Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP2619538B2 - Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP2619538B2 - Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR - Google Patents

Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR

Info

Publication number
JP2619538B2
JP2619538B2 JP1245094A JP24509489A JP2619538B2 JP 2619538 B2 JP2619538 B2 JP 2619538B2 JP 1245094 A JP1245094 A JP 1245094A JP 24509489 A JP24509489 A JP 24509489A JP 2619538 B2 JP2619538 B2 JP 2619538B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
correction
magnetic
amount
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1245094A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH03108118A (en
Inventor
俊一 大和田
久明 平林
正 真島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1245094A priority Critical patent/JP2619538B2/en
Publication of JPH03108118A publication Critical patent/JPH03108118A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2619538B2 publication Critical patent/JP2619538B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッド(以下、VTRヘッド)の寸法修
正装置に係り、とくにダブルアジマスヘッドのギャップ
間距離、ハイト断差及びハイト高さの寸法を修正するの
に好適な磁気ヘッドの寸法修正方法及びその装置並びに
VTRの製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an apparatus for correcting the size of a magnetic head (hereinafter, referred to as a VTR head), and particularly relates to a distance between a gap, a height difference and a height of a double azimuth head. Method and apparatus for correcting magnetic head dimensions suitable for correcting dimensions
It relates to a method of manufacturing a VTR.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のVTRヘッドの寸法修正装置は、たとえば特開昭5
8−129310号公報に記載されているように、まず2台のT
Vカメラで撮像したVTRヘッドの画像をモニタに写しだ
し、ついであらかじめモニタ上に引かれてある水平、垂
直カーソル線にVTRヘッドの2つの磁気間隙を合わせた
のち、VTRヘッドや光学系を移動させてその移動量を基
にしてVTRヘッドのギャップ間距離やハイト断差を測定
する。そしてその測定の結果、基準寸法内に納めて良品
とするかあるいは修正作業をすることなく不良品とする
ものが提案されている。
A conventional VTR head size correction device is disclosed in, for example,
As described in JP-A-8-129310, first, two T
The image of the VTR head taken by the V camera is displayed on the monitor, and then the two magnetic gaps of the VTR head are aligned with the horizontal and vertical cursor lines drawn on the monitor before moving the VTR head and optical system. Then, the distance between the gaps of the VTR head and the height difference are measured based on the movement amount. As a result of the measurement, it is proposed that a non-defective product is put into a standard size and is made a non-defective product without any repair work.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

上記従来技術は、測定したVTRヘッドの寸法を基準に
して、作業者の勘と経験を頼りに修正作業を行なってい
るため、修正後のVTRヘッドの寸法に大きな差異を生じ
たり、修正作業に多く時間を費やしたり、熟練者のみ作
業が可能であるという問題があった。
In the above prior art, the repair work is performed based on the measured VTR head dimensions based on the intuition and experience of the operator.Therefore, there is a large difference in the dimensions of the corrected VTR head, and There is a problem that a lot of time is spent, and only a skilled person can work.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決するた
め、熟練者でなくても修正後のVTRヘッドの寸法を容易
に一定にすることを可能にした磁気ヘッドの寸法修正方
法及びその装置並びにVTRの製造方法を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems of the prior art and to make it possible to easily fix the dimensions of a VTR head after modification even by a non-expert, and to provide a method and apparatus for modifying the dimensions of a magnetic head. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a VTR.

〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明は、1対のヘッド
チップを設けた磁気ヘッドのヘッド間距離又はヘッド間
段差の所定の値を予め記録し、前記磁気ヘッドのヘッド
間距離又はヘッド間段差を測定し、前記ヘッド間距離又
はヘッド間段差の予め記録した所定値と測定した値との
各々の差分を取り、該差分値の応じて、前記磁気ヘッド
のヘッド間距離又はヘッド間段差の各々の(差分値+弾
性限度までの変形量)の値、及び各々の差分値分磁気ヘ
ッドを塑性変形させる力を算出し、前記磁気ヘッドのヘ
ッド間距離又はヘッド間段差の各々の(差分値+弾性限
度までの変形量)の値、及び各々の差分値分磁気ヘッド
を塑性変形させる力に応じて、前記磁気ヘッドを塑性変
形させることを特徴とする磁気ヘッドの寸法修正方法で
ある。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a magnetic head provided with a pair of head chips, in which a predetermined value of a head-to-head distance or a head-to-head step is recorded in advance, The head-to-head distance or the head-to-head level difference of the head is measured, and the difference between the measured value and the previously recorded predetermined value of the head-to-head distance or the head-to-head level difference is calculated. Calculate the value of each of the head-to-head distance or head-to-head step (difference value + deformation amount up to the elastic limit) and the force for plastically deforming the magnetic head by the respective difference value, and calculate the head-to-head distance or head of the magnetic head. A magnetic head, wherein the magnetic head is plastically deformed in accordance with the value of each (difference value + the amount of deformation up to the elastic limit) of the step and the force for plastically deforming the magnetic head by the difference value. Dimensions It is a correction method.

また本発明は、VTRヘッドの寸法修正装置において
は、1対のヘッドチップを設けた磁気ヘッドのヘッド間
距離又はヘッド間段差を検査する検査手段と、 前記ヘッド間距離とヘッド間段差のどちらか一方を修
正するとき他方が変形するため、一方の修正量と他方の
変形量の関係を記憶する記憶手段と、前記検査手段の検
査結果に応じて、前記記憶手段の内容を読み出し、前記
検査結果と前記記憶手段から読み出された、前記ヘッド
間距離とヘッド間段差のどちらか一方を修正するとき他
方が変形するため、一方の修正量と他方の変形量の関係
に基づいて、変形量又は修正量を算出する算出手段と、
該算出手段からの指令に基づいて、前記磁気ヘッドのヘ
ッド間距離及びヘッド間段差の寸法を修正する修正手段
とを具備したことを特徴とする。
The present invention also provides a VTR head dimension correcting apparatus, wherein inspection means for inspecting an inter-head distance or an inter-head level difference of a magnetic head provided with a pair of head chips; When one is modified, the other is deformed, so the storage means for storing the relationship between the amount of modification of one and the amount of deformation of the other, and according to the inspection result of the inspection means, read the contents of the storage means, And read from the storage means, when correcting any one of the head-to-head distance and the head-to-head step, the other is deformed, so based on the relationship between one correction amount and the other deformation amount, the deformation amount or Calculating means for calculating the correction amount;
Correction means for correcting the distance between the heads of the magnetic head and the dimension of the step between the heads based on a command from the calculation means.

また前記検査手段は、前記磁気ヘッドの磁気間隙を測
定し、該測定された磁気間隙に基づいてヘッド間距離と
ヘッド間段差とを検査するように構成したことを特徴と
する。
Further, the inspection means measures a magnetic gap of the magnetic head, and inspects a head-to-head distance and a head-to-head level difference based on the measured magnetic gap.

また前記検査手段は、前記磁気間隙と平行なウィンド
を形成するウィンド形成手段と、該ウィンド形成手段に
よって形成されたウィンド内を磁気間隙と垂直な方向に
二次微分を行う二次微分処理手段と、該二次微分処理手
段によって処理された二次微分値を磁気間隙と平行な方
向に加算する加算手段とを有し、前記磁気間隙を測定す
るように構成したことを特徴とする。
Further, the inspection means, a window forming means for forming a window parallel to the magnetic gap, a secondary differential processing means for performing a second derivative in a direction perpendicular to the magnetic gap in the window formed by the window forming means, Adding means for adding the secondary differential value processed by the secondary differential processing means in a direction parallel to the magnetic gap, so as to measure the magnetic gap.

また本発明は、前記磁気ヘッド間距離とヘッド間段差
を前記修正手段によって修正するための修正力と移動量
の少なくとも一方を測定する測定手段により測定された
結果を考慮して変形量又は修正力を算出することを特徴
とする。
Also, the present invention provides a method for correcting the distance between the magnetic heads and the step between the heads by taking into account a result measured by a measuring means for measuring at least one of a correcting force and a moving amount for correcting the head-to-head step by the correcting means. Is calculated.

また本発明は、前記算出手段により算出された変形量
と前記測定手段によって測定された修正結果を比較する
比較手段と、該比較手段による比較結果をもとに前記記
憶手段の内容に基づいて算出される変形量又は修正力を
補正する補正手段を有することを特徴とする。
Also, the present invention provides a comparing means for comparing the amount of deformation calculated by the calculating means with the correction result measured by the measuring means, and a calculation based on the contents of the storage means based on the comparison result by the comparing means. And a correcting means for correcting the amount of deformation or the correction force to be applied.

また本発明は、1対のヘッドチップを1対のヘッドの
先端に接着剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘ
ッドの少なくともヘッド間距離とヘッド間段差とを検査
し、ヘッド間距離とヘッド間段差の少なくとも一方を修
正するときに他方が変形するため、一方の修正量と他方
の変形量の関係を記憶し、検査結果に応じて、前記一方
の修正量と他方の変形量の関係を算出し、前記磁気ヘッ
ド間距離又は磁気ヘッド間段差の寸法を修正し、該修正
された磁気ヘッドをVTR本体に組み込むことを特徴とす
る。
Further, the present invention inspects at least the distance between the heads and the step between the heads of a magnetic head, which is obtained by attaching and fixing a pair of head chips to the tips of the pair of heads with an adhesive, and Since at least one of the steps is deformed when the other is deformed, the relationship between the one corrected amount and the other deformed amount is stored, and the relationship between the one corrected amount and the other deformed amount is calculated according to the inspection result. The distance between the magnetic heads or the dimension of the step between the magnetic heads is corrected, and the corrected magnetic head is incorporated in a VTR body.

また前記検査を行う際、磁気間隙と平行なウィンドを
形成し、該ウィンド内を磁気間隙と垂直な方向に二次微
分し、該二次微分値を磁気間隙と平行な方向に加算し、
前記磁気間隙を検出することによって前記磁気ヘッド間
距離と磁気ヘッド間段差を検査することを特徴とする。
Also, when performing the inspection, a window parallel to the magnetic gap is formed, the window is secondarily differentiated in a direction perpendicular to the magnetic gap, and the secondary differential value is added in a direction parallel to the magnetic gap.
The distance between the magnetic heads and the step between the magnetic heads are inspected by detecting the magnetic gap.

また前記寸法修正後に、ヘッド間距離とヘッド間段差
を修正するための修正力と移動量の少なくとも一方を測
定することを特徴とする。
Further, after the dimension correction, at least one of a correction force and a moving amount for correcting the head-to-head distance and the head-to-head level difference is measured.

また本発明は、1対のヘッドチップを1対のヘッドの
先端に接着剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘ
ッドのずれを検査し、この検査結果に基づいて、予め求
められ記憶されている磁気ヘッドが弾性限界を超えて永
久的に残留する変形量と磁気ヘッドの寸法を修正するの
に必要な見かけ上の変形量との関係から実質的な変形量
を算出し、算出された変形量に基づいて磁気ヘッドの寸
法を修正し、その修正された磁気ヘッドをVTR本体に組
み込むことを特徴とする。
Further, according to the present invention, the displacement of the magnetic head is determined by attaching and fixing a pair of head chips to the tips of the pair of heads with an adhesive, and is obtained and stored in advance based on the inspection result. The actual deformation is calculated from the relationship between the amount of deformation that the magnetic head permanently exceeds beyond the elastic limit and the apparent deformation required to correct the dimensions of the magnetic head, and the calculated amount of deformation is calculated. The dimensions of the magnetic head are corrected based on the above, and the corrected magnetic head is incorporated in the VTR body.

また1対のヘッドチップを1対のヘッドの先端に接着
剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘッドのずれ
を検査し、この検査結果に基づいて、予め求められ記憶
されている磁気ヘッドが弾性限界を超えて永久的に残留
する変形量と磁気ヘッドを修正するのに必要な修正力と
の関係によって磁気ヘッドの寸法を修正するのに必要な
見かけ上の修正力を算出し、算出された修正力に基づい
て磁気ヘッドの寸法を修正し、その修正された磁気ヘッ
ドをVTR本体に組み込むものである。
In addition, the displacement of the magnetic head, which is obtained by attaching and fixing a pair of head chips to the tips of the pair of heads with an adhesive, is inspected. The apparent correction force required to correct the dimensions of the magnetic head was calculated based on the relationship between the amount of deformation permanently remaining beyond the limit and the correction force required to correct the magnetic head. The dimensions of the magnetic head are corrected based on the correction force, and the corrected magnetic head is incorporated into the VTR body.

