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JP2657564B2 - Schottky diode - Google Patents
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JP2657564B2 - Schottky diode - Google Patents

Schottky diode

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JP2657564B2
JP2657564B2 JP2036180A JP3618090A JP2657564B2 JP 2657564 B2 JP2657564 B2 JP 2657564B2 JP 2036180 A JP2036180 A JP 2036180A JP 3618090 A JP3618090 A JP 3618090A JP 2657564 B2 JP2657564 B2 JP 2657564B2
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schottky diode
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直紀 片岡
裕 鹿谷
信行 黒田
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、特定の化合物にショットキー障壁を形成す
る物質を接触せしめてなるショットキーダイオードに関
する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Schottky diode formed by bringing a substance forming a Schottky barrier into contact with a specific compound.

[従来の技術および発明が解決しようとする課題] 従来、ダイオードにはGaAsやSiといった無機半導体材
料が用いられてきた。
[Problems to be Solved by Conventional Technology and Invention] Conventionally, inorganic semiconductor materials such as GaAs and Si have been used for diodes.

一般に、ダイオードには高純度またはドープ濃度が精
密に制御された半導体材料が必要であり、かつこれを所
望の形状に加工しなければならない。
In general, a diode requires a semiconductor material of high purity or whose doping concentration is precisely controlled, and this must be processed into a desired shape.

かかる半導体に無機材料を用いた場合、製造工程中に
ゾーンメルト法、分子線エピタキシー法等の複雑で、か
つ徴高真空や高温等の極端条件での処理を必要とし、製
造装置自体も大がかりなものとなってしまう。また、無
機材料であるがため、素材選択における自由度が低いと
いった課題も抱えている。
When an inorganic material is used for such a semiconductor, complicated processes such as a zone melt method and a molecular beam epitaxy method are required during the manufacturing process, and processing under extreme conditions such as high vacuum or high temperature is required, and the manufacturing apparatus itself is also large-scale. It will be something. In addition, since it is an inorganic material, there is a problem that the degree of freedom in selecting the material is low.

一方、有機半導体の研究は、近年活発に行われてい
る。なかでも導電性ポリマーは、ドーピングによりフェ
ルミ準位を自由に、しかも可逆的に制御できるため、新
しいエレクトロニクス素子の材料として期待されてき
た。
On the other hand, research on organic semiconductors has been actively conducted in recent years. Among them, conductive polymers have been expected as materials for new electronic devices because they can freely and reversibly control the Fermi level by doping.

そして上記の導電性ポリマーとしては、従来よりポリ
アセチレン、ポリパラフェニレン、ポリチオフェン、ポ
リピロール等の重合体にある種の化合物をドープしたも
のが知られている。
As the conductive polymer, a polymer in which a certain compound is doped into a polymer such as polyacetylene, polyparaphenylene, polythiophene, or polypyrrole is known.

しかしながら、これら従来の導電性ポリマーは、空気
中で変質して電気特性が変動し易く、また融解性、溶解
性に乏しいために不純物の除去や成形加工が非常に困難
であるという欠点を持っている。
However, these conventional conductive polymers have the drawback that they are deteriorated in the air and their electrical characteristics are liable to fluctuate, and they are very difficult to remove impurities or form due to poor solubility and solubility. I have.

従って、上記導電性ポリマーをダイオードに用いて
も、満足な性能が得られなかった。
Therefore, satisfactory performance could not be obtained even when the conductive polymer was used for a diode.

本発明者等は上記課題を解決することを目的とし、鋭
意研究を重ねた結果、特定の有機化合物に電子受容体を
ドープした化合物がショットキーダイオードのp型領域
として使用可能であり、かつこのショットキーダイオー
ドが充分な性能を示すことを見い出し、本発明に至っ
た。
The present inventors have conducted intensive studies with the aim of solving the above problems, and as a result, a compound obtained by doping an electron acceptor into a specific organic compound can be used as a p-type region of a Schottky diode, and The present inventors have found that a Schottky diode exhibits sufficient performance, and have reached the present invention.

[課題を解決するための手段] すなわち本発明は、下記一般式(1)で表わされる化
合物に電子受容体をドープして得られる化合物をp型領
域として用いることを特徴とするショットキーダイオー
ドを提供するものである。
[Means for Solving the Problems] That is, the present invention provides a Schottky diode characterized in that a compound obtained by doping an electron acceptor into a compound represented by the following general formula (1) is used as a p-type region. To provide.

(式中、R1,R2,R3,R4およびR5はそれぞれ水素または
炭素数1〜20の炭化水素残基を示し、それぞれ同一でも
異なってもよく、Ar1およびAr2はそれぞれ2価の芳香族
炭化水素残基を示し、lは0以上、mは1以上、nは2
以上の整数を示す) 以下、本発明を詳細に説明する。
(Wherein, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 and R 5 each represent hydrogen or a hydrocarbon residue having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different, and Ar 1 and Ar 2 are each Represents a divalent aromatic hydrocarbon residue, 1 is 0 or more, m is 1 or more, and n is 2
Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明のショットキーダイオードは、一般式(1)で
表わされる化合物に電子受容体をドープして得られる化
合物(以下、化合物(A)と称する)をp型領域として
用いることを特徴とし、これに後述の金属(以下、金属
(B)と称する)を結合した構造を有する。
The Schottky diode of the present invention is characterized in that a compound obtained by doping the compound represented by the general formula (1) with an electron acceptor (hereinafter, referred to as compound (A)) is used as a p-type region. And a metal (hereinafter, referred to as metal (B)).

ここでいうショットキーダイオードとは、p型半導体
にある種の金属を接合して得られる、整流作用をもつダ
イオードである。
The Schottky diode mentioned here is a diode having a rectifying function, which is obtained by joining a certain metal to a p-type semiconductor.

また、ここでいうp型領域とは、ショットキーダイオ
ード内に占めるp型半導体の領域のことである。
Further, the p-type region here is a region of the p-type semiconductor occupying in the Schottky diode.

本発明で用いる化合物(A)は、一般式(1)で表わ
される化合物に電子受容体をドープしたものである。
The compound (A) used in the present invention is obtained by doping the compound represented by the general formula (1) with an electron acceptor.

一般式(1)で表される化合物において、R1,R2
R3,R4およびR5はそれぞれ水素または炭素数1〜20、好
ましくは1〜12の炭化水素残基を示すものである。R1
R2,R3,R4およびR5は互いに同一でも異なってもよい。
In the compound represented by the general formula (1), R 1 , R 2 ,
R 3 , R 4 and R 5 each represent hydrogen or a hydrocarbon residue having 1 to 20, preferably 1 to 12 carbon atoms. R 1 ,
R 2 , R 3 , R 4 and R 5 may be the same or different from each other.

