JP2582866B2 - 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 - Google Patents
危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、危険薬品を使用する工場等に用いられるク
リーンルームの給排気方法に関するものである。
リーンルームの給排気方法に関するものである。
従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第５
図に示すものが知られていた。
図に示すものが知られていた。
図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業
機器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４
を設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダン
パ４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業
空間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５に
よって排気している。６は作業空間１の上方に位置する
天井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。
このフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循
環空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、
これに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切
り、その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そし
て、この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間
１側に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作
業空間１に吹き出すように形成されている。８は作業空
間１の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕
切られている。この床板９は、作業空間１に吹き出され
た循環空気を通過することが出来る多孔板等で形成され
ている。10は天井空間６と床下空間８とを連結する循環
空気用ダクトで、循環用ファン11によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。この循環空気用ダクト10は、天井空間６と床
下空間８とを連通することが出来る廊下或いはメンテナ
ンスゾーンがある場合には、これらが代わって用いられ
ることもあるが、本例では説明の都合上、循環空気用ダ
クト10について説明する。12は床下空間８に取り付けら
れた外気導入用ダクトで、途中に温度，湿度をコントロ
ールすると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器13
が設けられている。この外気導入用ダクト12は、クリー
ンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を保つよ
うにしている。尚、外気導入用ダクト12は、床下空間８
に限らず、循環空気用ダクト10に取り付けられる場合も
あるし、或いは、循環空気用ダクト10に代わって廊下又
はメンテナンスゾーンが用いられる場合には、これらに
取り付けられることもあるが、本例では説明の都合上、
床下空間８に取り付けられている場合について説明す
る。
機器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４
を設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダン
パ４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業
空間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５に
よって排気している。６は作業空間１の上方に位置する
天井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。
このフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循
環空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、
これに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切
り、その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そし
て、この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間
１側に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作
業空間１に吹き出すように形成されている。８は作業空
間１の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕
切られている。この床板９は、作業空間１に吹き出され
た循環空気を通過することが出来る多孔板等で形成され
ている。10は天井空間６と床下空間８とを連結する循環
空気用ダクトで、循環用ファン11によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。この循環空気用ダクト10は、天井空間６と床
下空間８とを連通することが出来る廊下或いはメンテナ
ンスゾーンがある場合には、これらが代わって用いられ
ることもあるが、本例では説明の都合上、循環空気用ダ
クト10について説明する。12は床下空間８に取り付けら
れた外気導入用ダクトで、途中に温度，湿度をコントロ
ールすると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器13
が設けられている。この外気導入用ダクト12は、クリー
ンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を保つよ
うにしている。尚、外気導入用ダクト12は、床下空間８
に限らず、循環空気用ダクト10に取り付けられる場合も
あるし、或いは、循環空気用ダクト10に代わって廊下又
はメンテナンスゾーンが用いられる場合には、これらに
取り付けられることもあるが、本例では説明の都合上、
床下空間８に取り付けられている場合について説明す
る。
斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温
度，湿度等に保たれた空気が、循環用ファン11によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間１に供給され、作業空間１に配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入す
