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JP2584526B2 - Microscope objective lens - Google Patents
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JP2584526B2 - Microscope objective lens - Google Patents

Microscope objective lens

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JP2584526B2
JP2584526B2 JP2109849A JP10984990A JP2584526B2 JP 2584526 B2 JP2584526 B2 JP 2584526B2 JP 2109849 A JP2109849 A JP 2109849A JP 10984990 A JP10984990 A JP 10984990A JP 2584526 B2 JP2584526 B2 JP 2584526B2
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    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
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    • B23Q5/40Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
    • B23Q5/402Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw in which screw or nut can both be driven
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
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    • B25J9/02Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041Cylindrical coordinate type

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明ば、紫外域、特に波長300nm以下の遠紫外域
においても使用可能な顕微鏡用対物レンズに関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an objective lens for a microscope which can be used in an ultraviolet region, particularly in a deep ultraviolet region having a wavelength of 300 nm or less.

(従来の技術とその課題) 従来から周知のように、顕微鏡において、その対物レ
ンズの開口数(NA)が同一である場合には、波長が短く
なるにしがって解像限界が上昇し、試料の細部にわたっ
て観察することができる。また、試料に紫外線を照射し
た場合には、可視光線を照射した場合に比べより強度の
大きな蛍光が放出されることが多い。したがって、顕微
鏡により試料を観察してより多くの情報を得るために、
紫外域において使用することができる顕微鏡を提供する
ことが望まれる。そのためには、紫外域や遠紫外域でも
使用することができる対物レンズが必要となる。
(Conventional technology and its problems) As is well known, in a microscope, when the numerical aperture (NA) of the objective lens is the same, the resolution limit increases as the wavelength becomes shorter, It can be observed over the details of the sample. In addition, when the sample is irradiated with ultraviolet light, fluorescent light having higher intensity is often emitted as compared with the case where visible light is irradiated. Therefore, to obtain more information by observing the sample with a microscope,
It is desired to provide a microscope that can be used in the ultraviolet. For that purpose, an objective lens that can be used in the ultraviolet region or the far ultraviolet region is required.

そこで、従来より紫外域や遠紫外域において使用可能
な対物レンズとして、例えば第6図に示す顕微鏡用対物
レンズが採用されていた。第6図はこの顕微鏡用対物レ
ンズ70の構成を示す図である。この対物レンズ70は、光
技術コンタクト誌Vol.25 No.2(1987年2月)P.187に記
載されたものである。
Therefore, conventionally, for example, an objective lens for a microscope shown in FIG. 6 has been adopted as an objective lens usable in an ultraviolet region or a far ultraviolet region. FIG. 6 is a view showing the configuration of the objective lens 70 for a microscope. This objective lens 70 is described in the Optical Technology Contact Magazine Vol.25 No.2 (February 1987) P.187.

同図に示すように、この対物レンズ70は、物体側(同
図の左側)から結像側(同図の右側)に向けて順次配列
された蛍石製の第1レンズ71,第2および第3レンズ群7
2,73により構成されている。第2レンズ群72は石英製の
凹レンズ72aを蛍石製の凸レンズ72b,72cで挟んで接合し
たものである。また、第3レンズ群73は、第2レンズ群
72と同様に、石英製の凹レンズ73aを蛍石製の凸レンズ7
3b,73cで挟んで接合したものである。
As shown in the figure, the objective lens 70 is composed of a first fluorite lens 71, a second lens 71, and a second lens sequentially arranged from the object side (the left side in the figure) to the imaging side (the right side in the figure). Third lens group 7
It consists of 2,73. The second lens group 72 is formed by joining a concave lens 72a made of quartz and convex lenses 72b and 72c made of fluorite. The third lens group 73 is a second lens group.
Similarly to the lens 72, the concave lens 73a made of quartz is replaced with the convex lens 7 made of fluorite.
It is the one sandwiched between 3b and 73c.

この対物レンズ70では、各レンズ71,72a〜72c,73a〜7
3cは、いずれも石英製あるいは蛍石製であるため、紫外
線や遠紫外線を透過できる。したがって、対物レンズ70
は紫外域や遠紫外域でも使用可能である。
In this objective lens 70, each lens 71, 72a to 72c, 73a to 7
Since 3c is made of quartz or fluorite, it can transmit ultraviolet rays and far ultraviolet rays. Therefore, the objective lens 70
Can also be used in the ultraviolet or far ultraviolet region.

しかも、第2レンズ群72は石英製の凹レンズ72aと蛍
石製の凸レンズ72b,72cとで構成され、また第3レンズ
群73は石英製の凹レンズ73aと蛍石製の凸レンズ73b,73c
とで構成されているので、色収差の補正を行うこともで
きる。
In addition, the second lens group 72 is composed of a concave lens 72a made of quartz and convex lenses 72b and 72c made of fluorite, and the third lens group 73 is a concave lens 73a made of quartz and convex lenses 73b and 73c made of fluorite.
Therefore, chromatic aberration can be corrected.

ところで、第2レンズ群72においては、凸レンズ72b,
凹レンズ72aおよび凸レンズ72cの相互間がオプチカルコ
ンタクトされている。また、第3レンズ群73において
も、凸レンズ73b,凹レンズ73aおよび凸レンズ73cの相互
間がオプチカルコンタクトされている。その理由は、現
時点において、遠紫外線を透過する実用的な接着剤は存
在しないからである。このため、レンズ接合面での全反
射が無いようにするためには、接合面をオプチカルコン
タクトするしか方法はない。したがって、各接合面を高
精度に加工することが要求され、対物レンズ70の製造コ
ストが増大するという問題がある。
By the way, in the second lens group 72, the convex lens 72b,
Optical contact is made between the concave lens 72a and the convex lens 72c. Also in the third lens group 73, the convex lens 73b, the concave lens 73a, and the convex lens 73c are in optical contact with each other. The reason is that at present, there is no practical adhesive that transmits far ultraviolet rays. For this reason, the only way to prevent total reflection at the lens joint surface is to make optical contact at the joint surface. Therefore, it is required to process each joint surface with high precision, and there is a problem that the manufacturing cost of the objective lens 70 increases.