〔作用〕[Action]

上記のように構成されたVTRヘッドの寸法修正方法及
びその装置においては、ヘッド間距離、ヘッド間断差、
右ハイト高さおよび左ハイト高さを検査し、この検査結
果に基いてヘッド間距離修正手段がVTRヘッドのヘッド
間距離を修正し、ハイト修正手段がVTRヘッドのハイト
断差、右ハイト高さおよび左ハイト高さを修正するの
で、ヘッドベースに接着剤によって貼付ているヘッドチ
ップを取付換えすることなく、かつヘッド間距離修正手
段およびハイト修正手段の移動量と、修正力を測定手段
によって測定するので、VTRヘッドの寸法不良を効率良
く修正し、寸法のばらつきの減少による品質の向上およ
び歩留りの向上をはかることができる。
In the method and apparatus for correcting the dimensions of the VTR head configured as described above, the head-to-head distance, head-to-head difference,
The right height height and the left height height are inspected, and the head-to-head distance correcting means corrects the head-to-head distance of the VTR head based on the inspection result, and the height correcting means corrects the height difference of the VTR head and the right height height. And the height of the left height is corrected, so that the head chip attached to the head base with an adhesive is not replaced, and the distance between the head distance correcting means and the height correcting means and the correcting force are measured by the measuring means. Therefore, it is possible to efficiently correct the dimensional defect of the VTR head, and to improve the quality and the yield by reducing the dimensional variation.

また検査手段からの指令に基いてヘッド間距離修正手
段の駆動部を回転あるいは伸縮し、修正部の両端部を開
閉してVTRヘッドを塑性変形させながらヘッド間距離の
修正を行ないながら、修正部の移動量と修正力を測定手
段によって測定するので、自動的にヘッド間距離を修正
することができ、寸法のばらつきの減少による品質の向
上および寸法修正のための時間を短縮することができ
る。
In addition, the drive unit of the head-to-head distance correction unit is rotated or expanded / contracted based on a command from the inspection unit, and both ends of the correction unit are opened / closed to correct the head-to-head distance while plastically deforming the VTR head. Since the moving amount and the correcting force of the head are measured by the measuring means, the distance between the heads can be automatically corrected, the quality can be improved due to the reduction of the dimensional variation, and the time for the dimensional correction can be shortened.

また検査手段からの指令に基いてハイト修正手段の駆
動部を回転し、修正部によってVTRヘッドの端部を上方
あるいは下方に塑性変形させながらヘッド間断差、右ハ
イト高さおよび左ハイト高さを修正するとともに、修正
部の移動量と修正力を測定部によって測定するので、自
動的にハイト断差、右ハイト高さおよび左ハイト高さを
修正することができ、寸法のばらつきの減少による品質
の向上および修正のための時間を短縮することができ
る。
In addition, the drive unit of the height correction means is rotated based on a command from the inspection means, and the end of the VTR head is plastically deformed upward or downward by the correction part, and the head gap, right height height and left height height are determined. In addition to the correction, the moving distance and the correction force of the correction part are measured by the measuring part, so the height difference, right height height and left height height can be corrected automatically, and the quality due to the reduction of dimensional variation The time for improvement and correction can be shortened.

また検査手段から、修正後もVTRヘッドの寸法が永久
的に残留しうるように指令を与えてヘッド間距離修正手
段およびハイト修正手段を、介してVTRヘッドの寸法を
修正するので、VTRヘッドの寸法の手直しを省略するこ
とができ、これによって、操作性を向上することがで
き、かつ検査の自動化が可能なので、検査のための時間
を短縮することができる。
In addition, since the inspection means gives a command so that the dimensions of the VTR head can remain permanently even after the correction, the dimensions of the VTR head are corrected through the head-to-head distance correction means and the height correction means. Since it is possible to omit the reworking of the dimensions, it is possible to improve the operability and to automate the inspection, so that the time for the inspection can be shortened.

〔実施例〕〔Example〕

まず、本発明の対象となるVTRヘッドと、その寸法計
測技術について説明する。
First, a VTR head to which the present invention is applied and a dimension measurement technology thereof will be described.

第3図(a)に示すようにVTRテープ4は、固定され
た下シリンダ2と回転する上シリンダ3の外周面に同時
に斜方向に巻きつけられ、上シリンダ3に取付けられた
VTRヘッド1の先端部がテープ4を斜方向に横切ること
によって記録再生作業が行われる。
As shown in FIG. 3 (a), the VTR tape 4 is simultaneously wound obliquely around the outer peripheral surface of the fixed lower cylinder 2 and the rotating upper cylinder 3, and attached to the upper cylinder 3.
Recording and reproducing operations are performed when the tip of the VTR head 1 crosses the tape 4 in an oblique direction.

第3図(b)はVTRヘッドの拡大図を示し、ヘッドベ
ース5、ヘッドチップ6、ヘッドベースの溝58により構
成されている。ヘッドベース5は先端部が2個に分割さ
れ、それぞれの先端部にヘッドチップ6が接着されてい
る。このヘッドチップ6は、それぞれが磁気回路を構成
している。そのための磁気間隙の相対的位置を第4図の
座標軸x,y,zで表わせば、2つの磁気間隙27とヘッジ28
との交点を基準として、x軸方向のものをヘッド間距離
(以下、ギャップ間距離)GLと呼び、y軸方向のもの
をヘッド間断差(以下、ハイト断差)THと呼んでい
る。また、ヘッドチップ6のヘッドメース5への貼付面
を基準として、この面からの絶対高さを右ハイト高さR
H、左ハイト高さLHと呼んでいる。
FIG. 3 (b) shows an enlarged view of the VTR head, which is composed of a head base 5, a head chip 6, and a groove 58 of the head base. The head base 5 has a tip portion divided into two, and a head chip 6 is adhered to each tip portion. Each of the head chips 6 constitutes a magnetic circuit. The relative positions of the magnetic gaps for this purpose are represented by the coordinate axes x, y, and z in FIG.
With reference to the intersection with the head, the one in the x-axis direction is called a head-to-head distance (hereinafter, gap distance) GL, and the one in the y-axis direction is called a head-to-head gap (height difference) TH. Further, based on the surface on which the head chip 6 is attached to the head mace 5, the absolute height from this surface is defined as the right height R
H, left height LH.

検査の結果、VTRヘッド1が寸法不良とされるものに
は、ギャップ間距離GLが基準の距離よりも広すぎる場
合、あるいは狭すぎる場合、またハイト断差THの絶対
値が、基準の断差よりも大きすぎる場合、さらに各ハイ
ト高さRH,LHが基準の距離よりも大きすぎる場合、あ
るいは小さすぎる場合である。
As a result of the inspection, if the VTR head 1 is determined to be defective in dimension, the gap distance GL is too wide or too narrow than the reference distance, or the absolute value of the height difference TH is equal to the reference difference. In this case, the heights RH and LH are too large or smaller than the reference distance.

そこで本発明は、上記の場合のように基準よりはずれ
たVTRヘッド1に対して、ヘッドベース5をx,y方向に塑
性変形させ、ギャップ間距離GLハイト断差TH、右ハイ
ト高さRH、及び左ハイト高さLHを修正してVTRヘッド
1を良品とするものである。
Therefore, the present invention plastically deforms the head base 5 in the x and y directions with respect to the VTR head 1 deviated from the reference as in the above-described case, so that the gap distance GL height difference TH, the right height height RH, And correcting the left height LH to make the VTR head 1 non-defective.

つぎに本発明の一実施例を第1図乃至第20図によって
説明する。第1図は、本発明の寸法修正装置の全体図
で、VTRヘッド1、視覚機構12、カメラ13修正機構制御
装置14、全体制御装置17、画像処理装置18、修正機構制
御装置19によって構成され第2図は、第1図の制御部分
を除いた拡大図である。第1図、第2図に示すように、
基台21上には、修正機構14及び修正前ヘッド保管マガジ
ン2本より修正前ヘッドを修正機構14へ搬送、また修正
の終了した物については修正機構14より修正後ヘッド保
管マガジン25へ搬送するための搬送機構15およびVTRヘ
ッド1の寸法を測定するための視覚機構12とが設置され
ている。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an overall view of a dimension correcting device according to the present invention, which comprises a VTR head 1, a visual mechanism 12, a camera 13, a correcting mechanism control device 14, an overall control device 17, an image processing device 18, and a correcting mechanism control device 19. FIG. 2 is an enlarged view of FIG. 1 excluding a control part. As shown in FIGS. 1 and 2,
On the base 21, the head before correction is transported from the correction mechanism 14 and the two head storage magazines before correction to the correction mechanism 14, and the corrected head is transported from the correction mechanism 14 to the head storage magazine 25 after correction. Mechanism 15 and a visual mechanism 12 for measuring the dimensions of the VTR head 1 are provided.

修正前のVTRヘッド1は、修正前ヘッド保管マガジン2
4より搬送機構15によって1個修正機構14の基準位置26
まで搬送し、固定する。そしてVTRヘッド1の修正面に
対向して、顕微鏡22を主体としてカメラ13によって構成
された視覚機構12によって2つのチップ面を拡大撮影
(第4図に示す拡大視野30−(a),30−(b))し、
第6図に示す画像処理装置18によって後述する寸法計測
方式を使用し、寸法GL,TH,RH,LHの測定を行なう。
画像処理装置18によって寸法測定のため処理された画像
は、テレビモニタ16に映写される。また画像処理装置18
によって測定された寸法GL,TH,RH,LHは、全体制御
装置17へ送られ、全体制御装置17内部には、予め合格基
準寸法CG L,CT H,CR H,CL Hと、その寸法の合格許容範
囲gl,th,rh,lhが入力してある。全体制御装置17へ
送信された測定寸法、GL,TH,RH,LHは、次に示す式
1〜式4が成立すれば良品、不成立の場合には不良品と
判断する。
The VTR head 1 before correction is the head storage magazine 2 before correction.
The reference position 26 of the correction mechanism 14 by one by the transport mechanism 15 from 4
Transported and fixed. Opposite to the correction surface of the VTR head 1, the two chip surfaces are enlarged and photographed by the visual mechanism 12 mainly composed of the microscope 22 and the camera 13 (enlarged visual fields 30-(a), 30-shown in FIG. 4). (B))
The dimensions GL, TH, RH and LH are measured by the image processing device 18 shown in FIG.
The image processed for the dimension measurement by the image processing device 18 is projected on the television monitor 16. The image processing device 18
The dimensions GL, TH, RH, and LH measured by the controller are sent to the overall control device 17, and inside the overall control device 17, the acceptable reference dimensions CGL, CTH, CRH, CLH, and the dimensions Acceptable ranges gl, th, rh, and lh are entered. The measured dimensions, GL, TH, RH, and LH, transmitted to the overall control device 17 are determined to be good if the following equations (1) to (4) are satisfied, and to be defective if they are not satisfied.

式1…CG L−gl≦GL≦CG L+gl 式2…CT H−th≦TH≦CT H+th 式3…CR H−rh≦RH≦CR H+rh 式4…CL H−lh≦LH≦CL H+lh 塑性変形量(修正量)MG L,MT H,MR H,ML Hを式5〜
式8を使用して算出し、修正開始コマンドと共に、修正
機構制御装置19へ送信する。
Equation 1 ... CG L-gl≤GL≤CG L + gl Equation 2 ... CT H-th≤TH≤CT H + th Equation 3 ... CR H-rh≤RH≤CR H + rh Equation 4 ... CL H-lh≤LH≤CL H + lh Plastic deformation The amount (correction amount) MG L, MT H, MR H, ML H is calculated by the formula 5
It is calculated using Expression 8, and transmitted to the correction mechanism controller 19 together with the correction start command.

式5…MG L=GL−CG L 式6…MT H=TH−CT H 式7…MR H=RH−CR H 式8…ML H=LH−CL H 修正機構制御装置19内部には、予め修正アルゴリズム
が入力されているので、そこへこの塑性変形量MG L,MT
H,MR H,ML Hを代入して、実際に機構が動作するのに必
要な、駆動部(ピエゾ、モータ)の移動量(全変形量)
eG L,eL H,eT Hを算出し、ドライバ54、55、56、57へ送
信する。ドライバ54、55、56、57は駆動部が動作するよ
う電圧を制御して修正機構14を動かし、VTRヘッド1の
ヘッドベース5を塑性変形させ寸法の修正を行なう。修
正の終了したVTRヘッド1は、(第2図参照)再び搬送
機構15によって、修正後ヘッド保管マガジン25へ搬送さ
れる。
Equation 5 ... MG L = GL-CG L Equation 6 ... MTH = TH-CT H Equation 7 ... MR H = RH-CR H Equation 8 ... ML H = LH-CL H In the correction mechanism control device 19, Since the correction algorithm has been entered, this plastic deformation amount MG L, MT
By substituting H, MR H, and ML H, the movement amount (total deformation) of the drive unit (piezo, motor) required for the actual operation of the mechanism
eGL, eLH, and eTH are calculated and transmitted to the drivers 54, 55, 56, and 57. The drivers 54, 55, 56, and 57 control the voltage so that the driving sections operate, move the correction mechanism 14, and plastically deform the head base 5 of the VTR head 1 to correct the dimensions. The corrected VTR head 1 is transported by the transport mechanism 15 to the post-correction head storage magazine 25 again (see FIG. 2).