る。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環
用ファン11によって循環空気用ダクト10を介して天井空
間６に送られる。この循環は、その用途によって異なる
が、通常は100〜400回／時間である。そして、外気導入
用ダクト12から外気が導入された後に所定の温度，湿度
等にされて床下空間８内に供給される。
度，湿度等に保たれた空気が、循環用ファン11によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間１に供給され、作業空間１に配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入す
る。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環
用ファン11によって循環空気用ダクト10を介して天井空
間６に送られる。この循環は、その用途によって異なる
が、通常は100〜400回／時間である。そして、外気導入
用ダクト12から外気が導入された後に所定の温度，湿度
等にされて床下空間８内に供給される。
上述したクリーンルームでは、作業機器２が事故を起
こし、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが出たり、
或いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たりすると、全ての
ファン5,11,15を停止する方法が一般的である。
こし、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが出たり、
或いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たりすると、全ての
ファン5,11,15を停止する方法が一般的である。
そこで、上述のガスを緊急に排気するために、例えば
第５図に示す如く、クリーンルーム内に設けた排気口14
から排気ダクト16を介してファン15によって外部に緊急
排気によって多量の空気を排出する方法、又は、その事
故域と外部と繋がる窓口とをフレキシブルなジャバラに
よって連結して排気するという方法が提案されている。
第５図に示す如く、クリーンルーム内に設けた排気口14
から排気ダクト16を介してファン15によって外部に緊急
排気によって多量の空気を排出する方法、又は、その事
故域と外部と繋がる窓口とをフレキシブルなジャバラに
よって連結して排気するという方法が提案されている。
然し、前者では、排気口14が固定的であるため、排気
口から離れた箇所での事故に対する応答性に難があっ
た。又、後者では、人手によってジャバラを操作するた
め、手間暇を要し、緊急性を要するこの種の排気には適
していない。而も、ガスが人体に悪影響を与えるため、
排気処理のために特別な機器が必要であった。更に、こ
れらは、何れも事故箇所から緊急排気を行なうだけであ
るから、ガスの拡散を積極的に防止することは困難であ
った。更に、斯かる緊急排気方式では、排気された空気
量に見合った空気が周囲から自然に回って来るだけであ
るから、危険ガス又は窒息性ガスの濃度を或る一定濃度
に希釈するだけの空気量を確保することが困難であっ
た。
口から離れた箇所での事故に対する応答性に難があっ
た。又、後者では、人手によってジャバラを操作するた
め、手間暇を要し、緊急性を要するこの種の排気には適
していない。而も、ガスが人体に悪影響を与えるため、
排気処理のために特別な機器が必要であった。更に、こ
れらは、何れも事故箇所から緊急排気を行なうだけであ
るから、ガスの拡散を積極的に防止することは困難であ
った。更に、斯かる緊急排気方式では、排気された空気
量に見合った空気が周囲から自然に回って来るだけであ
るから、危険ガス又は窒息性ガスの濃度を或る一定濃度
に希釈するだけの空気量を確保することが困難であっ
た。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、ガスの漏洩域からのガスの拡散
を積極的に抑え、確実に緊急排気することが出来る危険
薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法を提供す
ることにある。
たもので、その目的は、ガスの漏洩域からのガスの拡散
を積極的に抑え、確実に緊急排気することが出来る危険
薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法を提供す
ることにある。
本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームの
給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出
口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せる
ようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気
を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び
天井に戻して循環できるように循環用ファンを設けたク
リーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法の
モジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複
数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応する
各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流
通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入
できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路を連
通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設
け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリーン
ルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器
から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する
天井空間内に連通する空気流通路に設けた循環用ファン
を停止すると共に、外気導入用ダクトに設けた外気量調
整用ダンパを停止してその天井空間からの空気供給を停
止し、その周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを
開いてその周囲からの外気供給量を多くし、且つ、漏洩
領域の床下の排気ダンパを開いて有毒ガス又は可燃性ガ
スを排気するものである。
給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出
口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せる
ようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気
を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び
天井に戻して循環できるように循環用ファンを設けたク
リーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法の
モジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複
数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応する
各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流
通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入
できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路を連
通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設
け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリーン
ルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器
から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する
天井空間内に連通する空気流通路に設けた循環用ファン
を停止すると共に、外気導入用ダクトに設けた外気量調
整用ダンパを停止してその天井空間からの空気供給を停
止し、その周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを
開いてその周囲からの外気供給量を多くし、且つ、漏洩
領域の床下の排気ダンパを開いて有毒ガス又は可燃性ガ
スを排気するものである。
又、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルー
ムの給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は
吹出口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出
せるようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された
空気を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を
再び天井に戻して循環できるように循環用ファンを設け
たクリーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸
法のモジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切っ
て複数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応
する各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空
気流通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が
導入できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路
を連通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを
設け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリー
ンルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機
器から窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間と
その周囲の天井空間に連通する空気流通路の外気量調整
用ダンパを開いて外気供給量を多くすると共に、漏洩領
域の床下の排気ダンパを開いて排気するものである。
ムの給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は
吹出口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出
せるようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された
空気を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を
再び天井に戻して循環できるように循環用ファンを設け
たクリーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸
法のモジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切っ
て複数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応
する各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空
気流通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が
導入できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路
を連通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを
設け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリー
ンルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機
器から窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間と
その周囲の天井空間に連通する空気流通路の外気量調整
用ダンパを開いて外気供給量を多くすると共に、漏洩領
域の床下の排気ダンパを開いて排気するものである。
本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームの
給排気方法に於ては、常態では、外気導入路に設けた外
気量調整用ダンパを絞ってクリーンルームの稼働に見合
うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そして、生
産機器から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時には、
対応する天井空間からの外気供給を停止すると共に、循
環ファンを停止し、且つ事故領域の床下の排気ダンパを
開いて、事故領域の周囲の天井に連結する外気量調整用
ダンパを開いて事故領域周辺への外気供給量を多くし
て、事故領域周辺を積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃
性ガスをその事故領域から排出し、排気ダンパを介して
外部に排気することができる。
給排気方法に於ては、常態では、外気導入路に設けた外
