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JP2642375B2 - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents
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JP2642375B2 - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Semiconductor integrated circuit device

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JP2642375B2
JP2642375B2 JP63015260A JP1526088A JP2642375B2 JP 2642375 B2 JP2642375 B2 JP 2642375B2 JP 63015260 A JP63015260 A JP 63015260A JP 1526088 A JP1526088 A JP 1526088A JP 2642375 B2 JP2642375 B2 JP 2642375B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、バイポーラ型の半導体集積回路装置に関
するもので、特に横方向の寄生トランジスタの作動によ
る影響を低減するために使用されるものである。
Description: Object of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a bipolar semiconductor integrated circuit device, and is particularly used to reduce the influence of the operation of a parasitic transistor in a lateral direction. Is what is done.

(従来の技術) 一般に、バイポーラ型の半導体集積回路装置にあって
は、P型半導体基板(サブストレート)上にN型のベー
パー グロース層(VG層)を形成し、このVG層にP型の
アイソレーション領域を形成して素子領域を形成する。
そして、この素子領域内にバイポーラトランジスタを形
成している。
(Prior Art) In general, in a bipolar semiconductor integrated circuit device, an N-type vapor growth layer (VG layer) is formed on a P-type semiconductor substrate (substrate), and a P-type An isolation region is formed to form an element region.
Then, a bipolar transistor is formed in this element region.

ところで、上記のような構成では、上記P型アイソレ
ーション領域(あるいはサブストレート)をベース、こ
のアイソレーション領域の両側のN型素子領域(VG層)
をそれぞれコレクタ,エミッタとする横方向の寄生NPN
トランジスタが形成される。そして、上記VG層を基板電
位よりも低くするとこの寄生トランジスタが動作し、正
常な回路動作に悪影響を与える。通常のICでは、このよ
うな状態は応用上起こらないように配慮している。すな
わち、寄生トランジスタのベース,エミッタに相当する
アイソレーション領域(サブストレート)とVG層間の接
合を順方向にバイアスしないようにしている。
By the way, in the above configuration, the P-type isolation region (or substrate) is used as a base, and the N-type element regions (VG layers) on both sides of the isolation region are used.
Parasitic NPN with the collector and emitter respectively
A transistor is formed. When the VG layer is set lower than the substrate potential, the parasitic transistor operates, which adversely affects normal circuit operation. In ordinary ICs, such a state is considered not to occur in application. That is, the junction between the isolation region (substrate) corresponding to the base and the emitter of the parasitic transistor and the VG layer is not biased in the forward direction.

しかしながら、リアクタンス負荷を駆動するICでは、
駆動後に生ずる逆起電力によりコレクタ領域が負電圧と
なり、上記アイソレーション領域とVG層間の接合が順方
向にバイアスされてこの接合が頻繁に導通する状態が生
ずる。このため、寄生トランジスタのコレクタに相当す
るVG層がこの導通時の電流の影響を受け、正常な回路動
作に悪影響がある。
However, in an IC that drives a reactive load,
The back electromotive force generated after driving causes the collector region to become a negative voltage, and the junction between the isolation region and the VG layer is biased in the forward direction, causing a state in which this junction frequently conducts. For this reason, the VG layer corresponding to the collector of the parasitic transistor is affected by the current at the time of conduction, which has a bad influence on the normal circuit operation.

このような寄生トランジスタの動作による影響を防止
するために、従来は寄生トランジスタのベースに相当す
るアイソレーション領域の幅を広げ寄生トランジスタ特
性の電流伝達度αを下げている。しかしながら、このよ
うな方法は集積密度を落とすことになりコスト高となる
とともに、その効果も充分なものとは成り得ずICの応用
範囲が狭められる欠点がある。特に、寄生トランジスタ
の影響を受ける素子の次段で増幅が行なわれるような回
路構成の場合には、たとえ電流伝達度αを下げてもこれ
が次段で増幅されるので、寄生トランジスタの影響を無
視できる程度まで充分に低減させることはできない。
Conventionally, in order to prevent the influence of the operation of the parasitic transistor, the width of the isolation region corresponding to the base of the parasitic transistor is widened and the current transmission α of the parasitic transistor characteristic is reduced. However, such a method has a drawback that the integration density is lowered and the cost is increased, and the effect is not sufficient and the application range of the IC is narrowed. In particular, in a circuit configuration in which amplification is performed in the next stage of the element affected by the parasitic transistor, even if the current transmission α is reduced, the amplification is performed in the next stage, so the effect of the parasitic transistor is ignored. It cannot be reduced sufficiently to the extent possible.

(発明が解決しようとする課題) 上述したように、PNアイソレーション構造のICでは、
横方向の寄生NPNトランジスタの形成は避けがたいもの
であり、従来はこの寄生トランジスタの影響を避けるた
めに寄生トランジスタの電流伝達度を低く設定していた
にも拘らず充分に影響を低減させることが困難であっ
た。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, in the IC having the PN isolation structure,
The formation of a lateral parasitic NPN transistor is unavoidable, and in order to avoid the effect of this parasitic transistor, the effect must be reduced sufficiently even though the current transfer of the parasitic transistor is set low. Was difficult.

従って、この発明の目的とするところは、集積密度の
低下を招くことなく、且つ次段がいかなる回路構成であ
っても寄生トランジスタによる影響を充分に低減できる
すぐれた半導体集積回路装置を提供することである。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an excellent semiconductor integrated circuit device capable of sufficiently reducing the influence of a parasitic transistor regardless of the circuit configuration of the next stage without lowering the integration density. It is.

[発明の構成] (課題を解決するための手段と作用) すなわち、この発明においては、PNアイソレーション
構造を有し、リアクタンス負荷を駆動する半導体集積回
路装置において、横方向の寄生NPNトランジスタの作動
による影響を与えたくない第1の素子領域に隣接して、
この第1素子領域と同じパターン面積を有し、同様に横
方向の寄生NPNトランジスタの影響を受ける第2の素子
領域を設け、上記第2の素子領域に1つのPNPトランジ
スタのパターンを2分割して構成したミラー回路を形成
し、上記横方向の寄生NPNトランジスタの影響で流出し
た電流に対応する電流を上記ミラー回路から上記第1の
素子領域に供給するように構成したことを特徴してい
る。
[Configuration of the Invention] (Means and Actions for Solving the Problems) That is, in the present invention, in a semiconductor integrated circuit device having a PN isolation structure and driving a reactive load, the operation of a lateral parasitic NPN transistor is performed. Adjacent to the first element region that does not want to be affected by
A second element region having the same pattern area as that of the first element region and similarly affected by the parasitic NPN transistor in the lateral direction is provided, and the pattern of one PNP transistor is divided into two in the second element region. And a mirror circuit configured to supply a current corresponding to a current flowing out due to the influence of the lateral parasitic NPN transistor from the mirror circuit to the first element region. .

このように構成することにより、横方向寄生NPNトラ
ンジスタの作動により上記第1の素子領域から流出した
電流分だけこの素子領域に上記ミラー回路(第2の素子
領域)から電流が供給されるので、第1の素子領域は相
対的に電流の流出がないものと同じとなり、横方向寄生
NPNトランジスタの作動による悪影響を低減できる。
With this configuration, a current is supplied from the mirror circuit (the second element region) to the element region by the amount of the current flowing out of the first element region due to the operation of the lateral parasitic NPN transistor. The first element region is the same as the one where there is no relatively outflow of current, and the
The adverse effect due to the operation of the NPN transistor can be reduced.

(実施例) 以下、この発明の一実施例について図面を参照して説
明する。第1図において、11は横方向の寄生NPNトラン
ジスタの作動によりコレクタ領域の電位が負電圧にバイ
アスされたVG層(寄生発生源)で、このVG層11には等価
的に電流源(寄生電流源)12が接続されているものと見
なせる。このVG層11に隣接してP型のアイソレーション
領域13で分離されたVG層(第1の素子領域)14が配置さ
れており、このVG層14には上記寄生発生源としてのVG層
11による影響を与えたくない素子が形成されている。ま
た、上記VG層11には上記VG層14と同じようにVG層11の影
響を受けるように、上記P型のアイソレーション領域13
でVG層14と等しい距離に分離されるとともに、VG層14と
同じパターン面積を有するVG層(第2の素子領域)15が
配置されている。このVG層15は、上記VG層14とP型のア
イソレーション領域16によって分離されている。上記VG
層15内には、PNP型のトランジスタT1,T2から成るミラー
回路が形成されている。上記トランジスタT1,T2のエミ
ッタは共通接続されて電源手段、例えばVccに接続さ
れ、ベースは共通接続されている。上記トランジスタT1
のコレクタは前記寄生トランジスタの影響を与えたくな
い素子のVG層14に接続され、上記トランジスタT2のコレ
クタはトランジスタT1,T2のベース共通接続点に接続さ
れている。このように、上記ミラー回路の入力側は回路
結線がされておらず、寄生トランジスタの動作によって
生ずる寄生電流I2のみを受けて作動するようになってい
る。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a VG layer (parasitic source) in which the potential of the collector region is biased to a negative voltage by the operation of a lateral parasitic NPN transistor. Source 12 is considered connected. A VG layer (first element region) 14 separated by a P-type isolation region 13 is disposed adjacent to the VG layer 11, and the VG layer 14 is a VG layer serving as the parasitic source.
An element that does not want to be affected by 11 is formed. Also, the VG layer 11 is affected by the VG layer 11 similarly to the VG layer 14 so that the P-type isolation region 13
And a VG layer (second element region) 15 having the same pattern area as the VG layer 14 is arranged. The VG layer 15 is separated from the VG layer 14 by a P-type isolation region 16. VG above
In the layer 15, a mirror circuit composed of PNP transistors T 1 and T 2 is formed. The emitters of the transistors T 1 and T 2 are commonly connected and connected to power supply means, for example, Vcc, and the bases are commonly connected. The above transistor T 1
The collector is connected to the VG layer 14 of the element do not want to affect the parasitic transistor, the collector of the transistor T 2 is connected to the base common connection point of the transistors T 1, T 2. Thus, the input side of the mirror circuit has not been a circuit connection, is adapted to operate by receiving only the parasitic current I 2 generated by the operation of the parasitic transistor.

このような構成では、VG層14が寄生発生源としてのV.
G層11の影響を受け、寄生電流I1が流れると、ミラー回
路を形成したVG層15も同じ影響を受けて上記寄生電流I1
とほぼ同じ寄生電流I2が流れる。これによって、ミラー
回路が作動されてトランジスタT1のコレクタから上記VG
層14にミラー反転された電流I2′が供給される。上記寄
生電流はI1はI2に等しく、且つI2=I2′であるので、VG
層14には寄生電流I1により流出した電流に対応する電流
分だけミラー回路から電流I2′が供給される。従って、
寄生電流の影響を受けなかったものと見なすことがで
き、寄生トランジスタによる影響を充分に低減できる。
In such a configuration, the VG layer 14 has V.
Affected by G layer 11, the parasitic current I 1 flows, VG layer 15 forming a mirror circuit even under the same influence the parasitic current I 1
When substantially the same parasitic current I 2 flows. Thereby, the VG mirror circuit is operated from the collector of the transistors T 1
Layer 14 is supplied with a mirror-inverted current I 2 ′. Since the parasitic current I 1 is equal to I 2, a and I 2 = I 2 ', VG
A current I 2 ′ is supplied to the layer 14 from the mirror circuit by an amount corresponding to the current flowing out of the parasitic current I 1 . Therefore,
It can be considered that the circuit is not affected by the parasitic current, and the influence of the parasitic transistor can be sufficiently reduced.

第2図は、上記ミラー回路のパターン構成例を示して
いる。P型のアイソレーション領域で囲まれたN型のVG
層15は、2つのトランジスタT1,T2の共通ベース領域と
なる。このベース領域15内にはP型の不純物領域から成
るコレクタ領域17−1,17−2が形成されている。上記コ
レクタ領域17−2はベース領域15に接続され、上記コレ
クタ領域17−1は隣接する上記VG層14に接続される。こ
のコレクタ領域17−1,17−2間のベース領域15内にはP+
型の不純物領域から成るエミッタ領域18が形成され、こ
のエミッタ領域18は電源Vccに接続される。
FIG. 2 shows an example of the pattern configuration of the mirror circuit. N-type VG surrounded by P-type isolation region
The layer 15 serves as a common base region for the two transistors T 1 and T 2 . In the base region 15, collector regions 17-1 and 17-2 made of P-type impurity regions are formed. The collector region 17-2 is connected to the base region 15, and the collector region 17-1 is connected to the adjacent VG layer 14. In the base region 15 between the collector regions 17-1 and 17-2, P +
An emitter region 18 formed of a type impurity region is formed, and this emitter region 18 is connected to a power supply Vcc.

このように、上記第2図のパターン構成は、通常用い
られている1つのPNPトランジスタのパターンを2分割
した構成となっている。そして、ベース領域15から流出
した寄生電流I2によって作動され、VG層14にこの電流I2
と同じ電流I2′を供給する。
As described above, the pattern configuration in FIG. 2 is a configuration in which the pattern of one normally used PNP transistor is divided into two. The VG layer 14 is activated by the parasitic current I 2 flowing out of the base region 15 and the current I 2
The same current I 2 ′.

このような構成によれば、寄生トランジスタの影響を
受けたくないVG層14には、寄生電流I1により流出した電
流に対応する電流I2′がミラー回路から供給され、結果
的には寄生電流I1の影響を受けなかったものと見なすこ
とができる。従って、寄生トランジスタの作動によるVG
層14への悪影響を充分に低減できる。しかも、アイソレ
ーション領域の幅を広く設定する必要はないので集積密
度が低下することはなく、コスト高を招くこともない。
また、次段の回路で増幅が行なわれるような構成であっ
ても、寄生トランジスタの作動による悪影響を受けるこ
とはない。
According to such a configuration, the current I 2 ′ corresponding to the current flowing out by the parasitic current I 1 is supplied from the mirror circuit to the VG layer 14 that is not likely to be affected by the parasitic transistor. it can be regarded as those that did not receive the influence of the I 1. Therefore, VG due to the operation of the parasitic transistor
The adverse effect on the layer 14 can be sufficiently reduced. In addition, since it is not necessary to set the width of the isolation region wide, the integration density does not decrease and the cost does not increase.
Further, even in a configuration in which amplification is performed in the next-stage circuit, there is no adverse effect due to the operation of the parasitic transistor.

[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、集積密度の低
下を招くことなく、且つ次段がいかなる回路構成であっ
ても寄生トランジスタによる影響を充分に低減できるす
ぐれた半導体集積回路装置が得られる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, an excellent semiconductor integrated circuit that can sufficiently reduce the influence of a parasitic transistor even if the next stage has any circuit configuration without lowering the integration density. A device is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明の一実施例に係わる半導体集積回路装
置について説明するための図、第2図は上記第1図にお
けるミラー回路のパターン構成例を示すパターン平面図
である。 11……VG層(寄生発生源)、12……電流源、13,16……
アイソレーション領域、14……VG層(第1の素子領
域)、15……VG層(第2の素子領域)、I1,T2……寄生
電流、T1,T2……PNPトランジスタ。
FIG. 1 is a diagram for explaining a semiconductor integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a pattern plan view showing an example of a pattern configuration of the mirror circuit in FIG. 11… VG layer (parasitic source), 12… Current source, 13,16…
Isolation region, 14 VG layer (first element region), 15 VG layer (second element region), I 1 , T 2, parasitic current, T 1 , T 2, PNP transistor.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】PNアイソレーション構造を有し、リアクタ
ンス負荷を駆動する半導体集積回路装置において、横方
向の寄生NPNトランジスタの作動による影響を与えたく
ない第1の素子領域に隣接して、この第1素子領域と同
じパターン面積を有し、同様に横方向の寄生NPNトラン
ジスタの影響を受ける第2の素子領域を設け、上記第2
の素子領域に1つのPNPトランジスタのパターンを2分
割して構成したミラー回路を形成し、上記横方向の寄生
NPNトランジスタの影響で流出した電流に対応する電流
を上記ミラー回路から上記第1の素子領域に供給するよ
うに構成したことを特徴とする半導体集積回路装置。
In a semiconductor integrated circuit device having a PN isolation structure and driving a reactance load, a semiconductor device which is not affected by the operation of a lateral parasitic NPN transistor is adjacent to a first element region. A second element region having the same pattern area as one element region and similarly affected by a lateral parasitic NPN transistor is provided.
A mirror circuit is formed by dividing the pattern of one PNP transistor into two in the element region of
A semiconductor integrated circuit device, wherein a current corresponding to a current flowing under the influence of an NPN transistor is supplied from the mirror circuit to the first element region.
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