JP2595285B2 - Suspended particle detector - Google Patents
Suspended particle detectorInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、血球浮遊液などの懸濁液中の粒子の数を
測定する懸濁粒子検出器に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a suspended particle detector for measuring the number of particles in a suspension such as a blood cell suspension.
「従来の技術」 粒子の懸濁液を微細孔を通過させ、液と粒子との電気
インピーダンスの差異に基づく変化により、粒子を一個
づつ検出する型式の懸濁粒子検出器として、従来、第５
図に示す構造のものが知られている（特公昭56−34810
号公報）。2. Description of the Related Art Conventionally, a suspension particle detector of a type in which a suspension of particles is passed through micropores and the particles are detected one by one by a change based on a difference in electric impedance between the liquid and the particles has been used.
The structure shown in the figure is known (JP-B-56-34810).
No.).
図中、符号１は検出器本体を示すもので、この検出器
本体１は、有底円筒状の検出器筒体２の内部に順次シー
ルド用金属筒（外部電極）３、円筒状の内筒４が嵌着さ
れてなるものである。前記検出器筒体２および内部４
は、絶縁性の合成樹脂等の絶縁材料から構成されてお
り、これら筒体２および内筒４は前記外部電極３の外周
面および内周面を電気的に絶縁するとともに、外部電極
３の腐食を防止する役目を果たしている。外部電極３の
上端は、後述するように計数・検出回路に電気的に接続
されるためにフランジ状に形成されて外部に露出されて
いる。また、外部電極３の下端は、前記筒体２の切欠部
（図示しない）の位置で外部に対して露出している。こ
の露出部分は白金や金などの耐腐食性の金属により被覆
され、保護されている。In the drawing, reference numeral 1 denotes a detector main body. The detector main body 1 includes a shielded metal tube (external electrode) 3 and a cylindrical inner tube inside a bottomed cylindrical detector tube 2 sequentially. 4 is fitted. The detector cylinder 2 and the interior 4
Are made of an insulating material such as an insulating synthetic resin. The cylindrical body 2 and the inner cylinder 4 electrically insulate the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the external electrode 3 and corrode the external electrode 3. Plays a role in preventing The upper end of the external electrode 3 is formed in a flange shape so as to be electrically connected to a counting / detecting circuit as described later, and is exposed to the outside. Further, a lower end of the external electrode 3 is exposed to the outside at a position of a notch (not shown) of the cylindrical body 2. This exposed portion is covered and protected by a corrosion-resistant metal such as platinum or gold.
前記のようにして内部中心に孔５が形成された検出器
本体１の下部一側部には、前記孔５に連通する細孔６が
穿設され、この細孔６の外部開口部分には微細孔7aが穿
設されている検出器ペレット７が固定されている。A small hole 6 communicating with the hole 5 is formed in one side of the lower part of the detector main body 1 having the hole 5 formed in the center of the inside as described above. A detector pellet 7 having a fine hole 7a formed therein is fixed.
また、前記孔５の内部には、電極８が配置され、この
電極８と前記外部電極３とが検出・計数回路９に電気的
に接続されて懸濁粒子検出器が完成されている。Further, an electrode 8 is arranged inside the hole 5, and the electrode 8 and the external electrode 3 are electrically connected to a detection / counting circuit 9, whereby a suspended particle detector is completed.
前記構成の検出器により懸濁液中の粒子数を測定する
には、検出器の先端を試料中に浸漬して内筒４の上端を
図示しない吸引ポンプなどの吸引手段に接続して試料を
吸引する。検出ペレット７の周辺には、前記電極８とシ
ールド用金属筒３を介して予め微定常電流が流れてい
る。従って、試料中の粒子が検出器ペレット７の微細孔
7aを通過すると瞬間的に電圧が上がり、これが電気パル
スとなって検出・計数回路９により検出・計数されるこ
とになる。In order to measure the number of particles in the suspension using the detector having the above-described configuration, the tip of the detector is immersed in the sample, and the upper end of the inner cylinder 4 is connected to a suction unit such as a suction pump (not shown) to load the sample. Suction. A microstationary current flows in advance around the detection pellet 7 via the electrode 8 and the shielding metal tube 3. Therefore, the particles in the sample are fine pores of the detector pellet 7.
When the voltage passes through 7a, the voltage rises instantaneously, and the voltage becomes an electric pulse, which is detected and counted by the detection / counting circuit 9.
また、第６図は、従来の懸濁粒子検出器の他の例を示
すもので、第６図中、符号40は中心に孔41を有する筒体
本体を示すものである。また、符号42は、筒体本体40の
下端開口を塞いでいるキャップ、43は筒体本体40の側面
を覆う導電性の外筒、50はキャップ42に形成された懸濁
液導入用の微細孔、52は目詰まり防止用の整流器であ
る。筒体本体40の外部と孔41の内部とは、前記微細孔50
によって連通している。孔41の内部には電極46が挿入さ
れており、この電極46と外筒43とは検出・計数装置47に
電気的に接続されている。FIG. 6 shows another example of a conventional suspended particle detector. In FIG. 6, reference numeral 40 denotes a cylindrical main body having a hole 41 at the center. Reference numeral 42 denotes a cap that covers the lower end opening of the cylindrical body 40, 43 denotes a conductive outer cylinder that covers the side surface of the cylindrical body 40, and 50 denotes a fine liquid for introducing a suspension formed in the cap 42. The holes 52 are rectifiers for preventing clogging. The outside of the cylindrical body 40 and the inside of the hole 41 are
Is in communication with An electrode 46 is inserted into the hole 41, and the electrode 46 and the outer cylinder 43 are electrically connected to a detection / counting device 47.
この例の検出器では、第５図に示した検出器と同様
に、微細孔50を通して懸濁液を孔41内に導入し、懸濁液
中の粒子が微細孔50を通過する際の電圧変化を検出・計
数装置47が検出することにより、上記懸濁液中の粒子数
が測定される。In the detector of this example, similarly to the detector shown in FIG. 5, the suspension is introduced into the holes 41 through the fine holes 50, and the voltage when the particles in the suspension pass through the fine holes 50 is measured. When the change is detected by the detection / counting device 47, the number of particles in the suspension is measured.
「発明が解決しようとする課題」 ところが、前記従来の懸濁粒子検出器には、次のよう
な課題があり、その解決が望まれているのが現状であ
る。"Problems to be Solved by the Invention" However, the conventional suspended particle detector has the following problems, and it is presently desired to solve them.
（イ） 部品点数（特に、試料流入部分の部品点数）が
多く、しかも、それらの部品は精密な加工および組み立
てを必要とするので、製造工数がかかる。(A) The number of parts (particularly, the number of parts at the sample inflow portion) is large, and these parts require precise processing and assembly, and thus require a lot of manufacturing man-hours.
（ロ） シールド壁と一方の電極とを兼ねるために金属
筒３を設けなければならず、検出器本体１のコンパクト
化が図りにくい。(B) The metal cylinder 3 must be provided to serve both as a shield wall and one electrode, and it is difficult to make the detector main body 1 compact.
（ハ） 外表面に露出する検出器筒体２は、合成樹脂製
なので、比較的機械的強度が低く、傷や汚れを受けやす
く、耐久性に問題がある。(C) Since the detector cylinder 2 exposed on the outer surface is made of synthetic resin, it has relatively low mechanical strength, is susceptible to scratches and dirt, and has a problem in durability.
（ニ） また、検出器筒体２は強度の低い合成樹脂製で
あるので、検出器の薄肉化、小型化が図りにくい。(D) Further, since the detector cylinder 2 is made of a synthetic resin having low strength, it is difficult to reduce the thickness and size of the detector.
（ホ） 外部電極３の外部露出部分を保護するために用
いられている白金、金は、高価であるため、検出器の製
造コストの上昇を招いている。(E) Platinum and gold used for protecting the externally exposed portion of the external electrode 3 are expensive, which causes an increase in the manufacturing cost of the detector.
（ヘ） 微細孔が形成された検出器ペレットまたはキャ
ップと、これらが接合された検出器本体または筒体本体
との接合部を通して外部の液が検出器内部にリークし、
検出器の測定精度が低下するおそれがある。(F) An external liquid leaks into the detector through the joint between the detector pellet or cap in which the micropores are formed and the detector main body or the cylinder main body to which these are bonded,
The measurement accuracy of the detector may be reduced.
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、部品点数が少なく、製造容易で、耐久性に優
れ、コンパクトで、測定精度の高い懸濁粒子検出器を提
供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a suspended particle detector having a small number of parts, easy to manufacture, excellent in durability, compact, and high in measurement accuracy. .
「課題を解決する手段」 本願の第１の発明に係る懸濁粒子検出器は、検出器筒
体がセラミックスで形成され、前記微細孔が、検出器筒
体の先端部外周面または底面に、該筒体内外を連通して
穿孔され、前記検出器筒体の外周面にメタライズ層が形
成され、かつ前記メタライズの外周面に、セラミックス
製の保護層が接合され一体となっていることを特徴とす
るものである。"Means for Solving the Problems" In the suspended particle detector according to the first invention of the present application, the detector cylinder is formed of ceramics, and the micropores are formed on the outer peripheral surface or the bottom surface of the tip of the detector cylinder. It is perforated so as to communicate with the inside and outside of the cylindrical body, a metallized layer is formed on the outer peripheral surface of the detector cylindrical body, and a protective layer made of ceramics is joined to and integrated with the outer peripheral surface of the metallized structure. It is assumed that.
また、本願の第２の発明に係る懸濁粒子検出器は、検
出器筒体がAl2O3、ZrO2などの電気絶縁性セラミックス
で形成され、前記微細孔が、検出器筒体の先端部外周面
または底面に、該筒体内外を連通して穿孔され、前記検
出器筒体の外周面にTiN、ZrN、TiB2、ZrB2、TiN＋ZrN固
溶体などの導電性および耐腐食性を有するセラミックス
または白金（Pt）、金（Au）またはこれらの合金などの
耐腐食性を有する金属からなる外筒が形成されているこ
とを特徴とするものである。Further, in the suspended particle detector according to the second invention of the present application, the detector cylinder is formed of an electrically insulating ceramic such as Al 2 O 3 or ZrO 2, and the fine hole is formed at the tip of the detector cylinder. A ceramic having conductivity and corrosion resistance such as TiN, ZrN, TiB 2 , ZrB 2 , and a solid solution of TiN + ZrN is formed on the outer peripheral surface or bottom surface of the detector cylindrical body so as to communicate with the inside and outside of the cylindrical body. Alternatively, an outer cylinder made of a metal having corrosion resistance such as platinum (Pt), gold (Au), or an alloy thereof is formed.
また、本願の第３の発明に係る懸濁粒子検出器は、前
記検出器筒体がAl2O3、ZrO2などの電気絶縁性セラミッ
クスで形成され、前記微細孔が、検出器筒体の先端部外
周面または底面に、該筒体内外を連通して穿孔され、前
記検出器筒体の外周面にTiN、ZrN、TiB2、ZrB2、TiN＋Z
rN固溶体などの導電性および耐腐食性を有するセラミッ
クスまたは白金（Pt）、金（Au）またはこれらの合金な
どの耐腐食性を有する金属からなるコーティング層が形
成されていることを特徴とするものである。Further, in the suspended particle detector according to the third invention of the present application, the detector cylinder is formed of an electrically insulating ceramic such as Al 2 O 3 or ZrO 2, and the fine holes are formed in the detector cylinder. The outer peripheral surface or the bottom surface of the tip portion is perforated to communicate with the inside and outside of the cylinder, and the outer peripheral surface of the detector cylinder is provided with TiN, ZrN, TiB 2 , ZrB 2 , TiN + Z
rN solid solution or other conductive and corrosion-resistant ceramics or a coating layer made of corrosion-resistant metal such as platinum (Pt), gold (Au) or their alloys. It is.
「作用」 上記構成の懸濁粒子検出器によれば、次のような利点
を得ることができる。[Operation] According to the suspended particle detector having the above configuration, the following advantages can be obtained.
（ａ） 懸濁液に直接に接する部分である内筒が非汚染
性のセラミックスから構成されているので、測定対象で
ある懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸濁液により影
響されることもない。また、この内筒は、セラミックス
製であるため、機械的強度も高く、検出器の耐久性を大
幅に向上させることができ、検出器本体の薄肉小型化す
ることができる。(A) Since the inner cylinder, which is in direct contact with the suspension, is made of non-polluting ceramics, it affects the suspension to be measured and, conversely, is affected by the suspension. Never even. Further, since the inner cylinder is made of ceramics, it has high mechanical strength, can greatly improve the durability of the detector, and can reduce the thickness and thickness of the main body of the detector.
（ｂ） 前記微細孔を、検出器筒体の先端部外周面また
は底面に、該筒体内外を連通して穿孔した構成としたの
で、部品としては、セラミックス製の内筒と、この内筒
外周面に形成したメタライズ層を保護する保護スリー
ブ、または前記内筒外周面に形成した外筒、または前記
内筒外周面に形成したコーティング層で済み、部品点数
が少なくて済む。(B) Since the micropores are formed in the outer peripheral surface or the bottom surface of the distal end portion of the detector cylinder so as to communicate with the inside and outside of the cylinder, the components are a ceramic inner cylinder and this inner cylinder. The protective sleeve for protecting the metallized layer formed on the outer peripheral surface, the outer cylinder formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, or the coating layer formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder is sufficient, and the number of parts is small.
なお、第１の発明において、メタライズ層上にさらに
保護コーティング層を形成する場合は、第２、３の発明
と同様に保護スリーブは不要となるので、さらに部品点
数が減り、製作工数を大幅に削減することが可能とな
る。In the first invention, when a protective coating layer is further formed on the metallized layer, a protective sleeve is not required as in the second and third inventions, so that the number of parts is further reduced and the number of manufacturing steps is greatly reduced. It becomes possible to reduce.
（ｃ） セラミックス製の内筒の外周面に形成したメタ
ライズ層または外筒またはコーティング層を、シールド
壁と外部電極とを兼ねるものとしているので、検出器本
体を大幅に薄肉化してコンパクトにすることができる。(C) Since the metallized layer, outer cylinder, or coating layer formed on the outer peripheral surface of the ceramic inner cylinder also serves as a shield wall and an external electrode, the detector body is greatly thinned to be compact. Can be.
以下、この発明を実施例によりさらに詳しく説明す
る。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
「実施例１」 第１図および第２図は、本願の第１の発明の一実施例
を説明するためのもので、図中符号20は懸濁粒子検出器
の検出器本体20を示すものである。Embodiment 1 FIGS. 1 and 2 are for explaining one embodiment of the first invention of the present application, and reference numeral 20 in the figure denotes a detector main body 20 of a suspended particle detector. It is.
この検出器本体20は有底円筒状の検出器筒体である内
筒21と、この内筒21の外周面を覆っている保護層である
保護スリーブ22と、この保護スリーブ22を内筒21に固定
しているフランジ23とから構成されている。前記内筒21
と保護スリーブ22は、アルミナ焼結体、ジルコニア焼結
体等の非汚染性、絶縁性のセラミックスから構成されて
おり、各々同一材料でも別材料でもよい。また、フラン
ジ23は、後に説明するように一方の電極の電気的コネク
ターの役目を果たす必要上、ステンレス（SUS 304）等
の耐腐食性金属から構成される。The detector main body 20 includes an inner cylinder 21 which is a cylindrical detector cylinder having a bottom, a protective sleeve 22 which is a protective layer covering the outer peripheral surface of the inner cylinder 21, and the inner sleeve 21. And a flange 23 fixed to the flange 23. The inner cylinder 21
The protective sleeve 22 is made of non-staining and insulating ceramics such as an alumina sintered body and a zirconia sintered body, and may be made of the same material or different materials. The flange 23 is made of a corrosion-resistant metal such as stainless steel (SUS 304) because it needs to serve as an electrical connector of one of the electrodes as described later.
前記有底円筒状の内筒21は、円筒状の筒体本体24と、
この筒体本体24の先端開口部を液密に塞いでいるキャッ
プ25とから構成されているか、あるいは保護スリーブ22
が半球状の底部を有した内筒21と嵌合されている構成
（図示せず）かのいずれかであり、いずれの場合も筒状
本体24の先端部26近傍には、懸濁液導入用の微細孔27が
穿孔されている。The bottomed cylindrical inner cylinder 21 includes a cylindrical cylindrical body 24,
Or a cap 25 that closes the opening at the distal end of the cylindrical body 24 in a liquid-tight manner, or the protective sleeve 22
Is fitted into the inner cylinder 21 having a hemispherical bottom (not shown). In any case, the suspension is introduced near the tip 26 of the cylindrical main body 24. Micro holes 27 are drilled.
また、前記筒体本体24の保護スリーブ22の内面と対応
する中間部分28の外周面には、導電性の良好な金属、例
えば、銀ペースト（銀と酸化物ガラス粉との混合物）あ
るいはMo−Mn粉末等を用いてメタライズ層29が形成され
ている。本実施例において銀メタライズを用いた。さら
に、前記先端部26の微細孔27側は幾分平坦に研削されて
おり、その他側面30には白金製の帯状電極31が貼着さ
れ、前記メタライズ層29に電気的に接続するように構成
されている。このメタライズ層29の厚さは通常20〜200
μｍ程度であり、本実施例では60μｍであった。On the outer peripheral surface of the intermediate portion 28 corresponding to the inner surface of the protective sleeve 22 of the cylindrical body 24, a metal having good conductivity, for example, silver paste (a mixture of silver and oxide glass powder) or Mo- Metallized layer 29 is formed using Mn powder or the like. In this example, silver metallization was used. Further, the fine hole 27 side of the tip end portion 26 is ground somewhat flat, and a band-shaped electrode 31 made of platinum is adhered to the other side surface 30 so as to be electrically connected to the metallized layer 29. Have been. The thickness of this metallized layer 29 is usually 20-200
In this embodiment, it was 60 μm.
前記のように構成された内筒21には、その中間部分28
上のメタライズ層29を覆うようにして保護スリーブ22が
嵌着され、フランジ23により固定されて、前記メタライ
ズ層29を液密に保護している。ここで、フランジ23はメ
タライズ層29に電気的に接続するように取り付けられて
いる。The inner cylinder 21 configured as described above has an intermediate portion 28
A protective sleeve 22 is fitted so as to cover the upper metallized layer 29, and is fixed by a flange 23 to protect the metallized layer 29 in a liquid-tight manner. Here, the flange 23 is attached so as to be electrically connected to the metallized layer 29.
上記構成において、フランジ23を図示しない検出・計
数回路に電気的に接続するとともに、この検出・計数回
路に接続した電極を前記筒体本体24内に挿入、設置し
て、本発明の懸濁粒子検出器が完成される。In the above configuration, the flange 23 is electrically connected to a detection / counting circuit (not shown), and the electrodes connected to the detection / counting circuit are inserted and installed in the cylindrical body 24, and the suspended particles of the present invention are provided. The detector is completed.
上記構成の第１の発明の懸濁粒子検出器によれば、次
のような利点を得ることができる。According to the suspended particle detector of the first invention having the above configuration, the following advantages can be obtained.
（ｉ） 懸濁液に直接に接する部分である内筒21が非汚
染性のセラミックスから構成されているので、測定対象
である懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸濁液により
影響されることもない。また、この内筒21も保護スリー
ブ22も、セラミックス製であるため、機械的強度が高
く、検出器の耐久性を大幅に向上させることができる。(I) Since the inner cylinder 21, which is in direct contact with the suspension, is made of non-contaminating ceramics, the inner cylinder 21 has an effect on the suspension to be measured and, conversely, has an effect on the suspension. It will not be done. Further, since both the inner cylinder 21 and the protective sleeve 22 are made of ceramics, the mechanical strength is high and the durability of the detector can be greatly improved.
（ii） 微細孔27を、筒体本体24に穿孔した構成とした
ので、構成部品としては、セラミックス製の内筒21と、
この内筒21外周面に形成したメタライズ層29を保護する
保護スリーブ22と、この保護スリーブ22を固定するフラ
ンジ23のみで済み、部品点数が少なくて済む。このた
め、製作工程が簡略化され、製造が容易となる。また、
微細孔が形成された部材を内筒21に接合した構造ではな
いため、上記部材と内筒21との接合部を通して懸濁液が
リークすることによる測定精度の低下が起きることがな
い。なお、保護層として前記保護スリーブ22を用いる代
わりにメタライズ層29上にセラミックスにより保護コー
ティング層を形成すれば、さらに部品点数を削減するこ
とができ、組立工数を大幅に削減することが可能とな
る。(Ii) Since the fine holes 27 are formed in the cylindrical body 24, the components are the ceramic inner cylinder 21 and
Only the protective sleeve 22 for protecting the metallized layer 29 formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder 21 and the flange 23 for fixing the protective sleeve 22 are required, and the number of parts is small. This simplifies the manufacturing process and facilitates manufacturing. Also,
Since the member in which the micropores are formed is not joined to the inner cylinder 21, the measurement accuracy does not decrease due to the leakage of the suspension through the joint between the member and the inner cylinder 21. If a protective coating layer is formed of ceramics on the metallized layer 29 instead of using the protective sleeve 22 as a protective layer, the number of parts can be further reduced, and the number of assembling steps can be greatly reduced. .
（iii） セラミックス製の内筒21の外周面に形成した
メタライズ層29を、シールド壁と一方の電極とを兼ねる
シールド金属層としているので、検出器本体を大幅に薄
肉化してコンパクトにすることができる。(Iii) Since the metallized layer 29 formed on the outer peripheral surface of the ceramic inner cylinder 21 is a shield metal layer that also functions as a shield wall and one electrode, the detector body can be made significantly thinner and compact. it can.
なお、上記実施例において、内筒を円筒状の筒体本体
とこの筒体本体の下端を塞ぐキャップとから構成し、後
から一体化するように構成したが、グリーン（未焼成の
原料）成形時から既に一体的に構成してもよい。また、
この場合、微細孔はグリーン成形時に形成しておき、焼
結終了後に仕上げ加工することも可能である。In the above embodiment, the inner cylinder is constituted by the cylindrical cylinder body and the cap for closing the lower end of the cylinder body, and is configured to be integrated later. However, green (unfired raw material) molding is performed. From time to time, it may be configured integrally. Also,
In this case, the fine holes can be formed during green molding, and can be finished after sintering.
「実施例２」 第３図は、本願の第２の発明の一実施例を説明するた
めのもので、図中符号40は中心に孔41を有する筒体本体
を示すものである。また、符号42は筒体本体40の下端を
液密に塞いでいるキャップ、43は筒体本体40の側面を覆
う外筒、44は筒体本体40の下部の側壁に形成された薄肉
部、45はこの薄肉部44の中央に形成された懸濁液導入用
の微細孔である。筒体本体40の外部と孔41の内部とは、
前記微細孔45によって連通している。孔41の内部には電
極46が挿入されており、この電極46は検出・計数装置47
を介して外筒43と電気的に接続されている。Embodiment 2 FIG. 3 is for explaining one embodiment of the second invention of the present application, and reference numeral 40 in the figure denotes a cylindrical main body having a hole 41 at the center. Reference numeral 42 is a cap that closes the lower end of the cylindrical body 40 in a liquid-tight manner, 43 is an outer cylinder that covers the side surface of the cylindrical body 40, 44 is a thin portion formed on a lower side wall of the cylindrical body 40, Reference numeral 45 denotes a fine hole formed at the center of the thin portion 44 for introducing a suspension. The outside of the cylindrical body 40 and the inside of the hole 41 are:
The micro holes 45 communicate with each other. An electrode 46 is inserted into the hole 41, and the electrode 46 is connected to a detection / counting device 47.
Is electrically connected to the outer cylinder 43 via the
前記筒体本体40とキャップ42は、アルミナ焼結体（Al
2O3）、ジルコニア焼結体（ZrO2）などの非汚染性、絶
縁性のセラミックスから構成されており、各々同一材料
でも別材料でもよい。また、外筒43は、導電性があり、
耐腐食性の高いセラミックス（TiN、ZrN、TiB2、ZrB2、
あるいはこれらの固溶体など）、あるいは耐腐食性の高
い金属（白金（Pt）、金（Au）など）から構成されてい
る。The cylindrical body 40 and the cap 42 are made of an alumina sintered body (Al
It is made of non-contaminating and insulating ceramics such as 2 O 3 ) and zirconia sintered body (ZrO 2 ), and may be the same or different. Also, the outer cylinder 43 is conductive,
Corrosion highly ceramics (TiN, ZrN, TiB 2, ZrB 2,
Or a solid solution thereof, or a metal having high corrosion resistance (such as platinum (Pt) or gold (Au)).
このように構成された検出器を使用した際の作用につ
いて、以下に説明する。The operation when the detector configured as described above is used will be described below.
検出器の先端を懸濁液に浸漬すると、前記電極46と外
筒43とは、懸濁液を介して電気的に接続され、ここに電
極46と計数・検出装置47と外筒43とを連結した電気回路
が形成される。この電気回路において、電極46と外筒43
とは微細孔45内の懸濁液を通じて電気的に連結されてい
る。ここで、筒体本体40の上端を図示しない吸引ポンプ
などの吸引手段に接続して吸引し、懸濁液を微細孔45の
中を通過させる。このとき、前記電極46と外筒43との間
に電位差を与え、定常な微電流が両者の間を充たす懸濁
液中を（微細孔45を通って）流しておく。この状態にお
いて、懸濁液中の粒子が微細孔45を通過すると、懸濁液
の溶液と前記粒子の電気抵抗の相異に起因して前記電気
回路のインピーダンスが瞬間的に変化する。これが電気
パルスとなって検出・計数装置47により検出・計数され
ることになる。When the tip of the detector is immersed in the suspension, the electrode 46 and the outer cylinder 43 are electrically connected via the suspension, and the electrode 46, the counting / detecting device 47, and the outer cylinder 43 are connected here. A connected electrical circuit is formed. In this electric circuit, the electrode 46 and the outer cylinder 43
Are electrically connected to each other through the suspension in the fine holes 45. Here, the upper end of the cylindrical main body 40 is connected to a suction means such as a suction pump (not shown) and sucked, and the suspension passes through the fine holes 45. At this time, a potential difference is applied between the electrode 46 and the outer cylinder 43, and a steady small current is caused to flow through the suspension filling the gap therebetween (through the fine holes 45). In this state, when the particles in the suspension pass through the micropores 45, the impedance of the electric circuit instantaneously changes due to the difference in the electric resistance between the solution of the suspension and the particles. This becomes an electric pulse, which is detected and counted by the detection / counting device 47.
ところで、本実施例に係る検出器においては、筒体本
体40がアルミナ焼結体、ジルコニア焼結体などのセラミ
ックスで構成されているが、これらのセラミックスは強
度が高いため、筒体本体40は薄肉化が可能である。ま
た、外筒43は、TiN、ZrN、TiB2、ZrB2、およびこれらの
固溶体などのセラミックスあるいは白金、金などの金属
で構成されているが、これらの材料は耐腐食性が高く、
同時に耐スクラッチ性にも優れているので、表面を保護
するための保護層を必要としない。By the way, in the detector according to the present embodiment, the cylindrical body 40 is formed of ceramics such as an alumina sintered body and a zirconia sintered body. Thinning is possible. The outer cylinder 43 is made of ceramics such as TiN, ZrN, TiB 2 , ZrB 2 , and solid solutions thereof, or metals such as platinum and gold.These materials have high corrosion resistance,
At the same time, since it has excellent scratch resistance, a protective layer for protecting the surface is not required.
このように、本実施例の検出器では、筒体本体40がセ
ラミックスで形成されているので、薄肉化、小型化が可
能で、かつ構造が単純となる。また、微細孔45が筒体本
体40に形成されているので、部品数が少なくなり、加工
工数が少なく製作が容易となる。また、液のリークによ
る測定精度の低下が起きることがない。また、外筒の材
料としてTiN、ZrN、TiB2、ZrB2、およびこれらの固溶体
などのセラミックスを用いた場合には、外部電極を白金
あるいは金によって被覆する従来の検出器に比較して材
料費を大幅に削減することができる。As described above, in the detector of the present embodiment, since the cylindrical body 40 is formed of ceramics, the thickness and the size can be reduced, and the structure is simple. Further, since the fine holes 45 are formed in the cylindrical body 40, the number of parts is reduced, the number of processing steps is reduced, and the production is facilitated. In addition, the measurement accuracy does not decrease due to liquid leakage. In addition, when ceramics such as TiN, ZrN, TiB 2 , ZrB 2 , and solid solutions thereof are used as the material of the outer cylinder, the material cost is lower than that of a conventional detector in which the external electrodes are coated with platinum or gold. Can be greatly reduced.
ところで、本願の第３の発明の場合には、第３図によ
って示した前記実施例２（本願第２の発明の第１の実施
例）において、外筒43の部分が、外筒43ではなく、筒体
本体40の外表面に施された導電性があり耐腐食性の高い
セラミックス（TiN、TiB2、ZrB2、およびこれらの固溶
体など）、あるいは耐腐食性の高い金属（白金（Pt）、
金（Au）、およびこれらの合金など）によるコーティン
グ層である。それ以外の構成あるいは作用については、
前記実施例２（第２の発明の第１の実施例）と同一であ
る。Incidentally, in the case of the third invention of the present application, in the second embodiment (the first embodiment of the second invention of the present application) shown in FIG. Conductive ceramics (TiN, TiB 2 , ZrB 2 , and solid solutions thereof) applied to the outer surface of the cylindrical body 40 and a metal having a high corrosion resistance (platinum (Pt)) ,
Gold (Au) and alloys thereof). For other configurations or actions,
This is the same as the second embodiment (the first embodiment of the second invention).
「実施例３」 第４図は、本願の第２の発明の第２の実施例を示すも
のである。図中、前記実施例２（第３図）と同一構成部
分には、同一符号を付して説明を簡略化する。Embodiment 3 FIG. 4 shows a second embodiment of the second invention of the present application. In the figure, the same components as those in the second embodiment (FIG. 3) are denoted by the same reference numerals, and the description is simplified.
この第２の発明の第２の実施例が前記実施例２と相異
する点は、実施例２では筒体本体40とキャップ42によっ
て構成されていた部分が本実施例では一本の筒体本体60
となっている点と、微細孔61が筒体本体の側面ではなく
筒体本体60の底部に形成されている点と、この筒体本体
60の下端に整流器62が装着されている点とである。The second embodiment of the second invention is different from the second embodiment in that the portion constituted by the cylinder body 40 and the cap 42 in the second embodiment is a single cylinder body in this embodiment. Body 60
And that the fine hole 61 is formed not at the side surface of the cylindrical body but at the bottom of the cylindrical body 60,
The rectifier 62 is attached to the lower end of 60.
整流器62は、筒体本体60の下側に嵌合しており、この
整流器62の側面には開口63が形成されている。この整流
器62は、微細孔61が懸濁液の下部に沈澱している不純物
などによって、目詰まりを起こすことを防止するための
ものである。懸濁液は整流器62の側部に設けられた開口
63から整流器62の内部に流入した後、方向を変えて微細
孔61から筒体本体60内に流入する。ただし、整流器62は
洗浄のため取り外し可能な状態となっている。The rectifier 62 is fitted on the lower side of the cylindrical body 60, and an opening 63 is formed on a side surface of the rectifier 62. The rectifier 62 is for preventing the fine holes 61 from being clogged by impurities precipitated at the lower part of the suspension. The suspension is provided in the opening provided on the side of the rectifier 62.
After flowing into the rectifier 62 from 63, the flow changes direction and flows into the cylindrical main body 60 from the fine hole 61. However, the rectifier 62 is detachable for cleaning.
本実施例の使用時の作用については、前記実施例２と
同様である。The operation at the time of use of this embodiment is the same as that of the second embodiment.
また、外筒がコーティング層（第３の発明）であって
も良い点についても前記実施例２と同様である。Further, the point that the outer cylinder may be a coating layer (third invention) is also the same as in the second embodiment.
「発明の効果」 以上説明したように、本発明の懸濁粒子検出器によれ
ば、次のような利点を得ることができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the suspended particle detector of the present invention, the following advantages can be obtained.
（ａ） 懸濁液に直接に接する部分である検出器筒体が
非汚染性のセラミックスから構成されているので、測定
対象である懸濁液に影響を及ぼすことも、逆に懸濁液に
より影響されることもない。また、この検出器筒体は、
セラミックス製であるため、機械的強度も高く、検出器
の耐久性を大幅に向上させることができ、検出器本体の
薄肉小型化することができる。(A) Since the detector cylinder, which is in direct contact with the suspension, is made of non-contaminating ceramics, it may affect the suspension to be measured or, conversely, may be affected by the suspension. Not affected. Also, this detector cylinder is
Since it is made of ceramics, the mechanical strength is high, the durability of the detector can be greatly improved, and the detector body can be made thinner and smaller.
（ｂ） 前記微細孔を、検出器筒体の先端部外周面また
は底面に、該筒体内外を連通して穿孔した構成としたの
で、部品としては、セラミックス製の検出器筒体と、こ
の内筒外周面に形成したメタライズ層を保護する保護
層、または前記内筒外周面に形成した外筒、または前記
内筒外周面に形成したコーティング層で済み、部品点数
が少なくて済む。(B) Since the micropores are perforated on the outer peripheral surface or the bottom surface of the distal end portion of the detector cylinder so as to communicate with the inside and outside of the cylinder, the components are a ceramic detector cylinder, A protective layer for protecting the metallized layer formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, an outer cylinder formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder, or a coating layer formed on the outer peripheral surface of the inner cylinder may be used, and the number of parts may be reduced.
このため、製作工程が簡略化され、製造が容易とな
る。また、微細孔が形成された部材を検出器筒体に接合
した構造ではないため、上記部材と検出器筒体との接合
部を通して懸濁液がリークすることによる測定精度の低
下が起きることがない。This simplifies the manufacturing process and facilitates manufacturing. In addition, since the structure in which the member in which the micropores are formed is not joined to the detector cylinder, the measurement accuracy may decrease due to the leakage of the suspension through the joint between the member and the detector cylinder. Absent.
なお、第１の発明において、メタライズ層上にさらに
保護コーティング層を形成する場合は、第２、３の発明
と同様に保護層は不要となるので、さらに部品点数が減
り、製作工数を大幅に削減することが可能となる。In the first invention, when a protective coating layer is further formed on the metallized layer, the protective layer becomes unnecessary as in the second and third inventions, so that the number of parts is further reduced and the number of manufacturing steps is greatly reduced. It becomes possible to reduce.
（ｃ） セラミックス製の検出器筒体の外周面に形成し
たメタライズ層または外筒またはコーティング層を、シ
ールド壁と外部電極とを兼ねるものとしているので、検
出器本体を大幅に薄肉化してコンパクトにすることがで
きる。(C) Since the metallized layer, outer cylinder, or coating layer formed on the outer peripheral surface of the ceramic detector cylinder serves as both the shield wall and the external electrode, the detector body is greatly thinned and compact. can do.
第１図および第２図は本願の第１の発明の一実施例を説
明するためのもので、第１図は検出器本体の正面図、第
２図は同検出器本体の側断面図、第３図は本願の第２の
発明の第１の実施例を説明するためのもので、検出器本
体の側断面図、第４図は本願の第２の発明の第２の実施
例を説明するためのもので、検出器本体の側断面図、第
５図は従来の懸濁粒子検出器の例を示すもので、全体の
構成図、第６図は従来の懸濁粒子検出器の他の例を示す
もので、全体の構成図である。 20……検出器本体、 21……内筒、 22……保護スリーブ（保護層） 24、40、60……筒体本体、 25、43……キャップ、 27、45、61……微細孔、 29……メタライズ層、 31……白金製帯状電極、 41……孔、 46……電極。1 and 2 are views for explaining one embodiment of the first invention of the present application, wherein FIG. 1 is a front view of a detector main body, FIG. 2 is a side sectional view of the detector main body, FIG. 3 is for explaining the first embodiment of the second invention of the present application, and FIG. 4 is a side sectional view of the detector main body, and FIG. 4 is for explaining the second embodiment of the second invention of the present application. FIG. 5 shows an example of a conventional suspended particle detector, and FIG. 6 shows an overall configuration diagram, and FIG. 6 shows another example of the conventional suspended particle detector. FIG. 1 is a diagram showing the entire configuration. 20 Detector body, 21 Inner cylinder, 22 Protective sleeve (protective layer) 24, 40, 60… Cylindrical body, 25, 43 Cap, 27, 45, 61 29: Metallized layer, 31: Platinum strip electrode, 41: Hole, 46: Electrode.
フロントページの続き (72)発明者 青海 龍也 東京都新宿区西落合１丁目31番４号 日 本光電富岡株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−104374（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−99839（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−196419（ＪＰ，Ａ)Continuation of the front page (72) Inventor Tatsuya Aomi 1-34 Nishi-Ochiai, Shinjuku-ku, Tokyo Nihon Kohden Tomioka Co., Ltd. (56) References JP-A-54-104374 (JP, A) JP-A-61 99839 (JP, A) JP-A-58-196419 (JP, A)
Claims (3)
の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過する粒子
懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異により検出
・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体がセラミックスで形成され、 前記微細孔が、検出器筒体の先端部外周面または底面
に、該筒体内外を連通して穿孔され、 前記検出器筒体の外周面にメタライズ層が形成され、か
つ前記メタライズの外周面に、セラミックス製の保護層
が接合され一体となっていることを特徴とする懸濁粒子
検出器。1. A micro-stationary current is passed around a micro-hole formed in a bottomed cylindrical detector tube, and particles in a particle suspension passing through the micro-hole are detected by a difference in electric impedance. In the suspended particle detector for counting, the detector cylinder is formed of ceramic, and the fine hole is perforated on an outer peripheral surface or a bottom surface of a distal end portion of the detector cylinder so as to communicate inside and outside the cylinder. A suspended particle detector, wherein a metallized layer is formed on an outer peripheral surface of a detector cylinder, and a ceramic protective layer is joined to and integrated with the outer peripheral surface of the metallized layer.
の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過する粒子
懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異により検出
・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体が電気絶縁性セラミックスで形成され、 前記微細孔が、検出器筒体の先端部外周面または底面
に、該筒体内外を連通して穿孔され、 前記検出器筒体の外周面に導電性および耐腐食性を有す
るセラミックスまたは耐腐食性を有する金属からなる外
筒が形成されていることを特徴とする懸濁粒子検出器。2. A micro-stationary current is caused to flow around a fine hole formed in a detector cylinder having a bottom and a particle in a particle suspension passing through the fine hole is detected by a difference in electric impedance. In the suspended particle detector for counting, the detector cylinder is formed of electrically insulating ceramics, and the fine hole is formed in the outer peripheral surface or the bottom surface of the distal end portion of the detector cylinder by piercing through the inside and outside of the cylinder. A suspended particle detector, wherein an outer cylinder made of a ceramic having conductivity and corrosion resistance or a metal having corrosion resistance is formed on an outer peripheral surface of the detector cylinder.
の周辺に微定常電流を流し、前記微細孔を通過する粒子
懸濁液中の粒子を電気インピーダンスの差異により検出
・計数する懸濁粒子検出器において、 前記検出器筒体が電気絶縁性セラミックスで形成され、 前記微細孔が、検出器筒体の先端部外周面または底面
に、該筒体内外を連通して穿孔され、 前記検出器筒体の外周面に導電性および耐腐食性を有す
るセラミックスまたは耐腐食性を有する金属からなるコ
ーティング層が形成されていることを特徴とする懸濁粒
子検出器。3. A micro-stationary current is applied to the periphery of a fine hole formed in a bottomed cylindrical detector tube, and particles in a particle suspension passing through said fine hole are detected by a difference in electric impedance. In the suspended particle detector for counting, the detector cylinder is formed of electrically insulating ceramics, and the fine hole is formed in the outer peripheral surface or the bottom surface of the distal end portion of the detector cylinder by piercing through the inside and outside of the cylinder. A suspended particle detector, wherein a coating layer made of conductive or corrosion-resistant ceramics or corrosion-resistant metal is formed on an outer peripheral surface of the detector cylinder.
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|---|---|---|---|
| JP63043112A JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
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| JP62-42142 | 1987-02-25 | ||
| JP63043112A JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
Publications (2)
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| JPH01199137A JPH01199137A (en) | 1989-08-10 |
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Family
ID=26381796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP63043112A Expired - Lifetime JP2595285B2 (en) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Suspended particle detector |
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Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
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1988
- 1988-02-25 JP JP63043112A patent/JP2595285B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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