気量調整用ダンパを絞ってクリーンルームの稼働に見合
うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そして、生
産機器から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時には、
対応する天井空間からの外気供給を停止すると共に、循
環ファンを停止し、且つ事故領域の床下の排気ダンパを
開いて、事故領域の周囲の天井に連結する外気量調整用
ダンパを開いて事故領域周辺への外気供給量を多くし
て、事故領域周辺を積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃
性ガスをその事故領域から排出し、排気ダンパを介して
外部に排気することができる。
又、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルー
ムの給排気方法に於ては、常態では、外気ダクトに設け
た外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルームの稼働
に見合うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そし
て、生産機器から窒息性ガスが漏洩した時には、対応す
る天井空間とその周囲の天井に連結する外気量調整用ダ
ンパを開いて外気供給量を多くすると共に、対応する天
井空間からの外気供給量を最も多くし、且つ事故領域の
床下の排気ダンパを開き、窒息性ガスを事故領域から強
制的に排気することができる。
ムの給排気方法に於ては、常態では、外気ダクトに設け
た外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルームの稼働
に見合うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そし
て、生産機器から窒息性ガスが漏洩した時には、対応す
る天井空間とその周囲の天井に連結する外気量調整用ダ
ンパを開いて外気供給量を多くすると共に、対応する天
井空間からの外気供給量を最も多くし、且つ事故領域の
床下の排気ダンパを開き、窒息性ガスを事故領域から強
制的に排気することができる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例に係る危険薬品
使用工場等用クリーンルームを示し、図に於て、21は作
業空間である。
使用工場等用クリーンルームを示し、図に於て、21は作
業空間である。
この作業空間21には、所定の間隔で産業機器22が配設
されている（本例では、便宜上１つにして説明する）。
この生産機器22には、排気用ダクト36が設けられ、外部
に設置した排気用ファン37によって排気できるようにな
っている。排気用ダクト36には、ダンパ46が設けられて
いる。
されている（本例では、便宜上１つにして説明する）。
この生産機器22には、排気用ダクト36が設けられ、外部
に設置した排気用ファン37によって排気できるようにな
っている。排気用ダクト36には、ダンパ46が設けられて
いる。
作業空間21の上方には、フィルタ天井23が設けられ、
作業空間21と隔離した天井側の空間24を形成している。
この天井側の空間24は、各生産機器22の配置スペースに
応じた間隔又は一定モジュール間隔で仕切板25で仕切る
ことによって、各別に天井空間26を形成している。
作業空間21と隔離した天井側の空間24を形成している。
この天井側の空間24は、各生産機器22の配置スペースに
応じた間隔又は一定モジュール間隔で仕切板25で仕切る
ことによって、各別に天井空間26を形成している。
これらの天井空間26には、各別に循環空気用ダクト28
が流入口27を介して取り付けられている。各循環空気用
ダクト28には、循環用ファン29が設けられている。
が流入口27を介して取り付けられている。各循環空気用
ダクト28には、循環用ファン29が設けられている。
作業空間21の下方には、無数の通気孔31を穿設した床
部30が設けられ、作業空間21と隔離した床下側の空間32
を形成している。この床下側の空間32は、各生産機器22
の配置スペースに応じた間隔又は一定モジュール間隔で
仕切板34で仕切ることによって、各別に床下空間33を形
成している。
部30が設けられ、作業空間21と隔離した床下側の空間32
を形成している。この床下側の空間32は、各生産機器22
の配置スペースに応じた間隔又は一定モジュール間隔で
仕切板34で仕切ることによって、各別に床下空間33を形
成している。
これらの床下空間33には、各別に循環空気用ダクト28
が流入口35を介して取り付けられている。従って、各床
下空間33は、各循環空気用ダクト28を介して各天井空間
26と各別に連通し、循環用ファン29によって循環空気を
各天井空間26に供給する。
が流入口35を介して取り付けられている。従って、各床
下空間33は、各循環空気用ダクト28を介して各天井空間
26と各別に連通し、循環用ファン29によって循環空気を
各天井空間26に供給する。
各床下空間33には、各別に外気導入用ダクト39が流入
口38を介して取り付けられている。この外気導入用ダク
ト39は、途中に温度，湿度をコントロールすると共に、
外気を濾過するフィルタ等の調整器40と、ダンパ41が設
けられている。この外気導入用ダクト39は、常態では、
クリーンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を
保つようにしている。
口38を介して取り付けられている。この外気導入用ダク
ト39は、途中に温度，湿度をコントロールすると共に、
外気を濾過するフィルタ等の調整器40と、ダンパ41が設
けられている。この外気導入用ダクト39は、常態では、
クリーンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を
保つようにしている。
又、各床下空間33には、各別に排気用ダクト43が流入
口42を介して取り付けられている。この排気用ダクト43
には、緊急排気用ファン44が取り付けられ、産業機器22
が事故を起こした時に床下空間33から強制的に排気する
ようになっている。従って、排気用ダクト43に設けたダ
ンパ45は、コントローラ等の指令によって常時は閉で、
事故時に開となるように作動されるようになっている。
口42を介して取り付けられている。この排気用ダクト43
には、緊急排気用ファン44が取り付けられ、産業機器22
が事故を起こした時に床下空間33から強制的に排気する
ようになっている。従って、排気用ダクト43に設けたダ
ンパ45は、コントローラ等の指令によって常時は閉で、
事故時に開となるように作動されるようになっている。
次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。
本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
の給排気方法は、常態では、外気導入用ダクト39に設け
た外気量調整用ダンパ41を絞って、クリーンルームの稼
働に見合った外気を導入している。
の給排気方法は、常態では、外気導入用ダクト39に設け
た外気量調整用ダンパ41を絞って、クリーンルームの稼
働に見合った外気を導入している。
そして、生産機器22が事故を起こしてガスが漏洩した
