着除去されることを
特徴とする。それによって、電子部品の打抜き作業を円
滑かつ確実に行なうことができるようにした。
[Structure of the Invention] (Means and Action for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention includes a long carrier tape in which a plurality of semiconductor chips are inner-lead bonded to the semiconductor chip. In a molding device for forming an electronic component by punching out a cut piece formed by cutting to a predetermined length with a press working device, a punch chip generated in the press working device by punching the cut piece in a predetermined area is: The punching waste is suction-removed by a discharge device having a pair of suction nozzles for sucking one end and the other end of the punching waste in a predetermined direction. Thereby, the punching work of the electronic component can be performed smoothly and reliably.

(実施例) 以下、この発明の第1の実施例を第1図乃至第4図を
参照して説明する。第1図中1はトレイを示し、このト
レイ1には多数の収容部2がマトリックス状に形成され
ている。各収容部2にはそれぞれ電子部品としてのTAB
部品21に後述するごとく成形される切断片4が収容され
ている。この切断片4はポリイミドフィルムなどからな
る長尺なキャリヤテープに半導体チップ5をインナリー
ドボンディングしたのち、そのキャリヤテープを所定の
長さに切断してなる。したがって、キャリヤテープを切
断片4に切断することにより、各切断片4における半導
体チップ5のインナリードボンディング状態を検査する
ことができるから、良品だけを上記トレイ1の収容部2
に収容することができる。
(Embodiment) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 to FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a tray, on which a large number of storage sections 2 are formed in a matrix. TABs as electronic components are provided in each housing 2
The cut piece 4 formed as described later is accommodated in the component 21. The cut piece 4 is obtained by subjecting a semiconductor chip 5 to a long carrier tape made of a polyimide film or the like by inner lead bonding, and then cutting the carrier tape to a predetermined length. Therefore, by cutting the carrier tape into the cut pieces 4, the inner lead bonding state of the semiconductor chip 5 in each cut piece 4 can be inspected.
Can be accommodated.

上記トレイ1の収容部2に収容された切断片4は移載
装置6によって第2図乃至第4図に示す成形装置7に供
給されるようになっている。上記移載装置はX方向に駆
動されるXアーム8と、このXアーム8と直交するY方
向に駆動されるYアーム9とからなり、このYアーム9
の先端には上記切断片4を真空吸着するための吸着ノズ
ル11がシリンダ10によって上下駆動される状態に設けら
れている。そして、移載装置6はそのYアーム9に設け
られた吸着ノズル11で上記トレイ1から切断片4を吸着
したならば、その切断片を第2図に示す成形装置7に供
給するようになっている。
The cut pieces 4 stored in the storage section 2 of the tray 1 are supplied to a molding device 7 shown in FIGS. 2 to 4 by a transfer device 6. The transfer device includes an X arm 8 driven in the X direction and a Y arm 9 driven in the Y direction orthogonal to the X arm 8.
A suction nozzle 11 for vacuum-sucking the cut piece 4 is provided at a tip of the cylinder so as to be vertically driven by a cylinder 10. Then, when the cut piece 4 is sucked from the tray 1 by the suction nozzle 11 provided on the Y arm 9, the transfer device 6 supplies the cut piece to the forming device 7 shown in FIG. ing.

上記成形装置7は第2図に示すようにプレス加工装置
12と、排出装置13とからなる。このプレス加工装置12は
下部ホルダ14を備えている。この下部ホルダ14の上面に
は固定金型15が載置固定されているとともに、この固定
金型15の両側にはそれぞれ支柱16が立設されている。こ
れら一対の支柱16には上部ホルダ17がスライド自在に設
けられている。この上部ホルダ17は図示しない駆動機構
によって上記支柱に沿って上下駆動されるとともに、上
記固定金型15と対向する下面には可動金型18が保持固定
されている。そして、上記移載装置6によって固定金型
15上に供給された切断片4は可動金型18が下降すること
によって第2図に破線sで示すように打抜き加工される
ようになっている。このような打抜き加工によって上記
切断片4はその中心部分がTAB部品21となり、周辺部が
枠状の打抜きかす22となる。
The molding device 7 is a press working device as shown in FIG.
12 and a discharge device 13. This press working device 12 includes a lower holder 14. A fixed mold 15 is placed and fixed on the upper surface of the lower holder 14, and columns 16 are provided on both sides of the fixed mold 15, respectively. An upper holder 17 is slidably provided on the pair of columns 16. The upper holder 17 is driven up and down along the columns by a drive mechanism (not shown), and a movable mold 18 is held and fixed on the lower surface facing the fixed mold 15. Then, a fixed mold is provided by the transfer device 6.
The cut piece 4 supplied on the top 15 is punched as shown by a broken line s in FIG. 2 when the movable mold 18 descends. By such a punching process, the center of the cut piece 4 becomes the TAB component 21 and the peripheral portion becomes the frame-shaped punched chip 22.