まず第4図、第5図によって、寸法計測方式を説明す
る。第4図におけるヘッドチップ6内の磁気間隙27を認
識し、寸法を算出する為、第2図に示すようにヘッドチ
ップ6面に対向して、顕微鏡22と2台のカメラ13によっ
て構成された視覚機構12が設置されている。ヘッドチッ
プ6面は、視覚機構12内の顕微鏡22によって拡大され、
ヘッドチップ6−(a)はカメラ13−(a)に、ヘッド
チップ6−(b)はカメラ13−(b)によって撮影され
る。撮影された2つの画像は、それぞれ別々に画像処理
装置18によって処理され、磁気間隙(図では直線として
示されている)27が認識される。磁気間隙27を求めるに
は、カメラ13によって撮影された視野30内すべてを画像
処理して求める事も可能であるが、本発明では、第5図
にに示すように処理時間の短縮をはかるため、磁気間隙
27があると思われる部分にウィンドウ29を設け、このウ
ィンドウ29内部のみを画像処理して求めている。
First, the dimension measurement method will be described with reference to FIGS. In order to recognize the magnetic gap 27 in the head chip 6 in FIG. 4 and calculate the dimensions, as shown in FIG. 2, a microscope 22 and two cameras 13 are arranged opposite the surface of the head chip 6. A visual mechanism 12 is provided. The surface of the head chip 6 is enlarged by a microscope 22 in the visual mechanism 12,
The head chip 6- (a) is photographed by the camera 13- (a), and the head chip 6- (b) is photographed by the camera 13- (b). The two captured images are separately processed by the image processing device 18, and a magnetic gap (shown as a straight line) 27 is recognized. In order to obtain the magnetic gap 27, it is possible to perform image processing on the entire field of view 30 captured by the camera 13. However, in the present invention, as shown in FIG. , Magnetic gap
A window 29 is provided in a portion where 27 is supposed to exist, and only the inside of the window 29 is obtained by image processing.

磁気間隙27というのは、帯状のトラック28の中央付近
にある傾き角度35を持って設けられている直線である。
よってウィンドウ29を設定するために、まず第5図
(a)に示すように、カメラ13によって撮影された視野
30内のヘッドチップ6のトラック28部を求める。方法と
して、撮影した画像を2値化処理する事により、トラッ
ク28部分は白に、背景32は黒に分ける。この白の部分を
縦方向と斜横方向(磁気間隙27及びトラック28の傾き35
分だけ斜め方向)に画素ごとに加算して明るさの分布を
求めると、縦方向の分布33はトラック28部が低い谷のよ
うな形に、斜横方向の分布34はトラック28部が高い山の
ような形となる。この分布の谷の部分と山の部分の位置
データを使用して帯状のトラック28を求める。そしてこ
のトラックの中央付近に、磁気間隙27を測定するための
ウィンドウ29を形成する。
The magnetic gap 27 is a straight line provided at an inclination angle 35 near the center of the belt-shaped track 28.
Therefore, in order to set the window 29, first, as shown in FIG.
The track 28 of the head chip 6 in 30 is obtained. As a method, the photographed image is binarized to divide the track 28 into white and the background 32 into black. This white part is vertically and horizontally and horizontally (the magnetic gap 27 and the inclination 35 of the track 28).
(Diagonally in the diagonal direction) for each pixel to obtain the distribution of brightness. The distribution 33 in the vertical direction has a shape like a valley where the track 28 is low, and the distribution 34 in the diagonal direction is high when the track 28 is high. It looks like a mountain. A band-like track 28 is obtained using the position data of the valley portion and the mountain portion of this distribution. A window 29 for measuring the magnetic gap 27 is formed near the center of the track.

次に磁気間隙27を測定するため、ウィンドウ29内部を
各画素ごと、斜横方向37に2次微分する(第5図参
照)。2次微分すると磁気間隙27や、ゴミやキズ39のよ
うにトラック部と明るさの異なる部分は、2次微分値が
大きな値として求められる。(2次微分値の値の変化の
グラフ36)。この各列ごとにもとめた斜横方向27の2次
微分値36を、磁気間隙27の傾き35と同じ斜縦方向38に加
算する。斜縦方向38に加算すると、ゴミやキズ39はラン
ダムに点在しているためゴミやキズ39のある部分では2
次微分値は大きな値となるが、斜縦方向38に加算する
と、加算値40はそれほど大きな値とはならない。しか
し、磁気間隙27部分は、上下方向にも同じように2次微
分値を示すため、斜縦方向38に加算すると、加算値40は
大きな値となる。加算値が、ある値以上になるとその地
点を磁気間隙と認識する方式により、ゴミやキズ39等に
よって誤認識することなく、磁気間隙27を検出すること
が出来る。
Next, in order to measure the magnetic gap 27, the inside of the window 29 is secondarily differentiated in the oblique and horizontal directions 37 for each pixel (see FIG. 5). When the second derivative is performed, a portion having a different brightness from the track portion, such as the magnetic gap 27 or dust or scratch 39, is obtained as a large second derivative value. (Graph 36 of the change in the value of the second derivative). The secondary differential value 36 in the oblique horizontal direction 27 obtained for each column is added to the oblique vertical direction 38, which is the same as the inclination 35 of the magnetic gap 27. When added in the oblique vertical direction 38, dust and scratches 39 are randomly scattered, so that 2
The next differential value is a large value, but when added in the oblique and vertical directions 38, the added value 40 does not become so large. However, since the magnetic gap 27 portion also shows the second derivative in the vertical direction in the same manner, when the addition is performed in the oblique vertical direction 38, the added value 40 becomes a large value. When the added value exceeds a certain value, the magnetic gap 27 can be detected by a method of recognizing the point as a magnetic gap without erroneous recognition due to dust, scratches 39 or the like.

次に位置測点のための基準点41を第5図(c)のよう
に求める。基準点41とは、先にもとめた磁気間隙27と、
トラック28と背景32との境い目(エッジ31)との交点で
ある。エッジ31は、あらかじめ画像上で教示した、パタ
ーン42を上下方向に動かし、実際の画像とパターン42が
一致した線分をエッジ31とみなしている。そしてこの磁
気間隙27とエッジ31の交点(基準点41)を2つの画像30
−(a),30−(b)からそれぞれ求め、そしてあらか
じめ入力してあった画像上のスケールをかけ合わせるこ
とにより、2つの基準点41のx方向の相対距離(ギャッ
プ間距離GL)y方向の相対距離(ハイト段差TH)、ヘ
ッドチップ6のヘッドベース5への貼付面からそれぞれ
基準点までのy方向の絶対距離(右ハイト高さRH、左
ハイト高さLH)を測定している。
Next, a reference point 41 for position measurement is obtained as shown in FIG. The reference point 41 is the magnetic gap 27 determined earlier,
The intersection point of the boundary (edge 31) between the track 28 and the background 32. The edge 31 moves the pattern 42 taught in advance on the image in the vertical direction, and regards a line segment where the pattern 42 matches the actual image as the edge 31. Then, the intersection (reference point 41) of the magnetic gap 27 and the edge 31 is defined as two images 30
The relative distance in the x direction (distance GL between gaps) between the two reference points 41 in the y direction is obtained by multiplying the scales on the previously input image by calculating from (a) and 30- (b), respectively. And the absolute distance (right height RH, left height LH) in the y-direction from the surface of the head chip 6 to which the head chip 6 is attached to the head base 5 to the reference point, respectively.

次に修正機構14について第6図から第11図によって説
明する。
Next, the correcting mechanism 14 will be described with reference to FIGS.

修正機構14は、第6図に示すようにギャップ間広げ機
構50、狭め機構51、右ハイト高さ修正機構52、左ハイト
高さ修正機構53によって構成されている。
As shown in FIG. 6, the correcting mechanism 14 includes a gap widening mechanism 50, a narrowing mechanism 51, a right height height correcting mechanism 52, and a left height height correcting mechanism 53.

ギャップ間広げ機構50は、第7図に示すようにフィン
ガ43と、駆動部45、カセンセ44、スライドシャフト47、
スライドベアリング46、及び引張りバネ48によって構成
されている。
As shown in FIG. 7, the gap widening mechanism 50 includes a finger 43, a driving unit 45, a cassette 44, a slide shaft 47,
It comprises a slide bearing 46 and a tension spring 48.

次にその動作について説明する。 Next, the operation will be described.

顕微鏡22、カメラ13によって撮影し、(第6図参照)
画像処理装置18によって計測したギャップ間距離GLの
寸法データを基にして、全体制御装置17から修正機構制
御装置19にギャップ間距離GLを広げるように、修正開
始コマンドと塑性変形量MG L,MR H,ML Hが送信されると
駆動部45へドライバ54からの増幅された電圧の供給を一
旦停止して駆動部45を縮めて、フィンガ部43が互いに反
対の閉じる方向に移動する。そしてこの状態でベース49
が、ヘッドベース5側に移動してヘッドベース5の溝58
に挿入する。
Photographed by microscope 22 and camera 13 (see Fig. 6)
Based on the dimension data of the gap distance GL measured by the image processing device 18, the correction start command and the amount of plastic deformation MG L, MR are increased from the overall control device 17 to the correction mechanism control device 19 so as to increase the gap distance GL. When H and ML H are transmitted, the supply of the amplified voltage from the driver 54 to the driving unit 45 is temporarily stopped to contract the driving unit 45, and the finger units 43 move in the opposite closing directions. And base 49 in this state
Move to the head base 5 side, and the groove 58 of the head base 5
Insert

ついで、全体制御装置17からの塑性変形量MG L,MR H,
ML Hに応じて修正機構制御装置19でヘッドベース5に塑
性変形量MG Lを与えるためにフィンガ43が修正する全変
形量eG Lと修正力pG L、フィンガ43が指定量移動するよ
う、ドライバ54が、駆動部45へ増幅した電圧を供給す
る。電圧が供給されると、駆動部45がx方向に広がる。
駆動部45が広がると、スライドシャフト47をガイドにし
て、フィンガ43内のスライドベアリング46が移動してフ
ィンガ43が互いに反対の広がる方向に移動しながらヘッ
ドベース5を変形させてギャップ間距離GLを広げる。
この時の修正力はカセンサ48によって検出している。ま
たギャップ間距離GLの広げ作業中の全変形量は、視覚
機構12により求める事も可能であり、駆動部45の移動量
やフィンガ43先端部をたとえば光電変換手段などによっ
て求め、この移動量を、実際のヘッドベース5の変形量
に換算することによって求めることができる。
Next, the amount of plastic deformation MG L, MR H,
In order to give the plastic deformation amount MGL to the head base 5 by the correction mechanism control device 19 according to the ML H, the driver adjusts the total deformation amount eGL, the correction force pGL, and the finger 43 to be moved by the specified amount. 54 supplies the amplified voltage to the drive unit 45. When the voltage is supplied, the driving unit 45 spreads in the x direction.
When the drive unit 45 is expanded, the slide bearing 46 in the finger 43 is moved by using the slide shaft 47 as a guide, and the finger 43 is moved in the opposite spreading direction to deform the head base 5 to reduce the gap distance GL. spread.
The correction force at this time is detected by the power sensor 48. Also, the total deformation amount during the work of widening the gap distance GL can be obtained by the visual mechanism 12, and the moving amount of the driving unit 45 and the tip of the finger 43 are obtained by, for example, photoelectric conversion means, and the moving amount is calculated. Can be obtained by converting to the actual deformation amount of the head base 5.

またギャップ間広げ機構50の変形例を第8図に示す。
本機構は、広げピン108,駆動部109,エンコーダ110,カッ
プリング111,ボールネジ112,ボールネジナット113,ブロ
ック114,カセンサ115によって構成されている。
FIG. 8 shows a modified example of the gap widening mechanism 50.
This mechanism includes a spreading pin 108, a driving unit 109, an encoder 110, a coupling 111, a ball screw 112, a ball screw nut 113, a block 114, and a power sensor 115.

本構成の動作は、全体制御装置17から修正機構制御装
置19にギャップ間距離GLを広げるように修正開始コマ
ンドと、塑性変形量MG L,MR H,ML Hが送信されると駆動
部109へドライバ54から電源が供給される。これにより
駆動部109が回転し、この回転がカップリング111を介し
てボールネジ112へ伝えられる。ボールネジ112が回転す
る事により、ボールネジナット113およびボールネジナ
ット113へ取付けられているブロック114、カセンサ11
5、広げピン108がy方向に直進動作を行なう。ヘッドベ
ースを広げる場合、駆動部の回転に伴ない、広げピン10
8が下降し、溝58に挿入する。挿入後さらに広げピン108
を下降させると、ヘッドベース5は、ベース49によって
下面を固定されているためくさびの効果により広がって
いく。
The operation of this configuration is performed by the overall control device 17 to the correction mechanism control device 19 when a correction start command and a plastic deformation amount MGL, MR H, ML H are transmitted so as to increase the gap distance GL to the drive unit 109. Power is supplied from the driver 54. As a result, the drive unit 109 rotates, and this rotation is transmitted to the ball screw 112 via the coupling 111. When the ball screw 112 rotates, the ball screw nut 113 and the block 114 attached to the ball screw nut 113,
5. The spreading pin 108 moves straight in the y direction. When expanding the head base, rotate the drive
8 descends and is inserted into the groove 58. After insertion, spread pin 108
When the head is lowered, the lower surface of the head base 5 is fixed by the base 49, so that the head base 5 spreads by a wedge effect.