時に、次の如くして緊急排気を行なう。
時に、次の如くして緊急排気を行なう。
先ず、生産機器22から毒性或いは可燃性ガスが漏洩し
た場合について、第３図に基づいて説明する。
た場合について、第３図に基づいて説明する。
生産機器22の真上の天井空間26に連通する循環用ファ
ン29を停止し、この天井空間26からの循環空気の供給を
停止すると共に、外気導入用ダクト39に設けた外気量調
整用ダンパ41を閉じ、生産機器22の下の床下空間33への
外気供給を停止し、この生産機器22の下に位置する排気
用ダンパ45を開き、排気用ダクト37を駆動し、且つ、排
気用ダクト43のダンパ45を開き、緊急排気用ファン44を
駆動する。更に同時に、この生産機器22の隣接ブロック
の床下空間33と連結する各外気導入用ダクト39の外気量
調整用ダンパ41を開き、この外気を各循環空気用ダクト
28を介して各天井空間26へ送り、矢印で示す如く、生産
機器22周辺への外気供給量を多くして、事故領域周辺を
積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃性ガスをその事故領
域から床下空間33へ押し出し、その床下空間33から排気
用ダクト43を介して外部に排気する。
ン29を停止し、この天井空間26からの循環空気の供給を
停止すると共に、外気導入用ダクト39に設けた外気量調
整用ダンパ41を閉じ、生産機器22の下の床下空間33への
外気供給を停止し、この生産機器22の下に位置する排気
用ダンパ45を開き、排気用ダクト37を駆動し、且つ、排
気用ダクト43のダンパ45を開き、緊急排気用ファン44を
駆動する。更に同時に、この生産機器22の隣接ブロック
の床下空間33と連結する各外気導入用ダクト39の外気量
調整用ダンパ41を開き、この外気を各循環空気用ダクト
28を介して各天井空間26へ送り、矢印で示す如く、生産
機器22周辺への外気供給量を多くして、事故領域周辺を
積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃性ガスをその事故領
域から床下空間33へ押し出し、その床下空間33から排気
用ダクト43を介して外部に排気する。
尚、この際の外気供給は、他の生産機器22の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト39の外気量調整用
ダンパ41を全開又はそれに近い開度で開き、積極的に外
気を供給する。
下させない範囲で、外気導入用ダクト39の外気量調整用
ダンパ41を全開又はそれに近い開度で開き、積極的に外
気を供給する。
このように、事故を起こした生産機器22が設置されて
いる漏洩領域は、周囲の天井空間26から多量の外気を供
給することによって、その周囲を加圧状態にし、ガスの
拡散が積極的に防止し、且つ、ガスを積極的に床下空間
33へ押し出すと共に、排気用ダクト43を介して外部へ排
出することができる。
いる漏洩領域は、周囲の天井空間26から多量の外気を供
給することによって、その周囲を加圧状態にし、ガスの
拡散が積極的に防止し、且つ、ガスを積極的に床下空間
33へ押し出すと共に、排気用ダクト43を介して外部へ排
出することができる。
次に、生産機器22から窒素ガス等の窒息性ガスが漏洩
した場合について、第４図に基づいて説明する。
した場合について、第４図に基づいて説明する。
生産機器22の真下の床下空間33に連通する外気導入用
ダクト39に設けた外気量調整用ダンパ41を全開にし、生
産機器22の真下の床下空間33への外気供給を増量し、こ
の生産機器22の真下に位置する排気用ダンパ45を開き、
排気用ダクト37を駆動し、且つ、排気用ダクト43のダン
パ45を開き、緊急排気用ファン44を駆動することによっ
て、窒息性ガスをその事故領域から床下空間33へ押し出
し、その床下空間33から排気用ダクト43を介して外部に
排気する。
ダクト39に設けた外気量調整用ダンパ41を全開にし、生
産機器22の真下の床下空間33への外気供給を増量し、こ
の生産機器22の真下に位置する排気用ダンパ45を開き、
排気用ダクト37を駆動し、且つ、排気用ダクト43のダン
パ45を開き、緊急排気用ファン44を駆動することによっ
て、窒息性ガスをその事故領域から床下空間33へ押し出
し、その床下空間33から排気用ダクト43を介して外部に
排気する。
尚、この際の外気供給は、他の生産機器22の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト39の外気量調整用
ダンパ41を全開又はそれに近い開度で開き、積極的に外
気を供給する。
下させない範囲で、外気導入用ダクト39の外気量調整用
ダンパ41を全開又はそれに近い開度で開き、積極的に外
気を供給する。
このように、事故を起こした生産機器22が設置されて
いる漏洩領域は、窒息性ガスを積極的に床下空間33へ押
し出すと共に、排気用ダクト43を介して外部へ排出する
ことができる。
いる漏洩領域は、窒息性ガスを積極的に床下空間33へ押
し出すと共に、排気用ダクト43を介して外部へ排出する
ことができる。
尚、上記実施例では、フィルタ天井23を用いた場合に
ついて説明したが、フィルタ天井23に代えて吹出口を設
けた天井を配設しても良い。この場合には、各天井空間
26毎に吹出口を設置する。
ついて説明したが、フィルタ天井23に代えて吹出口を設
けた天井を配設しても良い。この場合には、各天井空間
26毎に吹出口を設置する。
又、ガス漏洩量が少ない時には、緊急排気用ファン44
を用いず、生産機器22と連絡する排気用ダクト36を用
い、排気用ファン37によって排気するようにしても良
い。又、逆に外気供給量が足りない時には、外気導入用
ダクト39にブースターファンを設け、送風力を高めても
良い。
を用いず、生産機器22と連絡する排気用ダクト36を用
い、排気用ファン37によって排気するようにしても良
い。又、逆に外気供給量が足りない時には、外気導入用
ダクト39にブースターファンを設け、送風力を高めても
良い。
更に、外気導入用ダクト39を、床下空間33に連通した
場合について説明したが、各天井空間26に設けても良
い。
場合について説明したが、各天井空間26に設けても良
い。
更に又、上記実施例では、天井空間26と床下空間33と
を各別に循環空気用ダクト28を介して連結した場合につ
いて説明したが、循環空気用ダクト28を用いずに、各天
井空間26と床下空間33とを廊下，メンテナンスゾーン等
の空間を使用して連結しても良い。
を各別に循環空気用ダクト28を介して連結した場合につ
いて説明したが、循環空気用ダクト28を用いずに、各天
井空間26と床下空間33とを廊下，メンテナンスゾーン等
の空間を使用して連結しても良い。
以上の如く、本発明の請求項１記載の危険薬品使用工
場等用クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器
から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する
天井内に連結する空気流通路に設けた循環用ファンを停
止すると共に、外気導入路に設けた外気量調整用ダンパ
を停止してその天井空間からの空気供給を停止し、その
周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いてその
周囲からの外気供給量を多くするものであるから、漏洩
領域が負圧状態となり、周囲の外気吹出によって積極的
に漏洩領域の床下の排気ダンパを介して排出され、周囲
に拡散しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の
生産機器を停止させるという不具合がない。
場等用クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器
から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する
天井内に連結する空気流通路に設けた循環用ファンを停
止すると共に、外気導入路に設けた外気量調整用ダンパ
を停止してその天井空間からの空気供給を停止し、その
周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いてその
周囲からの外気供給量を多くするものであるから、漏洩
領域が負圧状態となり、周囲の外気吹出によって積極的
に漏洩領域の床下の排気ダンパを介して排出され、周囲
に拡散しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の
生産機器を停止させるという不具合がない。
又、本発明に係る請求項２記載の危険薬品使用工場等
用クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器から
窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間とその周
囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いて外気供
給量を多くするものであるから、窒息性ガスがその床下
の排気ダンパを介してスムースに排出され、周囲に拡散
しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の生産機
器を停止させるという不具合がない。
用クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器から
窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間とその周
囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いて外気供
給量を多くするものであるから、窒息性ガスがその床下
の排気ダンパを介してスムースに排出され、周囲に拡散
しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の生産機
器を停止させるという不具合がない。
第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを正面側から示す要部拡大断面図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを側面側から示す要部拡大断面図である。 第３図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が毒性，可燃性ガスの漏洩時
に作動している状態を示す正面側から見た説明図であ
る。 第４図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が窒息性ガスの漏洩時に作動
している状態を示す正面側から見た説明図である。 第５図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気方法
を示す正面図から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 21……作業空間 22……生産機器 23……フィルタ天井 25……仕切板 26……天井空間 28……循環空気用ダクト 29……循環用ファン 30……床部 33……床下空間 36,43……排気用ダクト 37……排気用ファン 39……外気導入用ダクト 40……調整器 41……外気量調整用ファン 44……緊急排気用ファン 46……ダンパ。
リーンルームを正面側から示す要部拡大断面図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを側面側から示す要部拡大断面図である。 第３図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が毒性，可燃性ガスの漏洩時
に作動している状態を示す正面側から見た説明図であ
る。 第４図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が窒息性ガスの漏洩時に作動
している状態を示す正面側から見た説明図である。 第５図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気方法
を示す正面図から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 21……作業空間 22……生産機器 23……フィルタ天井 25……仕切板 26……天井空間 28……循環空気用ダクト 29……循環用ファン 30……床部 33……床下空間 36,43……排気用ダクト 37……排気用ファン 39……外気導入用ダクト 40……調整器 41……外気量調整用ファン 44……緊急排気用ファン 46……ダンパ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白鳥 泰宏 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式 会社竹中工務店東京本店内 (56)参考文献 特開 昭63−46327（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−91434（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−218547（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−111518（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口
付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるよ
うにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を
収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び天
井に戻して循環できるように循環用ファンを設けたクリ
ーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモ
ジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複数
の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応する各
天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流通
路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入で