そこで、本願発明者は上記問題を解消した顕微鏡用対
物レンズを先の出願(特開平1−319719号公報および特
開平1−319720号公報で、以下、単に「先の出願」と称
する。)において提案した。第7図はこの提案にかかる
顕微鏡用対物レンズの1例を示す図である。この提案例
によれば、顕微鏡用対物レンズ60は石英製あるいは蛍石
製のレンズ61〜63により構成されている。そして、これ
らの第1ないし第3レンズ61〜63は、同図に示すよう
に、物体側(同図の左側)から像側(同図の右側)にこ
の順序で所定の空気間隔をもって配列されている。した
がって、この顕微鏡用対物レンズ60は紫外域や遠紫外域
において使用可能である。しかも、各レンズ61〜63は相
互に離隔されている、言い換えればこの対物レンズ60で
は、貼り合わせ面が存在しない。したがって、この顕微
鏡用対物レンズ60では、オプチカルコンタクトにするこ
とが不要となり、上記問題が解消される。
Therefore, the inventor of the present application has proposed a microscope objective lens in which the above-mentioned problem has been solved in an earlier application (hereinafter, simply referred to as “an earlier application” in JP-A-1-319719 and JP-A-1-319720). Proposed. FIG. 7 is a view showing one example of a microscope objective lens according to this proposal. According to this proposal, the microscope objective lens 60 is formed of quartz or fluorite lenses 61 to 63. The first to third lenses 61 to 63 are arranged in this order from the object side (left side in the figure) to the image side (right side in the figure) with a predetermined air interval, as shown in FIG. ing. Therefore, the microscope objective lens 60 can be used in an ultraviolet region or a far ultraviolet region. Moreover, the lenses 61 to 63 are separated from each other. In other words, the objective lens 60 has no bonding surface. Therefore, in the microscope objective lens 60, it is not necessary to use an optical contact, and the above problem is solved.

ところで、第7図に示す対物レンズ60は、結像レンズ
(その詳細な構成は後で述べる)と協働して物体の像を
所定の結像倍率Mをもって結像レンズの焦点面に結像す
るような構成をとっている。この時の結像倍率Mは、結
像レンズの焦点距離f2と対物レンズ60の焦点距離f1との
比となる。すなわち、結像倍率Mは、 M=−f2/f1 …(1) となる。
Incidentally, the objective lens 60 shown in FIG. 7 forms an image of an object on the focal plane of the imaging lens with a predetermined imaging magnification M in cooperation with an imaging lens (the detailed configuration thereof will be described later). The configuration is such that The imaging magnification M of the time, the ratio of the focal length f 1 of the focal length f 2 and the objective lens 60 of the imaging lens. That is, the imaging magnification M is as follows: M = −f 2 / f 1 (1)

また、顕微鏡では、通常結像レンズを固定しておき、
対物レンズを交換して、結像倍率Mを変化させている
が、そのために、相互に異なった焦点距離をもった対物
レンズを用意する必要がある。
In a microscope, the imaging lens is usually fixed,
Although the imaging magnification M is changed by replacing the objective lens, it is necessary to prepare objective lenses having mutually different focal lengths.

例えば、第7図に示した対物レンズ60を、ある対物レ
ンズと交換して結像倍率を1/2倍にする場合について考
えてみる。
For example, consider a case in which the objective lens 60 shown in FIG. 7 is replaced with a certain objective lens and the imaging magnification is reduced to 1/2.

この場合、(1)式からわかるように、結像倍率を1/
2倍にするためには、焦点距離が2f1の対物レンズを用意
する必要がある。ここで、単に焦点距離を2倍するだけ
であれば、例えば対物レンズ60を比例拡大すればよい。
In this case, as can be seen from equation (1), the imaging magnification is 1 /
In order to double, it is necessary to have a focal length to prepare the 2f 1 objective lens. Here, if the focal length is simply doubled, for example, the objective lens 60 may be proportionally enlarged.

しかしながら、対物レンズ60を2倍に比例拡大した対
物レンズと交換したときには、その瞳の位置を固定して
いる限り、対物レンズから物体までの距離も2倍にする
必要があり、対物レンズの交換後、ピントを合わせ直す
必要が生じる。これは、顕微鏡の操作性を著しく低下さ
せるものであり、好ましいものではない。逆に、物体位
置を固定すると瞳の位置が動いてしまうため、固定した
照明系では照明状態が変わってしまい好ましくない。ま
た、上記対物レンズの交換により、瞳の大きさも2倍に
なり、固定した照明系では使用する光量か少なくなる。
However, when the objective lens 60 is replaced with an objective lens that is enlarged by a factor of two, the distance from the objective lens to the object must be doubled as long as the position of the pupil is fixed. Later, it is necessary to refocus. This significantly reduces the operability of the microscope and is not preferable. Conversely, if the position of the object is fixed, the position of the pupil will move. Further, by replacing the objective lens, the size of the pupil is also doubled, and the amount of light used is reduced in a fixed illumination system.

したがって、対物レンズの交換によって結像倍率を1/
2にする場合には、交換後の対物レンズが、 (1)焦点距離対物がレンズ60の2倍であり、 (2)対物レンズの交換後も、ピントを合わせ直す必要
のない、すなわち対物レンズ60と同焦点となっており、 (3)しかも瞳の位置と大きさが対物レンズ60のそれと
ほぼ等しい。
Therefore, the imaging magnification is reduced to 1 /
In the case of 2, the objective lens after the replacement is (1) the focal length objective is twice as large as the lens 60, and (2) it is not necessary to refocus after the objective lens is replaced. (3) The position and size of the pupil are almost equal to those of the objective lens 60.

という条件を備えることが求められる。Is required.

(発明の目的) この発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、上
記した先の出願にかかる対物レンズとは別の構成によっ
て、紫外域や遠紫外域においても使用可能な顕微鏡用対
物レンズを低コストで提供することを第1の目的とす
る。
(Object of the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has a configuration different from the objective lens according to the above-mentioned prior application, and can be used in an ultraviolet region or a far ultraviolet region. Is provided at low cost.

また、この発明は、結像レンズと協働して物体の像を
所定の結像倍率をもって焦点面上に結像する上記した先
の出願の対物レンズに対し、その焦点距離がほぼ2倍
で、しかも同焦点となっており、瞳の位置と大きさがほ
ぼ等しい顕微鏡用対物レンズを提供することを第2の目
的とする。
In addition, the present invention has a focal length almost twice that of the above-mentioned objective lens in which an image of an object is formed on a focal plane with a predetermined imaging magnification in cooperation with an imaging lens. Further, it is a second object of the present invention to provide a microscope objective lens which is confocal and has almost the same pupil position and size.

