JP2646901B2 - 磁気記録媒体用基体 - Google Patents
磁気記録媒体用基体Info
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- JP2646901B2 JP2646901B2 JP3202400A JP20240091A JP2646901B2 JP 2646901 B2 JP2646901 B2 JP 2646901B2 JP 3202400 A JP3202400 A JP 3202400A JP 20240091 A JP20240091 A JP 20240091A JP 2646901 B2 JP2646901 B2 JP 2646901B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば磁気ディスク
などの磁気記録媒体の基体にかかり、特に加熱が必要と
される場合に好適な磁気記録媒体用基体に関する。
などの磁気記録媒体の基体にかかり、特に加熱が必要と
される場合に好適な磁気記録媒体用基体に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクなどの磁気記録媒体として
は、種々のものが提案されており、また実用化されてい
る。たとえば、特開昭６１−１３４３４号公報にはセラ
ミックやサーメットを用いた磁気ディスク用基板が開示
されており、特開昭６１−１８８７３３号公報には非磁
性硬化層と磁性媒体層との間に非磁性下地層が設けられ
た磁気記録媒体が開示されている。
は、種々のものが提案されており、また実用化されてい
る。たとえば、特開昭６１−１３４３４号公報にはセラ
ミックやサーメットを用いた磁気ディスク用基板が開示
されており、特開昭６１−１８８７３３号公報には非磁
性硬化層と磁性媒体層との間に非磁性下地層が設けられ
た磁気記録媒体が開示されている。
【０００３】また、特開昭６２−２０１２８号公報に
は、基板と磁性層との間に非磁性層が設けられた磁気デ
ィスクが開示されており、IEEE TRANSACTIONS ON MAGNE
TICS,VOL.24,NO.6,NOVEMBER 1988には２つに分けられた
磁性層間にクロム（Ｃｒ）による中間層を形成した磁気
フィルムが開示されている。
は、基板と磁性層との間に非磁性層が設けられた磁気デ
ィスクが開示されており、IEEE TRANSACTIONS ON MAGNE
TICS,VOL.24,NO.6,NOVEMBER 1988には２つに分けられた
磁性層間にクロム（Ｃｒ）による中間層を形成した磁気
フィルムが開示されている。
【０００４】ところで、現在ハードディスクなどは、非
磁性基板上にクロム，コバルト（Ｃｏ）などによる磁性
合金を成膜して作製されている。そして、その磁性合金
の磁気配向性促進や高保磁力（Ｈｃ）化のため、クロム
成膜前に加熱プロセスによる加熱処理が行われている。
磁性基板上にクロム，コバルト（Ｃｏ）などによる磁性
合金を成膜して作製されている。そして、その磁性合金
の磁気配向性促進や高保磁力（Ｈｃ）化のため、クロム
成膜前に加熱プロセスによる加熱処理が行われている。
【０００５】一方、近年では、磁気記録の高密度化など
のため磁気ヘッドは低浮上化の傾向にある。このため、
磁気ヘッドとディスクとの衝突を防止する必要性から平
滑なガラス基板が用いられつつある。
のため磁気ヘッドは低浮上化の傾向にある。このため、
磁気ヘッドとディスクとの衝突を防止する必要性から平
滑なガラス基板が用いられつつある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなガラス基板を用いた場合、特にそれが透明であっ
て、上述した磁気特性改善のための加熱プロセスが遠赤
外線加熱，ハロゲンランプ加熱などの場合には、光がガ
ラス基板を透過してしまい、加熱効率が著しく低下する
という不都合が生ずる。
うなガラス基板を用いた場合、特にそれが透明であっ
て、上述した磁気特性改善のための加熱プロセスが遠赤
外線加熱，ハロゲンランプ加熱などの場合には、光がガ
ラス基板を透過してしまい、加熱効率が著しく低下する
という不都合が生ずる。