具体的には、R1としては、例えばメチル基、エチル
基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、
i−ブチル基、n−ヘキシル基等のアルキル基、またメ
トキシ基、エトキシ基等のアルコキシ基およびその誘導
体等に例示される炭化水素残基、または水素が挙げら
れ、好ましくはメチル基、エチル基、メトキシ基、エト
キシ基が望ましい。R2,R3としては、例えばメチル基、
エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチ
ル基、i−ブチル基、n−ヘキシル基等のアルキル基、
またメトキシフェニル基、エトキシフェニル基等のアル
コキシフェニル基、トリル基、エチルフェニル基等のア
ルキルフェニル、フェニル基等の各種のアリール基、ア
ラルキル基およびその誘導体等に例示される炭化水素残
基または水素が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル
基、i−プロピル基、n−プロピル基、トリル基、エチ
ルフェニル基および水素が望ましい。
Specifically, as R 1 , for example, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group,
Alkyl groups such as i-butyl group and n-hexyl group; hydrocarbon groups exemplified by alkoxy groups such as methoxy group and ethoxy group and derivatives thereof; and hydrogen, preferably methyl group and ethyl group , A methoxy group and an ethoxy group are preferred. As R 2 and R 3 , for example, a methyl group,
An alkyl group such as an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, an i-butyl group, and an n-hexyl group;
Also, a hydrocarbon residue or hydrogen represented by an alkoxyphenyl group such as a methoxyphenyl group or an ethoxyphenyl group, an alkylphenyl such as a tolyl group or an ethylphenyl group, various aryl groups such as a phenyl group, an aralkyl group, and derivatives thereof. And preferably a methyl group, an ethyl group, an i-propyl group, an n-propyl group, a tolyl group, an ethylphenyl group and hydrogen.

R4,R5としては、例えばメチル基、エチル基、n−プ
ロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル
基、n−ヘキシル基等のアルキル基、またメトキシフェ
ニル基、エトキシフェニル基等のアルコキシフェニル
基、トリル基、エチルフェニル基等のアルキルフェニル
基、フェニル基、クロロフェニル基、ニトロフェニル基
等の各種アリール基、アラルキル基およびその誘導体、
フリル基、ピリジン基等に例示される炭化水素残基また
は水素が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、i
−プロピル基、n−プロピル基、フェニル基、トリル
基、水素が好ましい。
R 4 and R 5 include, for example, alkyl groups such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, n-hexyl group, methoxyphenyl group, ethoxy group and the like. Alkoxyphenyl group such as phenyl group, tolyl group, alkylphenyl group such as ethylphenyl group, phenyl group, chlorophenyl group, various aryl groups such as nitrophenyl group, aralkyl group and derivatives thereof,
Examples include a hydrocarbon residue or hydrogen exemplified by a furyl group, a pyridine group and the like, and preferably a methyl group, an ethyl group, i
-Propyl, n-propyl, phenyl, tolyl and hydrogen are preferred.

また、一般式(1)で表わされる化合物におけるA
r1,Ar2は、2価の芳香族炭化水素残基を示すものであ
り、Ar1とAr2は同一でもまた異なってもよい。具体的に
はAr1としては、一般式(2),(3),(4): (式中、R1は一般式(1)と同様) で示される官能基、例えばp−フェニレン基、m−フェ
ニレン基、p−ビフェニレン基、メチル−p−フェニレ
ン基、エチル−p−フェニレン基、メトキシ−p−フェ
ニレン基、メチル−m−フェニレン基、エチル−m−フ
ェニレン基、メトキシ−m−フェニレン基の各種のフェ
ニレン基およびその誘導体等が挙げられる。
Further, A in the compound represented by the general formula (1)
r 1 and Ar 2 represent a divalent aromatic hydrocarbon residue, and Ar 1 and Ar 2 may be the same or different. Specifically, as Ar 1 , general formulas (2), (3) and (4): (Wherein R 1 is the same as in the general formula (1)), for example, a p-phenylene group, an m-phenylene group, a p-biphenylene group, a methyl-p-phenylene group, an ethyl-p-phenylene group And various phenylene groups such as methoxy-p-phenylene group, methyl-m-phenylene group, ethyl-m-phenylene group, and methoxy-m-phenylene group, and derivatives thereof.

またAr2としては、例えば前記一般式(2),(3)
および(4)で示される各種のフェニレン基およびその
誘導体に加え、1,5−または2,7−ナフチレン基、1,4
−、1,5−または2,6−アントラキノニレン基、2,4−ま
たは2,7−フルオレノニレン基、2,7−フルオレニレン
基、ビレニレン基、2,7−フェナントラキノニレン基、
2,7−(9−ジシアノメチレン)フルオレノニレン基、
ジベンゾトロボンジイル基、ジシアノメチレンジベンゾ
トロボンジイル基、ベンズアントロニレン基等に例示さ
れる2価の単環式または縮合多環式芳香族炭化水素残
基、また2−フェニルベンゾオキサゾールジイル基、2
−フェニルベンズイミダゾールジイル基、カルバゾール
ジイル基、2−フェニルベンゾチアゾールジイル基、2
−フェニルベンゾトリアゾールジイル基、ジベンゾチオ
フエンジイル基、ジベンゾチオフェノキサイドジイル
基、9−アクリドンジイル基、キサントンジイル基、フ
エノキサジンジイル基等の2価の複素環基等に例示され
る2価のヘテロ原子含有縮合複素環式芳香族炭化水素残
基等が挙げられる。
Further, as Ar 2 , for example, the general formulas (2) and (3)
In addition to various phenylene groups and derivatives thereof represented by (4) and 1,5- or 2,7-naphthylene group, 1,4
-, 1,5- or 2,6-anthraquinonylene group, 2,4- or 2,7-fluorenonylene group, 2,7-fluorenylene group, birenylene group, 2,7-phenanthraquinonylene group,
2,7- (9-dicyanomethylene) fluorenonylene group,
A divalent monocyclic or condensed polycyclic aromatic hydrocarbon residue exemplified by a dibenzotrobondiyl group, a dicyanomethylenedibenzotrobondiyl group, a benzanthronylene group, etc., and a 2-phenylbenzoxazolediyl group , 2
-Phenylbenzimidazolediyl group, carbazolediyl group, 2-phenylbenzothiazoldiyl group, 2
Divalent groups exemplified by divalent heterocyclic groups such as -phenylbenzotriazolediyl group, dibenzothiophenediyl group, dibenzothiophenoxide diyl group, 9-acridonediyl group, xanthonediyl group and phenoxazinediyl group; And heteroatom-containing condensed heterocyclic aromatic hydrocarbon residues.

lは0以上の整数であり、通常0〜50、好ましくは0
〜10、さらに好ましくは0〜5である。mは1以上であ
り通常1〜50、好ましくは1〜30である。nは2以上、
通常2〜1000、好ましくは5〜500、さらに好ましくは2
0〜200であり、実質的に線状構造を有するものである。
(1)式の両末端は特に特定されないが通常、核置換水
素である。
l is an integer of 0 or more, usually 0 to 50, preferably 0
To 10, more preferably 0 to 5. m is 1 or more and is usually 1 to 50, preferably 1 to 30. n is 2 or more,
Usually 2 to 1000, preferably 5 to 500, more preferably 2
0 to 200, having a substantially linear structure.
Although both terminals of the formula (1) are not particularly specified, they are usually nuclear-substituted hydrogen.