このように打抜き加工されたTAB部品21は、上記移載
装置6とは別の図示しない移載装置によって上記固定金
型15上から同じく図示しない実装機に供給され、ここで
リードフレーム(図示せず)にアウタリードボンディン
グされる。また、固定金型18上に残った打抜きかす22は
排出装置13によって吸引除去される。
The TAB component 21 thus punched is supplied to the mounting machine (not shown) from above the fixed mold 15 by a transfer device (not shown) separate from the transfer device 6, where the lead frame (not shown) is used. Outer lead bonding). In addition, the punching residue 22 remaining on the fixed mold 18 is suctioned and removed by the discharging device 13.

上記排出装置13は第2図乃至第4図に示すように基部
23を備えている。この基部23には取付板24が垂直に立設
され、この取付板24の上端部の一側面にはロータリアク
チュエータ25が取付けられている。このロータリアクチ
ュエータ25の回転軸26にはL字状部材27の一端が取付け
られ、この他端にはスイングアーム28の一端が固着され
ている。このスイングアーム28の他端には第1のプーリ
29が支軸31によって回転自在に設けられている。また、
上記回転軸26の上記L字状部材27の一端から突出した端
部には第2のプーリ32が一体に設けられている。この第
2のプーリ32と上記第1のプーリ29との間には歯付きの
ベルト33が張設されている。上記支軸31は上記スイング
アーム28に回転自在に設けられ、その一端には一対の吸
着ノズルが所定間隔で設けられたノズルヘッド35の一端
が固着されている。
The discharging device 13 has a base as shown in FIGS.
It has 23. A mounting plate 24 is erected vertically on the base 23, and a rotary actuator 25 is mounted on one side of an upper end of the mounting plate 24. One end of an L-shaped member 27 is attached to a rotation shaft 26 of the rotary actuator 25, and one end of a swing arm 28 is fixed to the other end. The other end of the swing arm 28 has a first pulley
29 is rotatably provided by a support shaft 31. Also,
A second pulley 32 is integrally provided at an end of the rotary shaft 26 protruding from one end of the L-shaped member 27. A toothed belt 33 is stretched between the second pulley 32 and the first pulley 29. The support shaft 31 is rotatably provided on the swing arm 28, and one end of the support shaft 31 is fixed to one end of a nozzle head 35 having a pair of suction nozzles provided at predetermined intervals.

したがって、排出装置13は、そのロータリアクチュエ
ータ25の回転軸26によってスイングアーム28が第2図に
矢印で示す方向に回転駆動されると、上記ベルト33は第
2のプーリ32によって上記スイングアーム28の回転方向
と逆方向に走行駆動されることになる。すると、上記ノ
ズルヘッド35は第2図に示すようにプレス加工装置12の
一対の金型15、18間から退避した状態から第3図に示す
ように金型15、18間に進入する状態に回動する。そのと
き、一対の吸着ノズル34は軸線を垂直にした状態で平行
移動し、先端が上記固定金型15上に残った打ち抜きかす
22の所定方向の一端部と他端部にわずかな間隔を介して
対向する。その状態でこれら吸着ノズル34に吸引力が作
用し、上記打抜きかす22を真空吸着するようになってい
る。
Therefore, when the swing arm 28 is driven to rotate in the direction indicated by the arrow in FIG. 2 by the rotation shaft 26 of the rotary actuator 25, the belt 33 The vehicle is driven to run in the direction opposite to the rotation direction. Then, the nozzle head 35 is moved from a state retracted from between the pair of dies 15 and 18 of the press working device 12 as shown in FIG. 2 to a state of entering between the dies 15 and 18 as shown in FIG. Rotate. At this time, the pair of suction nozzles 34 move in parallel with the axes perpendicular to each other, and the tips are punched and scraped on the fixed mold 15.
One end and the other end of the predetermined direction 22 are opposed to each other with a slight gap. In this state, a suction force is applied to these suction nozzles 34 to vacuum-punch the punched chips 22.