(目的を達成するための手段) 請求項1記載の発明は、結像レンズと協働して、物体
の像を結像する顕微鏡用対物レンズに向けられたもので
あり、上記第1の目的を達成するために、物体側から像
側へ、第1ないし第3レンズをこの順序に所定の空気間
隔をもって配列している。これら第1ないし第3レンズ
のうち、前記第1レンズは石英製またま蛍石製で凸面を
物体側に向けた正のパワーを有するメニスカスレンズで
あり、前記第2レンズはは石英製で負のパワーを有し、
前記第3レンズは蛍石製で正のパワーを有しているとと
もに、前記第2および第3レンズのパワーをそれぞれφ
2,φ3としたとき、前記対物レンズでは、 1.1<|φ32|<1.3 で示される不等式が満足されている。
(Means for Achieving the Object) The invention according to claim 1 is directed to a microscope objective lens that forms an image of an object in cooperation with an imaging lens. In order to achieve the above, the first to third lenses are arranged in this order from the object side to the image side with a predetermined air gap. Among these first to third lenses, the first lens is a meniscus lens made of quartz or fluorite and having a positive power with the convex surface facing the object side, and the second lens is made of quartz and negative. Has the power of
The third lens is made of fluorite and has a positive power. The power of the second and third lenses is φ
When 2, φ3, the objective lens satisfies the inequality 1.1 <| φ 3 / φ 2 | <1.3.

また、請求項2記載の発明は、結像レンズと協働し
て、物体の像を所定の結像倍率をもって結像レンズの焦
点面上に結像する対物レンズと交換可能であり、しかも
前記対物レンズに代えて前記結像レンズと組合せて使用
されたときに、結像倍率をほぼ半減させる顕微鏡用対物
レンズに向けられたものである。
The invention according to claim 2 is interchangeable with an objective lens that forms an image of an object on a focal plane of the imaging lens with a predetermined imaging magnification in cooperation with the imaging lens. The present invention is directed to a microscope objective lens that substantially reduces the imaging magnification by half when used in combination with the imaging lens instead of the objective lens.

そして、上記第2の目的を達成するために、物体側か
ら像側へ、第1ないし第3レンズをこの順序に所定の空
気間隔をもって配列している。これら第1ないし第3レ
ンズのうち、前記第1レンズは石英製または蛍石製で凸
面を物体側に向けた正のパワーを有するメニスカスレン
ズであり、前記第2レンズは石英製で負のパワーを有
し、前記第3レンズは石英製で正のパワーを有してい
る。
In order to achieve the second object, the first to third lenses are arranged in this order from the object side to the image side with a predetermined air gap. Among these first to third lenses, the first lens is a meniscus lens made of quartz or fluorite and having a positive power with the convex surface facing the object side, and the second lens is made of quartz and having a negative power. The third lens is made of quartz and has a positive power.

しかも、前記第1ないし第3レンズのパワーをそれぞ
れφ12、前記第2および第3レンズからなる合
成系のパワーをφ23、全系のパワーをφとしたとき、前
記対物レンズでは、 1.1<|φ32|<1.3 0.90|φ1+/φ|<|φ1-23| 1.00|φ1+/φ|>|φ1-23| 0.80・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|<|1/φ1-| 1.1・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|>|1/φ1-| で示される不等式が満足されている。
Further, when the powers of the first to third lenses are respectively φ 1 , φ 2 , φ 3 , the power of the combined system including the second and third lenses is φ 23 , and the power of the entire system is φ, For the objective lens, 1.1 <| φ 3 / φ 2 | <1.3 0.90 | φ 1+ / φ | <| φ 1- / φ 23 | 1.00 | φ 1+ / φ |> | φ 1- / φ 23 | 0.80・ | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | <| 1 / φ 1- | 1.1 ・ | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ |> | 1 / φ 1- | The inequality shown is satisfied.

なお、φ1+1-は、それぞれ φ1+=(n−1)/r1 φ1 -=(1−n)/r2 ただし、 n:前記第1レンズの屈折率、 r1:前記第1レンズの物体側を向いた面の曲率半径、 r2:前記第1レンズの像側を向いた面の曲率半径 である。Here, φ 1+ and φ 1− are φ 1+ = (n−1) / r 1 φ 1 = (1-n) / r 2 where n is the refractive index of the first lens, r 1 : Radius of curvature of the surface of the first lens facing the object side, r 2 : radius of curvature of the surface of the first lens facing the image side.

(作用) 請求項1の発明によれば、第1レンズは石英製または
蛍石製であり、第2レンズは石英製であり、また第3レ
ンズは蛍石製である。したがって、紫外域あるいは遠紫
外域の光が当該対物レンズを透過可能であり、紫外域お
よび遠紫外域において使用することができる。また、前
記第1ないし第3レンズは所定の空気間隔をもって相互
に離隔されている。そのため、オプチカルコンタクトの
必要がなくなり、当該対物レンズを低コストで提供でき
る。しかも、前記第3レンズは正のパワーを有する一
方、第2レンズは負のパワーを有している。このため、
球面収差や色収差等の諸収差が補正される。
(Operation) According to the invention of claim 1, the first lens is made of quartz or fluorite, the second lens is made of quartz, and the third lens is made of fluorite. Therefore, light in the ultraviolet region or the far ultraviolet region can pass through the objective lens, and can be used in the ultraviolet region and the far ultraviolet region. The first to third lenses are separated from each other with a predetermined air gap. Therefore, there is no need for an optical contact, and the objective lens can be provided at low cost. Moreover, the third lens has a positive power, while the second lens has a negative power. For this reason,
Various aberrations such as spherical aberration and chromatic aberration are corrected.

また、前記第2および第3レンズのパワーφ2
用いて、対物レンズが、 1.1<|φ32|<1.3 …(2) で示される不等式を満足するため、球面収差等が良好な
ものとなる その理由は、値|φ32|が1.1よりも小さくなる
と、球面収差の補正が過剰(オーバー)となり、逆に、
その値が1.3よりも大きくなると、補正が不足(アンダ
ー)するからである。
Also, since the objective lens satisfies the inequality 1.1 <| φ 3 / φ 2 | <1.3 (2) using the powers φ 2 and φ 3 of the second and third lenses, the spherical aberration The reason is that when the value | φ 3 / φ 2 | becomes smaller than 1.1, the spherical aberration correction becomes excessive, and conversely,
If the value is larger than 1.3, the correction will be insufficient (under).