【０００７】加熱効率を高めるためには、たとえば透明
ガラス基体を黒色にすればよい。しかし、この手法で
は、透明ガラス基板に添加物を混入して黒色としなけら
ばならず、無色透明ガラス基板と比較して製造上大幅な
コスト増となる。
ガラス基体を黒色にすればよい。しかし、この手法で
は、透明ガラス基板に添加物を混入して黒色としなけら
ばならず、無色透明ガラス基板と比較して製造上大幅な
コスト増となる。
【０００８】本発明は、この点に着目したもので、透明
ガラス基板を用いた場合であっても効率的に加熱を行っ
て良好な磁気特性を得ることができる量産性に優れた磁
気記録媒体用基体を提供することを、その目的とする。
ガラス基板を用いた場合であっても効率的に加熱を行っ
て良好な磁気特性を得ることができる量産性に優れた磁
気記録媒体用基体を提供することを、その目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気的に情報
が記録される磁性膜がその表面に形成される磁気記録媒
体用基体において、透明ガラス基板上に、１００Å以上
の厚さの金属層及び４００Å以上の厚さのカーボン層を
各々形成したことを特徴とする。
が記録される磁性膜がその表面に形成される磁気記録媒
体用基体において、透明ガラス基板上に、１００Å以上
の厚さの金属層及び４００Å以上の厚さのカーボン層を
各々形成したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、透明ガラス基板上にクロムな
どによる１００Å以上の厚さの金属層と４００Å以上の
厚さのカーボン層が各々形成される。これらによって加
熱は良好に行われ、磁性膜の磁気配向性促進や高保磁力
化が効率的に行われる。
どによる１００Å以上の厚さの金属層と４００Å以上の
厚さのカーボン層が各々形成される。これらによって加
熱は良好に行われ、磁性膜の磁気配向性促進や高保磁力
化が効率的に行われる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明による磁気記録媒体用基体の一
実施例について、添付図面を参照しながら説明する。ａ，透明ガラス基板の黒色化 最初に、透明ガラス基板の黒色化について説明する。本
実施例では、以下に示す３種類の方法で黒色化を行っ
た。
実施例について、添付図面を参照しながら説明する。ａ，透明ガラス基板の黒色化 最初に、透明ガラス基板の黒色化について説明する。本
実施例では、以下に示す３種類の方法で黒色化を行っ
た。
【００１２】（Ａ）カーボン単体による黒色化 最初に、図２（Ａ）に示すように、非磁性基体である透
明ガラス基板１０上にカーボン層１２のみを形成して黒
色化を試みた。カーボン層１２は、３００〜１１００Å
の間において５段階の膜厚でスパッタリング法により形
成した。その結果、表１に示すように、膜厚が厚くなる
に従って濃度は濃くなるものの、いずれも黒色透明であ
った。
明ガラス基板１０上にカーボン層１２のみを形成して黒
色化を試みた。カーボン層１２は、３００〜１１００Å
の間において５段階の膜厚でスパッタリング法により形
成した。その結果、表１に示すように、膜厚が厚くなる
に従って濃度は濃くなるものの、いずれも黒色透明であ
った。
【００１３】
【表１】
【００１４】（Ｂ）クロムによる下地金属層とカーボン
層による黒色化 次に、図２（Ｂ）に示すように、透明ガラス基板１０上
に、まずクロムによる金属層１４を形成し、その上にカ
ーボン層１２を形成して黒色化を試みた。下地金属層１
４としてのクロム層は、１００〜４５０Åの間において
４段階の膜厚でスパッタリング法により形成した。そし
て、各膜厚のクロム層それぞれの上に、３００〜６００
Åの間において４段階の膜厚でスパッタリング法により
カーボン層１２を形成した。
層による黒色化 次に、図２（Ｂ）に示すように、透明ガラス基板１０上
に、まずクロムによる金属層１４を形成し、その上にカ
ーボン層１２を形成して黒色化を試みた。下地金属層１
４としてのクロム層は、１００〜４５０Åの間において
４段階の膜厚でスパッタリング法により形成した。そし
て、各膜厚のクロム層それぞれの上に、３００〜６００