上記吸着ノズル34が打抜きかす22を真空吸着すると、
スイングアーム28が第3図に示す状態から矢印で示す先
程と逆方向に回転駆動され、第4図に示すようにノズル
ヘッド35が一対の金型15、18間から退避することにな
る。その状態で上記吸着ノズル34に生じている吸引力を
解除すれば、上記打抜きかす22を適所に排出することが
できる。
When the suction nozzle 34 vacuum sucks the punched residue 22,
The swing arm 28 is driven to rotate from the state shown in FIG. 3 in the direction opposite to the direction indicated by the arrow, and the nozzle head 35 is retracted from between the pair of dies 15 and 18 as shown in FIG. In this state, if the suction force generated in the suction nozzle 34 is released, the punched chips 22 can be discharged to an appropriate position.

上記固定金型15に残った打ち抜きかす22は、打ち抜き
時に生じるバリなどによって上記固定金型15から剥離し
にくい状態になることがある。しかしながら、固定金型
15に残った打ち抜きかす22は、その所定方向の一端部と
他端部とが一対の吸着ノズル34によって吸着されるの
で、上記固定金型15から確実に吸着除去できる。
The punched chips 22 remaining in the fixed mold 15 may be in a state where it is difficult to separate from the fixed mold 15 due to burrs or the like generated at the time of punching. However, fixed mold
Since the one end and the other end of the punching chip 22 remaining in the predetermined direction are adsorbed by the pair of adsorption nozzles 34, they can be surely adsorbed and removed from the fixed mold 15.

したがって、上記構成の成形装置7によれば、切断片
4をプレス加工することによって生じる打抜きかす22
は、排出装置13により確実に排除することができるか
ら、切断片4からTAB部品21を成形する作業を確実かつ
迅速に行なうことができる。
Therefore, according to the molding device 7 having the above-described configuration, the punching chips 22 generated by pressing the cut pieces 4 are formed.
Can be reliably removed by the discharge device 13, so that the operation of forming the TAB component 21 from the cut pieces 4 can be performed reliably and quickly.

第5図はこの発明の第2の実施例を示す排出装置13の
変形例である。つまり、アクチュエータ41の軸42は回転
方向と上下方向とに駆動されるようになっていて、その
軸42にはスイングアーム43の一端が固着されている。こ
のスイングアーム43の他端部には上記第1の実施例と同
様に一対の吸着ノズル34が設けられている。このような
構成にすれば、スイングアーム43を水平面上で旋回させ
ることができるから、一対の金型15、18の型開き寸法が
小さな場合でも、これらの間に吸着ノズル34を進入させ
易い。
FIG. 5 is a modified example of the discharge device 13 showing the second embodiment of the present invention. That is, the shaft 42 of the actuator 41 is driven in the rotation direction and the vertical direction, and one end of a swing arm 43 is fixed to the shaft 42. The other end of the swing arm 43 is provided with a pair of suction nozzles 34 as in the first embodiment. With this configuration, the swing arm 43 can be turned on a horizontal plane, so that even when the pair of dies 15 and 18 has a small opening size, the suction nozzle 34 can easily enter between them.

第6図はこの発明の第3の実施例で、この実施例はア
クチュエータ51の軸52は上下方向にだけ駆動され、その
軸52にはシリンダ53が軸線を水平にして取付けられてい
る。このシリンダ53のロッド54には一対の吸着ノズル34
を有するノズルヘッド35が取着されている。このような
構成によれば、ノズルヘッド35を直線的に駆動して一対
の金型15、18間に進入させることができるから、一対の
金型15、18が開いた状態において、これらの上下方向だ
けでなく、左右方向の間口が狭い場合にも上記ノズルヘ
ッド35を良好に進入させることができる。
FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a shaft 52 of an actuator 51 is driven only in a vertical direction, and a cylinder 53 is mounted on the shaft 52 with its axis horizontal. A pair of suction nozzles 34 is attached to the rod 54 of the cylinder 53.
Is attached. According to such a configuration, since the nozzle head 35 can be linearly driven to enter between the pair of molds 15 and 18, when the pair of molds 15 and 18 are open, The nozzle head 35 can be satisfactorily entered not only in the direction but also when the frontage in the left and right direction is narrow.