この時の修正力は、カセンサ115によって検出してい
る。またギャップ間距離GLの広げ作業中の全変形量
は、視覚機構12により求める事も可能であり、駆動部10
9の回転量をエンコーダ110によって求め、これを広げピ
ン108の移動量に換算して求めたり、また直接、光電変
換手段などによって広げピン108の移動量を求めたりし
て、この移動量を実際のヘッドベース5の変形量に換算
することによって求めることができる。
The correction force at this time is detected by the power sensor 115. Further, the total deformation amount during the work of widening the gap distance GL can also be obtained by the visual mechanism 12.
The amount of rotation of 9 is obtained by the encoder 110 and converted into the amount of movement of the spread pin 108, or the amount of movement of the spread pin 108 is obtained directly by photoelectric conversion means, etc. Can be obtained by converting to the amount of deformation of the head base 5.

ギャップ間狭め機構51は、第9図に示すように、狭め
ピン59、駆動部60、エンコーダ69、カセンサ61、レバー
63、回転中心ピン62、ボールネジ固定ブロック64、ボー
ルネジ65、ボールネジナット66、スライダー67及びカッ
プリング68とから構成されている。
As shown in FIG. 9, the gap narrowing mechanism 51 includes a narrowing pin 59, a driving unit 60, an encoder 69, a power sensor 61, and a lever.
63, a rotation center pin 62, a ball screw fixing block 64, a ball screw 65, a ball screw nut 66, a slider 67, and a coupling 68.

つぎにその動作について説明する。 Next, the operation will be described.

全体制御装置17から、修正機構制御装置19にギャップ
距離GLを狭めるように修正開始コマンドと、塑性変形
量MG L,MR H,ML Hが送信されると、ドライバ55を通して
駆動部60が回転する。そしてカップリング68によって駆
動部60と連絡されたボールネジ65が回転することによっ
てボールネジナット66とボールネジナット66に取り付け
られたボールネジ固定ブロック64−(a)が駆動部60へ
取り付けられたボールネジ固定ブロック64−(b)へ近
づいていく。ここでボールネジ固定ブロック64は、各々
スライダー67上に取付けてあるため、平行移動可能であ
る。ボールネジ固定ブロック64が互いに近づくと、回転
中心ピン62を中心としてレバー63が揺動し、それに伴な
いベース49内の1対の狭めピン59−(a),59−(b)
が一旦互いに反対の広がる方向に移動する。そしてこの
状態でベース49がヘッドベース5側に移動、あるいは、
ヘッドベース5をギャップ間狭め機構51側に移動して、
狭めピン59がヘッドベース5の先端部分を狭みこむ。
When a correction start command and a plastic deformation amount MGL, MR H, ML H are transmitted from the general control device 17 to the correction mechanism control device 19 to reduce the gap distance GL, the drive unit 60 rotates through the driver 55. . When the ball screw 65 connected to the drive unit 60 is rotated by the coupling 68, the ball screw nut 66 and the ball screw fixing block 64- (a) attached to the ball screw nut 66 are attached to the drive unit 60. Approaching-(b). Here, since the ball screw fixing blocks 64 are respectively mounted on the sliders 67, they can be translated. When the ball screw fixing blocks 64 come closer to each other, the lever 63 swings around the rotation center pin 62, and a pair of narrowing pins 59- (a) and 59- (b) in the base 49 accompanying this.
Once move in opposite spreading directions. Then, in this state, the base 49 moves to the head base 5 side, or
Move the head base 5 to the gap narrowing mechanism 51 side,
The narrowing pin 59 narrows the tip of the head base 5.

ついで、全体制御装置17からの塑性変形量MG L,MR H,
ML Hに応じて修正機構制御装置19で、ヘッドベース5に
塑性変形量を得るために、狭めピン59が修正する全変形
量eG Lと、修正力pG Lを算出し、狭めピン59が指定量移
動するよう、ドライバ55の信号により駆動部60が上記と
逆方向に回転し、それに伴ないボールネジ65が回転す
る。ボールネジ65が回転すると、ボールネジナット66と
ボールネジナット66に取り付けられたボールネジ固定ブ
ロック64−(a)が、駆動部60へ取り付けられたボール
ネジ固定ブロック64−(b)より遠ざかる。ボールネジ
固定ブロック64が互いに遠ざかると、レバー63の下端が
ボールネジ固定ブロック64に押され、レバー63が回転中
心ピン62を中心として揺動し、レバー63の上端に取付け
られたカセンサ61を介して狭めピン59がベース49をガイ
ドとして、互いに反対の縮まる方向に移動しながらヘッ
ドベース5の先端部分を内側に押圧するのでヘッドベー
ス5は塑性変形してギャップ間距離GLが狭くなる。本
機構は、両ボールネジ固定ブロック64が、スライダー67
上に取付けられているので狭めピン59の自動調心が可能
となり、修正中ヘッドベース5を動かす事なく1対の狭
めピン59が1対のヘッド先端部に均等な力を加えて修正
することが可能である。この時の修正力はカセンサ61に
よって検出している。またギャップ間距離GLの狭め作
業中の全変形量は、視覚機構12により求める事も可能で
あり、駆動部60の回転量をエンコーダ69によって求めこ
れを狭めピン59の移動量に換算して求めたり、また直
接、光電変換手段などにより狭めピン59の移動量を求め
たりして、この移動量を実際のヘッドベース5の変形量
に換算することによって求めることができる。
Next, the amount of plastic deformation MG L, MR H,
According to the ML H, the correction mechanism controller 19 calculates the total deformation amount eGL corrected by the narrowing pin 59 and the correction force pGL to obtain the plastic deformation amount on the head base 5, and specifies the narrowing pin 59. The drive unit 60 is rotated in the opposite direction by the signal of the driver 55 so that the ball screw 65 is moved by the distance, and the ball screw 65 is rotated accordingly. When the ball screw 65 rotates, the ball screw nut 66 and the ball screw fixing block 64- (a) attached to the ball screw nut 66 move away from the ball screw fixing block 64- (b) attached to the drive unit 60. When the ball screw fixing blocks 64 move away from each other, the lower end of the lever 63 is pushed by the ball screw fixing block 64, and the lever 63 swings around the rotation center pin 62, and is narrowed through the force sensor 61 attached to the upper end of the lever 63. The pin 59 presses the tip portion of the head base 5 inward while moving in the opposite contracting directions using the base 49 as a guide, so that the head base 5 is plastically deformed and the gap distance GL is reduced. In this mechanism, both ball screw fixing blocks 64
Since it is mounted on the top, the self-alignment of the narrowing pin 59 is possible, and the pair of narrowing pins 59 applies an equal force to the pair of head tips without moving the head base 5 during the correction. Is possible. The correction force at this time is detected by the power sensor 61. Further, the total deformation amount during the work of narrowing the gap distance GL can also be obtained by the visual mechanism 12, and the amount of rotation of the drive unit 60 is obtained by the encoder 69 and converted into the amount of movement of the narrowing pin 59. Alternatively, the amount of movement of the narrowing pin 59 can be directly obtained by photoelectric conversion means or the like, and the amount of movement can be obtained by converting the amount of movement into the actual amount of deformation of the head base 5.

右ハイト修正機構52は、第10図に示すように、下修正
ピン70,上修正ピン71,回転中心ピン72,レバー73,カセン
サ74,駆動部75,エンコーダ76ボールネジ77,カップリン
グ78,ボールネジナット79,移動ブロック80とから構成さ
れている。
As shown in FIG. 10, the right height correction mechanism 52 includes a lower correction pin 70, an upper correction pin 71, a rotation center pin 72, a lever 73, a power sensor 74, a driving unit 75, an encoder 76, a ball screw 77, a coupling 78, a ball It is composed of a screw nut 79 and a moving block 80.

つぎにその移動について説明する。 Next, the movement will be described.

構成が原点状態でかつ、ヘッドベース5が、修正位置
に取付け固定されている時に、全体制御装置17から、修
正機構制御装置19に、右ハイト高さRHあるいはハイト
断差LHの修正開始コマンドと、塑性変形量MG L,MR H,M
L Hが送信されると、修正機構制御装置19でヘッドベー
ス5に塑性変形量を得るために、下修正ピン70あるいは
上修正ピン71が修正する全変形量eR Hと修正力pR Hを算
出し、下修正ピン70あるいは上修正ピン71を指定量移動
するよう、ドライバ56が駆動部75を回転させる。下修正
ピン70を動作させてヘッドベース5の右ベース部81を持
ち上げる場合、駆動部75の回転がカップリング78を介し
てボールネジ77へ伝えられる。ボールネジ77が回転する
と、それに伴ないボールネジナット79が下側に移動し、
ボールネジナット79に取付けられた移動ブロック80も同
様に下方に移動して、カセンサ74−(a)を介してレバ
ー73−(a)の一端を押し下げる。レバー73−(a)
は、回転中心ピン72−(b)を中心に揺動し、レバー72
−(a)の他端が下修正ピン70を上方に押し上げ、ヘッ
ドベース5を塑性変形させて右ハイト高さRHおよびハ
イト断差THを修正する。
When the configuration is in the home position and the head base 5 is mounted and fixed at the correction position, the general control device 17 sends a correction start command for the right height height RH or height difference LH to the correction mechanism control device 19. , Plastic deformation MG L, MR H, M
When the LH is transmitted, the correction mechanism controller 19 calculates the total deformation amount eRH and the correction force pRH corrected by the lower correction pin 70 or the upper correction pin 71 in order to obtain the plastic deformation amount on the head base 5. The driver 56 rotates the drive unit 75 so that the lower correction pin 70 or the upper correction pin 71 moves by a specified amount. When the lower correction pin 70 is operated to lift the right base portion 81 of the head base 5, the rotation of the driving portion 75 is transmitted to the ball screw 77 via the coupling 78. When the ball screw 77 rotates, the ball screw nut 79 moves downward accordingly,
The moving block 80 attached to the ball screw nut 79 also moves downward, and pushes down one end of the lever 73- (a) via the cal sensor 74- (a). Lever 73- (a)
Swings about the rotation center pin 72- (b), and the lever 72
The other end of (a) pushes the lower correction pin 70 upward to plastically deform the head base 5 to correct the right height height RH and the height difference TH.

逆に、上修正ピン71を動作させてヘッドベース5の右
ベース部81を持ち下げる場合、駆動部75が上記とは逆方
向に回転し、それに伴ない、ボールネジナット79、移動
ブロック80が、上記とは逆の上方に移動して、カセンサ
74−(b)を介してレバー73−(b)の一端を押し上げ
ることにより、他端が上修正ピン71を下方に押し下げ、
ヘッドベース5を塑性変形させて右ハイト高さRHおよ
びハイト断差THを修正する。
Conversely, when the upper correction pin 71 is operated to lower the right base portion 81 of the head base 5, the driving portion 75 rotates in the opposite direction to the above, and the ball screw nut 79 and the moving block 80 Move upward, opposite to the above, and
By pushing up one end of the lever 73- (b) via 74- (b), the other end pushes down the upper correction pin 71,
The right base height RH and the height difference TH are corrected by plastically deforming the head base 5.

この時の修正力は、下側からの修正の時には、カセン
サ74−(a)によって、また上側からの修正の時にはカ
センサ74−(b)によって検出している。
The correction force at this time is detected by the power sensor 74- (a) when correcting from below and by the power sensor 74- (b) when correcting from above.

右ハイト高さRH、ハイト断差THの修正作業中の全変
形量は、視覚機構12によって求める事も可能であり、駆
動部75の回転量をエンコーダ76によって求め、これを下
修正ピン70あるいは上修正ピン71の移動量に換算して
(事前に予備実験により換算式を求めておく)求めた
り、また直接、光電変換器などにより下修正ピン70ある
いは上修正ピン71の移動量を求めたりして、この移動量
を実際のヘッドベース5の変形量に換算することによっ
て求めることができる。
The total deformation amount during the work of correcting the right height height RH and the height difference TH can also be obtained by the visual mechanism 12, the rotation amount of the drive unit 75 is obtained by the encoder 76, and this is obtained by the lower correction pin 70 or Converted to the amount of movement of the upper correction pin 71 (a conversion formula is obtained in advance through preliminary experiments), or calculated directly, using a photoelectric converter, etc., to calculate the amount of movement of the lower correction pin 70 or the upper correction pin 71. Then, the amount of movement can be obtained by converting the amount of movement into the actual amount of deformation of the head base 5.

左ハイト修正機構53は、右ハイト修正機構52とまった
く同様の機構、原理のものが、ヘッドベース5の左ベー
ス部82側に取付けられている。ここでの詳細は、省略す
る。
The left height correcting mechanism 53 has exactly the same mechanism and principle as the right height correcting mechanism 52, and is attached to the left base portion 82 side of the head base 5. Details here are omitted.

またハイト修正機構の変形例を第11図に示す。本機構
は、右修正ピン116,左修正ピン117,駆動部118,エンコー
ダ119,カップリング120,ボールネジ121,ボールネジナッ
ト122,ブロック123,レバー124,回転中心ピン125,カセン
サ126とから構成されている。
FIG. 11 shows a modification of the height correction mechanism. This mechanism is composed of a right correction pin 116, a left correction pin 117, a drive unit 118, an encoder 119, a coupling 120, a ball screw 121, a ball screw nut 122, a block 123, a lever 124, a rotation center pin 125, and a sensor 126. I have.

本機構は、前記ハイト修正機構と違い右ハイト高さR
H、左ハイト高さLHを小さくすることはできるが、大き
くすることはできない。しかしその分、1つの駆動源
で、右ハイト高さRH縮小、左ハイト高さLH縮小および
ハイト断差THの修正が可能であるため、使い方によっ
ては有効である。
This mechanism differs from the height correction mechanism in that the right height R
H, the left height LH can be reduced, but not increased. However, the right driving height RH can be reduced, the left driving height LH can be reduced, and the height difference TH can be corrected by one driving source.

動作について説明すると、全体制御装置17から修正開
始コマンドと塑性変形量MG L,MR H,ML Hが修正機構制御
装置19へ送信されると、ドライバが駆動部118を回転さ
せる。右ベース部81を修正する場合駆動部118の回転が
カップリング120を介してボールネジ121へ伝えられる。
ボールネジ121が回転するとボールネジナット122がx方
向、駆動部118側へ移動し、ボールネジナット122に取付
けられたブロック123が、カセンサ126−(a)を介して
レバー124−(a)の下端を押す。レバー124(a)は回
転中心ピン125−(a)を中心に揺動し、レバー124
(a)の上端が右修正ピン116を上方に押し上げ、ヘッ
ドベース5を塑性変形させて右ハイト高さRHおよびハ
イト段差THを修正する。
The operation will be described. When the correction start command and the plastic deformation amounts MGL, MRH, MLH are transmitted from the overall control device 17 to the correction mechanism control device 19, the driver rotates the drive section 118. When correcting the right base portion 81, the rotation of the driving portion 118 is transmitted to the ball screw 121 via the coupling 120.
When the ball screw 121 rotates, the ball screw nut 122 moves in the x direction toward the drive unit 118, and the block 123 attached to the ball screw nut 122 pushes the lower end of the lever 124- (a) via the calipers 126- (a). . The lever 124 (a) swings around the rotation center pin 125- (a),
The upper end of (a) pushes up the right correction pin 116 upward to plastically deform the head base 5 to correct the right height height RH and the height step TH.

逆に左ベース部82を修正する場合、駆動部118を上記
とは逆方向回転し、それに伴ってボールネジナット122,
ブロック123が上記とは反対の駆動部から遠ざかる方向
へ移動して、カセンサ126−(b)を介してレバー124−
(b)の下端を押すことにより、上端が左修正ピン117
を上方に押し上げヘッドベース5を塑性変形させて左ハ
イト高さLHおよびハイト段差THを修正する。
Conversely, when correcting the left base portion 82, the driving portion 118 rotates in the opposite direction to the above, and the ball screw nut 122,
The block 123 moves in the direction away from the drive unit opposite to the above, and the lever 124- is moved via the calipers 126- (b).
By pushing the lower end of (b), the upper end is
And the head base 5 is plastically deformed to correct the left height LH and the height step TH.

この時修正力は、右ベース部81の修正時には力センサ
126−(a)によって、また左ベース部82の修正時には
力センサ126−(b)によって検出している。
At this time, the correction force is a force sensor when the right base unit 81 is corrected.
126- (a), and when the left base portion 82 is corrected, the force sensor 126- (b) detects it.

また修正作業中の全変形量は、視覚機構12によって求
めることも可能であり、駆動部118の回転量をエンコー
ダ119によって求め、これを右修正ピン116あるいは左修
正ピン117の移動量に換算して求めたり、また直接、光
電変換器などにより右修正ピン116あるいは左修正ピン1
17の移動量を求めたりして、この移動量を実際のヘッド
ベース5の変形量に換算することによって求めることが
できる。
Further, the total deformation amount during the correction work can also be obtained by the visual mechanism 12, the rotation amount of the drive unit 118 is obtained by the encoder 119, and this is converted into the movement amount of the right correction pin 116 or the left correction pin 117. Or right correction pin 116 or left correction pin 1 directly by a photoelectric converter or the like.
For example, the movement amount of the head base 5 can be obtained by converting the movement amount of the head base 5 into the actual movement amount.

つぎに、制御部分19について説明する。 Next, the control unit 19 will be described.

まず、制御部分の修正制御原理について第12図から第
17図により説明する。
First, the correction control principle of the control part is shown in FIGS.
This will be described with reference to FIG.

VTRヘッド1のギャップ間距離GL、ハイト断差TH、
右ハイト高さRH、左ハイト高さLHの寸法の修正は、既
に述べたように2枚のヘッドチップ6が接着されている
ヘッドベース5を塑性変形させて行なっている。
The gap distance GL of the VTR head 1, the height difference TH,
The dimensions of the right height height RH and the left height height LH are corrected by plastically deforming the head base 5 to which the two head chips 6 are bonded as described above.

一般的に機械材料においては、応力σと歪εとの関係
は、第12図に近い性質を有している。すなわち機械材料
は、力を加えて歪ませても弾性限界83に相当する応力を
受けている場合には、力を取り除くと歪が基の零状態に
戻る性質を有している。
Generally, in a mechanical material, the relationship between stress σ and strain ε has a property close to that of FIG. That is, when the mechanical material is subjected to a stress corresponding to the elastic limit 83 even when distorted by applying a force, the mechanical material has such a property that when the force is removed, the strain returns to the original zero state.

そのため、機械材料に塑性変形量84だけ変形させたい
場合には、機械材料に弾性限界83を超える力を加えて全
変形量85程度に変形させる必要がある。
Therefore, when it is desired to deform the mechanical material by the plastic deformation amount 84, it is necessary to apply a force exceeding the elastic limit 83 to the mechanical material to deform it to a total deformation amount of about 85.

そこで本発明においては、修正中の変形量を計測し、
これにあらかじめ求められている修正の全変形量と塑性
変形量との関係を考慮して修正を行なう位置基準方式
と、あらかじめヘッドベース5の材質により決まってい
る力と塑性変形量の関係を考慮して修正を行なう力基準
方式と、この位置基準方式に修正力の情報を考慮して修
正を行なう位置・力基準方式の3つの方式のいずれか一
つを使用して修正を行なうものとした。
Therefore, in the present invention, the amount of deformation during correction is measured,
The position reference method that performs correction in consideration of the relationship between the total deformation amount and the plastic deformation amount required in advance and the relationship between the force and the plastic deformation amount determined in advance by the material of the head base 5 are taken into consideration. The correction is performed using any one of three methods, a force reference method for performing correction and a position / force reference method for performing correction in consideration of correction force information in the position reference method. .

まず位置基準制御原理について第13図乃至第15図によ
り説明する。
First, the principle of the position reference control will be described with reference to FIGS.

実際の修正を行なうにあたっては、修正方向(例:右
ハイト修正時は、ハイト方向の塑性変形)の全変形量
(横軸)と、塑性変形量(縦軸)の関係だけでなく、修
正方向外(例:右ハイト修正時は、ギャップ間の塑性変
形)に弱干生じる塑性変形量の関係を考慮する必要があ
る。
In performing the actual correction, not only the relationship between the total deformation amount (horizontal axis) in the correction direction (eg, plastic deformation in the height direction when correcting the right height) and the plastic deformation amount (vertical axis), but also the correction direction It is necessary to consider the relationship of the amount of plastic deformation that occurs slightly outside (eg, when correcting the right height, plastic deformation between gaps).

本発明では、事前に予備実験により、第13図に示す右
ハイトの全変形量eR Hと、右ハイトの塑性変形量FR
(eR H)の関係、第13図−(a)、右ハイトの全変形量
eR Hとギャップ間の塑性変形量FG(eR H)の関係、
第13図−(b)、右ハイトの全変形量eR Hと左ハイトの
塑性変形量FL(eR H)の関係、第13図−(c)と、
第14図に示す、左ハイトの全変形量eL Hと左ハイトの塑
性変形量FL(eL H)の関係、第14図−(a)、左ハ
イトの全変形量eL Hとギャップ間の塑性変形量FG(e
L H)の関係、第14図−(b)、左ハイトの全変形量eL
Hと右ハイトの塑性変形量FR(eL H)関係、第14図−
(c)および第15図に示す。ギャップ間の全変形量eG L
とギャップ間の塑性変形量FG(eGH)の関係、第15図
−(a)、ギャップ間の全変形量eG Lと右ハイトの塑性
変形量FR(eGH)の関係、第15図−(b)、ギャップ
間の塑性変形量eG Lと左ハイトの塑性変形量FL(eG
H)の関係、第15図−(c)を求めておき、第6図に示
すメモリ19cに記憶しておく。そして、視覚機構12によ
って拡大撮影し、画像処理装置によって測定したギャッ
プ間距離GL、ハイト段差TH、右ハイト高さRH、左ハ
イト高さLHの寸法を全体制御装置17へ送信する。全体
制御装置17内部で合否判定を行ない、不良品と判定した
ヘッドについては、修正コマンドとともに塑性変形量
(修正量)MG L,MR H,ML Hを修正機構制御装置19へ送信
する。修正機構制御装置19は、塑性変形量MG L,MR H,ML
Hが送信されてくると、メモリ19cの内容を読み出し上
記関係を利用した下記式9から11で解く事により、塑性
変形量MG L,MR H,ML Hを得るために修正機構14が動作し
なければならない全変形量eG L,eR H,eL Hを演算機19b
で算出し、この全変形量eG L,eR H,eL Hを得るため、各
修正機構50、51、52、53の駆動部へドライバ54、55、5
6、57を介して電源を供給し、寸法修正を行なう方式で
ある。
In the present invention, the pre-preliminary experiments, and the total deformation amount eR H of the right height shown in FIG. 13, plastic deformation of the right height FR 1
(ERH) relationship, Fig. 13- (a), total deformation at right height
the relationship between eR H and the amount of plastic deformation FG 2 (eR H) between the gap,
Figure 13 - (b), the relationship of the plastic deformation amount of the total deformation amount eR H and left height of the right height FL 2 (eR H), Fig. 13 - and (c),
FIG. 14 shows the relationship between the total deformation eL H of the left height and the plastic deformation FL 1 (eL H) of the left height, FIG. 14- (a), the relationship between the total deformation eL H of the left height and the gap. Plastic deformation FG 3 (e
LH), Fig. 14- (b), total deformation eL of left height
Relationship between H and plastic deformation FR 2 (eL H) of right height, Fig. 14-
This is shown in (c) and FIG. Total deformation between gaps eGL
Relation plastic deformation FG 1 (EGH) the gap between, Fig. 15 - (a), the relationship of the total deformation amount eG L and right height of plastic deformation FR 3 (EGH) the gap, Figure 15 - (b), the plastic deformation amount eG L and the left height plastic deformation FL 3 between the gaps (eG
H) and FIG. 15- (c) are obtained and stored in the memory 19c shown in FIG. Then, the size of the gap distance GL, the height difference TH, the right height height RH, and the left height LH measured by the image processing device are transmitted to the overall control device 17. A pass / fail decision is made inside the overall control device 17, and for the head determined to be defective, a plastic deformation amount (correction amount) MGL, MRH, MLH is transmitted to the correction mechanism control device 19 together with a correction command. The correction mechanism control device 19 calculates the amount of plastic deformation MG L, MR H, ML
When H is transmitted, the correction mechanism 14 operates to obtain the plastic deformation amounts MG L, MR H, and ML H by reading the contents of the memory 19c and solving the equations 19 through 11 using the above relationship. The total deformation amount eGL, eRH, eLH that must be
In order to obtain the total deformation amounts eGL, eRH, and eLH, the drivers 54, 55, and 5 are sent to the drive units of the correction mechanisms 50, 51, 52, and 53, respectively.
In this method, power is supplied via 6, 57 to correct the dimensions.

式9…MR H=FR(eR H)+FR(eL H) +FR(eG L) 式10…ML H=FL(eL H)+FL(eR H) +FL(eG L) 式11…MG L=FG(eG L)+FG(eR H) +FG(eL H) MR H…右ハイトの塑性変形量(修正量) ML H…左ハイトの塑性変形量(修正量) MG L…ギャップ間の塑性変形量(修正量) eR H…右ハイトの修正時の全変形量 eL H…左ハイトの修正時の全変形量 eG L…ギャップ間の修正時の全変形量 F…実験によって求めた関係式(第13図 第14図 第15
図) 次に、力基準制御原理について第16図により説明す
る。
Equation 9 ... MR H = FR 1 (eR H) + FR 2 (eL H) + FR 3 (eGL) Equation 10 ... ML H = FL 1 (eL H) + FL 2 (eR H) + FL 3 (eGL) Equation 11 ... MG L = FG 1 (eG L) + FG 2 (eR H) + FG 3 (eL H) MR H ... plastic deformation of the right height (correction amount) plastic deformation of ML H ... left height (correction amount) MG L ... plastic deformation between gaps (correction amount) eR H ... total deformation amount when correcting right height eL H ... total deformation amount when correcting left height eGL L ... total deformation amount when correcting between gaps F ... experiment (Figure 13 Figure 14 Figure 15
Next, the principle of force-based control will be described with reference to FIG.

本方式の位置基準制御原理との違いは、上記式でのべ
たF(実験によって求めた関係式)が、位置基準の場合
には、全変形量85(eR H,eL H,eG L)と塑性変形量84の
関係を実験によりもとめ、この関係式から各修正機構の
移動量を算出したのに対し、力基準の場合には、第16図
に示すようなヘッドベース固有の応力−歪曲線を数式化
して修正力94と塑性変形量84の関係をもとめ、この関係
を基に修正を行なうものである。
The difference from the position reference control principle of this method is that, in the case of the position reference, the total deformation amount 85 (eRH, eLH, eGL) is obtained when the reference F (the relational expression obtained by experiment) in the above equation is used. The relationship between the amount of plastic deformation 84 was determined by experiment, and the amount of movement of each correction mechanism was calculated from this relational expression. On the other hand, in the case of the force standard, the stress-strain curve unique to the head base as shown in FIG. Is converted into a mathematical expression to determine the relationship between the correction force 94 and the amount of plastic deformation 84, and correction is performed based on this relationship.

理想的には、第16図に示すような、降伏点の表われな
い材料で、かつ小さな塑性歪を対象とする場合には、下
記式で歪量が近似できる。
Ideally, when a material having no yield point and a small plastic strain as shown in FIG. 16 is used, the amount of strain can be approximated by the following equation.

ε:ひずみ σ:応力 σe:降伏応力(耐力) F:塑性係数 E:縦弾性係数 n:定数 よって式12を解くことにより、作業の目標となる修正
力pG L,pR H,pL Hを算出することができる。
ε: Strain σ: Stress σe: Yield stress (proof stress) F: Plasticity coefficient E: Longitudinal elasticity coefficient n: Constant By solving Equation 12, the correction forces pGL, pRH, and pLH that are the target of the work are calculated. can do.

しかし現実的には修正機構のガタ成分や、塑性域であ
るので理論と現実の差異やバラツキが大きくなり、高精
度の寸法修正作業は出来ない。
However, in reality, since there is a play component in the correction mechanism and a plastic region, a difference or variation between the theory and the actual one becomes large, and a highly accurate dimension correction operation cannot be performed.

よって本発明では位置基準制御と同様に、修正力(pR
H,pL H,pG L)(横軸)と塑性変形量(KR(pR H),
KR(pL H),KR(pG L),KL(pL H),KL(pR
H),KL(pG L),KG(pG L),KG(pR H),KG(p
L H))(縦軸)との関係(図示せず)を実験によりも
とめ第6図19cで記憶し、全体制御装置17より送信され
る塑性変形量(修正量)(下記式MG L,MR H,ML H)を下
記式に代入して解くことにより、塑性変形量MG L,MR H,
ML Hを得るために修正機構14が動作しなければならない
修正力pR H,pL H,pG Lを算出し、この修正力pR H,pL H,
pG Lを得るため、各修正機構50、51、52、53の駆動部へ
ドライバ54、55、56、57を介して電源を供給し、寸法の
修正を行なう方式である。
Therefore, in the present invention, similarly to the position reference control, the correction force (pR
H, pL H, pGL) (horizontal axis) and the amount of plastic deformation (KR 1 (pR H),
KR 2 (pL H), KR 3 (pGL), KL 1 (pL H), KL 2 (pR
H), KL 3 (pG L ), KG 1 (pG L), KG 2 (pR H), KG 3 (p
LH)) (vertical axis) and the relationship (not shown) are experimentally determined, stored in FIG. 19c, and the amount of plastic deformation (correction) transmitted from the overall controller 17 (formula MG L, MR H , ML H) into the following equation to solve for the plastic deformation amount MG L, MR H,
Calculate the correction force pR H, pL H, pGL that the correction mechanism 14 must operate to obtain ML H, and calculate the correction force pR H, pL H,
In order to obtain pGL, power is supplied to the drive units of the correction mechanisms 50, 51, 52, 53 via the drivers 54, 55, 56, 57 to correct the dimensions.

式13…MR H=KR(pR H)+KR(pL H) +KR(pG L) 式14…ML H=KL(pL H)+KL(pR H) +KL(pG L) 式15…MG L=KG(pG L),KG(pR H) +KG(pL H) pR H…右ハイト修正時の修正力 pL H…左ハイト修正時の修正力 pG L…ギャップ間修正時の修正力 K……実験によって求めた関係式 次に、位置・力基準制御原理について第17図により説
明する。
Wherein 13 ... MR H = KR 1 ( pR H) + KR 2 (pL H) + KR 3 (pG L) Formula 14 ... ML H = KL 1 ( pL H) + KL 2 (pR H) + KL 3 (pG L) Equation 15 ... MG L = KG 1 (pG L), KG 2 (pR H) + KG 3 (pL H) pR H ... modify force at the time of the right height modified pL H ... modify force at the time of the left-height correction pG L ... when the correction between the gap Correcting force K: Relational expression obtained by experiment Next, the principle of position / force reference control will be described with reference to FIG.

本制御原理は、ヘッドベース5の材質が持つ固有の荷
重−伸び曲線95(応力−歪曲線)を利用している。理想
的には、位置基準制御原理であっても力基準制御原理で
あっても、荷重−伸び曲線95を利用すればまったく同精
度で塑性変形が可能である。しかし現実的には、永久的
に残留する歪を持たせるような変形の場合、変形は弾性
限度83を超えてしまう。実用上は弾性限度と比例限度は
ほぼ一致し、弾性限度83まではフックの法則が成立する
と考えてよい。
This control principle utilizes a unique load-elongation curve 95 (stress-strain curve) of the material of the head base 5. Ideally, the plastic deformation can be performed with exactly the same accuracy using the load-elongation curve 95 regardless of the position-based control principle or the force-based control principle. However, in reality, the deformation exceeds the elastic limit 83 in the case of the deformation having the permanent residual strain. In practical use, the elasticity limit and the proportionality limit are almost the same, and it can be considered that up to the elasticity limit 83, Hooke's law is satisfied.

式16…フックの法則……σ=Eε σ:応力 ε:歪 E:縦弾性係数 しかし、弾性限度83を超えた塑性領域の場合、上記式
12に記載したが、式自体が複雑となり、各係数に誤差要
因が含まれる。また式自体が近似式であるために、同じ
全変形量eδ、あるいは修正力pFを加えても、塑性変形
量Mδにバラツキが見られる。
Equation 16: Hooke's law σ = Eε σ: stress ε: strain E: longitudinal elastic modulus However, in the case of a plastic region exceeding the elastic limit of 83, the above equation is used.
As described in 12, the equation itself becomes complicated, and each coefficient includes an error factor. Further, since the equation itself is an approximate equation, the plastic deformation Mδ varies even when the same total deformation eδ or the same correction force pF is applied.

一例を示すと、第17図に示した塑性変形量Mδを得る
場合、位置基準の場合には荷重−伸び曲線95より全変形
量eδだけヘッドベース5を変形してやればよい。しか
し上記でも述べたが対象物の荷重−伸び曲線が実際には
破線99のようであった場合、塑性変形量は、δとなっ
てしまう。また力基準の場合には、修正力pFとなるまで
ヘッドベース5を変形してやればよい。しかし対象物の
荷重−伸び曲線が破線99のようであった場合、塑性変形
量はδとなってしまい目標の塑性変形量Mδと異なっ
てしまう可能性がある。
As an example, when obtaining the plastic deformation Mδ shown in FIG. 17, the head base 5 may be deformed by the total deformation eδ from the load-elongation curve 95 in the case of the position reference. But load has been mentioned above the object - when the elongation curve actually was as dashed 99, plastic deformation amount becomes [delta] 1. In the case of the force reference, the head base 5 may be deformed until the correction force becomes pF. However the load of the object - when elongation curve is as shown by the broken line 99, plastic deformation is likely to become different from the plastic deformation Mδ goal becomes a [delta] 2.

よって本原理では、弾性限度83までは式16のフックの
法則が成り立つため弾性限度83までの比例定数(傾き
α)を求め、これと同じ傾きα′を持つ傾線96を調整作
業終了の境界線として使用する。こん傾線96とは、修正
作業中の全変形量と修正力が図中の傾線96の右側の値と
なった時点で修正作業が完了であると判断するための境
界である。
Therefore, according to this principle, the hook constant of Equation 16 is satisfied up to the elastic limit 83, so that a proportional constant (slope α) up to the elastic limit 83 is obtained, and a slope 96 having the same slope α ′ is defined as the boundary of the end of the adjustment work. Used as a line. The inclined line 96 is a boundary for judging that the correcting operation is completed when the total deformation amount and the correcting force during the correcting operation become values on the right side of the inclined line 96 in the drawing.

実際の作業を例にとって説明すると、目標の塑性変形
量Mδが与えられると、その塑性変形量Mδから傾線96
を設定する。作業の対象となる製品の荷重−伸び曲線
が、理想曲線95と違って破線で示した曲線99であった場
合でも、修正作業は全変形量eδ+Δδ及び修正力pF+
ΔFが傾線の右側となるまで続ける。これは、製品の荷
重−伸び曲線が理想曲線95と違った場合、修正作業時の
全変形量はΔδまた修正力はΔFだけ修正するため、製
品の荷重−伸び曲線が理想曲線95と違っていた場合で
も、常に同じ塑性変形量Mδを得ることが出来る。よっ
て高精度の修正作業が可能である。
Taking an actual operation as an example, given a target amount of plastic deformation Mδ, an inclination line 96 is obtained from the amount of plastic deformation Mδ.
Set. Even when the load-elongation curve of the product to be worked is a curve 99 shown by a broken line unlike the ideal curve 95, the correction work is performed with the total deformation amount eδ + Δδ and the correction force pF +
Continue until ΔF is to the right of the slope. This is because when the load-elongation curve of the product is different from the ideal curve 95, the total deformation amount during the correction work is corrected by Δδ and the correction force is corrected by ΔF, so that the load-elongation curve of the product is different from the ideal curve 95. , The same amount of plastic deformation Mδ can always be obtained. Therefore, highly accurate correction work is possible.

また本方式についても、実際の装置では機構のガタ、
製品の形状等の要因を考慮すると、式9〜式11、式13〜
式15と同様に、第18図(a),(b),(c),
(d),第19図(a),(b)に示すような例えば、右
ハイト修正時のギャップ間や、左ハイト高さへの影響を
考慮する必要がある。これら第18図、第19図はあらかじ
め対象品を使用して実験を行ない求めておく必要があ
る。
Also in this method, in the actual device, the play of the mechanism,
Considering factors such as the shape of the product, Equations 9 to 11, 13
18 (a), (b), (c),
For example, as shown in (d) and FIGS. 19 (a) and (b), it is necessary to consider the influence on the gap between the right heights and the left height. These FIGS. 18 and 19 need to be obtained by conducting experiments using the target product in advance.

上記位置・力基準制御原理を式によって表わすと以下
のようになる。
The above position / force reference control principle is expressed by the following equation.

式17…mR H=MR H+FR(mL H)+FR(mG L) 式18…mL H=ML H+FL(mR H)+FL(mG L) 式19…mG L=MG L+FG(mR H)+FG(mL H) MR H…右ハイトの塑性変形量(修正量) ML H…左ハイトの塑性変形量(修正量) MG L…ギャップ間の塑性変形量(修正量) mR…右ハイトの修正後の塑性変形量 mL…左ハイトの修正後の塑性変形量 mG…ギャップ間の修正後の塑性変形量 eR…右ハイトの修正時の全変形量 eL…左ハイトの修正時の全変形量 eG…ギャップ間の修正時の全変形量 pR…右ハイトの修正時の修正力 pL…左ハイトの修正時の修正力 pG…ギャップ間の修正時の修正力 F…実験によって求めた関係式 (第18図,第19図) 全体制御装置17より修正コマンドと共に塑性変形量MG
L,MR H,ML Hが修正機構制御装置19へ送信されてくる
と、式17〜式19によって補正後の塑性変形量mG L,mR H,
mL Hを求める。
Wherein 17 ... mR H = MR H + FR 1 (mL H) + FR 2 (mG L) Formula 18 ... mL H = ML H + FL 1 (mR H) + FL 2 (mG L) Formula 19 ... mG L = MG L + FG 1 (mR H ) + FG 2 (mL H) MR H: plastic deformation of right height (correction amount) ML H: plastic deformation of left height (correction amount) MG L: plastic deformation amount between gaps (correction amount) mR: plastic deformation amount of right height after correction mL… Plastic deformation amount after correction of left height mG… Plastic deformation amount after correction between gaps eR… Total deformation amount when correcting right height eL… Total deformation amount when correcting left height eG… Correction between gaps Total deformation amount at the time pR: Correction force at the time of right height correction pL ... Correction force at the time of left height correction pG: Correction force at the time of correction between gaps F: Relational expression obtained by experiment (Figs. 18, 19) Figure) Plastic deformation amount MG together with a correction command from the overall control unit 17
When L, MR H, ML H are transmitted to the correction mechanism control device 19, the plastic deformation amounts mG L, mR H,
Determine mL H.

次に修正作業を開始し、修正作業中の全変形量eG L,e
R H,eL Hと、修正力pG L,pR H,pL Hを測定しておき、式
20〜式22が成り立った時点で修正作業を終了することに
よって作業を完了とする。
Next, the correction work is started, and the total deformation amount eG L, e during the correction work
RH, eL H and the correction force pGL, pRH, pLH are measured, and
The work is completed by terminating the correction work when the expressions 20 to 22 hold.

つぎに第20図に示すフローチャートにより修正処理手
順について説明する。
Next, the correction processing procedure will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

まず、VTRヘッド1のギャップ間距離GL、ハイト断差
TH、右ハイト高さRH、左ハイト高さLHを画像処理装
置18により求め、全体制御装置17内部でそのデータとあ
らかじめ設定されている基準値とを比較して修正作業の
必要があるか否かを判断104する。修正作業が必要であ
る場合、ますギャップ間修正の種類を判断105する。
(ギャップ間修正の必要がない場合には、広げと判断
し、塑性変形量を零とする)。次にハイト修正の種類を
判断106(ハイト修正の必要がない場合には、右修正と
判断し、塑性変形量を零とする。)し、塑性変形量MG
L,MR H,ML Hを修正機構制御装置19へ送信する。修正機
構装置19では、上記修正原理によって、全変形量eG L,e
R H,eL H,修正力pG L,pR H,pL Hを算出して、修正作業1
07を行ない、その時の変形量、修正力が適切な値となる
よう監視しながら修正作業107を行なう。
First, the distance GL between the gap, the height difference TH, the right height height RH, and the left height height LH of the VTR head 1 are obtained by the image processing device 18, and the data and the preset reference are set in the overall control device 17. The value is compared with the value to determine 104 whether or not a correction operation is necessary. If corrective action is needed, the type of inter-gap correction is determined 105.
(If it is not necessary to correct the gap, it is determined to be widened and the amount of plastic deformation is set to zero.) Next, the type of height correction is determined 106 (if height correction is not necessary, the right correction is determined and the amount of plastic deformation is set to zero), and the amount of plastic deformation MG is determined.
L, MR H, and ML H are transmitted to the correction mechanism control device 19. In the correction mechanism device 19, the total deformation amount eG L, e
RH, eL H, correction force pGL, pRH, pLH are calculated, and correction work 1
07 is performed, and the correction work 107 is performed while monitoring the deformation amount and the correction force at that time to be appropriate values.

以上の手順で修正作業107が完了すると、視覚機構12
と、画像処理装置18によって再びギャップ間距離GL,
ハイト断差TH,右ハイト高さRHおよび左ハイト高さL
Hを寸法を測定し、そのデータを全体制御装置17へ送信
する。全体制御装置17内部であらかじめ入力してある基
準値の範囲内へ、測定した寸法がはいっているか否かを
判断し、不合格の場合には、1回目の修正結果(目標塑
性変形量と、修正の結果の塑性変形量の差および、目標
修正力と修正の結果の塑性変形量の差)を利用して、対
象物の寸法的違いおよび修正機構のガタ位置決め精度等
により生じる修正のバラツキを、2回目の修正作業で取
り除くよう修正原理を補正108してやり、上記と同様に
2回目の修正作業を行なう。これにより高精度なVTRヘ
ッド1の寸法正作業が行なえる。
When the correction work 107 is completed by the above procedure, the visual mechanism 12
And the gap distance GL,
Height difference TH, right height height RH and left height height L
The dimensions of H are measured, and the data is transmitted to the overall control device 17. It is determined whether or not the measured dimension falls within a range of a reference value input in advance in the overall control device 17, and in the case of rejection, a first correction result (a target plastic deformation amount, Using the difference in the amount of plastic deformation as a result of the correction and the difference between the target correction force and the amount of plastic deformation as a result of the correction), the variation in the correction caused by the dimensional difference of the object and the play positioning accuracy of the correction mechanism, etc. The correction principle is corrected 108 so as to be removed in the second correction work, and the second correction work is performed in the same manner as described above. As a result, high-precision dimensional work of the VTR head 1 can be performed.

修正作業原理には、位置基準方式と力基準方式及び位
置・力基準方式の3つがある。いずれの方式において
も、ロッドの違いによるベース自体の材質の変化、修正
治具の摩耗等により、事前に実験によって求めた関係式
では目標とする修正量が得られなくなってしまう可能性
が生じる。そこで本発明では、修正作業を進めていくこ
とによって、数回ないし数十回前の修正結果を元に、塑
性変形量が適切になるよう、修正原理に使用する関係式
を常に補正している。
There are three correction work principles: a position reference method, a force reference method, and a position / force reference method. In either method, there is a possibility that a target correction amount cannot be obtained by a relational expression obtained in advance by experiments due to a change in material of the base itself due to a difference in rod, abrasion of a correction jig, and the like. Therefore, in the present invention, by proceeding with the correction work, based on the correction result several times or several tens of times ago, so that the amount of plastic deformation is appropriate, the relational expression used for the correction principle is always corrected. .

具体的に位置基準制御原理の場合には、第13図、第14
図、第15図に示す全変形量(横軸)と塑性変形量(縦
軸)の関係式が、理論通りであるかを常に監視し、理論
と違ってきた場合には、数回ないし数十回前の修正結果
を元に、関係式自体を補正して、対象製品及び修正治具
(機構)の変化による修正精度の低下をふせいでいる。
Specifically, in the case of the position reference control principle, FIGS.
The relational expression between the total deformation (horizontal axis) and the plastic deformation (vertical axis) shown in Fig. 15 and Fig. 15 is constantly monitored to see if it is in accordance with the theory. The relational expression itself is corrected based on the correction result ten times before to prevent a reduction in correction accuracy due to a change in a target product and a correction jig (mechanism).

力基準制御原理の場合も同様に、修正力と塑性変形量
の関係式を補正する。
Similarly, in the case of the force-based control principle, the relational expression between the correction force and the amount of plastic deformation is corrected.

位置・力基準制御原理の場合には、傾線96の傾きα′
97を、実際の修正結果から常時補正する事により、修正
精度の低下をふせいでいる。
In the case of the position / force reference control principle, the inclination α ′ of the inclined line 96
By constantly correcting 97 from the actual correction result, the accuracy of correction is reduced.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明は、VTRヘッドの取付換えをすることなく、ギ
ャップ間距離、ハイト段差、右ハイト高さ及び左ハイト
高さなどを検査し、この検査結果に基いて修正を行うこ
とができるので、VTRヘッドの寸法不良による不良を効
率良く修正し、且つ作業を自動化することが可能なの
で、検査及び修正のための時間を低減できるのみでな
く、寸法のバラツキの減少による品質の向上及び歩留り
の向上をはかることができる。
The present invention can inspect a gap distance, a height difference, a right height height, a left height height, and the like without replacing the VTR head, and can perform correction based on the inspection result. Since defects due to defective head dimensions can be efficiently corrected and the work can be automated, not only can the time for inspection and correction be reduced, but also the quality and yield can be improved by reducing the dimensional variation. Can be measured.

また、ギャップ間距離修正のための構成を簡略化する
ことができる。
In addition, the configuration for correcting the gap distance can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例であるVTRヘッドの寸法修正
装置全体を示す斜視図、第2図は第1図に示す修正装置
機構部を示す斜視図、第3図(a),(b)は本発明の
対象とするVTRのシリンダ部を示す斜視図及びVTRヘッド
の拡大斜視図、第4図は第3図(b)に示すVTRヘッド
の寸法計測箇所を示す拡大正面図、第5図は磁気間隙部
分の検出原理を示す原理図、第6図は本発明のブロック
図、第7図はギャップ間距離広げ機構の拡大正面図、第
8図は第7図の変形例を示す拡大正面図、第9図はギャ
ップ間距離狭め機構の拡大正面図、第10図はハイト修正
機構の拡大正面図、第11図は第10図の変形例を示す拡大
正面図、第12図は機械材料の応力一歪線図、第13図
(a),(b),(c)は右ハイト修正時の全変形量と
塑性変形量の関係を示す実験式を示す図、第14図
(a),(b),(c)は左ハイト修正時の全変形量と
塑性変形量の関係を示す実験式を示す図、第15図
(a),(b),(c)はギャップ間修正時の全変形量
と塑性変形量の関係を示す実験式を示す図、第16図は修
正力と永久歪との関係を示す応力一歪線図、第17図は修
正力と塑性変形量との関係および全変形量と塑性変形量
との関係を示す力一伸び線図、第18図(a),(b),
(c),(d)は右ハイト修正時の右ハイトの塑性変形
量とギャップ間、左ハイトの塑性変形量の関係を示す実
験式及び左ハイト修正時の左ハイトの塑性変形量とギャ
ップ間、右ハイトの塑性変形量の関係を示す実験式を示
す図、第19図(a),(b)はギャップ間修正時のギャ
ップ間の塑性変形量と右ハイト、左ハイトの塑性変形量
の関係を示す実験式を示す図、第20図は修正処理手順を
示すフローチャートを示す図である。 符号の説明 1……VTRヘッド、5……ヘッドベース、6……ヘッド
チップ、12……視覚機構、14……修正機構、17……全体
制御装置、18……画像処理装置、19……修正機構制御装
置、27……磁気間隙、83……弾性限界、84……塑性変形
量、85……全変形量、50……ギャップ間広げ機構、51…
…ギャップ間狭め機構、52……右ハイト高さ修正機構、
53……左ハイト高さ修正機構
FIG. 1 is a perspective view showing an entire dimension correcting device of a VTR head according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a mechanism of the correcting device shown in FIG. 1, and FIGS. b) is a perspective view showing a cylinder portion of the VTR to which the present invention is applied, and an enlarged perspective view of the VTR head. FIG. 4 is an enlarged front view showing a dimension measurement point of the VTR head shown in FIG. FIG. 5 is a principle diagram showing the principle of detecting the magnetic gap, FIG. 6 is a block diagram of the present invention, FIG. 7 is an enlarged front view of the gap widening mechanism, and FIG. 8 shows a modification of FIG. FIG. 9 is an enlarged front view of the gap narrowing mechanism, FIG. 10 is an enlarged front view of the height correcting mechanism, FIG. 11 is an enlarged front view showing a modification of FIG. 10, and FIG. 13 (a), 13 (b) and 13 (c) are empirical equations showing the relationship between the total deformation and the plastic deformation when correcting the right height. FIGS. 14 (a), (b), and (c) show empirical formulas showing the relationship between the total deformation and the plastic deformation when correcting the left height, and FIGS. 15 (a) and (b). , (C) is a diagram showing an empirical formula showing a relationship between a total deformation amount and a plastic deformation amount at the time of correction between gaps, FIG. 16 is a stress-strain diagram showing a relationship between a correction force and a permanent strain, and FIG. Is a force-elongation diagram showing the relationship between the correction force and the amount of plastic deformation and the relationship between the total amount of deformation and the amount of plastic deformation, and FIGS. 18 (a), (b),
(C) and (d) are empirical formulas showing the relationship between the amount of plastic deformation of the right height when correcting the right height and the gap, and the relationship between the amount of plastic deformation of the left height and the amount of plastic deformation when the left height is corrected. FIGS. 19 (a) and 19 (b) are diagrams showing empirical formulas showing the relationship between the amount of plastic deformation of the right height and the amount of plastic deformation between the right height and the left height when correcting the gap. FIG. 20 is a diagram showing an empirical formula showing the relationship, and FIG. 20 is a diagram showing a flowchart showing the procedure of the correction processing. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... VTR head, 5 ... Head base, 6 ... Head chip, 12 ... Visual mechanism, 14 ... Correction mechanism, 17 ... Overall control device, 18 ... Image processing device, 19 ... Correction mechanism control device, 27: magnetic gap, 83: elastic limit, 84: plastic deformation amount, 85: total deformation amount, 50: gap widening mechanism, 51 ...
… Gap narrowing mechanism, 52… Right height height correction mechanism,
53 …… Left height height correction mechanism

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】1対のヘッドチップを設けた磁気ヘッドの
ヘッド間距離又はヘッド間段差の所定の値を予め記録
し、 前記磁気ヘッドのヘッド間距離又はヘッド間段差を測定
し、 前記ヘッド間距離又はヘッド間段差の予め記録した所定
値と測定した値との各々の差分を取り、 該差分値に応じて、前記磁気ヘッドのヘッド間距離又は
ヘッド間段差の各々の(差分値+弾性限度までの変形
量)の値、及び各々の差分値分磁気ヘッドを塑性変形さ
せる力を算出し、 前記磁気ヘッドのヘッド間距離又はヘッド間段差の各々
の(差分値+弾性限度までの変形量)の値、及び各々の
差分値分磁気ヘッドを塑性変形させる力に応じて、前記
磁気ヘッドを塑性変形させることを特徴とする磁気ヘッ
ドの寸法修正方法。
A predetermined value of a head-to-head distance or a head-to-head level difference of a magnetic head provided with a pair of head chips; measuring a head-to-head distance or a head-to-head level difference of the magnetic head; The difference between the previously recorded predetermined value of the distance or the step between the heads and the measured value is calculated, and according to the difference value, the difference between the head distance or the step between the heads of the magnetic head is calculated as (difference value + elastic limit). And the force for plastically deforming the magnetic head by an amount corresponding to each difference value, and calculating the difference between the head distance between the magnetic heads or the step between the heads (difference value + deformation amount up to the elastic limit). The magnetic head is plastically deformed in accordance with the value of the magnetic head and the force for plastically deforming the magnetic head by the respective difference values.
【請求項2】1対のヘッドチップを設けた磁気ヘッドの
ヘッド間距離又はヘッド間段差を検査する検査手段と、 前記ヘッド間距離とヘッド間段差のどちらか一方を修正
するとき他方が変形するため、一方の修正量と他方の変
形量の関係を記憶する記憶手段と、 前記検査手段の検査結果に応じて、前記記憶手段の内容
を読み出し、前記検査結果と前記記憶手段から読み出さ
れた、前記ヘッド間距離とヘッド間段差のどちらか一方
を修正するとき他方が変形するため、一方の修正量と他
方の変形量の関係に基づいて、変形量又は修正量を算出
する算出手段と、 該算出手段からの指令に基づいて、前記磁気ヘッドのヘ
ッド間距離及びヘッド間段差の寸法を修正する修正手段
と を具備したことを特徴とする磁気ヘッドの寸法修正装
置。
An inspection means for inspecting a head distance or a step between heads of a magnetic head provided with a pair of head chips; and modifying one of the head distance and the step between heads, the other is deformed. Therefore, storage means for storing the relationship between one correction amount and the other deformation amount, and the contents of the storage means are read out according to the inspection result of the inspection means, and the contents of the inspection result are read out from the storage means. When correcting any one of the head-to-head distance and the head-to-head step, the other deforms, so based on the relationship between the one correction amount and the other deformation amount, a calculating unit that calculates the deformation amount or the correction amount, Correction means for correcting the distance between the heads of the magnetic head and the dimension of the step between the heads based on a command from the calculation means.
【請求項3】前記検査手段は、前記磁気ヘッドの磁気間
隙を測定し、該測定された磁気間隙に基づいてヘッド間
距離とヘッド間段差とを検査するように構成したことを
特徴とする請求項2記載の磁気ヘッドの寸法修正装置。
3. The apparatus according to claim 2, wherein said inspection means measures a magnetic gap of said magnetic head, and inspects a head distance and a head step based on the measured magnetic gap. Item 3. The dimension correcting device for a magnetic head according to Item 2.
【請求項4】前記検査手段は、前記磁気間隙と平行なウ
ィンドを形成するウィンド形成手段と、 該ウィンド形成手段によって形成されたウィンド内を磁
気間隙と垂直な方向に二次微分を行う二次微分処理手段
と、 該二次微分処理手段によって処理された二次微分値を磁
気間隙と平行な方向に加算する加算手段とを有し、 前記磁気間隙を測定するように構成したことを特徴とす
る請求項3記載の磁気ヘッドの寸法修正装置。
4. The inspection means comprises: a window forming means for forming a window parallel to the magnetic gap; and a secondary part for performing a second derivative in a window formed by the window forming means in a direction perpendicular to the magnetic gap. Differential processing means, and adding means for adding the secondary differential value processed by the secondary differential processing means in a direction parallel to the magnetic gap, wherein the magnetic gap is measured. 4. The apparatus for correcting the dimensions of a magnetic head according to claim 3, wherein:
【請求項5】前記磁気ヘッド間距離とヘッド間段差を前
記修正手段によって修正するための修正力と移動量の少
なくとも一方を測定する測定手段により測定された結果
を考慮して変形量又は修正力を算出することを特徴とす
る請求項2記載の磁気ヘッドの寸法修正装置。
5. A deformation amount or a correction force in consideration of a result measured by a measurement unit for measuring at least one of a correction force for correcting the distance between the magnetic heads and a step between the heads by the correction unit, and a movement amount. 3. The magnetic head dimensional correction device according to claim 2, wherein:
【請求項6】前記算出手段により算出された変形量と前
記測定手段によって測定された修正結果を比較する比較
手段と、 該比較手段による比較結果をもとに前記記憶手段の内容
に基づいて算出される変形量又は修正力を補正する補正
手段を有することを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッ
ドの寸法修正装置。
6. A comparing means for comparing the amount of deformation calculated by the calculating means with the correction result measured by the measuring means, and calculating based on the contents of the storage means based on the comparison result by the comparing means. 3. The magnetic head size correcting device according to claim 2, further comprising a correction unit configured to correct a deformation amount or a correction force to be applied.
【請求項7】1対のヘッドチップを1対のヘッドの先端
に接着剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘッド
の少なくともヘッド間距離とヘッド間段差とを検査し、
ヘッド間距離とヘッド間段差の少なくとも一方を修正す
るときに他方が変形するため、一方の修正量と他方の変
形量の関係を記憶し、 検査結果に応じて、前記一方の修正量と他方の変形量の
関係を読み出し、検査結果の内容から変形量を算出し、 前記磁気ヘッド間距離又は磁気ヘッド間段差の寸法を修
正し、 該修正された磁気ヘッドをVTR本体に組み込むことを特
徴とするVTRの製造方法。
7. A magnetic head formed by attaching and fixing a pair of head chips to an end of the pair of heads with an adhesive, at least a head-to-head distance and a head-to-head level difference are inspected.
When correcting at least one of the head-to-head distance and the head-to-head level difference, the other deforms. Therefore, the relationship between the correction amount of one and the deformation amount of the other is stored. The relationship between the deformation amounts is read, the deformation amount is calculated from the contents of the inspection result, the distance between the magnetic heads or the dimension of the step between the magnetic heads is corrected, and the corrected magnetic head is incorporated in the VTR body. VTR manufacturing method.
【請求項8】前記検査を行う際、磁気間隙と平行なウィ
ンドを形成し、該ウィンド内を磁気間隙と垂直な方向に
二次微分し、該二次微分値を磁気間隙と平行な方向に加
算し、 前記磁気間隙を検出することによって前記磁気ヘッド間
距離と磁気ヘッド間段差を検出することを特徴とする請
求項7記載のVTRの製造方法。
8. When performing the inspection, a window parallel to the magnetic gap is formed, and the inside of the window is secondarily differentiated in a direction perpendicular to the magnetic gap, and the secondary differential value is set in a direction parallel to the magnetic gap. 8. The VTR manufacturing method according to claim 7, wherein the distance between the magnetic heads and the step between the magnetic heads are detected by detecting the magnetic gap.
【請求項9】前記寸法修正後に、ヘッド間距離とヘッド
間段差を修正するための修正力と移動量の少なくとも一
方を測定することを特徴とする請求項7又は8記載のVT
Rの製造方法。
9. The VT according to claim 7, wherein after the dimension correction, at least one of a correction force and a moving amount for correcting a head-to-head distance and a head-to-head level difference is measured.
R manufacturing method.
【請求項10】1対のヘッドチップを1対のヘッドの先
端に接着剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘッ
ドのずれを検査し、この検査結果に基づいて、予め求め
られ記憶されている磁気ヘッドが弾性限界を超えて永久
的に残留する変形量と磁気ヘッドの寸法を修正するのに
必要な見かけ上の変形量との関係から実質的な変形量を
算出し、算出された変形量に基づいて磁気ヘッドの寸法
を修正し、その修正された磁気ヘッドをVTR本体に組み
込むことを特徴とするVTRの製造方法。
10. A magnetic head, which is formed by attaching and fixing a pair of head chips to the tips of a pair of heads with an adhesive, is inspected, and is obtained and stored in advance based on the inspection result. The actual deformation is calculated from the relationship between the amount of deformation that the magnetic head permanently exceeds beyond the elastic limit and the apparent deformation required to correct the dimensions of the magnetic head, and the calculated amount of deformation is calculated. A method of manufacturing a VTR, comprising: modifying the dimensions of a magnetic head based on the method; and incorporating the modified magnetic head into a VTR body.
【請求項11】1対のヘッドチップを1対のヘッドの先
端に接着剤で貼り付け固定することにより成る磁気ヘッ
ドのずれを検査し、この検査結果に基づいて、予め求め
られ記憶されている磁気ヘッドが弾性限界を超えて永久
的に残留する変形量と磁気ヘッドを修正するのに必要な
修正力との関係によって磁気ヘッドの寸法を修正するの
に必要な見かけ上の修正力を算出し、算出された修正力
に基づいて磁気ヘッドの寸法を修正し、その修正された
磁気ヘッドをVTR本体に組み込むことを特徴とするVTRの
製造方法。
11. A displacement of a magnetic head, which is obtained by attaching and fixing a pair of head chips to the tips of a pair of heads with an adhesive, is inspected, and is obtained and stored in advance based on the inspection result. Calculate the apparent correction force required to correct the dimensions of the magnetic head based on the relationship between the amount of deformation that the magnetic head permanently exceeds beyond the elastic limit and the correction force required to correct the magnetic head. A method of correcting the dimensions of the magnetic head based on the calculated correction force, and incorporating the corrected magnetic head into a VTR body.
JP1245094A 1989-09-22 1989-09-22 Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR Expired - Lifetime JP2619538B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1245094A JP2619538B2 (en) 1989-09-22 1989-09-22 Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1245094A JP2619538B2 (en) 1989-09-22 1989-09-22 Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03108118A JPH03108118A (en) 1991-05-08
JP2619538B2 true JP2619538B2 (en) 1997-06-11

Family

ID=17128517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1245094A Expired - Lifetime JP2619538B2 (en) 1989-09-22 1989-09-22 Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2619538B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5979422A (en) * 1982-10-27 1984-05-08 Canon Inc Head assembly
JPS6150208A (en) * 1984-08-20 1986-03-12 Hitachi Ltd Magnetic head height adjustment method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03108118A (en) 1991-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101981408B (en) Device for measuring screw element at pipe end, system for measuring screw element and method for measuring screw element
US8098412B2 (en) Method for detecting the center of wafer and storage medium storing a program for executing the method
JPH04233245A (en) System and method for inspection and alignment at semiconductor chip and conductor lead frame
CN109829897B (en) A gear burr detection method and a gear high-precision visual measurement system
KR20090098893A (en) Probe inspection device, position deviation correction method, information processing device, information processing method and program
CN103197599A (en) System and method for numerical control (NC) workbench error self correction based on machine vision
US6701267B2 (en) Method for calibrating probe and computer-readable medium
US20240193745A1 (en) Brightness and contrast correction for video extensometer systems and methods
TW201530124A (en) Electronic component inspection device
TW200844426A (en) On-line mechanical visional inspection system of an object and method thereof
JP3721983B2 (en) Defect inspection method for 3D shape
JP2619538B2 (en) Method and apparatus for correcting dimensions of magnetic head and method for manufacturing VTR
JP2008084938A (en) Method for teaching various setting values to substrate processing apparatus, teachingapparatus, and calibration jig thereof
CN115423867A (en) Visual positioning method, device, computer equipment and storage medium
JP5375488B2 (en) Appearance inspection apparatus, appearance inspection method, and appearance inspection program
US7146863B2 (en) Torsion angle measuring method and device for magnetic-disk suspension
US20230330785A1 (en) Welding measuring system and welding measuring method
TWI614549B (en) Detecting or compensating position system and method thereof
JP3694198B2 (en) Pattern alignment method
US7068378B2 (en) Apparatus and method for measuring amount of projection of abrasive grain on grinding tool
JP2020116617A (en) Hydraulic mold register device
JPH08304255A (en) Abrasion tester
JP2004170374A (en) Surface defect detection device and surface defect detection method
JP3372335B2 (en) Information disk shape measuring method and apparatus
JPH08128807A (en) Method and apparatus for displacement measurement of roll of rolling mill