きるように各天井空間又は床下空間に外気導入路を連通
し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設け、
常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルー
ムの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器から
有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する天井
空間内に連通する空気流通路に設けた循環用ファンを停
止すると共に、外気導入用ダクトに設けた外気量調整用
ダンパを停止してその天井空間からの空気供給を停止
し、その周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開
いてその周囲からの外気供給量を多くし、且つ、漏洩領
域の床下の排気ダンパを開いて有毒ガス又は可燃性ガス
を排気することを特徴とする危険薬品使用工場等クリー
ンルームの給排気方法。 - 【請求項２】作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口
付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるよ
うにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を
収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び天
井に戻して循環できるように循環用ファンを設けたクリ
ーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモ
ジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複数
の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応する各
天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流通
路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入で
きるように各天井空間又は床下空間に外気導入路を連通
し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設け、
常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルー
ムの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器から
窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間とその周
囲の天井空間に連通する空気流通路の外気量調整用ダン
パを開いて外気供給量を多くすると共に、漏洩領域の床
下の排気ダンパを開いて排気することを特徴とする危険
薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172152A JP2582866B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172152A JP2582866B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221146A JPH0221146A (ja) | 1990-01-24 |
| JP2582866B2 true JP2582866B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=15936530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172152A Expired - Fee Related JP2582866B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582866B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102520442B1 (ko) * | 2022-09-02 | 2023-04-12 | 주식회사 쥴 | 음압/양압 겸용 이동식 클린룸 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330457B (zh) * | 2011-07-21 | 2014-04-09 | 重庆大学 | 一种节水型卫生间冲水系统及其楼层用水系统 |
| JP5785633B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-30 | 高砂熱学工業株式会社 | 給気装置 |
| CN110389203A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-10-29 | 上海鸿源鑫创材料科技有限公司 | 一种化工生产车间有毒有害气体监测处理系统及方法 |
| US20220010987A1 (en) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Philip Ugorowski | Air filtration apparatus for removing virus particles |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60218547A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-01 | Takasago Thermal Eng Co Lts | クリ−ントンネル |
| JPS6191434A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-09 | Hitachi Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPH0215545Y2 (ja) * | 1984-12-21 | 1990-04-26 | ||
| JPS6346327A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | Kumagai Gumi Ltd | 可変風量吹出し吸込みユニツトを有するクリ−ンル−ム |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP63172152A patent/JP2582866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102520442B1 (ko) * | 2022-09-02 | 2023-04-12 | 주식회사 쥴 | 음압/양압 겸용 이동식 클린룸 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0221146A (ja) | 1990-01-24 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |