JP2644584B2 - Variable position detection device - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は変位量検出装置に関し、一層詳細には、白あ
るいは黒等のパターンが変化するように構成された移動
部材の変位を簡単に、迅速に、しかも比較的正確に検出
可能とした変位量検出装置に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a displacement detection device, and more particularly, to a method for easily detecting the displacement of a moving member configured to change a pattern such as white or black. The present invention relates to a displacement amount detection device capable of detecting quickly and relatively accurately.
[発明の背景] シリンダを含む各種の移動体に対しその移動量を検出
する変位量検出装置は、インクリメンタル型と、アブソ
リュート型に大別される。インクリメント型変位検出装
置は、例えば、移動体に予め磁気スケールを取着し、一
方、対向してMR素子等を配設する。そして、MR素子等か
ら導出される正/余弦波信号に対して位相分割の信号処
理を施して得られたパルス信号を時間軸で計数して該移
動体の移動量を検出する。一方、アブソリュート型変位
検出装置は、例えば、検知信号導出手段として差動トラ
ンスが採用され、対向する磁性体の移動に伴い、導出さ
れる検知信号をもとに移動体の変位量を検出するように
構成されている。BACKGROUND OF THE INVENTION Displacement detectors for detecting the amount of movement of various moving bodies including cylinders are roughly classified into an incremental type and an absolute type. In the increment type displacement detecting device, for example, a magnetic scale is attached to a moving body in advance, and an MR element or the like is disposed to face the moving body. Then, a pulse signal obtained by subjecting the positive / cosine wave signal derived from the MR element or the like to signal processing of phase division is counted on a time axis to detect a moving amount of the moving body. On the other hand, the absolute type displacement detection device employs, for example, a differential transformer as a detection signal deriving unit, and detects a displacement amount of a moving body based on a detection signal derived according to movement of an opposed magnetic body. Is configured.
従って、上記の従来技術に係るインクリメンタル型お
よびアブソリュート型の変位量検出装置では、磁気スケ
ールあるいは差動トランス等を、例えば、移動体である
ピストンロッドに装着する等の比較的複雑な構成を必要
とする不都合を露呈している。Therefore, the incremental type and the absolute type displacement amount detecting devices according to the above-described conventional techniques require a relatively complicated configuration such as mounting a magnetic scale or a differential transformer on a piston rod as a moving body. Reveal the inconvenience of doing so.
[発明の目的] 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもの
であって、比較的簡単な構成で検知手段に対する移動部
材の相対移動によって生じる移動量が簡単に、迅速に、
しかも正確に検出可能である変位量検出装置を提供する
ことを目的とする。[Object of the Invention] The present invention has been made in order to overcome the above-mentioned disadvantages, and the amount of movement caused by the relative movement of the moving member with respect to the detecting means can be easily and quickly achieved with a relatively simple configuration.
Further, it is an object of the present invention to provide a displacement amount detecting device capable of detecting accurately.
[目的を達成するための手段] 前記の目的を達成するために、本発明は、直線状に変
位するシリンダのピストンロッドの変位量を測定する検
出装置において、 前記ピストンロッドの長手方向に沿って形成され、該
ピストンロッドの変位方向に沿って変化するパターンが
設けられた平坦部と、 前記ピストンロッドの平坦部に対面して設けられ、前
記パターンに対して光を照射するとともに、該パターン
からの反射光を受光する発光・受光手段と、 前記発光・受光手段によって検出されたピストンロッ
ドの変位量によって生ずるパターンの面積の変化を表す
変位量検知信号を処理する処理回路と、 からなり、前記処理回路は、前記パターンの面積の変
化に基づく変位量検知信号をアドレス信号とし、該アド
レス信号によって特定されるデータに基づいて前記ピス
トンロッドの変位量に対応する所定の出力信号を外部に
導出するマップテーブルを有することを特徴とする。[Means for Achieving the Object] In order to achieve the above object, the present invention provides a detecting device for measuring a displacement amount of a piston rod of a cylinder which is displaced linearly; A flat portion formed and provided with a pattern that changes along the displacement direction of the piston rod, and provided to face the flat portion of the piston rod, and irradiates the pattern with light, and from the pattern. A light-emitting / light-receiving means for receiving the reflected light of, and a processing circuit for processing a displacement amount detection signal representing a change in the area of the pattern caused by the displacement amount of the piston rod detected by the light-emitting / light-receiving means, The processing circuit sets a displacement amount detection signal based on a change in the area of the pattern as an address signal, and outputs data specified by the address signal. Based characterized by having a map table for deriving a predetermined output signal corresponding to a displacement amount of the piston rod to the outside.