請求項2の発明によれば、正のパワーを有する第3レ
ンズと負のパワーを有する第2レンズとの組合せによっ
て、色消しが行われている。そして、第1レンズの像側
の面(以下「第2面」という)が大きな負のパワーを有
することによって、当該対物レンズがいわゆる望遠タイ
プとなり、当該対物レンズの焦点距離がその全長に比べ
て長くなる。
According to the invention of claim 2, achromatism is performed by a combination of the third lens having positive power and the second lens having negative power. Since the image-side surface of the first lens (hereinafter, referred to as “second surface”) has a large negative power, the objective lens becomes a so-called telephoto type, and the focal length of the objective lens is shorter than the entire length. become longer.

また、前記第1レンズの物体側の面(以下「第1面」
という)が正のパワーを有することによって、当該対物
レンズが物体側においてテレセントリックな特性を有す
るようにしている。
Further, an object-side surface of the first lens (hereinafter referred to as a “first surface”)
) Has a positive power, so that the objective lens has telecentric characteristics on the object side.

ここで、上記の内容を別の角度から見ると、前記第2
面、前記第2レンズおよび前記第3レンズの合成系は大
きな焦点距離をもっており、前記第1面に対してテレコ
ンバータの役割を果している、すなわち上記合成系が前
記第1面のパワーを拡大して、当該対物レンズの焦点距
離を所望の値に調整しているとも言える。
Here, looking at the above contents from another angle, the second
The surface, the combined system of the second lens and the third lens has a large focal length and plays the role of a teleconverter with respect to the first surface, ie, the combined system increases the power of the first surface. Thus, it can be said that the focal length of the objective lens is adjusted to a desired value.

この条件を正確に満すためには、次式 |φ1+/φ|=|φ1-23| …(3) を満足する必要がある。しかしながら、実際上、上記合
成系が完全なアフォーカル系である必要はなく、上記合
成系が、 0.90|φ1+/φ|<|φ1-23| …(4A) 1.00|φ1+/φ|>|φ1-23| …(4B) で示される不等式(4A),(4B)を満足すれば良い。
In order to satisfy this condition accurately, it is necessary to satisfy the following expression: | φ 1+ / φ | = | φ 1- / φ 23 | (3) However, in practice, the composite system does not need to be a perfect afocal system, and the composite system is composed of 0.90 | φ 1+ / φ | <| φ 1− / φ 23 | (4A) 1.00 | φ 1 + / φ |> | φ 1− / φ 23 |... (4B) It suffices to satisfy the inequalities (4A) and (4B).

ところで、色消しは、上記のように、前記第2および
第3レンズの組合わせにより行われている。ここで、前
記第2および第3レンズの組合せのみによって物体の像
を結像させる場合には、蛍石および石英の分散を考慮し
て値|φ32|を、1.3〜1.4の範囲に設定することが望
ましい。しかしながら、対物レンズが第1ないし第3レ
ンズにより構成されている場合には、第1レンズで生じ
る収差を補正するために、前記第2および第3レンズに
よる補正を過剰に設定する方がむしろ好ましい。そのた
め、値|φ32|を1.1〜1.3の範囲内に設定する、すな
わち当該対物レンズが不等式(2)を満足するように設
定する方が望ましい。
Incidentally, achromatism is performed by combining the second and third lenses as described above. Here, when an image of an object is formed only by the combination of the second and third lenses, the value | φ 3 / φ 2 | is set in the range of 1.3 to 1.4 in consideration of dispersion of fluorite and quartz. It is desirable to set to. However, when the objective lens includes the first to third lenses, it is rather preferable to set the correction by the second and third lenses excessively in order to correct the aberration generated in the first lens. . Therefore, it is desirable to set the value | φ 3 / φ 2 | in the range of 1.1 to 1.3, that is, to set the objective lens so as to satisfy the inequality (2).

次に、同焦点距離を揃えるための条件、すなわち当該
対物レンズが 0.80・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|<|1/φ1-| …(5
A) 1.1・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|>|1/φ1-|…(5B) で示される不等式を満足する必要性について説明する。
本願では、同焦点距離が当該対物レンズの焦点距離の3/
4倍になるように、また当該対物レンズの像側焦点が前
記第2および第3レンズの合成系にほぼ密着する場合を
想定している。したがって、上記合成系と前記第2面と
の主点間隔をeとすると、次式 e+1/φ1+≒3/4(1/φ) …(6) で示される条件が得られる。また、当該対物レンズが物
体側でテレセントリックな特性をもつために、前記第2
面,前記第2レンズおよび前記第3レンズの合成系の瞳
を前記第1面の焦点と一致させる必要がある。したがっ
て、次式 e(1+1/(1+φ1-・e))≒3/4(1/φ)−2/φ1+
…(7) で示される条件が得られる。そして、これらの条件
(6),(7)を考慮に入れると、当該対物レンズは不
等式(5A),(5B)を満足することが求められる。
Next, the condition for making the parfocal distance uniform, that is, the objective lens is 0.80 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | <| 1 / φ 1- |
A) The necessity of satisfying the inequality represented by 1.1 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ |> | 1 / φ 1- | (5B) will be described.
In the present application, the parfocal length is 3/3 of the focal length of the objective lens.
It is assumed that the focal length on the image side of the objective lens is nearly in close contact with the combined system of the second and third lenses so that the focal length becomes four times. Therefore, assuming that the distance between the principal points between the combined system and the second surface is e, the condition represented by the following equation e + 1 / φ 1+ ≒ 3/4 (1 / φ) is obtained. In addition, since the objective lens has telecentric characteristics on the object side, the second lens
It is necessary that the pupil of the combined system of the surface, the second lens and the third lens coincides with the focal point of the first surface. Therefore, the following equation e (1 + 1 / (1 + φ 1− · e)) ≒ 3/4 (1 / φ) −2 / φ 1+
.. (7) are obtained. Taking these conditions (6) and (7) into account, the objective lens is required to satisfy the inequalities (5A) and (5B).

(実施例) A.第1実施例 第1図はこの発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第1
実施例を示す図である。同図に示すように、この対物レ
ンズ10は第1ないし第3レンズ11〜13により構成されて
いる。これら第1ないし第3レンズ11〜13は、物体側
(同図の左側)から像側(同図の右側)へこの順序に所
定の空気間隔をもって配列されている。また、第1およ
び第3レンズ11,13はともに正のパワーを有している。
一方、第2レンズ12は負のパワーを有している。なお、
同図に示すように、第1レンズ11の凸面11aは物体側に
向けている。
(Embodiment) A. First Embodiment FIG. 1 shows a first embodiment of a microscope objective lens according to the present invention.
It is a figure showing an example. As shown in FIG. 1, the objective lens 10 includes first to third lenses 11 to 13. The first to third lenses 11 to 13 are arranged in this order from the object side (left side in the figure) to the image side (right side in the figure) with a predetermined air gap. The first and third lenses 11, 13 both have positive power.
On the other hand, the second lens 12 has negative power. In addition,
As shown in the figure, the convex surface 11a of the first lens 11 faces the object side.

