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JP2597191B2 - Surface accuracy inspection equipment for parabolic reflectors - Google Patents
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JP2597191B2 - Surface accuracy inspection equipment for parabolic reflectors - Google Patents

Surface accuracy inspection equipment for parabolic reflectors

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JP2597191B2
JP2597191B2 JP1194540A JP19454089A JP2597191B2 JP 2597191 B2 JP2597191 B2 JP 2597191B2 JP 1194540 A JP1194540 A JP 1194540A JP 19454089 A JP19454089 A JP 19454089A JP 2597191 B2 JP2597191 B2 JP 2597191B2
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parabolic reflector
fixed base
inspected
detector
parabolic
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敏夫 藤田
昌彦 石原
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デイエツクスアンテナ 株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、製造されたパラボラ反射鏡の反射面が設計
通り製造されているか否か検査する装置に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus for inspecting whether or not a reflecting surface of a manufactured parabolic reflector is manufactured as designed.

[従来の技術] パラボラ反射鏡の反射面の精度は、パラボラアンテナ
の特性・性能に大きく影響し、例えば衛星放送等が行な
われている12GHz帯受信用のパラボラアンテナに用いる
反射鏡では、その受信波長である約25mmの数%以内にバ
ラツキを抑えた精度が求められる。このような精度をパ
ラボラ反射鏡が有するか否か検査する従来の検査装置と
しては、三次元測定が必要であるので、検査対象のパラ
ボラ反射鏡の反射面の1ポイントずつ三次元距離を測っ
て、検査対象のパラボラ反射鏡の凹凸を知るか、あるい
は光学式の三次元測定機を用いて、検査対象のパラボラ
反射鏡の反射面をくまなく走査し、反射面の凹凸を知る
かしていた。
[Prior Art] The accuracy of the reflecting surface of a parabolic reflector greatly affects the characteristics and performance of the parabolic antenna. For example, a reflector used for a 12-GHz band parabolic antenna for satellite broadcasting or the like receives the received light. Accuracy that suppresses variation within a few percent of the wavelength of about 25 mm is required. Since a conventional inspection apparatus for inspecting whether or not the parabolic reflector has such accuracy requires three-dimensional measurement, the three-dimensional distance is measured one point at a time on the reflecting surface of the parabolic reflector to be inspected. In order to know the irregularities of the parabolic reflector to be inspected, or to scan the entire reflective surface of the parabolic reflector to be inspected using an optical three-dimensional measuring machine, and to know the irregularities of the reflective surface .

[発明が解決しようとする課題] しかし、1ポイントずつ三次元距離を測るものでは、
その測定に長時間を要し、大量生産されるパラボラ反射
鏡それぞれについて、その面精度を測定しなければなら
ない場合には、不向きであるという問題点があった。ま
た、三次元測定機を用いるものでは、この三次元測定機
が高価であり、パラボラ反射鏡の面精度の検査に費用が
かかりすぎるという問題点があった。
[Problems to be solved by the invention] However, when measuring a three-dimensional distance one point at a time,
It takes a long time to perform the measurement, and there is a problem that it is unsuitable when the surface accuracy of each mass-produced parabolic reflector must be measured. Further, when a three-dimensional measuring machine is used, the three-dimensional measuring machine is expensive, and there is a problem that it is too expensive to inspect the surface accuracy of the parabolic reflector.

本発明は、上記の各問題点を解決したパラボラ反射鏡
の面精度検査装置を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting the surface accuracy of a parabolic reflector, which solves the above problems.

[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するために、本発明は、固定台と、
この固定台の上面側に設けられた複数の取付孔と、上記
固定台の上面に複数の異なる基準パラボラ反射鏡のうち
選択した1つの基準パラボラ反射鏡を、その反射面が上
記固定台側を向く状態に配置した際に、上記選択された
基準パラボラ反射鏡の反射面の種々の位置に当接するよ
うに、上記各取付孔のうち所望のものに取り付けられ、
その当接状態を基準状態とし、上記固定台上に上記選択
された基準パラボラ反射鏡に対応する検査対象のパラボ
ラ反射鏡を、上記選択された基準パラボラ反射鏡と同一
状態に上記固定台の上面に配置した際に、上記検査対象
のパラボラ反射鏡の反射面に当接して、上記基準状態か
らの上下方向の変位に応じた出力を生成する複数の検出
器と、これら検出器からの出力を入力し、上記検査対象
のパラボラ反射鏡の上記選択された基準パラボラ反射鏡
に対するバラツキ度を演算する演算手段と、この演算さ
れたバラツキ度を予め定めたバラツキ度評価値と比較し
て上記検査対象のパラボラ反射鏡の合否を判定する判定
手段と、この判定結果を視認可能に出力する出力手段と
を、具備するものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a fixing table,
A plurality of mounting holes provided on the upper surface side of the fixed base, and one reference parabolic reflector selected from a plurality of different reference parabolic reflectors on the upper surface of the fixed base. When arranged in a facing state, it is mounted on a desired one of the mounting holes so as to contact various positions on the reflection surface of the selected reference parabolic reflector,
The contact state is set as a reference state, and the parabolic reflector to be inspected corresponding to the selected reference parabolic reflector is placed on the fixed base in the same state as the selected reference parabolic reflector. A plurality of detectors that abut against the reflecting surface of the parabolic reflector to be inspected to generate an output corresponding to a vertical displacement from the reference state, and output from these detectors. Input means for calculating the degree of variation of the parabolic reflector to be inspected with respect to the selected reference parabolic reflector; comparing the calculated degree of variation with a predetermined evaluation value of the degree of variation to obtain the inspection object; Of the parabolic reflector, and output means for visually outputting the result of the determination.

[作用] 本発明によれば、固定台の上面に複数の異なる基準パ
ラボラ反射鏡のうち選択した1つの基準パラボラ反射鏡
を、その反射面が上記固定台側を向く状態に配置した際
に、選択された基準パラボラ反射鏡の反射面の種々の位
置に当接するように、各取付孔のうち所望のものに検出
器を取り付ける。このように検出器を取り付けた後、選
択された基準パラボラ反射鏡を取り除き、これに対応す
る検査対象のパラボラ反射鏡を、選択された基準パラボ
ラ反射鏡と同じ状態に固定台上に配置する。このとき、
各検出器は、検査対象のパラボラ反射鏡の反射面の種々
の位置に接触し、選択された基準パラボラ反射鏡に各検
出器が接触していた状態、即ち基準状態からの変位をそ
れぞれ出力する。これら出力を得るため、なんら機械的
操作は不要である。これら各検出器の出力は、バラツキ
度演算手段に入力され、バラツキ度が演算される。そし
て、この演算されたバラツキ度は、予め定めたバラツキ
度評価値と比較され、検査対象のパラボラ反射鏡の合否
が判定され、この判定結果は、視認可能に出力手段に出
力される。
[Operation] According to the present invention, when one reference parabolic reflector selected from a plurality of different reference parabolic reflectors is arranged on the upper surface of the fixed base such that the reflecting surface faces the fixed base, The detector is mounted on a desired one of the mounting holes so as to contact various positions on the reflection surface of the selected reference parabolic reflector. After attaching the detector in this manner, the selected reference parabolic reflector is removed, and the corresponding parabolic reflector to be inspected is placed on the fixed base in the same state as the selected reference parabolic reflector. At this time,
Each detector contacts various positions of the reflecting surface of the parabolic reflector to be inspected, and outputs a state where each detector is in contact with the selected reference parabolic reflector, that is, a displacement from the reference state. . No mechanical operation is required to obtain these outputs. The output of each of these detectors is input to the variation calculating means, and the variation is calculated. Then, the calculated degree of variation is compared with a predetermined degree of variation evaluation value to determine whether or not the parabolic reflector to be inspected is acceptable, and this determination result is output to the output means so as to be visible.

[実施例] この実施例は、第3図に示すように、矩形に形成され
た固定台2を有し、この固定台2の上面には、検査対象
のパラボラ反射鏡4を、その反射面が固定台2の上面側
を向いた状態で固定台2の上面の所定位置に位置決めす
るための位置決め部材6、6、6が設けられている。
[Embodiment] In this embodiment, as shown in FIG. 3, a fixed base 2 having a rectangular shape is provided. On the upper surface of the fixed base 2, a parabolic reflecting mirror 4 to be inspected is provided with a reflecting surface thereof. Positioning members 6, 6, 6 are provided for positioning at a predetermined position on the upper surface of the fixed base 2 in a state where is facing the upper surface side of the fixed base 2.

この固定台2の上面におけるパラボラ反射鏡4が被さ
る位置には、第4図に示すように円形の凹所8が設けら
れ、この凹所8の底部中央には円形の突出部10が設けら
れている。この凹所8の底部及び突出部10の上面には、
スピンドル型の検出器12が複数個設けられている。これ
ら検出器12は、検査対象のパラボラ反射鏡4と同じよう
に基準パラボラ反射鏡を固定台2の上面に配置した状態
において、この基準パラボラ反射鏡の反射面の各部に接
触するように配置されている。そして、この基準パラボ
ラ反射鏡の反射面に接触した状態において、これら各検
出器12からの出力を実質的に零とするために、第7図に
示すように調整ナット14、ロックナット16によって各検
出器12の取付け位置を調整する。なお、これら各検出器
12は、その先端部が物体に接触することによって進退
し、出力が零となる状態(基準状態)から±3mmの範囲
内(検出器の測定範囲)における基準状態からの長さを
検出することができるものである。このように基準状態
から正負の長さを検出できるものであるので、基準パラ
ボラ反射鏡や検査対象のパラボラ反射鏡に先端部が接触
した際、先端部がこれらパラボラ反射鏡を反射面側から
背面側に突き上げ接触している。なお、第4図に示す18
は、検出器12の取付け孔で、例えば検査するパラボラ反
射鏡4のタイプが別のものとなり、現在取付けている検
出器12だけでは、その別のパラボラ反射鏡4の各部のバ
ラツキ度を求めるには不充分な場合に、検出器12を追加
するために事前に穿設されている。なお、別のタイプの
パラボラ反射鏡を検査する場合には、各検出器12の取付
けは再調整される。
As shown in FIG. 4, a circular recess 8 is provided at a position on the upper surface of the fixed base 2 where the parabolic reflecting mirror 4 covers, and a circular protrusion 10 is provided at the bottom center of the recess 8. ing. On the bottom of this recess 8 and on the top of the projection 10,
A plurality of spindle type detectors 12 are provided. These detectors 12 are arranged so as to come into contact with each part of the reflecting surface of the reference parabolic reflector in a state where the reference parabolic reflector is disposed on the upper surface of the fixed base 2 in the same manner as the parabolic reflector 4 to be inspected. ing. Then, in order to make the output from each of these detectors 12 substantially zero when in contact with the reflecting surface of the reference parabolic reflecting mirror, the adjusting nut 14 and the lock nut 16 are used as shown in FIG. Adjust the mounting position of the detector 12. Each of these detectors
12 is to detect the length from the reference state in the range of ± 3mm (measurement range of the detector) from the state where the tip part moves forward and backward when the tip comes into contact with the object and the output becomes zero (reference state) Can be done. In this way, since the length can be detected from the reference state, when the tip comes into contact with the reference parabolic reflector or the parabolic reflector to be inspected, the tip moves these parabolic reflectors from the reflecting surface side to the back side. It is pushing up to the side. In addition, 18 shown in FIG.
Is a mounting hole of the detector 12, for example, the type of the parabolic reflector 4 to be inspected is different. With the currently mounted detector 12 alone, it is necessary to obtain the degree of variation of each part of the other parabolic reflector 4. Have been pre-drilled to add a detector 12 if insufficient. When inspecting another type of parabolic reflector, the mounting of each detector 12 is readjusted.

各検出器12の出力は、第2図に示すように、検出器切
換器20を介して、順次ディジタル電子マイクロメータ22
に供給される。このディジタル電子マイクロメータ22
は、入力された検出器12の出力をディジタル化して、デ
ィジタル電子マイクロメータ22に付属している表示器に
ディジタル表示すると共に、そのディジタル値をコント
ロールコンピュータ24に供給する。
As shown in FIG. 2, the output of each detector 12 is sequentially transmitted to a digital electronic micrometer 22 through a detector switch 20.
Supplied to This digital electronic micrometer 22
Digitizes the input output of the detector 12, digitizes the output on a display attached to the digital electronic micrometer 22, and supplies the digital value to the control computer 24.

コントロールコンピュータ24は、入力された各検出器
12の出力のデータテーブルを作成しながら、バラツキ度
の演算を行ない、この演算結果を予め定めたバラツキ度
評価値と比較して、合否を判定し、その判定結果等をCR
T26に表示すると共に、プリンタ28によって印刷する。
なお、このコントロールコンピュータ24は、この他に検
出器切換器20及びディジタル電子マイクロメータ22の制
御も行なう。この制御は、GP−IBバスインターフェース
30を介して行なわれ、またディジタル電子マイクロメー
タ22からのディジタル信号(検出器12の出力のディジタ
ル信号)も、GP−IBバスインターフェース30を介してコ
ントロールコンピュータ24に供給される。そのため、検
出器切換器20及びディジタル電子マイクロメータ22に
は、それぞれGP−IBバスインターフェース部32、34が設
けられている。
The control computer 24 is connected to each input detector.
While creating a data table of 12 outputs, a calculation of the degree of variation is performed, the result of this calculation is compared with a predetermined evaluation value of the degree of variation, pass / fail judgment is made, and the judgment result etc.
It is displayed on T26 and printed by the printer 28.
The control computer 24 also controls the detector switch 20 and the digital electronic micrometer 22. This control uses the GP-IB bus interface
A digital signal from the digital electronic micrometer 22 (a digital signal output from the detector 12) is also supplied to the control computer 24 via the GP-IB bus interface 30. Therefore, the detector switch 20 and the digital electronic micrometer 22 are provided with GP-IB bus interface units 32 and 34, respectively.

このように構成された面精度検査装置の動作を、第1
図に示すコントロールコンピュータ24のプログラムをフ
ローチャートで示したものに基いて説明する。このプロ
グラムが実行される前に、基準パラボラ反射鏡を固定台
2上に配置し、上述したように各検出器12の調整が行わ
れ、さらに第3図に示すように検査対象のパラボラ反射
鏡4が固定台2上に配置され、各検出器12は、第5図及
び第6図に示すように、それぞれ検査対象のパラボラ反
射鏡4の反射面に接触し、その各接触位置が基準パラボ
ラ反射鏡における対応位置よりもどれだけ凹凸している
かを表わす出力信号をそれぞれ発生しているとする。基
準パラボラ反射鏡や検査対象のパラボラ反射鏡は、固定
台2上に配置されたとき、その自重によって歪を生じて
いるが、どちらも同一状態に配置されているので、生じ
る歪はほぼ同様になり、検査対象のパラボラ反射鏡を固
定台2上に配置したとき、各検出器が生じる出力には歪
の影響がほとんどない。また、各検出器は、いずれの反
射鏡に対しても、これらを下側(反射面側)から持ち上
げるように当接しているので、検出器12が反射鏡の反射
面に当接したことによって歪を打ち消すように働き、歪
を増加させることはない。
The operation of the surface accuracy inspection apparatus configured as described above is described in the first section.
The program of the control computer 24 shown in the figure will be described based on the flow chart. Before this program is executed, the reference parabolic reflector is placed on the fixed base 2, the respective detectors 12 are adjusted as described above, and the parabolic reflector to be inspected as shown in FIG. 4 are arranged on the fixed base 2, and each detector 12 contacts the reflecting surface of the parabolic reflecting mirror 4 to be inspected as shown in FIG. 5 and FIG. It is assumed that output signals indicating the degree of unevenness of the corresponding position in the reflecting mirror are generated. When the reference parabolic reflector and the parabolic reflector to be inspected are placed on the fixed base 2, they are distorted by their own weight, but since both are placed in the same state, the distortions produced are almost the same. In other words, when the parabolic reflector to be inspected is arranged on the fixed base 2, the output generated by each detector is hardly affected by distortion. In addition, since each detector is in contact with any of the reflecting mirrors so as to lift them from below (the reflecting surface side), the detector 12 is in contact with the reflecting surface of the reflecting mirror. It works to cancel the distortion and does not increase it.

この状態において、まずコントロールコンピュータ24
に付属しているキーボード(図示せず)を操作して、検
査を行なう日付、検査の対象であるパラボラ反射鏡4の
タイプ、ロット番号、製造番号、担当者名等を設定する
(ステップS2)。そして、この設定されたデータをCRT2
6に表示する(ステップS4)。そして、間違いなくキー
ボードによる設定が行なわれたことを表わす信号が、例
えばキーボードを操作することによって入力されている
か判断し(ステップS6)、この答がNOであると、ステッ
プS2に戻り設定をやりなおす。
In this state, the control computer 24
By operating a keyboard (not shown) attached to the camera, the date for inspection, the type of the parabolic reflector 4 to be inspected, the lot number, the serial number, the name of the person in charge, etc. are set (step S2). . Then, the set data is transferred to CRT2
6 is displayed (step S4). Then, it is determined whether or not a signal indicating that the setting by the keyboard has been performed is input by, for example, operating the keyboard (step S6). If the answer is NO, the process returns to step S2 and the setting is performed again. .

ステップS6の答がYESであると、検出器切換器20に対
し或る検出器12の出力をディジタル電子マイクロメータ
22に供給するように制御信号を供給する(ステップS
8)、これに続いてディジタル電子マイクロメータ22に
対し、入力された検出器12の出力をサンプリングしてデ
ィジタル化させるように制御信号を供給する(ステップ
S10)。これによってディジタル電子マイクロメータ22
は、入力された検出器12の出力をディジタル化し、付属
する表示器に、そのディジタル値を表示すると共に、コ
ントロールコンピュータ24に供給する。
If the answer to step S6 is YES, the output of a certain detector 12 is supplied to the detector switch 20 by a digital electronic micrometer.
Supply a control signal to supply the control signal to step 22 (step S
8) Then, a control signal is supplied to the digital electronic micrometer 22 so as to sample the input of the detector 12 and digitize the output (step 8).
S10). This allows the digital electronic micrometer 22
Digitizes the input output of the detector 12, displays the digital value on an attached display, and supplies the digital value to the control computer 24.

ステップS10に続いて、コントロールコンピュータ24
は、ディジタル電子マイクロメータ22からのディジタル
信号を入力し(ステップS12)、その値が検出器12の最
大測定範囲±3mm内か判断する(ステップS14)。この答
がNOであると、データが正しくないので、ステップS6に
戻り、検出器12の出力のディジタル電子マイクロメータ
22への入力からやりなおす。ステップS14の答がYESであ
ると、その入力したデータをデータテーブルに入力し
(ステップS16)、バラツキ度の演算を行ない(ステッ
プS18)、その演算したバラツキ度をCRT26に表示する
(ステップS20)。そして、今入力した検出器12のデー
タが最後の検出器12のデータであるか判断し(ステップ
S22)、その答がNOであると、ステップS8に戻り、次の
検出器12のデータを入力し、ステップS10乃至S22までを
繰返す。即ち、コントロールコンピュータ24は、データ
テーブルに検査対象のパラボラ反射鏡4の反射面の各部
の基準状態からの変位データを入力しながら、それらを
用いたバラツキ度の演算を行なう。なお、バラツキ度の
演算としては、例えば最大値、最小値、平均値、標準偏
差、二乗平均平方根の算出を行なう。
Following step S10, control computer 24
Inputs a digital signal from the digital electronic micrometer 22 (step S12), and determines whether the value is within the maximum measurement range of the detector 12 ± 3 mm (step S14). If the answer is NO, the data is incorrect, so the process returns to step S6 and the digital electronic micrometer
Start over from input to 22. If the answer to step S14 is YES, the input data is input to the data table (step S16), the degree of variation is calculated (step S18), and the calculated degree of variation is displayed on the CRT 26 (step S20). . Then, it is determined whether the input data of the detector 12 is the data of the last detector 12 (step
S22) If the answer is NO, the process returns to Step S8, where the data of the next detector 12 is input, and Steps S10 to S22 are repeated. That is, the control computer 24 calculates the degree of variation using the displacement data from the reference state of each part of the reflecting surface of the parabolic reflecting mirror 4 to be inspected, while inputting the data into the data table. As the calculation of the degree of variation, for example, a maximum value, a minimum value, an average value, a standard deviation, and a root mean square are calculated.

ステップS22の答がYESになると、即ち、最後の検出器
12の出力が入力されて、最終的に最大値、最小値、平均
値、標準偏差、二乗平均平方根のバラツキ度の演算が行
なわれると、予め検査対象のパラボラ反射鏡4のタイプ
に応じて決定してあった合否判定比較値(バラツキ度評
価値)と演算されたバラツキ度とを比較し、このバラツ
キ度なら製品として合格か判断する(ステップS24)。
この答がYESであると、CRT26に合格である旨の表示と、
日付、反射鏡のタイプ、ロット番号、製造番号、担当者
名、反射面の複数の計測位置(各検出器12が接触した位
置)に対応した形状図、各検出器12の出力、バラツキ度
を表示し(ステップS26)、さらにプリンタ28に上記のC
RT26の表示と同じものを印刷させる(ステップS28)。
ステップS24の答がNOであると、即ち不合格であると、C
RT26に不合格である旨の表示と、日付、反射鏡のタイ
プ、ロット番号、製造番号、担当者名、反射面の複数の
計測位置に対応した形状図、各検出器12の出力、バラツ
キ度を表示し(ステップS30)、さらにプリンタ28に上
記のCRT26の表示と同じものを印刷させる(ステップS3
2)。
If the answer to step S22 is YES, that is, the last detector
When twelve outputs are input and finally the calculation of the maximum value, the minimum value, the average value, the standard deviation, and the variation of the root mean square is performed, it is determined in advance according to the type of the parabolic reflector 4 to be inspected. The calculated pass / fail determination comparison value (variation degree evaluation value) is compared with the calculated variation degree, and if this variation degree is satisfied, it is determined whether the product is acceptable (step S24).
If this answer is YES, an indication that CRT 26 has been passed,
Date, type of reflector, lot number, serial number, name of person in charge, shape diagram corresponding to multiple measurement positions on the reflective surface (position where each detector 12 touched), output of each detector 12, and degree of variation Is displayed (step S26), and the above-described C
The same one as displayed on RT26 is printed (step S28).
If the answer in step S24 is NO, that is, if the answer is
Indication of rejection of RT26, date, reflector type, lot number, serial number, person in charge, shape diagram corresponding to multiple measurement positions on reflective surface, output of each detector 12, degree of variation Is displayed (step S30), and the printer 28 prints the same one as the display on the CRT 26 (step S3).
2).

ステップS28またはS32に続いて、検査の最後のパラボ
ラ反射鏡4であるか判断し(ステップS34)、その答がN
Oであると、次の検査対象のパラボラ反射鏡の番号を設
定し(ステップS36)、ステップS4に戻り、上述したの
と同様な検査を行なう。ステップS34の答がYESである
と、検査は終了であるので、停止する。
Subsequent to step S28 or S32, it is determined whether or not the inspection is the last parabolic reflector 4 of the inspection (step S34).
If it is O, the number of the next parabolic reflector to be inspected is set (step S36), and the process returns to step S4 to perform the same inspection as described above. If the answer to the step S34 is YES, the inspection is completed and the operation is stopped.

上記の実施例では、検査器切換器20、ディジタル電子
マイクロメータ22には、GP−IBインターフェース部32、
34がそれぞれ付属しているものを用いたが、これらが付
属していないものを使用することもできる。また、上記
の実施例では、検出器切換器20、ディジタル電子マイク
ロメータ22は、GP−IBバスインターフェースを介してコ
ントロールコンピュータ24によって制御されるように構
成したが、検出器切換器20専用の切換信号発生部を設け
たり、ディジタル電子マイクロメータ22専用のA/D変換
指令信号発生部と、ディジタル電子マイクロメータ22か
らのディジタル信号をコントロールコンピュータ24に伝
送する伝送部を専用に設けてもよい。
In the above embodiment, the GP-IB interface unit 32,
Although the ones provided with each of the 34 are used, those without these can be used. In the above embodiment, the detector switch 20 and the digital electronic micrometer 22 are configured to be controlled by the control computer 24 via the GP-IB bus interface. A signal generation unit may be provided, or an A / D conversion command signal generation unit dedicated to the digital electronic micrometer 22 and a transmission unit that transmits a digital signal from the digital electronic micrometer 22 to the control computer 24 may be provided exclusively.

[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、各検出器は、複数の
異なる基準パラボラアンテナのうち選択されたものの反
射面の種々の位置にそれぞれ接触するように、各取付孔
のうち所望のものに取り付けられるので、基準パラボラ
アンテナが様々なもの、例えば回転放物面パラボラ反射
鏡であっても、オフセットパラボラ反射鏡であっても、
その面精度を測定することができるし、また、同種のも
ので口径の異なるものでも、その面精度を測定すること
ができる。さらに、各検出器の取付状態を決定するため
のゲージも不要である。そして、このように各検出器を
取り付けた後、検査対象のパラボラ反射鏡を、基準パラ
ボラ反射鏡と同じ状態に固定台上に配置するだけで、検
査対象のパラボラ反射鏡の面精度を自動的に判定するこ
とができるので、検査に要する時間を非常に短くでき
る。従って、同一種類のパラボラ反射鏡を大量に検査す
る場合でも、効率的に検査することができる。さらに、
本発明によれば、価格が比較的安価である検出器と、例
えばコントロールコンピュータによって構成されるバラ
ツキ度演算手段と、合否判定手段と、出力手段とからな
るものであるので、そのコストが安価であり、パラボラ
反射鏡の面精度の検査に要するコストを引き下げること
ができる。しかも、本発明では、基準パラボラ反射鏡も
検査対象のパラボラ反射鏡も、固定台上に同一の状態で
配置されるので、両パラボラ反射鏡に、その自重によっ
て生じる歪はほぼ同様なものとなり、検査対象のパラボ
ラ反射鏡の反射面に各検出器が当接したときに、各検出
器が発生する検出出力には、自重による歪の影響は殆ど
なく、面精度の測定精度を向上させる。仮に、基準パラ
ボラ反射鏡に代えて、検査対象のパラボラ反射鏡の一部
と同一形状のゲージを用いて、各検出器がこのゲージに
接触するように調整したとしても、パラボラ反射鏡のご
く一部の形状しか有しないゲージに自重によって生じる
歪と、検査対象のパラボラ反射鏡に自重によって生じる
歪とは異なったものとなるので、このようなゲージによ
って調整した検出器を用いた場合、歪の影響が面精度に
大きく影響する。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, each of the detectors has a corresponding one of the plurality of different reference parabolic antennas. Of these, because it is attached to the desired one, the reference parabolic antenna is various, such as a rotating parabolic parabolic reflector, even if it is an offset parabolic reflector,
The surface accuracy can be measured, and the same surface accuracy can be measured even for the same type having different diameters. Further, a gauge for determining the mounting state of each detector is not required. Then, after attaching each detector in this way, simply place the parabolic reflector to be inspected on the fixed base in the same state as the reference parabolic reflector, and the surface accuracy of the parabolic reflector to be inspected is automatically adjusted. , The time required for the inspection can be greatly reduced. Therefore, even when a large number of parabolic reflectors of the same type are inspected, the inspection can be performed efficiently. further,
According to the present invention, since the detector comprises a relatively inexpensive detector, a dispersion degree calculating means constituted by, for example, a control computer, a pass / fail judgment means, and an output means, the cost is low. Yes, the cost required for inspecting the surface accuracy of the parabolic reflector can be reduced. Moreover, in the present invention, since both the reference parabolic reflector and the parabolic reflector to be inspected are arranged in the same state on the fixed base, the distortion caused by the weight of both parabolic reflectors is substantially the same, When each detector comes into contact with the reflection surface of the parabolic reflector to be inspected, the detection output generated by each detector is hardly affected by distortion due to its own weight, and the measurement accuracy of the surface accuracy is improved. Even if, instead of the reference parabolic reflector, a gauge having the same shape as that of a part of the parabolic reflector to be inspected is used and each detector is adjusted so as to come into contact with this gauge, only a small portion of the parabolic reflector is used. The distortion caused by its own weight on the gauge having only the shape of the part differs from the distortion caused by its own weight on the parabolic reflector to be inspected. The influence greatly affects the surface accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明による面精度検査装置の一実施例に用い
るコントロールコンピュータのプログラムを示すフロー
チャート、第2図は同実施例のブロック図、第3図は同
実施例においてパラボラ反射鏡の面精度を検査している
状態を示す斜視図、第4図は同実施例における固定台へ
の検出器の取付け状態を示す斜視図、第5図は第3図の
A−A線に沿う断面図、第6図は第3図のB−B線に沿
う断面図、第7図は本実施例における検出器の取付け状
態を示す図である。 2……固定台、12……検出器、24……コントロールコン
ピュータ(バラツキ度演算手段、判定手段)、26……CR
T(出力手段)、28……プリンタ(出力手段)。
FIG. 1 is a flowchart showing a program of a control computer used in an embodiment of a surface accuracy inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram of the embodiment, and FIG. 3 is a surface accuracy of a parabolic reflector in the embodiment. FIG. 4 is a perspective view showing a state where the detector is being inspected, FIG. 4 is a perspective view showing a state where the detector is attached to the fixed base in the embodiment, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 6 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 3, and FIG. 7 is a view showing an attached state of the detector in the present embodiment. 2 ... fixed base, 12 ... detector, 24 ... control computer (variation degree calculating means, judgment means), 26 ... CR
T (output means), 28 ... printer (output means).

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】固定台と、この固定台の上面側に設けられ
た複数の取付孔と、上記固定台の上面に複数の異なる基
準パラボラ反射鏡のうち選択した1つの基準パラボラ反
射鏡をその反射面が上記固定台側を向く状態に配置した
際に、上記選択された基準パラボラ反射鏡の反射面の種
々の位置に当接するように上記各取付孔のうち所望のも
のに取り付けられ、その当接状態を基準状態とし、上記
固定台上に上記選択された基準パラボラ反射鏡に対応す
る検査対象のパラボラ反射鏡を上記選択された基準パラ
ボラ反射鏡と同一状態に上記固定台の上面に配置した際
に、上記検査対象のパラボラ反射鏡の反射面に当接し
て、上記基準状態からの上下方向の変位に応じた出力を
生成する複数の検出器と、これら検出器からの出力を入
力し上記検査対象のパラボラ反射鏡の上記選択された基
準パラボラ反射鏡に対するバラツキ度を演算する演算手
段と、この演算されたバラツキ度を予め定めたバラツキ
度評価値と比較して上記検査対象のパラボラ反射鏡の合
否を判定する判定手段と、この判定結果を視認可能に出
力する出力手段とを、具備するパラボラ反射鏡の面精度
検査装置。
1. A fixed base, a plurality of mounting holes provided on an upper surface side of the fixed base, and one reference parabolic reflector selected from a plurality of different reference parabolic reflectors on the upper surface of the fixed base. When the reflecting surface is arranged in a state facing the fixed base side, it is attached to a desired one of the mounting holes so as to contact various positions of the reflecting surface of the selected reference parabolic reflecting mirror, The contact state is set as a reference state, and the parabolic reflector to be inspected corresponding to the selected reference parabolic reflector is placed on the upper surface of the fixed base in the same state as the selected reference parabolic reflector on the fixed base. Then, a plurality of detectors that come into contact with the reflecting surface of the parabolic reflector to be inspected and generate outputs according to the vertical displacement from the reference state, and outputs from these detectors are input. The above inspection target Calculating means for calculating the degree of dispersion of the laboratory reflector with respect to the selected reference parabolic reflector; comparing the calculated degree of dispersion with a predetermined degree of dispersion evaluation value to determine whether the parabolic reflector to be inspected is acceptable or not; An apparatus for inspecting the surface accuracy of a parabolic reflector, comprising: a determining means for determining; and an output means for visually outputting the determination result.
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JPS6044801A (en) * 1983-08-23 1985-03-11 Fujitsu Ltd Device and method for measuring mirror surface of antenna

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