[発明の効果] 以上述べたようにこの発明は、キャリヤテープを所定
長さに切断した切断片をプレス加工装置によって打抜い
て電子部品を成形する場合、上記プレス加工装置で生じ
る打ち抜きかすをその所定方向一端部と他端部とを吸着
する一対の吸着ノズルを備えた排出装置によって吸引除
去するようにした。したがって、上記プレス加工装置に
打抜きかすが溜るのを防止することができるから、キャ
リヤテープを所定長さに切断してから電子部品を成形す
る作業を確実かつ良好に行なうことができる。しかも、
プレス加工装置の固定金型に残る打ち抜きかすを一対の
吸着ノズルによってその一端部と他端部とを吸着するよ
うにしたから、上記打ち抜きかすが上記固定金型から剥
離しにくい状態にあっても、その一端部と他端部とを吸
着する一対の吸着ノズルによって確実に吸着除去するこ
とができる。
[Effects of the Invention] As described above, the present invention relates to a method of forming an electronic component by punching a cut piece obtained by cutting a carrier tape into a predetermined length by a press working device, and removing the punched chips generated by the press working device. A suction device is provided with a pair of suction nozzles for sucking one end and the other end in a predetermined direction. Therefore, punching residue can be prevented from accumulating in the press working device, so that the operation of cutting the carrier tape to a predetermined length and then forming the electronic component can be performed reliably and favorably. Moreover,
Since the punching residue remaining in the fixed mold of the press working device was made to adsorb one end and the other end by a pair of suction nozzles, even if the punching dust is in a state where it is difficult to peel off from the fixed mold, The pair of suction nozzles for sucking the one end and the other end can reliably suck and remove.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図乃至第4図はこの発明の第1の実施例を示し、第
1図はトレイに収容された電子部品およびその電子部品
を取出す移載装置の概略図、第2図は排出装置のスイン
グアームが待機状態の斜視図、第3図は上記スイングア
ームが一対の金型間に進入した状態の斜視図、第4図は
ノズルヘッドが打抜きかすを吸着して後退した状態の斜
視図、第5図はこの発明の第2の実施例を示す排出装置
の斜視図、第6図は同じくこの発明の第3の実施例を示
す排出装置の斜視図である。 4……切断片、5……半導体チップ、12……プレス加工
装置、13……排出装置、15……固定金型、18……可動金
型、28……スイングアーム、34……吸着ノズル、35……
ノズルヘッド。
1 to 4 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic view of an electronic component housed in a tray and a transfer device for taking out the electronic component, and FIG. FIG. 3 is a perspective view of a state in which the swing arm is in a standby state, FIG. 3 is a perspective view of a state in which the swing arm has entered between a pair of molds, FIG. FIG. 5 is a perspective view of a discharge device showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a perspective view of a discharge device showing a third embodiment of the present invention. 4 ... cut piece, 5 ... semiconductor chip, 12 ... press working device, 13 ... discharge device, 15 ... fixed mold, 18 ... movable mold, 28 ... swing arm, 34 ... suction nozzle , 35 ……
Nozzle head.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−108762(JP,A) 特開 昭59−186333(JP,A) 特開 昭59−186334(JP,A) 特開 昭52−8777(JP,A) 特公 昭59−27096(JP,B2) 特公 平4−59776(JP,B2) 特公 平5−23919(JP,B2) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-58-108762 (JP, A) JP-A-59-186333 (JP, A) JP-A-59-186334 (JP, A) JP-A 52-108334 8777 (JP, A) JP-B-59-27096 (JP, B2) JP-B 4-59776 (JP, B2) JP-B 5-23919 (JP, B2)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数の半導体チップがインナリードボンデ
イングされた長尺状のキャリヤテープを上記半導体チッ
プを含んだ所定の長さに切断することで形成された切断
片を、プレス加工装置で打ち抜いて電子部品を成形する
成形装置において、 上記切断片を所定領域で打ち抜くことによって上記プレ
ス加工装置に生じる打ち抜きかすは、この打ち抜きかす
の所定方向の一端部と他端部とを吸着する一対の吸着ノ
ズルを備えた排出装置によって吸着除去されることを特
徴とする電子部品の成形装置。
1. A cut piece formed by cutting a long carrier tape on which a plurality of semiconductor chips are inner-lead bonded into a predetermined length including the semiconductor chips is punched out by a press working device. In a molding device for molding an electronic component, a punching chip generated in the press working device by punching the cut piece in a predetermined area is a pair of suction nozzles for suctioning one end and the other end of the punching chip in a predetermined direction. A molding device for electronic parts, wherein the device is suction-removed by a discharge device provided with the component.
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