第1表は、上記のように構成された対物レンズ10のレ
ンズデータを示すものである。
Table 1 shows lens data of the objective lens 10 configured as described above.

なお、同表(および後で説明する第3表)において、
riは物体側から教えてi番目(i=1〜6)のレンズ面
の曲率半径を、またdiは物体側から数えてi番目(i=
1〜5)のレンズ面と(i+1)番目のレンズ面との光
軸Z上のレンズ面間距離を示すものである。また、同表
からわかるように、第1および第2レンズ11,12は石英
製であり、第3レンズ13は蛍石製である。
In the table (and in Table 3 described later),
r i is the radius of curvature of the i-th (i = 1 to 6) lens surface as taught from the object side, and d i is the i-th (i =
It shows the distance between the lens surfaces 1-5) on the optical axis Z between the (i + 1) -th lens surface. As can be seen from the table, the first and second lenses 11 and 12 are made of quartz, and the third lens 13 is made of fluorite.

また、対物レンズ10の焦点距離fは60であり、開口数
(NA)は1/24であり、像サイズは10.6である。
The focal length f of the objective lens 10 is 60, the numerical aperture (NA) is 1/24, and the image size is 10.6.

また、波長298.06(nm)に対する、第1レンズ11の凸
面11aのパワーφ1+と、第1レンズ11の像側を向いた面1
1bのパワーφ1-とは、それぞれ φ1+=0.1864,φ1-=0.2467 である。また、波長298.06(nm)に対する、第2および
第3レンズ12,13のパワーφ2と、第2レンズ12と
第3レンズ13からなる合成系のパワーφ23と、全系(対
物レンズ10)のパワーφとは、それぞれ以下の通りであ
る。
Further, the power φ 1+ of the convex surface 11a of the first lens 11 with respect to the wavelength 298.06 (nm) and the surface 1 facing the image side of the first lens 11
The power φ 1− of 1b is φ 1+ = 0.1864 and φ 1− = 0.2467, respectively. Further, for the wavelength of 298.06 (nm), the powers φ 2 and φ 3 of the second and third lenses 12 and 13, the power φ 23 of the combined system including the second lens 12 and the third lens 13, and the total system (objective) The power φ of the lens 10) is as follows.

φ=−0.07670,φ=0.09208, φ23=0.02266,φ=0.01667 したがって、上記データから、 |φ32|=1.201 が求まり、対物レンズ10が不等式(2)を満足している
ことは、明らかである。
φ 2 = −0.07670, φ 3 = 0.09208, φ 23 = 0.02266, φ = 0.01667 Therefore, from the above data, | φ 3 / φ 2 | = 1.201 is obtained, and the objective lens 10 satisfies the inequality (2). That is clear.

また、上記データから、 0.90|φ1+/φ|=10.07, 1.00|φ1+/φ|=11.18, |φ1-23|=10.84 がそれぞれ求まる。したがって、対物レンズ10が不等式
(4A),(4B)を満足していることは、明らかである。
From the above data, 0.90 | φ 1+ /φ|=10.07, 1.00 | φ 1+ /φ|=11.18, | φ 1− / φ 23 | = 10.84 are obtained. Therefore, it is clear that the objective lens 10 satisfies the inequalities (4A) and (4B).

さらに、上記データから、 0.80・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|=3.780, 1.1・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|=5.198, |1/φ1-|=4.071 がそれぞれ求まる。したがって、対物レンズ10が不等式
(5A),(5B)を満足していることも、明らかである。
Further, from the above data, 0.80 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | = 3.780, 1.1 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | = 5.198, | 1 / φ 1- | = 4.071 is obtained respectively. Therefore, it is apparent that the objective lens 10 satisfies the inequalities (5A) and (5B).

ところで、この対物レンズ10は落射照明型顕微鏡に適
用することを考慮して、いわゆる無限遠補正系としてい
る。すなわち、以外に説明する結像レンズと組合わせ
て、物体の像を所定の結像面に結像するように構成され
ている。
Incidentally, this objective lens 10 is a so-called infinity correction system in consideration of application to an epi-illumination type microscope. That is, it is configured to form an image of an object on a predetermined imaging plane in combination with an imaging lens described below.

<結像レンズ> 第2図は結像レンズの構成を示す図であり、先の出願
において示された結像レンズと同一のものである。同図
に示すように、結像レンズ50は、第1ないし第3レンズ
51〜53により構成されている。これら第1ないし第3レ
ンズ51〜53は、物体側(同図の左側)から像側(同図の
右側)へこの順序に所定の空気間隔をもって配列されて
いる。
<Imaging Lens> FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the imaging lens, which is the same as the imaging lens shown in the earlier application. As shown in the figure, the imaging lens 50 includes first to third lenses.
It is composed of 51-53. The first to third lenses 51 to 53 are arranged in this order from the object side (left side in the figure) to the image side (right side in the figure) with a predetermined air gap.

第2表は、上記のように構成された結像レンズ50のレ
ンズデータを示すものである。
Table 2 shows lens data of the imaging lens 50 configured as described above.

なお、同表において、Riは物体側から数えてi番目
(i=1〜6)のレンズ面の曲率半径を、またDiは物体
側から数えてi番目(i=1〜5)のレンズ面と(i+
1)番目のレンズ面との光軸Z上のレンズ面間距離を示
すものである。また、同表からわかるように、第1レン
ズ51は蛍石製であり、第2および第3レンズ52,53は石
英製である。また、この結像レンズ50の焦点離f′は30
0である。
Incidentally, in the table, R i is the radius of curvature of the lens surface of i-th counted from the object side (i = 1 to 6), also D i is the i-th counted from the object side (i = 1 to 5) The lens surface and (i +
1) shows the distance between the lens surface on the optical axis Z and the first lens surface. As can be seen from the table, the first lens 51 is made of fluorite, and the second and third lenses 52 and 53 are made of quartz. The focal distance f 'of the imaging lens 50 is 30
It is 0.

したがって、この結像レンズ50と上記第1実施例1に
かかる対物レンズ10とからなる顕微鏡の結像倍率Mは、 M=−f′/f=−300/60=−5.0 となる。
Therefore, the imaging magnification M of the microscope including the imaging lens 50 and the objective lens 10 according to the first embodiment is M = −f ′ / f = −300 / 60 = −5.0.

