JP2710522B2 - プリント基板の検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板の配線
パターンの欠陥の検査を行う、プリント基板の検査装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９はプリント基板の部分斜視図であ
る。プリント基板１は絶縁性基板２の表面、又は表裏両
面に導電性の配線パターン３を有している。プリント基
板１には、更に回路部品を実装する、或は表裏の配線パ
ターンを接続する等の目的でスルーホール４が設けられ
ている。配線パターン３は、ライン部分５と、スルーホ
ール４の周囲に形成されるランド６とを含んでいる。な
お、図９および後述する他の図において、図示の便宜上
ランド６の形状を四角形としているが、他の形状例えば
円形であることも一般的である。

【０００３】図１０は、ランド６とその周辺の平面図で
ある。プリント基板１は、図１０（ａ）に示すように、
スルーホール４がランド６の中央に位置するように設計
される。しかしながら、製品としてのプリント基板１
は、例えば図１０（ｂ）に示すように、スルーホール４
が設計された位置から、ある程度ずれているのが通常で
ある。ところで、スルーホール４がミニバイアホールと
呼ばれる小径のスルーホールである場合には、この小径
のスルーホール４の位置ずれは、プリント基板１の機能
に支障を与えるものはではなく、この位置ずれのために
プリント基板１を不良と判定すべきではない。なお、以
下の説明においては、実装用のスルーホールと導通用の
スルーホールとを区別することなく、単にスルーホール
４と表現する。

【０００４】プリント基板１の配線パターン３等の検査
を行う方法の１つとして、比較法が知られる。この比較
法は、基準とすべきプリント基板１（第１のプリント基
板）の画像と、検査すべきプリント基板１（第２のプリ
ント基板）の画像とを重ね合わせて比較し、所定程度以
上の差異が有る場合に、その差異の部分を欠陥と判定す
る方法である。

【０００５】上述のスルーホール４の位置ずれを不良検
出の対象から除外するために、従来のプリント基板の検
査装置は、プリント基板１の画像において、スルーホー
ル４に相当する領域を検査対象から除外する禁止領域と
する方法が採られている（例えば、特開平１−１８０４
０４号公報）。前記の比較法による検査装置では、基準
とすべきプリント基板１と検査すべきプリント基板１の
双方の画像において、この禁止領域を設定する必要があ
る。このため比較法による検査装置では、基準とすべき
プリント基板１の画像（基準画像）を表現する画像信号
（基準画像信号）とともに、基準画像における禁止領域
を表現する画像信号（禁止領域画像信号）をもメモリへ
記憶する必要がある。

【０００６】このとき、もしも禁止領域画像信号におけ
る画像分解能を基準画像信号における画像分解能と同一
に設定するならば、基準画像信号を記憶するメモリの容
量（記憶容量）と同一の容量を有する禁止領域画像信号
を記憶するメモリを用意する必要が生じる。このこと
は、検査装置の著しい費用高をもたらす。

【０００７】このため、例えば特開平１−１８０４０４
号公報に記載の従来の検査装置では、禁止領域画像信号
における画像分解能を基準画像信号よりも粗くして、禁
止領域画像信号を記憶するメモリの記憶容量を節約する
方法が採られている。この検査装置では図１１に示す配
線パターン３及びスルーホール４を含む基準画像におい
て、図中の点線で囲まれる矩形の各領域を画像の最小単
位（画素）とし、スルーホール４に対応する画像として
禁止領域７が設定される。禁止領域７の画素は配線パタ
ーン３、及びスルーホール４の画素に比べて粗大であ
り、このため禁止領域７は図中の斜線で示すような、ス
ルーホール４の外部にはみ出した領域を占める。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】近年において、配線パ
ターン３の高密度化が進められており、隣接する配線パ
ターン３同士の間隔が狭くなる傾向にある。このため、
例えば図１１に示すように、スルーホール４に隣接して
配置されたライン部分５ａに、禁止領域７との重なりを
生じることがある。一方、配線パターン３の高密度化の
結果、図１２に示すように、検査すべきプリント基板１
において、例えばランド６と隣接するライン部分５ａと
の間に欠陥の１種であるパターンショート部８が生じ易
くなっている。この検査すべきプリント基板１の画像
（検査対象画像）と基準画像とを比較するときに、禁止
領域７が上述のようにライン部分５ａと一部重なりを有
する場合には、当該パターンショート部８が禁止領域７
の中に含まれるために、欠陥検出の対象から除外されて
しまう。すなわち、従来の検査装置は、スルーホール４
の近傍におけるパターンショート部８などの欠陥を見逃
すという問題点を有していた。