なお、l=0、かつm=1の場合においては、本発明
の効果をさらに高める目的から、nは20を越えているこ
と、好ましくは30〜1000、さらに好ましくは40〜200で
あることが望ましい。
When l = 0 and m = 1, in order to further enhance the effect of the present invention, n is more than 20, preferably 30 to 1,000, and more preferably 40 to 200. desirable.

これらの一般式(1)で表わされる化合物は、通常一
般式(5)で表わされる化合物と、一般式(6)で表わ
される化合物またはその重合体とを重縮合させることに
よって製造されるが、製造法は何ら限定されるものでは
ない。
The compound represented by the general formula (1) is usually produced by polycondensing the compound represented by the general formula (5) with the compound represented by the general formula (6) or a polymer thereof. The production method is not limited at all.

R4COR5 (6) (式中、R1,R2,R3,R4,R5およびAr1,Ar2並びにl,m
については一般式(1)と同様である) 一般式(5)で表わされる化合物としては、N,N′−
ジフェニル−p−フェニレンジアミン系化合物、N−フ
ェニル−N′−(4−フェニルアミノ)フェニル−p−
フェニレンジアミン系化合物等が例示される。
R 4 COR 5 (6) (wherein, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and Ar 1 , Ar 2 and l, m
Is the same as in the general formula (1). As the compound represented by the general formula (5), N, N'-
Diphenyl-p-phenylenediamine compound, N-phenyl-N '-(4-phenylamino) phenyl-p-
Examples include phenylenediamine-based compounds.

一般式(5)で表わされる化合物のうち、mが2以上
のものは通常、一般式(5)で表わされるm=1の場合
の化合物をマンガン化合物、第2鉄塩等の酸化剤を用い
た酸化カップリング反応または電解酸化重合等の方法を
用いることにより製造される。例えば、一般式(5)で
表わされる化合物がm≧2のN,N′−ジフェニル−p−
フェニレンジアミン系化合物の場合、N,N′−ジフェニ
ル−p−フェニレンジアミンをエタノール、アセトン、
アセトニトリル、エーテル、ベンゼン等の溶媒中で、塩
化第2鉄を触媒として酸化カップリング反応により製造
することができる。
Of the compounds represented by the general formula (5), those having m of 2 or more are usually prepared by using an oxidizing agent such as a manganese compound or a ferric salt when m = 1 represented by the general formula (5). It is manufactured by using a method such as an oxidative coupling reaction or electrolytic oxidative polymerization. For example, when the compound represented by the general formula (5) is N, N'-diphenyl-p-
In the case of a phenylenediamine compound, N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine is converted to ethanol, acetone,
It can be produced by an oxidative coupling reaction in a solvent such as acetonitrile, ether, benzene or the like, using ferric chloride as a catalyst.

このときの反応温度は−50℃から100℃、好ましくは
−20℃から使用した溶媒の沸点であり、反応時間は10分
から100時間、好ましくは1時間から50時間で反応を行
うことができる。
The reaction temperature at this time is from −50 ° C. to 100 ° C., preferably from −20 ° C. to the boiling point of the solvent used, and the reaction time can be from 10 minutes to 100 hours, preferably from 1 hour to 50 hours.

なお、これらのN,N′−ジフェニル−p−フェニレン
ジアミン系化合物のうち代表的なものとしては、N,N′
−ジメチル−N,N′−ジフェニル−p−フェニレンジア
ミン、N,N′−ジエチル−N,N′−ジフェニル−p−フェ
ニレンジアミン、N,N′−ジプロピル−N,N′−ジフェニ
ル−p−フェニレンジアミン等を挙げることができる。
Note that among these N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine-based compounds, typical ones are N, N '
-Dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine, N, N'-diethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine, N, N'-dipropyl-N, N'-diphenyl-p- Examples include phenylenediamine.

一般式(6)で表わされる化合物としては、例えばア
ルデヒド、アルデヒドの重合体、ケトン等の各種のカル
ボニル化合物が例示される。
Examples of the compound represented by the general formula (6) include various carbonyl compounds such as aldehydes, aldehyde polymers, and ketones.

アルデヒドのうち代表的なものとしては、ホルムアル
デヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ブ
チルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アクリルアルデヒ
ド、シンナムアルデヒド、アニスアルデヒド、ニコチン
アルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、クロロベンズア
ルデヒド、フルフラール等を挙げることができる。
Representative aldehydes include formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, butyraldehyde, benzaldehyde, acrylaldehyde, cinnamaldehyde, anisaldehyde, nicotinaldehyde, nitrobenzaldehyde, chlorobenzaldehyde, furfural and the like.

また、アルデヒドの重合体とは、一般式(6)で表わ
されるアルデヒドを濃厚溶液にして自己縮合させたり、
酸触媒の存在下で縮合させて得られる重合体を表わし、
該重合体は本発明の共重合体を合成する際の反応条件下
で容易に加水分解してアルデヒド単量体を生成するもの
を表わす。代表的なものとしては、ホルムアルデヒドの
重合体であるパラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド
の三量体であるパラアルデヒド等が挙げられる。
Further, the aldehyde polymer refers to a concentrated solution of the aldehyde represented by the general formula (6) and self-condensation,
Represents a polymer obtained by condensation in the presence of an acid catalyst,
The polymer is one which easily hydrolyzes under the reaction conditions for synthesizing the copolymer of the present invention to produce an aldehyde monomer. Representative examples include paraformaldehyde, which is a polymer of formaldehyde, and paraaldehyde, which is a trimer of acetaldehyde.

ケトンとしては、例えばアセトン、エチルメチルケト
ン、ジエチルケトン、シクロヘキシルアセトン等が挙げ
られる。
Examples of the ketone include acetone, ethyl methyl ketone, diethyl ketone, cyclohexyl acetone, and the like.

一般式(5)で表わされる化合物と一般式(6)で表
わされる化合物との重縮合は両者が可溶な有機溶媒中で
0〜200℃の温度で酸またはアルカリ触媒を用いて行う
ことができる。酸触媒の例としては硫酸、塩酸、リン
酸、過塩素酸、五酸化二リン等の無機酸、ギ酸、酢酸、
プロピオン酸、メタンスルホン酸、p−トルエンスルホ
ン酸等の有機酸を挙げることができる。これらの酸触媒
は単独で用いてもまた2種以上を併用してもよい。ま
た、好ましい有機溶剤の例としてはエチルエーテル、テ
トラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、クロロ
ホルム、ジクロロメタン、クロロベンゼン等のハロゲン
化炭化水素類、ニトロベンゼン等のニトロ化合物、アセ
トニトリル、プロピレンカーボネート、ジメチルホルム
アミド、N−メチルピロリドン等が挙げられる。反応時
間は1分〜500時間、好ましくは5分〜200時間の範囲で
適宜選ぶことができる。
The polycondensation of the compound represented by the general formula (5) and the compound represented by the general formula (6) can be carried out in an organic solvent in which both are soluble at a temperature of 0 to 200 ° C. using an acid or alkali catalyst. it can. Examples of acid catalysts are sulfuric acid, hydrochloric acid, phosphoric acid, perchloric acid, inorganic acids such as diphosphorus pentoxide, formic acid, acetic acid,
Organic acids such as propionic acid, methanesulfonic acid and p-toluenesulfonic acid can be mentioned. These acid catalysts may be used alone or in combination of two or more. Examples of preferred organic solvents include ethers such as ethyl ether, tetrahydrofuran and dioxane, halogenated hydrocarbons such as chloroform, dichloromethane and chlorobenzene, nitro compounds such as nitrobenzene, acetonitrile, propylene carbonate, dimethylformamide, and N-methyl. And pyrrolidone. The reaction time can be appropriately selected within the range of 1 minute to 500 hours, preferably 5 minutes to 200 hours.