第3A図および第3B図は、それぞれ対物レンズ10と結像
レンズ50とを組合せたレンズ系の球面収差および正弦条
件を示す図である。なお、両面(および後で説明する第
5A図,第5B図)において、符号A〜Dはそれぞれ波長29
8.06(nm),202.54(nm),398.84(nm),253.70(nm)
の光についての結果を示している。
3A and 3B are diagrams showing the spherical aberration and the sine condition of a lens system in which the objective lens 10 and the imaging lens 50 are combined, respectively. Note that both sides (and the later-described
In FIGS. 5A and 5B), reference numerals A to D indicate wavelengths 29, respectively.
8.06 (nm), 202.54 (nm), 398.84 (nm), 253.70 (nm)
3 shows the results for the light.

第3C図および第3D図は、それぞれ波長298.08(nm)に
ついての非点収差および歪曲収差を示す図である。な
お、第3C図(および後で説明する第5C図)において、実
線Sはサジタル像面を、また破線Mはメリジオナル像面
を示している。
3C and 3D are diagrams respectively showing astigmatism and distortion at a wavelength of 298.08 (nm). In FIG. 3C (and FIG. 5C described later), a solid line S indicates a sagittal image plane, and a broken line M indicates a meridional image plane.

第3A図および第3B図から、この対物レンズ10によれ
ば、紫外域および遠紫外域の光に対して収差が少ないこ
とがわかる。したがって、この対物レンズ10を紫外域や
遠紫外域において使用可能であることは明らかである。
また、第3C図および第3D図から、対物レンズ10を用いた
レンズ系の非点収差および歪曲収差が少ないことが明ら
かである。
From FIGS. 3A and 3B, it can be seen that the objective lens 10 has less aberration with respect to light in the ultraviolet region and the far ultraviolet region. Therefore, it is clear that this objective lens 10 can be used in the ultraviolet region or the far ultraviolet region.
Further, from FIGS. 3C and 3D, it is clear that the lens system using the objective lens 10 has less astigmatism and distortion.

B.第2実施例 第4図はこの発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第2
実施例を示す図である。この第2実施例にかかる対物レ
ンズ20は、対物レンズ10と基本的に同一の構成をとって
いる。すなわち、対物レンズ20は、物体側(同図の左
側)から像側(同図の右側)へこの順序に所定の空気間
隔をもって配列された第1ないし第3レンズ21〜23によ
り構成されている。
B. Second Embodiment FIG. 4 shows a second embodiment of the microscope objective lens according to the present invention.
It is a figure showing an example. The objective lens 20 according to the second embodiment has basically the same configuration as the objective lens 10. That is, the objective lens 20 is composed of first to third lenses 21 to 23 arranged in this order from the object side (left side in the figure) to the image side (right side in the figure) with a predetermined air spacing. .

第3表は、上記のように構成された対物レンズ20のレ
ンズデータを示すものである。
Table 3 shows lens data of the objective lens 20 configured as described above.

なお、同表からわかるように、第2レンズ22は石英製
であり、第1および第3レンズ21,23は蛍石製である。
As can be seen from the table, the second lens 22 is made of quartz, and the first and third lenses 21 and 23 are made of fluorite.

また、対物レンズ20の焦点距離fは60であり、開口数
(NA)は1/24であり、像サイズは10.6である。
The focal length f of the objective lens 20 is 60, the numerical aperture (NA) is 1/24, and the image size is 10.6.

また、波長298.06(nm)に対する、第1レンズ21の凸
面21aのパワーφ1+と、第1レンズ21の像側を向いた面2
1bのパワーφ1-とは、それぞれ φ1+=0.1637,φ1-=−0.2207 である。また、第2および第3レンズ22,23のパワー
φ2と、第2レンズ22と第3レンズ23からなる合成
系のパワーφ23と、全系(対物レンズ20)のパワーφと
は、それぞれ以下の通りである。
Further, the power φ 1+ of the convex surface 21a of the first lens 21 with respect to the wavelength 298.06 (nm) and the surface 2 facing the image side of the first lens 21
The power φ 1− of 1b is φ 1+ = 0.1637, φ 1− = −0.2207, respectively. Further, the powers φ 2 and φ 3 of the second and third lenses 22 and 23 , the power φ 23 of the combined system including the second lens 22 and the third lens 23, and the power φ of the entire system (objective lens 20) Are as follows.

φ=−0.07676,φ=0.09283, φ23=0.02313,φ=0.01667 したがって、上記データから、 |φ32|=1.210 が求まり、対物レンズ20が不等式(2)を満足している
ことは、明らかである。
φ 2 = −0.07676, φ 3 = 0.09283, φ 23 = 0.02313, φ = 0.01667 Therefore, from the above data, | φ 3 / φ 2 | = 1.210 is obtained, and the objective lens 20 satisfies the inequality (2). That is clear.

また、上記データから、 0.90|φ1+/φ|=8.839, 1.00|φ1+/φ|=9.821, |φ1-23|=9.541 がそれぞれ求まる。したがって、対物レンズ20が不等式
(4A),(4B)を満足していることは、明らかである。
From the above data, 0.90 | φ 1+ /φ|=8.839, 1.00 | φ 1+ /φ|=9.821, | φ 1− / φ 23 | = 9.541, respectively. Therefore, it is clear that the objective lens 20 satisfies the inequalities (4A) and (4B).

さらに、上記データから、 0.80・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|=4.224, 1.1・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|=5.808, |1/φ1-|=4.531 がそれぞれ求まる。したがって、対物レンズ20が不等式
(5A),(5B)を満足していることも、明らかである。
Further, from the above data, 0.80 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | = 4.224, 1.1 · | (4φ / 3φ 1+ -1) / φ 1+ | = 5.808, | 1 / φ 1- | = 4.531 is obtained respectively. Therefore, it is also clear that the objective lens 20 satisfies the inequalities (5A) and (5B).

この対物レンズ20についても、上記第1実施例と同様
に、いわゆる無限遠補正系とし、第2図に示す結像レン
ズ50を組合せされる。したがって、この結像レンズ50と
上記第2実施例にかかる対物レンズ20とからなる顕微鏡
の結像倍率Mも、 M=−f′/f=−300/60=−5.0 となる。
This objective lens 20 is also a so-called infinity correction system as in the first embodiment, and is combined with an imaging lens 50 shown in FIG. Therefore, the imaging magnification M of the microscope including the imaging lens 50 and the objective lens 20 according to the second embodiment is also M = -f '/ f = -300 / 60 = -5.0.