[実施例] 次に、本発明に係る変位量検出装置の実施例を添付の
図面を参照しながら以下詳細に説明する。[Example] Next, an example of a displacement amount detection device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第1図に示される実施例では、移動物体11の移動を検
知して検知信号S10を導出する検知部10と、当該検知信
号S10から該移動物体11の変位量を得て変位量検出信号S
13を導出すべく信号処理を行う信号処理系12とで概略構
成されている。In the embodiment shown in FIG. 1, a detection unit 10 for deriving a detection signal S 10 detects the movement of the moving object 11, the displacement amount detection to obtain a displacement amount of the moving object 11 from the detection signal S 10 Signal S
And a signal processing system 12 that performs signal processing to derive 13 .
先ず、検知部10は、例えば、2048画素を有するライン
センサとしてのCCD16と、移動物体11に取着される検知
信号発生用部材20とを含む。CCD16は図示しない固定部
材に取着され、一方、検知信号発生用部材20はmi−mo方
向に変位自在である。前記CCD16には図示しない集束性
ロッドレンズアレイが光入射面に装着されている。さら
にCCD16の一方の側面側に投光部18が配設されている。
該投光部18は前記検知信号発生用部材20に光を照射し、
且つCCD16の入射部に反射光を入射するためのものであ
り、特に、高周波でフリッカの影響を阻止して発光する
ように構成されている。前記投光部18は前記CCD16と共
に検知信号導出部25を構成する。なお、長尺な検知信号
発生用部材20の表面には連続的に且つ斜めに変化する傾
斜した黒いパターン22が形成されている。First, the detection unit 10 includes, for example, a CCD 16 as a line sensor having 2048 pixels, and a detection signal generation member 20 attached to the moving object 11. The CCD 16 is attached to a fixed member (not shown), while the detection signal generating member 20 is movable in the mi-mo direction. A focusing rod lens array (not shown) is mounted on the light incident surface of the CCD 16. Further, a light projecting unit 18 is provided on one side of the CCD 16.
The light emitting section 18 irradiates the detection signal generating member 20 with light,
In addition, the reflected light is incident on the incident portion of the CCD 16, and is configured to emit light at a high frequency while preventing the influence of flicker. The light projecting unit 18 constitutes a detection signal deriving unit 25 together with the CCD 16. Note that an inclined black pattern 22 that changes continuously and obliquely is formed on the surface of the long detection signal generating member 20.
一方、信号処理系12は、投光部18への発光信号S11を
送出する高周波信号発生/送出手段24と、CCD駆動回路2
6を有している。CCD駆動回路26はCCD16に対して読出パ
ルスとなる駆動信号S12、例えば、12Vのパルス電圧をシ
フトゲートに印加せしめるものであり、図示していない
が、クロック信号発生回路、カウンタ回路、転送パルス
発生回路、さらに、5Vから12Vに変換してドライブする
ドライブ回路等を備えている。信号処理系12は、さらに
前記CCD16によって読み出された検知信号S10が供給され
る差動増幅回路30、サンプルホールド回路32、AGC回路3
4、2値化回路36と、マップテーブル(ルックアップテ
ーブル)が形成されたRAM38および信号分配回路40を含
む。On the other hand, the signal processing system 12 includes a high-frequency signal generating / sending unit 24 for sending a light emission signal S 11 to the light projecting unit 18, CCD driver circuit 2
Has 6. The CCD drive circuit 26 applies a drive signal S 12 serving as a read pulse to the CCD 16, for example, a pulse voltage of 12 V to the shift gate, and although not shown, a clock signal generation circuit, a counter circuit, a transfer pulse It has a generating circuit, and a drive circuit for converting the voltage from 5V to 12V and driving it. The signal processing system 12, the differential amplifier circuit 30 which detects the signal S 10 which is read by the further the CCD16 is supplied, the sample-hold circuit 32, AGC circuit 3
4, including a binarizing circuit 36, a RAM 38 in which a map table (lookup table) is formed, and a signal distribution circuit 40.