【０００９】この発明は、従来の装置が有する上記の欠
点を解消することを目指したもので、大きな記憶容量を
必要とせず、しかもスルーホールの近傍における欠陥を
見逃すことがなく、かつスルーホールの位置ずれを欠陥
と判定することがない、プリント基板の検査装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明にかかるプリン
ト基板の検査装置は、基準とすべき第１のプリント基板
の画像と検査すべき第２のプリント基板の画像とを比較
することにより、前記第２のプリント基板が有する配線
パターンにおける欠陥を検出する、プリント基板の検査
装置であって、（ａ）前記第１のプリント基板の画像を
読み取って、当該第１のプリント基板が有する配線パタ
ーンの画像を表現し、画素単位で２値信号を有する第１
のパターン画像信号と、前記第１のプリント基板が有す
るスルーホールの画像を表現し、前記画素単位で２値信
号を有する第１のホール画像信号と、を得るとともに、
前記第２のプリント基板の画像を読み取って、当該第２
のプリント基板が有する配線パターンの画像を表現し、
前記画素単位で２値信号を有する第２のパターン画像信
号と、前記第２のプリント基板が有するスルーホールの
画像を表現し、前記画素単位で２値信号を有する第２の
ホール画像信号と、を得る画像読取手段と、（ｂ）前記
第１のパターン画像信号と前記第１のホール画像信号と
の論理和を演算して基準画像信号を得る、第１の論理和
演算手段と、（ｃ）前記第１のホール画像信号を、前記
画素よりも密度の低い画素単位で２値信号を有する拡大
ホール画像信号に変換する、画素密度変換手段と、
（ｄ）前記基準画像信号を記憶する第１の記憶手段と、
（ｅ）前記拡大ホール画像信号を記憶する第２の記憶手
段と、（ｆ）前記基準画像信号を前記第１の記憶手段か
ら読み出し、かつ前記拡大ホール画像信号を前記第２の
記憶手段から読み出し、これらの前記基準画像信号と前
記拡大ホール画像信号との論理積を演算して、禁止領域
画像信号を得る論理積演算手段と、（ｇ）前記第２のパ
ターン画像信号と前記第２のホール画像信号との論理和
を演算して検査対象画像信号を得る、第２の論理和演算
手段と、（ｈ）前記基準画像信号と前記検査対象画像信
号との排他的論理和を演算して、差分画像信号を得て、
更に当該差分画像信号が表現する画像領域の中で、前記
禁止領域画像信号が表現する第１の禁止領域及び前記第
２のホール画像信号が表現する第２の禁止領域を除いた
領域において、所定の画素数の画素を含むオペレータを
包含する部分がある場合に、当該部分を欠陥と判定し、
欠陥を示す判定信号を出力する比較検査手段と、を備え
る。

【００１１】

【作用】この発明による検査装置では、基準とすべき第
１のプリント基板の第１のパターン画像信号と第１のホ
ール画像信号の論理和を演算して得られる基準画像信号
と、第１のホール画像信号の画素密度を低くした拡大ホ
ール画像信号と、の論理積を演算して得られる禁止領域
画像信号を、比較検査手段での比較検査における禁止領
域の設定に用いる。このため、スルーホールの近傍にお
ける欠陥を見逃すことがない。