Åの間において４段階の膜厚でスパッタリング法により
カーボン層１２を形成した。
【００１５】また、クロム層を５００〜１０００Åの間
において５段階の膜厚に設定し、各膜厚のクロム層上に
５００Åのカーボン層を成膜した。更に、クロム層を４
５０Åの膜厚に固定し、カーボン層を５００〜１０００
Åの間において５段階の膜厚で成膜した。以上のように
して得たサンプルにつき、その黒色化の程度を調べる
と、表２のようになった。
において５段階の膜厚に設定し、各膜厚のクロム層上に
５００Åのカーボン層を成膜した。更に、クロム層を４
５０Åの膜厚に固定し、カーボン層を５００〜１０００
Åの間において５段階の膜厚で成膜した。以上のように
して得たサンプルにつき、その黒色化の程度を調べる
と、表２のようになった。
【００１６】
【表２】
【００１７】この表２に示すように、クロム層の膜厚が
ほぼ１００Å以上、カーボン層の膜厚が４００Å以上で
黒色透明の基体が得られている。特に、クロム層が４５
０Å以上，カーボン層が５００Å以上の場合には、いず
れも黒色不透明となっている。このとき、カーボン厚を
厚くするに従ってやや青みが入るようになるが、いずれ
も黒色不透明と呼んで差し支えない色であった。
ほぼ１００Å以上、カーボン層の膜厚が４００Å以上で
黒色透明の基体が得られている。特に、クロム層が４５
０Å以上，カーボン層が５００Å以上の場合には、いず
れも黒色不透明となっている。このとき、カーボン厚を
厚くするに従ってやや青みが入るようになるが、いずれ
も黒色不透明と呼んで差し支えない色であった。
【００１８】（Ｃ）他の金属による下地金属層とカーボ
ン層による黒色化 次に、クロムの代わりにアルミニウム（Ａｌ），銅（Ｃ
ｕ），マンガン（Ｍｎ）を用いて膜厚をいずれも４５０
Åに設定し、その上にカーボン層を５００Å成膜した。
その結果は、表３に示す通りであり、いずれも黒色不透
明となった。
ン層による黒色化 次に、クロムの代わりにアルミニウム（Ａｌ），銅（Ｃ
ｕ），マンガン（Ｍｎ）を用いて膜厚をいずれも４５０
Åに設定し、その上にカーボン層を５００Å成膜した。
その結果は、表３に示す通りであり、いずれも黒色不透
明となった。
【００１９】
【表３】
【００２０】ｂ，磁気特性 次に、以上のようにして黒色化が行われたガラス基板を
用いてハードディスクを作製し、その磁気特性を測定し
た。なお、特性比較のため、表４に示すようなＡ，Ｂ，
Ｃの基板を用意した。
用いてハードディスクを作製し、その磁気特性を測定し
た。なお、特性比較のため、表４に示すようなＡ，Ｂ，
Ｃの基板を用意した。
【００２１】
【表４】
【００２２】まず、Ａ基板は、透明ガラス基板上にクロ
ム層を４５０Å形成し、その上にカーボン層を５８０Å
形成して黒色不透明化した基板である。次に、Ｂ基板
は、透明ガラス基板上にカーボン層のみを５８０Å成膜
した黒色透明基板である。更に、Ｃ基板は、透明ガラス
基板そのものである。このような各基板に対し、表５に
示すような条件でスパッタリング法によって磁性膜を成
膜し、ハードディスクを作製した。
ム層を４５０Å形成し、その上にカーボン層を５８０Å
形成して黒色不透明化した基板である。次に、Ｂ基板
は、透明ガラス基板上にカーボン層のみを５８０Å成膜
した黒色透明基板である。更に、Ｃ基板は、透明ガラス
基板そのものである。このような各基板に対し、表５に
示すような条件でスパッタリング法によって磁性膜を成
膜し、ハードディスクを作製した。
【００２３】
【表５】
【００２４】この表において、Ａ，Ｂ，Ｃの各基板とし
ては、平坦で表面にテクスチャ処理が施されていないも
のが使用されている。そして、それらの基板上に、クロ
ムによる下地層が４５０Å，ＣｏＣｒ14Ｔａ4合金（原
子％）による磁性層が５４０Å各々形成されている。磁
気特性改善のための基板加熱は、ＩＲ（赤外線）ヒータ
によって行なっている。そして、そのヒートタイム（加
熱時間）を０〜１２ｓｅｃの範囲で変化させて各サンプ
ルの保磁力Ｈcを測定し、図１のグラフを得た。なお、
ここでヒートタイム１２ｓｅｃは、たとえばＡｌ基板を
用いた場合にその基板表面が２８０℃の温度となる加熱
処理に相当する。