次に、以上のように構成される本実施例の動作を説明
する。Next, the operation of the present embodiment configured as described above will be described.
CCD駆動回路の付勢作用下に、検知信号発生用部材20
をmoの方向に移動すると、該CCD16は検知信号S10を導出
し、差動増幅回路30に供給される。当該差動増幅回路30
に対しCCD16からは検知信号S10を電荷に対応した高電圧
の出力が導出されるが、動作上転送された電荷を画素毎
にリセットするリセットベル信号が重畳されており、こ
の差動増幅回路30で前記リセットレベル信号成分(DO
S)を除去する。このようにして差動増幅回路30からリ
セットレベル信号が除去された後導出されるアナログ信
号はサンプルホールド回路32に供給される。当該サンプ
ルホールド回路32では、アナログ信号を標本化して保持
すると共に、AGC回路34でゲインが制御されて2値化回
路36に供給される。当該2値化回路36では、例えば、バ
イポーラの2値化信号に変換して導出される。Under the biasing action of the CCD drive circuit, the detection signal generation member 20
When the movement in the direction of mo, the CCD16 derives the detection signal S 10, it is supplied to the differential amplifier circuit 30. The differential amplifier circuit 30
Although the CCD16 output of the high voltage corresponding to the detection signal S 10 to the charge is derived to a reset level signal to reset the operational charges transferred for each pixel are superimposed, the differential amplifier circuit At 30 the reset level signal component (DO
Remove S). The analog signal derived after the reset level signal is removed from the differential amplifier circuit 30 in this manner is supplied to the sample and hold circuit 32. In the sample-and-hold circuit 32, the analog signal is sampled and held, and the gain is controlled by the AGC circuit 34 to be supplied to the binarization circuit 36. In the binarization circuit 36, for example, it is converted into a bipolar binarized signal and derived.
そこで、前記のように、検知信号発生用部材20の、例
えば、moの方向への移動に伴い、黒パターン22が変移す
るために、RAM38では前記2値化信号をアドレスとして
図3に示すマップテーブルから検知信号発生用部材20の
ストローク(l1〜ln)が読み出され、このストローク信
号は信号分配回路40に供給された後、変位量検出信号S
13として出力端子46に導出される。当該変位量検出信号
S13は図示しないLCD等あるいは各種の制御手段に供給さ
れて所望の目的を達成する。Therefore, as described above, since the black pattern 22 shifts with the movement of the detection signal generating member 20 in, for example, the direction of mo, the RAM 38 uses the binarized signal as an address as shown in FIG. The stroke (l 1 to l n ) of the detection signal generating member 20 is read from the table, and this stroke signal is supplied to the signal distribution circuit 40, and then the displacement detection signal S
13 is output to the output terminal 46. The displacement detection signal
S 13 is supplied to the LCD or the like, or various control means (not shown) to achieve the desired purpose.
次に、前記実施例をシリンダのストローク検出装置と
して応用した一実施例を説明する。Next, an embodiment in which the above embodiment is applied to a cylinder stroke detecting device will be described.