【００１２】この発明による検査装置では更に、基準と
すべき第１のプリント基板と検査すべき第２のプリント
基板の双方における、パターン画像信号とホール画像信
号の論理和同士を互いに比較検査し、しかも禁止領域は
双方のスルーホールに相当する領域をも含んでいる。こ
のため、スルーホールの位置ずれを誤って欠陥であると
判定することがない。

【００１３】また、この発明による検査装置では、第１
のホール画像信号の画素密度を変換して画素密度を低く
した拡大ホール画像信号を禁止領域の設定に用いるの
で、禁止領域を設定するために設けられる第２の記憶手
段の記憶容量を基準画像信号を記憶する第１の記憶手段
の記憶容量よりも小さく設定することができる。

【００１４】

【実施例】

＜１．画像読取り手段＞図１はこの発明の実施例におけ
る、プリント基板の検査装置の全体ブロック図である。
このプリント基板の検査装置は、プリント基板１の検査
対象画像を、その基準画像と比較することにより、プリ
ント基板１の検査を実行する。

【００１５】プリント基板１は、水平に移動する機構を
備えた搬送テーブル１０の上に載置される。光学ヘッド
１１は、搬送テーブル１０の移動に伴って走査しつつ、
配線パターン３及びスルーホール４を有するプリント基
板１の表面を光学的に読み取る。光学ヘッド１１は、走
査に伴って配線パターン３、及びスルーホール４の有無
によってそれぞれ強度に顕著な差異が現れるアナログ電
気信号ＰＳａ、ＨＳａを出力し、Ａ／Ｄ変換部１２及び
１３へ送信する。Ａ／Ｄ変換部１２及び１３は、これら
のアナログ電気信号ＰＳａ、ＨＳａを、走査方向に沿っ
て配列する微小領域（画素）毎にデジタル電気信号に変
換し、それぞれ２値化処理部１４、及び１５へ送信す
る。２値化処理部１４、及び１５は、これらのデジタル
電気信号を各々所定の閾値と比較し、その結果に基づい
て値”１”及び”０”の２つの値を有する、デジタル的
なパターン画像信号ＰＳ、及びホール画像信号ＨＳへと
変換する。これにより、パターン画像信号ＰＳは、例え
ば配線パターン３の存在する領域では値”１”を有し、
存在しない領域では値”０”を有する。同様にホール画
像信号ＨＳは、例えばスルーホール４の存在する領域で
は値”１”を有し、存在しない領域では値”０”を有す
る。これらの結果、パターン画像信号ＰＳ、及びホール
画像信号ＨＳは、各々読み取られた配線パターン３、及
びスルーホール４の画像を表現する。プリント基板１の
画像を読み取って、パターン画像信号ＰＳ及びホール画
像信号ＨＳを得る装置の詳細は、例えば同一出願人によ
る特開平４−７６４４４号公報に開示されている。

【００１６】＜２．基準とすべきプリント基板の画像の
処理＞基準とすべきプリント基板１の画像を読み取る場
合には、データセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２は共に接点
ａへ接続される。その結果、パターン画像信号ＰＳ及び
ホール画像信号ＨＳは論理和演算部１６（第１の論理和
演算手段）へ入力され、更にホール画像信号ＨＳは同時
に画素密度変換部１７（画素密度変換手段）へも入力さ
れる。図２（ａ）は、基準とすべきプリント基板１の配
線パターン３及びスルーホール４の一例を示す平面図で
ある。この例ではスルーホール４はランド６の中央の位
置から偏心している。この例のプリント基板１に対して
得られる、パターン画像信号ＰＳ及びホール画像信号Ｈ
Ｓが表現する画像の、図２（ａ）に対応する部分の平面
図をそれぞれ図２（ｂ）、及び（ｃ）に示す。画像を描
いた以下の図において、斜線を施した部分は、対応する
画像信号が値”１”を有する領域、そうでない部分は
値”０”を有する領域を表わしている。

【００１７】論理和演算部１６は、パターン画像信号Ｐ
Ｓとホール画像信号ＨＳの論理和を演算して、基準画像
信号ＭＳとして出力する。図３（ａ）は基準画像信号Ｍ
Ｓが表現する画像を示す平面図である。基準画像信号Ｍ
Ｓは、パターン画像信号ＰＳ又はホール画像信号ＨＳの
少なくとも一方が値”１”を有する領域において値”
１”を有する。出力された基準画像信号ＭＳは、参照画
像メモリ１８（第１の記憶手段）に記憶される。

【００１８】画素密度変換部１７は、入力されたホール
画像信号ＨＳを、このホール画像信号ＨＳの画素密度よ
りも粗い密度の画素毎に２値信号を有する画像信号に変
換し、拡大ホール画像信号ＥＨＳとして出力する。その
結果、拡大ホール画像信号ＥＨＳが表現する画像は図３
（ｂ）に示す通りとなる。図３（ｂ）において点線に囲
まれた矩形の各１は、拡大ホール画像信号ＥＨＳの画素
を表わしている。拡大ホール画像信号ＥＨＳの画素密度
は、ホール画像信号ＨＳの画素密度にくらべて粗く設定
されている。このため、拡大ホール画像信号ＥＨＳが表
現する画像において値”１”を有する、スルーホール４
に対応する領域ＥＨＩはスルーホール４の外部にはみ出
した領域を占める。拡大ホール画像信号ＥＨＳは、禁止
領域メモリ１９（第２の記憶手段）に記憶される。

【００１９】参照画像メモリ１８及び禁止領域メモリ１
９には、好ましくはいわゆるＲＡＭなどの、書き込み可
能で、しかも書き込み及び読み出し速度の高い記憶媒体
を使用する。上述のように、拡大ホール画像信号ＥＨＳ
の画素密度は基準画像信号ＭＳの画素密度に比べて低く
設定されているので、禁止領域メモリ１９は参照画像メ
モリ１８に比べて、記憶容量は小さくてよいという利点
がある。例えば、拡大ホール画像信号ＥＨＳの画素密度
は、基準画像信号ＭＳの画素密度の数１０分の１に設定
される。この場合には、禁止領域メモリ１９の記憶容量
は参照画像メモリ１８の数１０分の１でよい。このた
め、参照画像メモリ１８に加えて新たに禁止領域メモリ
１９を設けるための費用は、参照画像メモリ１８自体の
費用に比べて無視し得る。

【００２０】＜３．検査すべきプリント基板の画像の処
理＞基準とすべきプリント基板１の画像の読取りが終了
した後、検査すべきプリント基板１を搬送テーブル１０
の上に載置して再度読取りを実行する。このとき、デー
タセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２は、共に接点ｂへ接続さ
れる。検査すべきプリント基板１のパターン画像信号Ｐ
Ｓ及びホール画像信号ＨＳは、論理和演算部２０（第２
の論理和演算手段）へ入力され、ホール画像信号ＨＳは
同時に比較検査部２１（比較検査手段）へも入力され
る。

【００２１】一例として、検査すべきプリント基板１に
おいて、基準とすべきプリント基板１の図２（ａ）に示
した部分と比較すべき部分における、配線パターン３及
びスルーホール４が図１２に示す通りであるとする。こ
の例ではプリント基板１は、欠陥としてのパターンショ
ート部８を有すると同時に、スルーホール４の位置がラ
ンド６の中で、基準とすべきプリント基板１の図２
（ａ）に示した部分とは異なる位置に偏心している。こ
の例のプリント基板１に対して得られる、パターン画像
信号ＰＳ及びホール画像信号ＨＳが表現する画像の、図
１２に対応する部分の平面図をそれぞれ図４（ａ）、及
び図４（ｂ）に示す。

【００２２】論理和演算部２０は、パターン画像信号Ｐ
Ｓとホール画像信号ＨＳの論理和を演算して、検査対象
画像信号ＯＳとして出力する。図５は検査対象画像信号
ＯＳが表現する画像を示す平面図である。検査対象画像
信号ＯＳは、パターン画像信号ＰＳ又はホール画像信号
ＨＳの少なくとも一方が値”１”を有する領域において
値”１”を有する。出力された検査対象画像信号ＯＳ
は、比較検査部２１へ入力される。

【００２３】＜４．比較検査部とその周辺部＞比較検査
部２１は、検査対象画像信号ＯＳと基準画像信号ＭＳと
を比較して所定以上の差異があれば、その部分を欠陥と
判定して、判定結果に対応した値を有する欠陥判定信号
ＪＳを出力する。光学ヘッド１１による検査すべきプリ
ント基板１の走査が進行するのに同期して、検査対象画
像信号ＯＳが比較検査部２１へ入力されると同時に、参
照画像メモリ１８から基準画像信号ＭＳが比較検査部２
１および論理積演算部２２（論理積演算手段）へ入力さ
れ、更に禁止領域メモリ１９から拡大ホール画像信号Ｅ
ＨＳが論理積演算部２２へ入力される。

【００２４】論理積演算部２２は、基準画像信号ＭＳと
拡大ホール画像信号ＥＨＳの論理積を演算し、その演算
結果を禁止領域画像信号ＦＳとして出力する。図６は禁
止領域画像信号ＦＳが表現する画像（禁止領域画像）を
示す平面図である。禁止領域画像信号ＦＳは、基準画像
信号ＭＳ及び拡大ホール画像信号ＥＨＳの双方が値”
１”を有する領域に限って値”１”を有する。このため
禁止領域画像信号ＦＳは、配線パターン３又はスルーホ
ール４のいずれも存在しない領域では、値”０”を有し
ている。禁止領域画像信号ＦＳは比較検査部２１へ入力
される。後述するように比較検査部２１において、禁止
領域画像信号ＦＳが値”１”を有する領域（禁止領域Ｆ
Ｄ１、第１の禁止領域）において検査が禁止される。

【００２５】比較検査部２１へ入力された検査対象画像
信号ＯＳと基準画像信号ＭＳは、差分検出部２３へ入力
される。差分検出部２３は、入力された検査対象画像信
号ＯＳと基準画像信号ＭＳの排他的論理和を演算し、そ
の演算結果を差分画像信号ＤＩＳとして出力する。図７
は差分画像信号ＤＩＳが表現する画像ＤＩＩを示す平面
図である。差分画像信号ＤＩＳは、検査対象画像信号Ｏ
Ｓ及び基準画像信号ＭＳの間で値が異なる領域におい
て、値”１”を有する。基準とすべきプリント基板１の
図２（ａ）に示す部分と、検査すべきプリント基板１の
図１２に示す部分の間でスルーホール４の位置とパター
ンショート部８の有無とが異なっている。このため、差
分画像信号ＤＩＳにおいては、スルーホール４がランド
６からはみ出した部分とパターンショート部８とにおい
て、値”１”を有している。図７に示す差分画像信号Ｄ
ＩＳにおいて値”１”を有する領域の中で、欠陥と判定
すべき部分はパターンショート部８のみである。

【００２６】差分画像信号ＤＩＳは検査禁止設定部２４
へ入力される。比較検査部２１へ入力された禁止領域画
像信号ＦＳ及び検査すべきプリント基板１のホール画像
信号ＨＳも同時に検査禁止設定部２４へ入力される。検
査禁止設定部２４は、禁止領域画像信号ＦＳの反転信
号、ホール画像信号ＨＳの反転信号、及び差分画像信号
ＤＩＳの３つの信号の論理積を演算し、演算結果を補正
差分画像信号ＭＤＩＳとして出力する。補正差分画像信
号ＭＤＩＳは、図７に示す差分画像信号ＤＩＳの値”
１”を有する領域の中で、禁止領域ＦＤ１及び検査すべ
きプリント基板１のホール画像信号ＨＳが値”１”を有
する領域（禁止領域ＦＤ２、第２の禁止領域）を除外し
た領域に限って値”１”を有する。その結果、補正差分
画像信号ＭＤＩＳは、図８に示すように、パターンショ
ート部８においてのみ値”１”を有する。補正差分画像
信号ＭＤＩＳは判定部２５へ入力される。

【００２７】判定部２５は、入力される補正差分画像信
号ＭＤＩＳにオペレータＯＰ（図８）を作用させて欠陥
の有無を判定する。すなわち判定部２５は、補正差分画
像信号ＭＤＩＳにおいて値”１”を有する領域の中で、
所定の数の画素（例えば３画素ｘ３画素）の塊（クラス
ター）であるオペレータＯＰに包含される部分があれ
ば、この部分を欠陥と判定する。図８に示す例では、パ
ターンショート部８はオペレータＯＰを包含するので、
パターンショート部８は欠陥と判定される。判定部２５
は、判定結果に対応した値を有する欠陥判定信号ＪＳを
出力する。欠陥判定信号ＪＳは、例えば欠陥の有り及び
無しに対応して、それぞれ値”１”及び”０”の２値を
有する。

【００２８】なお、差分検出部２３及び判定部２５の詳
細については、例えば同一出願人による特開昭６２−１
４０００９号公報に開示されている。

【００２９】以上のように、比較検査部２１は比較検査
の対象から禁止領域ＦＤ１及び禁止領域ＦＤ２を除外す
る。このため、この実施例の検査装置ではスルーホール
４の位置ずれを欠陥と判定することがない。更に、禁止
領域ＦＤ１は論理積演算部２２により、基準画像信号Ｍ
Ｓと拡大ホール画像信号ＥＨＳの論理積から得られるの
で、スルーホール４とこれに隣接するライン部分５ａの
間の領域を含まない。このため、この実施例の装置は、
検査すべきプリント基板１におけるスルーホール４の近
傍における欠陥、例えばパターンショート部８を見逃す
ことなく欠陥と判定し得る。更に、拡大ホール画像信号
ＥＨＳの画素密度は基準画像信号ＭＳの画素密度に比べ
て低く設定されるので、参照画像メモリ１８に付加して
設置すべき禁止領域メモリ１９の記憶容量は参照画像メ
モリ１８に比べて十分に小さいものでよい。すなわち、
この実施例の装置では、新たに付加すべき大きな記憶容
量を必要とせず、しかもスルーホール４の位置ずれを欠
陥と判定することなく、更にスルーホール４の近傍にお
ける欠陥を見逃すことがない。

【００３０】

【発明の効果】この発明の検査装置では、基準とすべき
第１のプリント基板の第１のパターン画像信号と第１の
ホール画像信号の論理和を演算して得られる基準画像信
号と、第１のホール画像信号の画素密度を低くした拡大
ホール画像信号と、の論理積を演算して得られる禁止領
域画像信号を、比較検査手段での比較検査における禁止
領域の設定に用いる。このため、スルーホールの近傍に
おける欠陥を見逃すことがない。

【００３１】この発明の検査装置では更に、基準とすべ
き第１のプリント基板と検査すべき第２のプリント基板
の双方における、パターン画像信号とホール画像信号の
論理和同士を互いに比較検査し、しかも禁止領域は双方
のスルーホールに相当する領域をも含んでいる。このた
め、スルーホールの位置ずれを誤って欠陥であると判定
することがない。

【００３２】また、この発明の検査装置では、第１のホ
ール画像信号の画素密度を変換して画素密度を低くした
拡大ホール画像信号を禁止領域の設定に用いるので、禁
止領域を設定するために設けられる第２の記憶手段の記
憶容量を基準画像信号を記憶する第１の記憶手段の記憶
容量よりも小さく設定することができる。

【００３３】すなわち、この発明の検査装置は、大きな
記憶容量を必要とせず、しかもスルーホールの近傍にお
ける欠陥の見逃しを防止し、かつスルーホールの位置ず
れを欠陥と誤判定することを防止する効果を有してい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例における検査装置の全体ブロ
ック図である。