かくして得られる一般式(1)で表わされる化合物
は、通常クロロホルム、ベンゼン、テトラヒドロフラン
(THF)、CH2Cl2、N−メチルヒドリン、ニトロベンゼ
ン等の有機溶媒に可溶であるため任意の形状の各種の成
形体にすることができる。
The compound represented by the general formula (1) thus obtained is usually soluble in organic solvents such as chloroform, benzene, tetrahydrofuran (THF), CH 2 Cl 2 , N-methylhydrin, nitrobenzene, etc. It can be molded.

また一般式(1)で表わされる化合物は、前記のよう
に可溶性をもつため、性能等をさらに高める目的で、通
常、精製等により不純物を除去することができる。例え
ばGPC(Gel permeation Chromatography)、イオン交換
樹脂等のクロマトグラフィー、エタノールやヘキサン等
の不溶性溶媒を用いた再沈法や洗浄法、前記の可溶性溶
媒を用いた抽出法等が挙げられる。
Since the compound represented by the general formula (1) is soluble as described above, impurities can be usually removed by purification or the like for the purpose of further improving the performance and the like. Examples thereof include GPC (Gel permeation Chromatography), chromatography on ion exchange resins, etc., reprecipitation method and washing method using an insoluble solvent such as ethanol and hexane, and extraction method using the above-mentioned soluble solvent.

本発明の化合物(A)とは、一般式(1)で表わされ
る化合物に電子受容体をドープして得たものである。
The compound (A) of the present invention is obtained by doping the compound represented by the general formula (1) with an electron acceptor.

ドープの方法は、公知の方法を用いることができ、例
えば電子受容体を直接添加する化学的方法、電子受容体
となる陰イオンを含む溶媒中で電解酸化を行う電気化学
的方法、電子受容体となるイオンを加速して物質に打ち
込むイオン注入法等、いずれの方法を用いることもでき
る。
Known doping methods can be used, for example, a chemical method of directly adding an electron acceptor, an electrochemical method of performing electrolytic oxidation in a solvent containing an anion serving as an electron acceptor, and an electron acceptor. Any method such as an ion implantation method in which ions are accelerated and implanted into a substance can be used.

本発明で用いられる電子受容体としては、本発明の目
的を損なわない限り特に限定されない。
The electron acceptor used in the present invention is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired.

電子受容体のうち、化学的方法によるドープに用いら
れるものを具体的に挙げると、例えばヨウ素、臭素、ヨ
ウ化水素のようなハロゲン化合物、五フッ化ヒ素、五フ
ッ化リン、五塩化リン、五フッ化アンチモン、四フッ化
ケイ素、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、フッ化
アルミニウム、塩化第2鉄のような金属ハロゲン化物、
硫酸、硝酸、クロロスルホン酸のようなプロトン酸、三
酸化硫黄、ジフルオロスルホニルパーオキシドのような
酸化剤、テトラシアノジメタンのような有機物等を挙げ
ることができる。
Among the electron acceptors, those specifically used for doping by a chemical method include, for example, iodine, bromine, halogen compounds such as hydrogen iodide, arsenic pentafluoride, phosphorus pentafluoride, phosphorus pentachloride, Metal halides such as antimony pentafluoride, silicon tetrafluoride, aluminum chloride, aluminum bromide, aluminum fluoride, ferric chloride,
Examples thereof include protonic acids such as sulfuric acid, nitric acid and chlorosulfonic acid, oxidizing agents such as sulfur trioxide and difluorosulfonyl peroxide, and organic substances such as tetracyanodimethane.

また、電気化学的にドープできる電子受容体として
は、例えばPF6 -,SbF6 -,As6 -のようなVa属の元素のハ
ロゲン化物アニオン、BF4 -のようなIIIa属の元素のハロ
ゲン化物アニオン、I-(I8 -),Br-,Cl-のようなハロ
ゲンアニオン、ClO4 -のような過塩素酸アニオン等の陰
イオンが挙げられる。
Further, as the electron acceptor capable of electrochemically doped, for example, PF 6 -, SbF 6 -, As 6 - Va metal selected halide anions, such as, BF 4 - halogen Group IIIa elements, such as compound anion, I - (I 8 -) , Br -, Cl - halogen anion such as, ClO 4 - include anions such perchlorate anions such as.

さらに、イオン注入法でドープできる電子受容体とし
ては、例えばBr+,Cl+,I+等が挙げられる。
Further, electron acceptors that can be doped by ion implantation include, for example, Br + , Cl + , and I + .

ドープ濃度は、通常一般式(1)で表わされる繰り返
し単位の1単位当り0.001mol以上であることが好まし
い。
The doping concentration is usually preferably 0.001 mol or more per unit of the repeating unit represented by the general formula (1).

本発明においては、このようにして得られた化合物
(A)をショットキーダイオードのp型領域として用い
ることを特徴とし、化合物(A)と金属(B)を接合さ
せ、ショットキー接合を形成させることにより、ショッ
トキーダイオードを得る。
In the present invention, the compound (A) thus obtained is used as a p-type region of a Schottky diode, and the compound (A) and the metal (B) are joined to form a Schottky junction. Thus, a Schottky diode is obtained.

本発明において、化合物(A)と金属(B)を、互い
の少なくとも1つの面の全体または一部を接触させ、こ
の部分をショットキー接合とする。但し、この際、化合
物(A)の少なくとも1つ以上の面を金属(B)と接合
せずに残す。
In the present invention, the compound (A) and the metal (B) are brought into contact with each other at least on one or all of their surfaces, and this portion is made into a Schottky junction. However, at this time, at least one or more surfaces of the compound (A) are left without bonding to the metal (B).

ここで金属(B)には、その仕事関数が化合物(A)
の仕事関数より小さく、化合物(A)と化学的反応をし
ないものならばどのような金属を用いてもよい。
Here, the work function of the metal (B) is the compound (A)
Any metal may be used as long as it has a work function smaller than the above and does not chemically react with the compound (A).

すなわち、金属(B)として適するものとしては、例
えばAl,In,W,Ti,Mo等が挙げられ、好ましくはAl,In等が
用いられる。
That is, for example, Al, In, W, Ti, Mo, and the like are suitable as the metal (B), and Al, In, or the like is preferably used.

また、化合物(A)と金属(B)との接合方法とし
て、成形した化合物(A)上に金属(B)を真空蒸着す
る方法、金属(B)上に化合物(A)をディッピング
法、キャスト法、スピンコート法にて接合と同時に成形
する方法等が挙げられ、好ましくは真空蒸着法を用いる
のが望ましい。
Further, as a joining method of the compound (A) and the metal (B), a method of vacuum-depositing the metal (B) on the molded compound (A), a method of dipping the compound (A) on the metal (B), and a method of casting And a method of forming at the same time as joining by a spin coating method. Preferably, a vacuum evaporation method is used.

このとき、金属(B)の形状、面積、厚さ等は目的に
応じて適宜選択でき、特に限定はされない。
At this time, the shape, area, thickness, and the like of the metal (B) can be appropriately selected depending on the purpose, and are not particularly limited.

また、接合時の温度は、真空蒸着法を用いる場合に
は、化合物(A)の温度が通常400℃以下であれば適宜
選択でき、ディッピング法、キャスト法、スピンコート
法等で溶媒を用い、さらに溶媒の除去を行う場合は、通
常溶媒の凝固点より高温で、かつ溶媒の沸点より低温で
あれば適宜選択でき、通常−20〜400℃で行うことがで
きる。
In addition, when a vacuum deposition method is used, the temperature at the time of bonding can be appropriately selected as long as the temperature of the compound (A) is usually 400 ° C. or lower, and a solvent is used by a dipping method, a casting method, a spin coating method, or the like. When the solvent is further removed, it can be appropriately selected as long as it is usually higher than the freezing point of the solvent and lower than the boiling point of the solvent, and can be usually performed at -20 to 400 ° C.

このとき、好ましくは不活性雰囲気下で接合を行うこ
とが望ましい。
At this time, it is preferable that the bonding be performed under an inert atmosphere.

上記の化合物(A)と金属(B)を接合する場合に、
ドープされる前の、すなわち一般式(1)で表わされる
化合物と金属(B)を接合した後にドープを行うことも
できる。
When joining the above compound (A) and metal (B),
The doping can also be performed before doping, that is, after bonding the compound represented by the general formula (1) and the metal (B).

本発明のショットキーダイオードは、上記化合物
(A)と金属(B)を接合することにより得られるが、
該ショットキーダイオードを素子に用いるための方法に
ついて述べる。
The Schottky diode of the present invention is obtained by joining the above compound (A) and metal (B),
A method for using the Schottky diode for an element will be described.

ショットキーダイオードを素子として利用するため
に、上記化合物(A)上で金属(B)と接合されていな
い部分に、しかも金属(B)とは直接接触しないように
電極(C)を設ける。
In order to use the Schottky diode as an element, an electrode (C) is provided on a portion of the compound (A) that is not bonded to the metal (B) so as not to make direct contact with the metal (B).

本発明のショットキーダイオードを素子に用いるため
の方法には、前記ドープを行う工程、一般式(1)で
表わされる化合物または化合物(A)を成形する工程
(以下、成形工程という)、一般式(1)で表わされ
る化合物または化合物(A)を金属(B)と接合する工
程(以下、金属(B)の接合工程という)、一般式
(1)で表わされる化合物または化合物(A)を電極
(C)と接合する工程(以下、電極(C)の接合工程と
いう)の各工程が含まれる。
The method for using the Schottky diode of the present invention in an element includes a step of doping, a step of molding the compound represented by the general formula (1) or the compound (A) (hereinafter, referred to as a molding step), A step of joining the compound or compound (A) represented by (1) to the metal (B) (hereinafter referred to as a step of joining the metal (B)), and a step of joining the compound or compound (A) represented by the general formula (1) to an electrode Each step of the step of joining with (C) (hereinafter, the step of joining the electrode (C)) is included.

上記各工程の順序は、通常限定されず、各工程で選択
される方法に応じて決定できる。
The order of the above steps is not usually limited and can be determined according to the method selected in each step.

まず、ドープを行う工程の方法は、前述のとおりであ
る。
First, the method of the doping step is as described above.

次に、成形工程の方法を示す。 Next, the method of the molding step will be described.

本発明において得られるショットキーダイオード素子
の形状は、特に限定されない。特に一般式(1)で表わ
される化合物および化合物(A)は、前述のように溶媒
に可溶であるという特徴を持つので自由な形状が選択で
きる。
The shape of the Schottky diode element obtained in the present invention is not particularly limited. In particular, the compound represented by the general formula (1) and the compound (A) have a feature of being soluble in a solvent as described above, and therefore, any shape can be selected.

例えば薄膜状、ロール状、さらに他の素子に組み込ん
だ形等が挙げられるが、好ましくは2つ以上の面を持つ
ことが望ましい。
For example, a thin film shape, a roll shape, a shape incorporated in another element, and the like can be mentioned, but it is preferable to have two or more surfaces.

薄膜状で用いる場合、厚さは目的に応じて適宜決定で
きる。通常5μm以下、好ましくは0.01〜3μmである
ことが望ましい。
When used in the form of a thin film, the thickness can be appropriately determined according to the purpose. Usually, it is desirable to be 5 μm or less, preferably 0.01 to 3 μm.

また、その成形方法も特に制限されず、例えばディッ
ピング法、キャスト法、スピンコート法等を行って薄膜
状としたり、これを巻いてロール状に成形することがで
きる。
The forming method is not particularly limited. For example, the film can be formed into a thin film by a dipping method, a casting method, a spin coating method, or the like, or can be formed into a roll by winding the film.

上記の成形を行う場合、成形および溶媒の蒸発は、溶
媒の凝固点より高温で、しかも溶媒の沸点未満の温度範
囲内において実施でき、通常、成形は−20〜400℃、溶
媒の蒸発は0〜400℃において行うことができる。
In the case of performing the above-mentioned molding, the molding and the evaporation of the solvent can be performed at a temperature higher than the freezing point of the solvent, and within a temperature range lower than the boiling point of the solvent. Can be performed at 400 ° C.

次に、金属(B)の接合工程について示す。金属
(B)には前述のものが用いられる。
Next, a bonding step of the metal (B) will be described. As the metal (B), those described above are used.

一般式(1)で表わされる化合物または化合物(A)
と金属(B)を、互いの少なくとも1つの面の全体また
は一部で接合させる。但し、この際、一般式(1)で表
わさされる化合物または化合物(A)の少なくとも1つ
以上の面を金属(B)と接合せずに残すことが必要であ
る。
Compound or compound (A) represented by general formula (1)
And the metal (B) are joined on all or at least one surface of each other. However, at this time, it is necessary to leave at least one surface of the compound represented by the general formula (1) or the compound (A) without bonding to the metal (B).

一般式(1)で表わされる化合物または化合物(A)
に金属(B)を接合する方法には、前述の化合物(A)
と金属(B)との接合方法を用いることができる。
Compound or compound (A) represented by general formula (1)
The method of joining the metal (B) to
And the metal (B) can be used.

さらに、電極(C)の接合工程について以下に示す。
電極(C)は、一般式(1)で表わされる化合物または
化合物(A)と、互いの少なくとも1つの面の全体また
は一部で接合させる。この際、金属(B)とは直接に接
続しないようにする。
Further, the bonding step of the electrode (C) will be described below.
The electrode (C) is bonded to the compound represented by the general formula (1) or the compound (A) on all or a part of at least one surface of each other. At this time, do not directly connect to the metal (B).

このとき、化合物(A)と電極(C)との間がオーミ
ック接合となるように、電極(C)の材質は選択され、
このため電極(C)には仕事関数が、化合物(A)の仕
事関数より大きい物質ならすべて使用可能である。
At this time, the material of the electrode (C) is selected so as to form an ohmic junction between the compound (A) and the electrode (C),
Therefore, any material having a work function higher than that of the compound (A) can be used for the electrode (C).

これを満たす電極(C)の材料としては、例えばAu,P
t,ITO(Indium Tin Oxide)等が用いられ、特にAu,Pt等
が好ましく用いられる。
As a material of the electrode (C) satisfying this, for example, Au, P
t, ITO (Indium Tin Oxide) and the like are used, and particularly, Au, Pt and the like are preferably used.

また、一般式(1)で表わされる化合物または化合物
(A)と電極(C)との接合方法には、成形した一般式
(1)で表わされる化合物または化合物(A)上に電極
(C)を真空蒸着する方法、電極(C)上に一般式
(1)で表わされる化合物または化合物(A)をディッ
ピング法、キャスト法、スピンコート法にて接合と同時
に成形する方法等が挙げられる。
The method of joining the compound or compound (A) represented by the general formula (1) and the electrode (C) includes a method of bonding the electrode (C) on the molded compound or the compound (A) represented by the general formula (1). In which the compound represented by the general formula (1) or the compound (A) is formed on the electrode (C) by dipping, casting, or spin coating simultaneously with joining.

このとき、電極(C)の形状、面積、厚さ等は目的に
応じて適宜選択でき特に限定はされない。
At this time, the shape, area, thickness and the like of the electrode (C) can be appropriately selected according to the purpose, and are not particularly limited.

また、接合時の温度は、真空蒸着法を用いる場合に
は、一般式(1)で表わされる化合物または化合物
(A)の温度が通常400℃以下であれば適宜選択でき、
ディッピング法、キャスト法、スピンコード法等で溶媒
を用い、さらに溶媒の除去を行う場合は、通常溶媒の凝
固点より高温で、かつ溶媒の沸点より低温であれば適宜
選択でき、通常−20〜400℃で行うことができる。
In addition, when a vacuum deposition method is used, the temperature at the time of bonding can be appropriately selected as long as the temperature of the compound represented by the general formula (1) or the compound (A) is usually 400 ° C. or lower.
When a solvent is used in a dipping method, a casting method, a spin code method, or the like, and the solvent is further removed, the temperature can be appropriately selected as long as the temperature is higher than the freezing point of the solvent and lower than the boiling point of the solvent, and is usually -20 to 400. C. can be performed.

このとき、好ましくは不活性雰囲気下で接合を行うこ
とが望ましい。
At this time, it is preferable that the bonding be performed under an inert atmosphere.

上記のドープを行う工程、成形工程、金属(B)の接
合工程、および電極(C)の接合工程の各工程を行う順
序は、各工程の方法に応じて自由に適宜選択できる。
The order in which the above-described doping step, forming step, metal (B) bonding step, and electrode (C) bonding step are performed can be freely selected as appropriate according to the method of each step.

例えば、金属(B)を真空蒸着法により接合する場
合、まず成形工程を行い、次に金属(B)を真空蒸着し
てドープし、さらに電極(C)を真空蒸着により接合す
る方法、または電極(C)上にキャスト法で一般式
(1)で表わされる化合物を成形、接合し、ドープした
後に金属(B)を真空蒸着する方法等が挙げられる。
For example, when joining the metal (B) by a vacuum deposition method, first, a forming step is performed, then the metal (B) is vacuum-deposited and doped, and the electrode (C) is joined by vacuum deposition, or A method in which the compound represented by the general formula (1) is formed on (C) by a casting method, joined, doped, and then vacuum-deposited with the metal (B).

また、電極(C)を真空蒸着法により接合する場合、
上記の方法、または金属(B)上にキャスト法で一般式
(1)で表わされる化合物を成形、接合し、ドープした
後、電極(C)を真空蒸着する方法等が挙げられる。
When the electrode (C) is joined by a vacuum deposition method,
The method described above, or a method of molding, joining, and doping the compound represented by the general formula (1) on the metal (B) by casting, and then vacuum-depositing the electrode (C), and the like.

[発明の効果] 本発明のショットキーダイオードは、そのp型領域
に、溶媒に可溶な特定の化合物を用いているため加工性
がよく、自由な形状を選択できる。また上記の性質を利
用し、大面積デバイスも精度よく製作できるため、ジャ
イアントマイクロエレクトロニクス分野でも有用であ
る。
[Effect of the Invention] Since the Schottky diode of the present invention uses a specific compound soluble in a solvent in its p-type region, it has good workability and can select a free shape. In addition, since large-area devices can be manufactured with high accuracy using the above properties, they are also useful in the field of giant microelectronics.

[実施例] 以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本
発明はこれらに限定されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

実施例1 窒素置換された100ml三ツ口フラスコに、N,N′−ジメ
チル−N,N′−ジフェニル−p−フェニレンジアミン1.0
gを入れ、ニトロベンゼン15ml、酢酸6mlを加えて溶解さ
せた後、硫酸120μl、プロピオンアルデヒド250μlを
加えて50℃で攪拌しながら140時間反応させた。反応溶
液を1N−NaOH30ml水溶液を含むエタノール300mlにあ
け、灰白色の沈澱物を濾過し、エタノール、蒸留水で洗
浄した後、乾燥して0.85gの灰白色粉末を得た。得られ
た粉末の1H-NMR、13C-NMR、IR(第1図)を測定したと
ころ下記の構造を有するN,N′−ジメチル−N,N′−ジフ
ェニル−p−フェニレンジアミンプロピオンアルデヒド
縮重合体(重合度約20)であることが判明した。
Example 1 N, N'-dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine 1.0 was placed in a 100 ml three-necked flask purged with nitrogen.
g, 15 ml of nitrobenzene and 6 ml of acetic acid were added and dissolved, and 120 μl of sulfuric acid and 250 μl of propionaldehyde were added and reacted at 50 ° C. with stirring for 140 hours. The reaction solution was poured into 300 ml of ethanol containing an aqueous solution of 30 ml of 1N-NaOH, the off-white precipitate was filtered, washed with ethanol and distilled water, and dried to obtain 0.85 g of off-white powder. 1 H-NMR, 13 C-NMR and IR (FIG. 1) of the obtained powder were measured, and N, N′-dimethyl-N, N′-diphenyl-p-phenylenediamine propionaldehyde having the following structure was obtained. It was found to be a condensation polymer (degree of polymerization: about 20).

1H-NMR(C6D6):(ppm)6.82〜7.20(m),3.65
(m),2.97(m),2.02(m),0.92(t)13 C-NMR(CDCl3):(ppm)147.4,143.7,137.4,128.4,1
22,6,118.6,51.8,40.4,28.9,12.9 次にガラス基板上に2000Åの膜厚で金蒸着を行った。
その金蒸着面上に、前記のN,N′−ジメチル−N,N′−ジ
フェニル−p−フェニレンジアミンプロピオンアルデヒ
ド縮重合体をクロロホルムに溶解したもの(濃度;5mg/m
l)をディップコートして、厚さ約0.3μmの薄膜とし、
窒素雰囲気下、室温で20時間乾燥させた後、ヨウ素をド
ーピングした。ヨウ素ドーピングは、ヨウ素粉末を含ん
だ密封容器中に室温で10分間放置することにより行っ
た。
1 H-NMR (C 6 D 6) :( ppm) 6.82~7.20 (m), 3.65
(M), 2.97 (m), 2.02 (m), 0.92 (t) 13 C-NMR (CDCl 3 ): (ppm) 147.4, 143.7, 137.4, 128.4, 1
22,6,118.6,51.8,40.4,28.9,12.9 Next, gold vapor deposition was performed on the glass substrate to a thickness of 2000 mm.
The above N, N'-dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine propionaldehyde condensed polymer dissolved in chloroform (concentration: 5 mg / m 2)
l) is dip-coated to form a thin film with a thickness of about 0.3μm,
After drying at room temperature for 20 hours in a nitrogen atmosphere, iodine was doped. The iodine doping was carried out by leaving at room temperature for 10 minutes in a sealed container containing iodine powder.

さらに、アルミニウムを蒸着(膜厚;3000Å)して、
ショットキーダイオードのデバイスを得た(第2図)。
In addition, aluminum is deposited (film thickness: 3000 mm)
A Schottky diode device was obtained (FIG. 2).

このようにして得られたダイオードの電圧−電流特性
(室温)を測定したところ、良好な整流作用を示した
(第3図)。
When the voltage-current characteristics (room temperature) of the diode thus obtained were measured, a good rectifying action was exhibited (FIG. 3).

比較例1 実施例1で調製したN,N′−ジメチル−N,N′−ジフェ
ニル−p−フェニレンジアミンプロピオンアルデヒド縮
重合体のクロロホルム溶液(濃度;5mg/ml)を、金蒸着
したガラス基板上にディップコートして、厚さ約0.4μ
mの薄膜とし、窒素雰囲気下、室温で20時間乾燥させた
後、ヨウ素をドーピングせずにアルミニウムを蒸着(膜
厚;3000Å)した。この電圧−電流特性を実施例1と同
様の方法で測定したところ、整流作用を示さなかった
(第4図)。
Comparative Example 1 A chloroform solution (concentration: 5 mg / ml) of the N, N'-dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediaminepropionaldehyde polycondensate prepared in Example 1 was applied to a gold-deposited glass substrate. Dip coat to a thickness of about 0.4μ
After drying at room temperature under a nitrogen atmosphere for 20 hours, aluminum was deposited without iodine doping (thickness: 3000 °). When this voltage-current characteristic was measured by the same method as in Example 1, no rectifying action was exhibited (FIG. 4).

実施例2 窒素置換された100ml三ツ口フラスコにN,−トリルジ
フェニルアミン2.5gを入れニトロベンゼン20mlを加えて
溶解させた後、p−トルエンスルホン酸40mg、パラアル
デヒド1.6mlを加えて80℃で4時間反応させた。反応液
をエタノール300mlにあけ、灰白色の沈澱物を濾過し、
エタノール、蒸留水で洗浄した後、さらにクロロホルム
−エタノール系で再沈澱により精製、乾燥して2.6gの白
色粉末を得た。得られた粉末のGPC測定の結果、溶出曲
線のピークトップ分子量約9000(重合度約31)のポリマ
ーであった。また、1H-NMR、13C-NMR(第5図)、IRを
測定したところ下記の構造を有するN−トリルジフェニ
ルアミン−パラアルデヒド縮重合体であることが判明し
た。
Example 2 2.5 g of N, -tolyldiphenylamine was added to a 100-ml three-necked flask purged with nitrogen, and 20 ml of nitrobenzene was added to dissolve the mixture. I let it. The reaction solution was poured into 300 ml of ethanol, and an off-white precipitate was filtered.
After washing with ethanol and distilled water, it was further purified by reprecipitation with a chloroform-ethanol system and dried to obtain 2.6 g of a white powder. As a result of GPC measurement of the obtained powder, a polymer having a peak top molecular weight of about 9000 (degree of polymerization of about 31) in the elution curve was obtained. In addition, 1 H-NMR, 13 C-NMR (FIG. 5) and IR measurement revealed that it was an N-tolyldiphenylamine-paraaldehyde condensation polymer having the following structure.

次にガラス基板上に2000Åの膜厚で金蒸着を行った。
その金蒸着面上に、クロロホルムに溶解したN−トリル
ジフェニルアミン−パラアルデヒド縮重合体(濃度;5mg
/ml)をディップコートして、厚さ約0.3μmの薄膜と
し、窒素雰囲気下、室温で20時間乾燥させた後、実施例
1と同じ方法でヨウ素をドーピングした。さらにアルミ
ニウムを蒸着(膜厚;3000Å)することにより、ショッ
トキーダイオードのデバイスを得た。
Next, gold vapor deposition was performed on the glass substrate to a thickness of 2000 mm.
N-tolyldiphenylamine-paraaldehyde polycondensate dissolved in chloroform (concentration: 5 mg)
/ ml) was dip-coated to form a thin film having a thickness of about 0.3 µm, dried under a nitrogen atmosphere at room temperature for 20 hours, and doped with iodine in the same manner as in Example 1. Further, a Schottky diode device was obtained by evaporating aluminum (film thickness: 3000 °).

このようにして得られたダイオードの電圧−電流特性
を実施例1と同様な方法で測定したところ、良好な整流
作用を示した。
When the voltage-current characteristics of the diode thus obtained were measured in the same manner as in Example 1, a good rectifying action was exhibited.

実施例3 窒素置換された100ml三ツ口フラスコに、N,N′−ジメ
チル−N,N′−ジフェニル−p−フェニレンジアミン1.0
gを入れ、ニトロベンゼン15mlを加えて溶解させた後、
イートン試薬80μl、パラアルデヒド1.5mlを加えて80
℃で4時間反応させた。反応液を1N−NaOH30ml水溶液を
含むエタノール300mlにあけ、灰白色の沈澱物を濾過
し、エタノール、蒸着水で洗浄した後、乾燥して0.95g
の灰白色粉末を得た。得られた粉末の1H-NMR、13C-NM
R、IR(第6図)を測定したところ下記の構造を有する
N,N′−ジメチル−N,N′−ジフェニル−p−フェニレン
ジアミン−パラアルデヒド縮重合体(重合度約50)であ
ることが判明した。
Example 3 N, N'-dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine 1.0 was placed in a 100 ml three-necked flask purged with nitrogen.
g, dissolve by adding 15 ml of nitrobenzene,
Add 80 μl of Eaton reagent and 1.5 ml of paraaldehyde to add
The reaction was performed at 4 ° C. for 4 hours. The reaction solution was poured into 300 ml of ethanol containing a 30 ml aqueous solution of 1N-NaOH, and an off-white precipitate was filtered, washed with ethanol and deposition water, and then dried to obtain 0.95 g.
Off-white powder was obtained. 1 H-NMR, 13 C-NM of the obtained powder
When measured for R and IR (Fig. 6), it has the following structure
It was found to be a condensation polymer of N, N'-dimethyl-N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine-paraaldehyde (degree of polymerization: about 50).

次にガラス基板上に2000Åの膜厚で金蒸着を行った。
その金蒸着面上に、クロロホルムに溶解したN,N′−ジ
メチル−N,N′−ジフェニルパラフェニレンジアミン−
パラアルデヒド縮重合体(濃度;5mg/ml)をディップコ
ートして、厚さ約0.4μmの薄膜とし、窒素雰囲気下、
室温で20時間乾燥させた後、臭素をドープした。臭素の
ドーピングは、臭素の液体とともに密封容器中、室温で
10分間放置することにより行った。さらにアルミニウム
を蒸着(膜厚;3000Å)して、ショットキーダイオード
のデバイスを得た。
Next, gold vapor deposition was performed on the glass substrate to a thickness of 2000 mm.
On the gold-deposited surface, N, N'-dimethyl-N, N'-diphenylparaphenylenediamine dissolved in chloroform
Dip-coated with a paraaldehyde polycondensate (concentration: 5 mg / ml) to form a thin film of about 0.4 μm under nitrogen atmosphere.
After drying at room temperature for 20 hours, bromine was doped. Bromine doping is performed at room temperature in a sealed container with bromine liquid.
Performed by allowing to stand for 10 minutes. Further, aluminum was deposited (film thickness: 3000 Å) to obtain a Schottky diode device.

このようにして得られたダイオードの電圧−電流特性
を実施例1と同様な方法で測定したところ、良好な整流
作用を示した。
When the voltage-current characteristics of the diode thus obtained were measured in the same manner as in Example 1, a good rectifying action was exhibited.

実施例4 実施例3で調製したN,N′−ジメチル−N,N′−ジフェ
ニルパラフェニレンジアミン−パラアルデヒド縮重合体
のクロロホルム溶液(濃度;5mg/ml)を、金蒸着したガ
ラス基板の金蒸着面上にディップコートして、厚さ約0.
4μmの薄膜とし、窒素雰囲気下、室温で20時間乾燥さ
せた後、実施例1と同様の方法でヨウ素をドーピングし
た。さらにインジウムを蒸着(膜厚;3000Å)すること
により、ショットキーダイオードのデバイスを得た。
Example 4 A chloroform solution (concentration: 5 mg / ml) of the N, N'-dimethyl-N, N'-diphenylparaphenylenediamine-paraaldehyde polycondensate prepared in Example 3 was gold-deposited on a glass substrate. Dip coat on the evaporation surface, thickness about 0.
After forming a thin film of 4 μm and drying at room temperature for 20 hours in a nitrogen atmosphere, iodine was doped in the same manner as in Example 1. Further, a device of a Schottky diode was obtained by evaporating indium (film thickness: 3000 Å).

このようにして得られたダイオードの電圧−電流特性
を実施例1と同様な方法で測定したところ、良好な整流
作用を示した。
When the voltage-current characteristics of the diode thus obtained were measured in the same manner as in Example 1, a good rectifying action was exhibited.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、実施例1で得られた縮重合体のIRのチャート
図(赤外線吸スペクトル図)、 第2図は、実施例1で得られたショットキーダイオード
素子の断面図、 第3図は、実施例1で得られたショットキーダイオード
素子の電圧−電流特性を示すグラフ、 第4図は、比較例1で得られたショットキーダイオード
素子の電圧−電流特性を示すグラフ、 第5図は、実施例2で得られた縮重合体の13C-NMRのチ
ャート図、そして、 第6図は、実施例3で得られた縮重合体のIRのチャート
図(赤外線吸スペクトル図)。 1…アルミニウム蒸着層、2…ヨーソドープ・N,N′−
ジメチル−N,N′−ジフェニル−P−フェニレンジアミ
ンプロピオンアルデヒド縮重合体、3…金蒸着層、4…
ガラス基板。
FIG. 1 is an IR chart (infrared absorption spectrum) of the condensation polymer obtained in Example 1, FIG. 2 is a cross-sectional view of the Schottky diode element obtained in Example 1, and FIG. Is a graph showing the voltage-current characteristics of the Schottky diode element obtained in Example 1, FIG. 4 is a graph showing the voltage-current characteristics of the Schottky diode element obtained in Comparative Example 1, and FIG. Is a chart of 13 C-NMR of the condensed polymer obtained in Example 2, and FIG. 6 is an IR chart (infrared absorption spectrum diagram) of the condensed polymer obtained in Example 3. 1 ... aluminum deposition layer, 2 ... ioso-doped N, N'-
Dimethyl-N, N'-diphenyl-P-phenylenediamine propionaldehyde polycondensate, 3 ... gold deposited layer, 4 ...
Glass substrate.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一般式(1) (式中、R1,R2,R3,R4およびR5はそれぞれ水素または
炭素数1〜20の炭化水素残基を示し、それぞれ同一でも
異なってもよく、Ar1およびAr2はそれぞれ2価の芳香族
炭化水素残基を示し、lは0以上、mは1以上、nは2
以上の整数を示す) で表わされる化合物に電子受容体をドープして得られる
化合物をp型領域として用いることを特徴とするショッ
トキーダイオード。
1. The general formula (1) (Wherein, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 and R 5 each represent hydrogen or a hydrocarbon residue having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different, and Ar 1 and Ar 2 are each Represents a divalent aromatic hydrocarbon residue, 1 is 0 or more, m is 1 or more, and n is 2
A Schottky diode characterized in that a compound obtained by doping an electron acceptor into a compound represented by the following formula is used as a p-type region.
【請求項2】(a)一般式(1) (式中、R1,R2,R3,R4およびR5はそれぞれ水素または
炭素数1〜20の炭化水素残基を示し、それぞれ同一でも
異なってもよく、Ar1およびAr2はそれぞれ2価の芳香族
炭化水素残基を示し、lは0以上、mは1以上、nは2
以上の整数を示す) で表わされる化合物に電子受容体をドープして得られる
化合物、および (b)該化合物と化学反応を起こさず、かつ該化合物よ
り小さい仕事関数を有する金属、 から成ることを特徴とするショットキーダイオード。
(A) General formula (1) (Wherein, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 and R 5 each represent hydrogen or a hydrocarbon residue having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different, and Ar 1 and Ar 2 are each Represents a divalent aromatic hydrocarbon residue, 1 is 0 or more, m is 1 or more, and n is 2
A compound obtained by doping an electron acceptor with a compound represented by the following formula: Characteristic Schottky diode.
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