ては、平坦で表面にテクスチャ処理が施されていないも
のが使用されている。そして、それらの基板上に、クロ
ムによる下地層が４５０Å，ＣｏＣｒ14Ｔａ4合金（原
子％）による磁性層が５４０Å各々形成されている。磁
気特性改善のための基板加熱は、ＩＲ（赤外線）ヒータ
によって行なっている。そして、そのヒートタイム（加
熱時間）を０〜１２ｓｅｃの範囲で変化させて各サンプ
ルの保磁力Ｈcを測定し、図１のグラフを得た。なお、
ここでヒートタイム１２ｓｅｃは、たとえばＡｌ基板を
用いた場合にその基板表面が２８０℃の温度となる加熱
処理に相当する。
【００２５】この図１において、Ａ，Ｂ，Ｃの各基板に
おける測定結果は、各々グラフＧＡ，ＧＢ，ＧＣに示さ
れている。同図に示すように、透明ガラス基板のみのグ
ラフＧＣ，黒色透明基板のグラフＧＢに対し、黒色不透
明基板のグラフＧＡは、いずれに対しても保磁力Ｈｃが
大となって良好な磁気特性となっており、本実施例によ
る黒色化が効果的に作用していることが理解される。
おける測定結果は、各々グラフＧＡ，ＧＢ，ＧＣに示さ
れている。同図に示すように、透明ガラス基板のみのグ
ラフＧＣ，黒色透明基板のグラフＧＢに対し、黒色不透
明基板のグラフＧＡは、いずれに対しても保磁力Ｈｃが
大となって良好な磁気特性となっており、本実施例によ
る黒色化が効果的に作用していることが理解される。
【００２６】また、グラフＧＡ，ＧＢの比較からすれ
ば、単にカーボン層のみを形成した場合よりもクロム層
も形成した場合の方が効果が大きいと考えられる。な
お、保磁力Ｈｃと同時に、磁化，角型比も測定したが、
それらについてはいずれの基板についても大きな相違は
見られなかった。
ば、単にカーボン層のみを形成した場合よりもクロム層
も形成した場合の方が効果が大きいと考えられる。な
お、保磁力Ｈｃと同時に、磁化，角型比も測定したが、
それらについてはいずれの基板についても大きな相違は
見られなかった。
【００２７】このように、本実施例によれば、透明ガラ
ス基板上に、金属層，カーボン層を各々形成して黒色化
を行うこととしたので、磁気特性改善のための加熱処理
が効率的に行われるようになり、短時間で良好な磁気特
性を得ることが可能となる。
ス基板上に、金属層，カーボン層を各々形成して黒色化
を行うこととしたので、磁気特性改善のための加熱処理
が効率的に行われるようになり、短時間で良好な磁気特
性を得ることが可能となる。
【００２８】特に、磁気記録媒体においてタクトタイム
（ディスク１枚当りの製造時間）は重要な要素の１つで
ある。Ａｌ基板を用いた場合、成膜速度の遅いカーボン
層の形成工程が律速となっていたが、ガラス基板を用い
た場合には加熱工程が律速となっている。本実施例によ
れば、この加熱工程が短くなり、タクトタイムのほぼ３
０〜４０％の短縮が可能となって量産性が向上し、コス
ト的にも有利となる。
（ディスク１枚当りの製造時間）は重要な要素の１つで
ある。Ａｌ基板を用いた場合、成膜速度の遅いカーボン
層の形成工程が律速となっていたが、ガラス基板を用い
た場合には加熱工程が律速となっている。本実施例によ
れば、この加熱工程が短くなり、タクトタイムのほぼ３
０〜４０％の短縮が可能となって量産性が向上し、コス
ト的にも有利となる。
【００２９】なお、本発明は、何ら上記実施例に限定さ
れるものではない。たとえば、上記実施例では黒色不透
明のＡ基板を用いたが、黒色透明ないし茶色透明であっ
てもその濃度が高い場合には同様又は類似のの効果が得
られると考えられる。すなわち、表２におけるクロム層
の膜厚が１００Å，カーボン層の膜厚が４００Å以上の
範囲であれば、短時間の加熱による類似の効果が期待で
きる。
れるものではない。たとえば、上記実施例では黒色不透
明のＡ基板を用いたが、黒色透明ないし茶色透明であっ
てもその濃度が高い場合には同様又は類似のの効果が得
られると考えられる。すなわち、表２におけるクロム層
の膜厚が１００Å，カーボン層の膜厚が４００Å以上の
範囲であれば、短時間の加熱による類似の効果が期待で
きる。
【００３０】また、クロム層の代わりに他の金属層を用
いても、表３から同様の効果が得られると考えられる。
更に、本発明は、特にハードディスク用の透明ガラス基