【図２】基準とすべきプリント基板及びその画像を示す
部分平面図である。

【図３】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分平
面図である。

【図４】検査すべきプリント基板及びその画像を示す部
分平面図である。

【図５】検査すべきプリント基板の画像を示す部分平面
図である。

【図６】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分平
面図である。

【図７】差分画像信号が表現する画像を示す部分平面図
である。

【図８】補正差分画像信号が表現する画像を示す部分平
面図である。

【図９】プリント基板の部分斜視図である。

【図１０】ランドとその周辺を示す部分平面図である。

【図１１】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分
平面図である。

【図１２】検査すべきプリント基板の部分平面図であ
る。

【符号の説明】

１ プリント基板 ３ 配線パターン ４ スルーホール １６ 論理和演算部（第１の論理和演算手段） １７ 画素密度変換部（画素密度変換手段） １８ 参照画像メモリ（第１の記憶手段） １９ 禁止領域メモリ（第２の記憶手段） ２０ 論理和演算部（第２の論理和演算手段） ２１ 比較検査部（比較検査手段） ２２ 論理積演算部（論理積演算手段） ＰＳ パターン画像信号 ＨＳ ホール画像信号 ＭＳ 基準画像信号 ＥＨＳ 拡大ホール画像信号 ＦＳ 禁止領域画像信号 ＯＳ 検査対象画像信号 ＤＩＳ 差分画像信号 ＦＤ１ 禁止領域（第１の禁止領域） ＦＤ２ 禁止領域（第２の禁止領域） ＯＰ オペレータ ＪＳ 欠陥判定信号

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準とすべき第１のプリント基板の画像
   と検査すべき第２のプリント基板の画像とを比較するこ
   とにより、前記第２のプリント基板が有する配線パター
   ンにおける欠陥を検出する、プリント基板の検査装置で
   あって、（ａ）前記第１のプリント基板の画像を読み取
   って、当該第１のプリント基板が有する配線パターンの
   画像を表現し、画素単位で２値信号を有する第１のパタ
   ーン画像信号と、前記第１のプリント基板が有するスル
   ーホールの画像を表現し、前記画素単位で２値信号を有
   する第１のホール画像信号と、を得るとともに、前記第
   ２のプリント基板の画像を読み取って、当該第２のプリ
   ント基板が有する配線パターンの画像を表現し、前記画
   素単位で２値信号を有する第２のパターン画像信号と、
   前記第２のプリント基板が有するスルーホールの画像を
   表現し、前記画素単位で２値信号を有する第２のホール
   画像信号と、を得る画像読取手段と、（ｂ）前記第１の
   パターン画像信号と前記第１のホール画像信号との論理
   和を演算して基準画像信号を得る、第１の論理和演算手
   段と、（ｃ）前記第１のホール画像信号を、前記画素よ
   りも密度の低い画素単位で２値信号を有する拡大ホール
   画像信号に変換する、画素密度変換手段と、（ｄ）前記
   基準画像信号を記憶する第１の記憶手段と、（ｅ）前記
   拡大ホール画像信号を記憶する第２の記憶手段と、
   （ｆ）前記基準画像信号を前記第１の記憶手段から読み
   出し、かつ前記拡大ホール画像信号を前記第２の記憶手
   段から読み出し、これらの前記基準画像信号と前記拡大
   ホール画像信号との論理積を演算して、禁止領域画像信
   号を得る論理積演算手段と、（ｇ）前記第２のパターン
   画像信号と前記第２のホール画像信号との論理和を演算
   して検査対象画像信号を得る、第２の論理和演算手段
   と、（ｈ）前記基準画像信号と前記検査対象画像信号と
   の排他的論理和を演算して、差分画像信号を得て、更に
   当該差分画像信号が表現する画像領域の中で、前記禁止
   領域画像信号が表現する第１の禁止領域及び前記第２の
   ホール画像信号が表現する第２の禁止領域を除いた領域
   において、所定の画素数の画素を含むオペレータを包含
   する部分がある場合に、当該部分を欠陥と判定し、欠陥
   を示す判定信号を出力する比較検査手段と、を備えるプ
   リント基板の検査装置。