先ず、第4図および第5図を参照して全体の構成を説
明する。この場合、前記実施例と同一の構成要素には同
一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。な
お、第5図は要部の拡大図である。First, the overall configuration will be described with reference to FIGS. In this case, the same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG. 5 is an enlarged view of a main part.
このストローク検出装置は、基本的にシリンダ60と信
号処理系12で概略構成されている。This stroke detection device is basically composed of a cylinder 60 and a signal processing system 12.
先ず、シリンダ60を説明する。シリンダ60はシリンダ
チューブ66と、当該シリンダチューブ66内に、シール部
材が回装されて摺動するピストン68およびピストンに連
接されたピストンロッド70を備えている。当該ピストン
ロッド70には、例えば、平坦部70aが形成されると共
に、該平坦部70aの平坦面に連続的に変化する傾斜した
黒パターン22が形成されている。前記ピストンロッド70
の頭部70hは、図示しない装置または機構に取着され
る。さらに、シリンダチューブ66の夫々の端部にはピス
トンヘッドカバー72およびピストンロッドカバー74が嵌
合されると共に、前記ピストロッドカバー74の中心開口
部にピストンロッド70がシール部材を介在して軸通され
ている。さらに、ピストンロッドカバー74内にはCCD1
6、投光部18からなる検知信号導出部25が前記平坦部70a
に対向して配設されている。そして、ピストンヘッドカ
バー72およびピストンロッドカバー74は螺子部材72a、7
2b等により緊締されてシリンダチューブ66内が密閉状態
に維持される。ここで、ピストンヘッドカバー72および
ピストンロッドカバー74には、例えば、圧縮空気を吸排
するためのポート76および78が設けられている。First, the cylinder 60 will be described. The cylinder 60 includes a cylinder tube 66, a piston 68 in which a seal member is wound and slid, and a piston rod 70 connected to the piston in the cylinder tube 66. In the piston rod 70, for example, a flat portion 70a is formed, and an inclined black pattern 22 that continuously changes is formed on a flat surface of the flat portion 70a. The piston rod 70
The head 70h is attached to a device or mechanism (not shown). Further, a piston head cover 72 and a piston rod cover 74 are fitted to respective ends of the cylinder tube 66, and a piston rod 70 is axially passed through a central opening of the piston rod cover 74 with a seal member interposed therebetween. ing. In addition, CCD1
6, the detection signal deriving unit 25 including the light emitting unit 18 is the flat portion 70a
Are disposed opposite to each other. The piston head cover 72 and the piston rod cover 74 are connected to the screw members 72a, 7a.
The inside of the cylinder tube 66 is maintained in a sealed state by being tightened by 2b or the like. Here, the piston head cover 72 and the piston rod cover 74 are provided with, for example, ports 76 and 78 for sucking and discharging compressed air.
このような構成において、ピストンロッド70のmi−mo
方向への移動に伴い、検知信号導出部25から検知信号S
10が導出されて信号処理系12に供給される。当該信号処
理系12では、検知信号S10に基づいてピストンロッド70
の変位量を示す検出信号S13が出力端子46に導出され
る。In such a configuration, the mi-mo
With the movement in the direction, the detection signal S
10 is derived and supplied to the signal processing system 12. In the signal processing system 12, the piston rod 70 on the basis of the detection signal S 10
Detection signal S 13 indicating the amount of displacement is derived to the output terminal 46.
第6図(a)乃至(c)は検知信号発生用部材20およ
びピストンロッド70の変形例である。分図(a)は2分
割した一方の全面が黒パターン22aに形成され、また、
分図(b)は鋸歯状の黒パターン22bが形成されている
例である。さらに、分図(c)はサインカーブで黒パタ
ーン22cが形成されている。この場合、白パターン、黒
パターンを反転して形成して同様の作用が営まれること
は勿論である。6 (a) to 6 (c) show modified examples of the detection signal generating member 20 and the piston rod 70. FIG. In the diagram (a), one of the two divided surfaces is formed as a black pattern 22a.
FIG. 11B is an example in which a saw-toothed black pattern 22b is formed. Further, in the diagram (c), a black pattern 22c is formed by a sine curve. In this case, it is needless to say that the same operation is performed by inverting the white pattern and the black pattern.
この種の変形例は検知信号発生用部材20およびピスト
ンロッッド70の変位と導出される検知信号S10の精度等
を考慮して用いる。この場合は対応するマップテーブル
をRAM38に備えて信号処理を行えばよい。Variant of this type is used in consideration of the accuracy of the detection signal S 10 derived and displacement detection signal generating member 20 and Pisutonrodddo 70. In this case, the corresponding map table may be provided in the RAM 38 for signal processing.
また、本実施例においては検知信号発生用部材20に四
角材を用い、あるいはピストンロッド70では丸棒材に平
坦加工を施して用いているがこれに限定されない。例え
ば、六角材等の平坦部を有した部材であれば利用可能で
ある。In the present embodiment, a square member is used for the detection signal generating member 20, or a round bar member is used for the piston rod 70 by flattening, but the present invention is not limited to this. For example, a member having a flat portion such as a hexagonal material can be used.
[発明の効果] 以上のように、本発明の変位量検出装置は、リニアに
移動する部材の変位量を測定する検出装置において、移
動方向に沿って変化するパターンが設けられた移動手段
と、前記移動手段のパターンに対して光を照射する発光
手段と、前記パターンからの反射光を受光する受光手段
と、前記受光手段によって検出された前記移動手段の移
動量とによって生ずるパターンの面積の変化を表す移動
量検知信号を処理する処理回路とからなり、前記処理回
路は前記移動量検知信号をアドレス信号として所定の出
力を外部に導出するマップテーブルを有している。この
ように、比較的簡単な構成で、移動手段の相対移動の際
の変位量が迅速且つ正確に検出可能となる効果を奏す
る。特に、マップテーブルを設けているために、移動量
検知信号に応じて即時にマップテーブルから移動量が得
られる。[Effects of the Invention] As described above, the displacement amount detection device of the present invention is a detection device that measures the displacement amount of a member that moves linearly, a movement unit provided with a pattern that changes along the movement direction, A light emitting unit that irradiates light to the pattern of the moving unit, a light receiving unit that receives reflected light from the pattern, and a change in the area of the pattern caused by a moving amount of the moving unit detected by the light receiving unit. And a processing circuit for processing a movement amount detection signal representing the following. The processing circuit has a map table for deriving a predetermined output to the outside using the movement amount detection signal as an address signal. As described above, with a relatively simple configuration, it is possible to quickly and accurately detect the amount of displacement at the time of relative movement of the moving means. In particular, since the map table is provided, the movement amount can be immediately obtained from the map table according to the movement amount detection signal.
第1図は本発明に係る変位量検出装置の一実施例を示す
要部斜視説明図、 第2図は第1図に示される検知部の要部および信号処理
系の回路ブロックを示す構成図、 第3図は第2図に示される信号処理系の動作説明に供さ
れる説明図、 第4図は他の実施例としてのシリンダにおいて、ピスト
ンロッドの変位を検出する変位量検出装置の縦断面説明
図、 第5図は第4図に示されるピストンロッドと検出部の要
部斜視概略説明図、 第6図(a)乃至(c)は検知信号発生用部材およびピ
ストンロッドの変形例を示す部分正面図である。 10……検知部、11……移動物体 12……信号処理系、16……CCD 18……投光部、20……検知信号発生用部材 22、22a〜22c……黒パターン、24……高周波信号発生/
送出手段 26……CCD駆動回路、30……差動増幅回路 32……サンプルホールド回路、34……AGC回路 36……2値化回路、38……RAM 60……シリンダ、66……シリンダチューブ 68……ピストン、70……ピストンロッド S10……検知信号、S11……発光信号 S13……検出信号FIG. 1 is an explanatory perspective view of an essential part showing an embodiment of a displacement amount detecting device according to the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram showing an essential part of a detecting part and a circuit block of a signal processing system shown in FIG. FIG. 3 is an explanatory view for explaining the operation of the signal processing system shown in FIG. 2, and FIG. 4 is a longitudinal section of a displacement amount detecting device for detecting displacement of a piston rod in a cylinder as another embodiment. FIG. 5 is a schematic perspective view of a main part of a piston rod and a detection unit shown in FIG. 4, and FIGS. 6A to 6C show modified examples of a detection signal generating member and a piston rod. It is a partial front view shown. 10 detection unit 11 moving object 12 signal processing system 16 CCD 18 light emitting unit 20 detection signal generating member 22, 22a to 22c black pattern 24 High frequency signal generation /
Sending means 26 CCD drive circuit 30 Differential amplifier circuit 32 Sample hold circuit 34 AGC circuit 36 Binarization circuit 38 RAM 60 Cylinder 66 Cylinder tube 68 ...... piston, 70 ...... piston rod S 10 ...... detection signal, S 11 ...... emission signal S 13 ...... detection signal
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 伸広 埼玉県草加市稲荷6―19―1 エスエム シー株式会社草加工場内 (56)参考文献 特開 昭56−163411(JP,A) 特開 昭53−100636(JP,A) 特開 昭62−110113(JP,A) 実開 昭64−10619(JP,U) 実開 昭59−52204(JP,U) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Nobuhiro Fujiwara 6-19-1 Inari, Soka-shi, Saitama SMC Corporation Grass Processing Plant (56) References JP-A-56-163411 (JP, A) JP-A Sho 53-100636 (JP, A) JP-A-62-110113 (JP, A) JP-A 64-10619 (JP, U) JP-A-59-52204 (JP, U)
Claims (1)
ドの変位量を測定する検出装置において、 前記ピストンロッドの長手方向に沿って形成され、該ピ
ストンロッドの変位方向に沿って変化するパターンが設
けられた平坦部と、 前記ピストンロッドの平坦部に対面して設けられ、前記
パターンに対して光を照射するとともに、該パターンか
らの反射光を受光する発光・受光手段と、 前記発光・受光手段によって検出されたピストンロッド
の変位量によって生ずるパターンの面積の変化を表す変
位量検知信号を処理する処理回路と、 からなり、前記処理回路は、前記パターンの面積の変化
に基づく変位量検知信号をアドレス信号とし、該アドレ
ス信号によって特定されるデータに基づいて前記ピスト
ンロッドの変位量に対応する特定の出力信号を外部に導
出するマップテーブルを有することを特徴とする変位量
検出装置。1. A detecting device for measuring a displacement amount of a piston rod of a cylinder displaced linearly, wherein a pattern formed along a longitudinal direction of the piston rod and changing along the displacement direction of the piston rod is provided. A light emitting / receiving means provided to face the flat part of the piston rod, irradiating the pattern with light, and receiving reflected light from the pattern; and the light emitting / light receiving means. A processing circuit for processing a displacement detection signal representing a change in the area of the pattern caused by the displacement of the piston rod detected by the processing circuit, wherein the processing circuit outputs a displacement detection signal based on the change in the area of the pattern. A specific output corresponding to an amount of displacement of the piston rod based on data specified by the address signal; A displacement amount detection device having a map table for deriving a signal to the outside.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5393952B2 (en) * | 2007-03-01 | 2014-01-22 | 株式会社アイエイアイ | Linear encoder and actuator |
| JP5355489B2 (en) | 2010-04-30 | 2013-11-27 | オリンパス株式会社 | Optical potentiometer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855802A (en) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Kawasaki Steel Corp | Device for detecting rotary displacement and linearly moving displacement |
| JPS5952204U (en) * | 1982-09-30 | 1984-04-06 | カヤバ工業株式会社 | fluid pressure cylinder |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP1109677A patent/JP2644584B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02287117A (en) | 1990-11-27 |
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