板に有効であるが、加熱を必要とする他の磁気記録媒体
用基体として用いてもよい。
いても、表３から同様の効果が得られると考えられる。
更に、本発明は、特にハードディスク用の透明ガラス基
板に有効であるが、加熱を必要とする他の磁気記録媒体
用基体として用いてもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による磁気
記録媒体用基体によれば、透明ガラス基板上に金属，カ
ーボンによる層を各々形成することとしたので、効率的
に加熱を行って良好な磁気特性を得ることができ、量産
性にも優れているという効果がある。
記録媒体用基体によれば、透明ガラス基板上に金属，カ
ーボンによる層を各々形成することとしたので、効率的
に加熱を行って良好な磁気特性を得ることができ、量産
性にも優れているという効果がある。
【図１】本発明による磁気記録媒体用基体と比較例の磁
気特性の測定例を示すグラフである。
気特性の測定例を示すグラフである。
【図２】実施例におけるサンプルの構成を示す説明図で
ある。
ある。
１０…透明ガラス基板、１２…カーボン層、１４…金属
層、ＧＡ，ＧＢ，ＧＣ…グラフ。
層、ＧＡ，ＧＢ，ＧＣ…グラフ。
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気的に情報が記録される磁性膜がその
表面に形成される磁気記録媒体用基体において、透明ガ
ラス基板上に、１００Å以上の厚さの金属層及び４００
Å以上の厚さのカーボン層を各々形成したことを特徴と
する磁気記録媒体用基体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202400A JP2646901B2 (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 磁気記録媒体用基体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202400A JP2646901B2 (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 磁気記録媒体用基体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0528455A JPH0528455A (ja) | 1993-02-05 |
| JP2646901B2 true JP2646901B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=16456875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3202400A Expired - Fee Related JP2646901B2 (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 磁気記録媒体用基体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2646901B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132630A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-22 | Sekisui Chem Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP3202400A patent/JP2646901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0528455A (ja) | 1993-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 12 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100509 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |