JP2658596B2 - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JP2658596B2 JP2658596B2 JP3017920A JP1792091A JP2658596B2 JP 2658596 B2 JP2658596 B2 JP 2658596B2 JP 3017920 A JP3017920 A JP 3017920A JP 1792091 A JP1792091 A JP 1792091A JP 2658596 B2 JP2658596 B2 JP 2658596B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical case
- fixed
- magnet
- effect element
- electrostrictive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電歪効果を利用した電
歪効果素子に関し、特に外装ケース構造に関する。
歪効果素子に関し、特に外装ケース構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の電歪効果素子は図4に示す
様に積層体1の上下端面に接着材7a,7bで筒状ケー
ス3a,3bを接着し、前記筒状ケース3bにリード端
子5a,5bを設置し、前記積層体1との間をリード線
2a,2bで電気的に接続し、この筒状ケース3a,3
bの間に前記積層体の分極方向に伸縮する筒状の金属ベ
ローズ9を溶接する構造であった。
様に積層体1の上下端面に接着材7a,7bで筒状ケー
ス3a,3bを接着し、前記筒状ケース3bにリード端
子5a,5bを設置し、前記積層体1との間をリード線
2a,2bで電気的に接続し、この筒状ケース3a,3
bの間に前記積層体の分極方向に伸縮する筒状の金属ベ
ローズ9を溶接する構造であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電歪効
果素子は、積層体1に高い電圧をかけるために、環境、
特に水分の影響を受けやすく、水分の侵入を防ぐ事が信
頼性上重要である。
果素子は、積層体1に高い電圧をかけるために、環境、
特に水分の影響を受けやすく、水分の侵入を防ぐ事が信
頼性上重要である。
【0004】しかし従来の電歪効果素子は、図4に示す
様に金属の弾性変形を利用したバネ性のある金属ベロー
ズ9を用いていたため、数億回以上のくり返しの使用に
より前記ベローズが疲労破壊して、気密性がそこなわれ
たり、ベローズの共振により高速応答性を悪化させると
いう欠点がある。
様に金属の弾性変形を利用したバネ性のある金属ベロー
ズ9を用いていたため、数億回以上のくり返しの使用に
より前記ベローズが疲労破壊して、気密性がそこなわれ
たり、ベローズの共振により高速応答性を悪化させると
いう欠点がある。
【0005】本発明の目的は、長期間安定して密閉状態
を維持することができ、かつ金属疲労による破壊を発生
することもなく、またベローズのように共振することが
なく高速応答性を劣化させることのない電歪効果素子を
提供することにある。
を維持することができ、かつ金属疲労による破壊を発生
することもなく、またベローズのように共振することが
なく高速応答性を劣化させることのない電歪効果素子を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の電歪効果素子
は、平板状電歪セラミック部材と内部電極導体とを交互
に積層した電歪効果素子において、前記積層体の第1の
端面に固定された第1の筒状ケースと、前記第2の端面
に固定された第2の筒状ケースとを有し、前記第1の筒
状ケースと前記第2の筒状ケースとが対向する部位にお
いて、第1の筒状ケースと磁石とを固定し、第2の筒状
ケースと磁石又は高透磁率材料からなる部材とを固定
し、前記第1の筒状ケースに固定された磁石と前記第2
の筒状ケースに固定された磁石又は高透磁率材料からな
る部材との間隙に磁性流体を有する事を特徴とする。
は、平板状電歪セラミック部材と内部電極導体とを交互
に積層した電歪効果素子において、前記積層体の第1の
端面に固定された第1の筒状ケースと、前記第2の端面
に固定された第2の筒状ケースとを有し、前記第1の筒
状ケースと前記第2の筒状ケースとが対向する部位にお
いて、第1の筒状ケースと磁石とを固定し、第2の筒状
ケースと磁石又は高透磁率材料からなる部材とを固定
し、前記第1の筒状ケースに固定された磁石と前記第2
の筒状ケースに固定された磁石又は高透磁率材料からな
る部材との間隙に磁性流体を有する事を特徴とする。
【0007】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明の一実施例の縦断面図である。積層体
1は図3に示す様にチタン酸ジルコン酸やチタン酸鉛系
の電歪セラミックスの粉末とバインダと有機溶剤とを混
合し、シート状にスリップキャスティングし、乾燥した
グリーンシートに銀・パラジウム混合粉末をビヒクルに
分散させた導体ペーストをスクリーン印刷して、内部電
極としたものを複数枚積層し、熱プレスをかけて一体化
した後、脱バインダ,焼結して電歪セラミック部材10
と内部電極体11aとを交互に積層したものである。
る。図1は本発明の一実施例の縦断面図である。積層体
1は図3に示す様にチタン酸ジルコン酸やチタン酸鉛系
の電歪セラミックスの粉末とバインダと有機溶剤とを混
合し、シート状にスリップキャスティングし、乾燥した
グリーンシートに銀・パラジウム混合粉末をビヒクルに
分散させた導体ペーストをスクリーン印刷して、内部電
極としたものを複数枚積層し、熱プレスをかけて一体化
した後、脱バインダ,焼結して電歪セラミック部材10
と内部電極体11aとを交互に積層したものである。
【0008】リード線2a,2bは図3に示す様に積層
体1の内部電極導体11aを交互に一層おきに接続し、
一対のくし形とする外部電極導体11bに接続してい
る。
体1の内部電極導体11aを交互に一層おきに接続し、
一対のくし形とする外部電極導体11bに接続してい
る。
【0009】筒状ケース3a,3bには、ドーナツ状の
磁石4a,4bが固定されており筒状ケース3bの側面
には、リード端子5a,5bが設置されている。リード
端子5a,5bはリード線2a,2bにより積層体の外
部電極に電気的に接続されている。
磁石4a,4bが固定されており筒状ケース3bの側面
には、リード端子5a,5bが設置されている。リード
端子5a,5bはリード線2a,2bにより積層体の外
部電極に電気的に接続されている。
【0010】積層体1は、筒状ケース3a,3bに接着
材7a,7bで接着されている。磁石4aと4bとのす
きまは、約0.3mmである。このすきまにシリコーン
系オイルやフッ素系オイルに、界面活性剤を吸着させた
10mm程度の磁性粉を分散させた磁性流体8を注入す
る。磁性流体8の注入は、全体を真空乾燥した後、露点
を−30℃に下げた窒素中で実施する。
材7a,7bで接着されている。磁石4aと4bとのす
きまは、約0.3mmである。このすきまにシリコーン
系オイルやフッ素系オイルに、界面活性剤を吸着させた
10mm程度の磁性粉を分散させた磁性流体8を注入す
る。磁性流体8の注入は、全体を真空乾燥した後、露点
を−30℃に下げた窒素中で実施する。
【0011】図2は本発明の他の実施例の縦断面図であ
る。本実施例では磁石4bのかわりに、アームコ鉄(透
磁率10×10-13 H/m)の高透磁率材6を用いてい
る。
る。本実施例では磁石4bのかわりに、アームコ鉄(透
磁率10×10-13 H/m)の高透磁率材6を用いてい
る。
【0012】図5は従来例と本発明の実施例の高速応答
性を示す図である。分図(a)の従来例では変位量がな
かなか安定しないのに対し分図(b)の実施例はすぐに
安定していることがわかる。
性を示す図である。分図(a)の従来例では変位量がな
かなか安定しないのに対し分図(b)の実施例はすぐに
安定していることがわかる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように本発明は磁性流体で
シールする事によって、長期間安定して密閉状態を維持
できる。しかも弾性変形を利用していないので金属疲労
による破壊が発生せず、ベローズのように共振する事も
無いので、高速応答性を劣化させる事も無い。
シールする事によって、長期間安定して密閉状態を維持
できる。しかも弾性変形を利用していないので金属疲労
による破壊が発生せず、ベローズのように共振する事も
無いので、高速応答性を劣化させる事も無い。
【図1】本発明の一実施例の電歪効果素子の縦断面図で
ある。
ある。
【図2】本発明の他の実施例の電歪効果素子の縦断面図
である。
である。
【図3】積層体の縦断面図である。
【図4】従来の電歪効果素子の一例の縦断面図である。
【図5】従来例および本発明の実施例の電歪効果素子の
高速応答性を示す図である。
高速応答性を示す図である。
1 積層体 2a,2b リード線 3a,3b 筒状ケース 4,4a,4b 磁石 5a,5b リード端子 6 高透磁率材 7a,7b 接着材 8 磁性流体 9 金属ベローズ 10 電歪セラミック部材 11a 内部電極導体 11b 外部電極導体
Claims (1)
- 【請求項1】 平板状電歪セラミック部材と内部電極導
体とを交互に積層した積層体をケースにより外装した電
歪効果素子において、前記積層体の第1の端面に固定さ
れた第1の筒状ケースと第2の端面に固定された第2の
筒状ケースとを有し第1の筒状ケースと第2の筒状ケー
スとが対向する部位において、第1の筒状ケースと磁石
とを固定し、第2の筒状ケースと磁石又は高透磁率材料
からなる部材とを固定し、前記第1の筒状ケースに固定
された磁石と第2の筒状ケースに固定された磁石又は高
透磁率材料からなる部材との間隙に磁性流体を有する事
を特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017920A JP2658596B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017920A JP2658596B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電歪効果素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256380A JPH04256380A (ja) | 1992-09-11 |
| JP2658596B2 true JP2658596B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=11957203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3017920A Expired - Lifetime JP2658596B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658596B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP3017920A patent/JP2658596B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04256380A (ja) | 1992-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5208506A (en) | Laminated piezoelectric actuator | |
| JP2508321B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
| US4649313A (en) | Piezoelectric displacement element | |
| JPH0457373A (ja) | 電歪効果素子 | |
| CN102893420B (zh) | 压电致动器 | |
| JP2658596B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2006511951A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH10284763A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH03248581A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS63122288A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH02224515A (ja) | 圧電振動子及びその製造方法 | |
| JP2508234B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
| JP2893739B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04145675A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2001168407A (ja) | ケース封入型積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH04326580A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2000261055A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP3010835B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH01146379A (ja) | 電歪効果素子組立体 | |
| JPH02266578A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH02125674A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2508248B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タ | |
| JPH05206536A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2842018B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH1187795A (ja) | 圧電トランスユニット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970506 |