第5A図および第5B図は、それぞれ対物レンズ20と結像
レンズ50とを組合せたレンズ系の球面収差および正弦条
件を示す図である。また、第5C図および第5D図は、それ
ぞれ波長298.06(nm)についての非点収差および歪曲収
差を示す図である。
5A and 5B are diagrams showing the spherical aberration and the sine condition of a lens system in which the objective lens 20 and the imaging lens 50 are combined, respectively. FIGS. 5C and 5D are diagrams respectively showing astigmatism and distortion at a wavelength of 298.06 (nm).

第5A図および第5B図から、この対物レンズ20によれ
ば、紫外域および遠紫外域の光に対して収差が少ないこ
とがわかる。したがって、この対物レンズ20を紫外域や
遠紫外域において使用可能であることは明らかである。
また、第5C図および第5D図から、対物レンズ20を用いた
レンズ系の非点収差および歪曲収差が少ないことが明ら
かである。
From FIGS. 5A and 5B, it can be seen that the objective lens 20 has a small aberration with respect to light in the ultraviolet region and the far ultraviolet region. Therefore, it is clear that this objective lens 20 can be used in the ultraviolet region or the far ultraviolet region.
5C and 5D show that the lens system using the objective lens 20 has less astigmatism and distortion.

C.第1および第2実施例の効果 以上のように、第1および第2実施例にかかる対物レ
ンズ10,20は紫外域や遠紫外域において使用可能であ
り、これらの波長領域において優れた特性を有してい
る。また、いずれの実施例においても、第1ないし第3
レンズは相互に離隔されている。そのため、オプチカル
コンタクトの必要はなくなり、対物レンズを低コストで
提供することができる。
C. Effects of First and Second Embodiments As described above, the objective lenses 10 and 20 according to the first and second embodiments can be used in an ultraviolet region or a deep ultraviolet region, and are excellent in these wavelength regions. Has characteristics. Also, in any of the embodiments, the first to third
The lenses are spaced from each other. Therefore, there is no need for an optical contact, and an objective lens can be provided at low cost.

なお、上記においては、特に説明しながったが、いず
れの実施例も、可視域および赤外域においてもいずれの
収差も少なく、各対物レンズ10,20を赤外域から遠紫外
域の範囲において使用可能であることが確認された。
In the above, although not particularly described, in each embodiment, both aberrations are small in the visible region and the infrared region, and each of the objective lenses 10 and 20 is in the range from the infrared region to the far ultraviolet region. It was confirmed that it could be used.

ところで、本願発明者が先に開示した対物レンズ60
(第7図)は結像レンズ50(第2図)と組合されて、結
像倍率Mが−10倍のレンズ系を構成している。すなわ
ち、対物レンズ60の焦点距離は30である。これに対し
て、上記実施例にかかる対物レンズ10,20の焦点距離は
いずれも60である。したがって、結像レンズ50を固定し
ておき、例えば第1実施例の対物レンズ10を対物レンズ
60と交換することによって、結像倍率Mを−10倍から−
5倍に変化させることができる。
By the way, the objective lens 60 previously disclosed by the inventor of the present application.
(FIG. 7) is combined with the imaging lens 50 (FIG. 2) to form a lens system having an imaging magnification M of -10. That is, the focal length of the objective lens 60 is 30. On the other hand, the focal lengths of the objective lenses 10 and 20 according to the above embodiments are both 60. Therefore, the imaging lens 50 is fixed, and for example, the objective lens 10 of the first embodiment is
By exchanging with 60, the imaging magnification M is changed from -10 times to-
It can be changed five times.

しかも、対物レンズ10,20はいずれも対物レンズ60と
同焦点になっている。その結果、対物レンズの交換(例
えば、対物レンズ60から対物レンズ10への交換)後も、
ピントを合わせ直す必要がなくなり、顕微鏡の操作性が
向上する。
In addition, both the objective lenses 10 and 20 are confocal with the objective lens 60. As a result, after replacement of the objective lens (for example, replacement of the objective lens 60 to the objective lens 10),
There is no need to refocus, and the operability of the microscope is improved.

その上、各対物レンズ10,20の瞳径は対物レンズ60と
ほぼ同程度となっている。したがって、レンズ交換によ
っても、物体を照明する光量に大きな変化を認められ
ず、良好な状態で物体の観察を行うことができる。
In addition, the pupil diameter of each of the objective lenses 10 and 20 is substantially the same as that of the objective lens 60. Therefore, even when the lens is replaced, a large change in the amount of light illuminating the object is not recognized, and the object can be observed in a favorable state.

すなわち、上記実施例にかかる対物レンズ10,20はい
ずれも本願の第2の目的に合致する対物レンズといえ
る。
That is, it can be said that the objective lenses 10 and 20 according to the above-described embodiments are both objective lenses that meet the second object of the present invention.

(発明の効果) 以上のように、請求項1の発明によれば、石英製また
は蛍石製の第1レンズと、石英製の第2レンズと、蛍石
製の第3レンズとを、物体側から像側へ、この順序に所
定の空気間隔をもって配列されているため、当該対物レ
ンズを紫外域や遠紫外域において使用することができ
る。
(Effects of the Invention) As described above, according to the first aspect of the present invention, the first lens made of quartz or fluorite, the second lens made of quartz, and the third lens made of fluorite are placed on the object. The objective lens can be used in an ultraviolet region or a deep ultraviolet region since the objective lens is arranged from the side to the image side in this order with a predetermined air gap.

また、各レンズは所定の空気間隔をもって相互に離隔
されているために、オプチカルコンタクトの必要がなく
なり、当該対物レンズを安価に提供することができる。
In addition, since the lenses are separated from each other with a predetermined air gap, there is no need for an optical contact, and the objective lens can be provided at a low cost.

しかも、前記第3レンズは正のパワーを有する一方、
前記第2レンズは負のパワーを有しているため、球面収
差や色収差等の諸収差を補正することができる。
Moreover, while the third lens has a positive power,
Since the second lens has negative power, various aberrations such as spherical aberration and chromatic aberration can be corrected.

また、対物レンズが不等式(2)を満足しているの
で、球面収差等をより少なくすることができる。
Further, since the objective lens satisfies the inequality (2), spherical aberration and the like can be further reduced.

請求項2の発明によれば、第1レンズの第2面に大き
な負のパワーを持たせ、この第2面,第2レンズおよび
第3レンズを、物体側から像側へ、この順序で配列し
て、いわゆる望遠タイプの構成をとっている。そのた
め、本願の対物レンズの焦点距離を先の出願の対物レン
ズのほぼ2倍とすることができる。
According to the second aspect of the present invention, the second surface of the first lens has a large negative power, and the second surface, the second lens, and the third lens are arranged in this order from the object side to the image side. Then, it has a so-called telephoto type configuration. Therefore, the focal length of the objective lens of the present application can be approximately twice that of the objective lens of the earlier application.

また、本願の対物レンズが不等式(5A),(5B)を満
足するように構成されているので、当該対物レンズを先
の出願の被交換用対物レンズとほぼ同焦点にすることが
できる。
Further, since the objective lens of the present application is configured so as to satisfy the inequalities (5A) and (5B), the objective lens can be made substantially confocal with the exchangeable objective lens of the earlier application.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、この発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第1
実施例を示す図であり、 第2図は、結像レンズの構成を示す図であり、 第3A図,第3B図,第3C図および第3D図は、それぞれ第1
図に示す対物レンズと上記結像レンズとを組合せたレン
ズ系の球面収差,正弦条件,非点収差および歪曲収差を
示す図であり、 第4図は、この発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第2
実施例を示す図であり、 第5A図,第5B図,第5C図および第5D図は、それぞれ第4
図に示す対物レンズと上記結像レンズとを組合せたレン
ズ系の球面収差,正弦条件,非点収差および歪曲収差を
示す図であり、 第6図および第7図は、それぞれ従来の顕微鏡用対物レ
ンズの構成を示す図である。 10,20……対物レンズ、 11,21……第1レンズ、 11a,21a……凸面, 12,22……第2レンズ、 13,23……第3レンズ、 50……結像レンズ、60……対物レンズ
FIG. 1 is a first view of a microscope objective lens according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an embodiment, FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an imaging lens, and FIGS. 3A, 3B, 3C, and 3D each show a first example.
FIG. 4 is a diagram showing spherical aberration, sine condition, astigmatism, and distortion of a lens system obtained by combining the objective lens shown in the figure and the above-mentioned imaging lens. FIG. 4 is a diagram showing a microscope objective lens according to the present invention. 2
FIGS. 5A, 5B, 5C, and 5D each show an embodiment.
FIGS. 6 and 7 are diagrams showing spherical aberration, sine condition, astigmatism and distortion of a lens system in which the objective lens shown in FIG. 1 and the above-mentioned imaging lens are combined. FIGS. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a lens. 10, 20 ... objective lens, 11, 21 ... first lens, 11a, 21a ... convex surface, 12, 22 ... second lens, 13,23 ... third lens, 50 ... imaging lens, 60 …… Objective lens

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】結像レンズと協働して物体の像を結像する
顕微鏡用対物レンズであって、物体側から像側へ、第1
ないし第3レンズをこの順序に所定の空気間隔をもって
配列してなり、前記第1レンズは石英製または蛍石製で
凸面を物体側に向けた正のパワーを有するメニスカスレ
ンズであり、前記第2レンズは石英製で負のパワーを有
し、前記第3レンズは蛍石製で正のパワーを有するとと
もに、 前記第2および第3レンズのパワーをそれぞれφ2,φ3
とするとき、 1.1<|φ3/φ2|<1.3 を満足することを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。
An objective lens for a microscope for forming an image of an object in cooperation with an imaging lens, comprising:
The third lens is a meniscus lens made of quartz or fluorite and having a positive power with its convex surface facing the object side, and the first lens is made of quartz or fluorite. The lens is made of quartz and has a negative power, the third lens is made of fluorite and has a positive power, and the powers of the second and third lenses are φ2 and φ3, respectively.
Where 1.1 <| φ3 / φ2 | <1.3.
【請求項2】結像レンズと協働して物体の像を所定の結
像倍率をもって結像面上に結像する対物レンズと交換可
能であり、しかも前記対物レンズに代えて前記結像レン
ズと組合せて使用されたときに、結像倍率をほぼ半減さ
せる顕微鏡用対物レンズであって、 物体側から像側へ、第1ないし第3レンズをこの順序
に所定の空気間隔をもって配列してなり、前記第1レン
ズは石英製または蛍石製で凸面を物体側に向けた正のパ
ワーを有するメニスカスレンズであり、前記第2レンズ
は石英製で負のパワーを有し、前記第3レンズは蛍石製
で正のパワーを有するとともに、 前記第1ないし第3レンズのパワーをそれぞれφ1,φ
2、φ3、前記第2および第3レンズからなる合成系の
パワーをφ23、全系のパワーをφとするとき、 1.1<|φ3/φ2|<1.3 0.90|φ1+/φ|<|φ1−/φ23| 1.00|φ1+/φ|>|φ1−/φ23| 0.80・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|<|1/φ1−
| 1.1・|(4φ/3φ1+−1)/φ1+|>|1/φ1−| なお、 φ1+=(n−1)/r1 φ1−=(1−n)/r2 ただし、 n:前記第1レンズの屈折率、 r1:前記第1レンズの物体側を向いた面の曲率半径、 r2:前記第1レンズの像側を向いた面の曲率半径 を満足することを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。
2. An imaging lens which is interchangeable with an objective lens for forming an image of an object on an imaging surface at a predetermined imaging magnification in cooperation with an imaging lens, and wherein said objective lens is replaced with said objective lens. A microscope objective lens for reducing the imaging magnification by almost half when used in combination with the first to third lenses arranged in this order from the object side to the image side with a predetermined air gap. The first lens is a meniscus lens made of quartz or fluorite and having a positive power with the convex surface facing the object side, the second lens is made of quartz and has a negative power, and the third lens is It is made of fluorite and has a positive power. The power of the first to third lenses is φ1, φ
2, φ3, when the power of the combined system including the second and third lenses is φ23 and the power of the entire system is φ, 1.1 <| φ3 / φ2 | <1.3 0.90 | φ1 + / φ | <| φ1- / φ23 | 1.00 | φ1 + / φ |> | φ1- / φ23 | 0.80 · | (4φ / 3φ1 + -1) / φ1 + | <| 1 / φ1-
| 1.1 · | (4φ / 3φ1 + -1) / φ1 + |> | 1 / φ1- | φ1 + = (n-1) / r1 φ1-= (1-n) / r2, where n: the first lens R1: a radius of curvature of a surface of the first lens facing the object side, and r2: a radius of curvature of a surface of the first lens facing the image side.
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