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JP2713305B2 - Superconducting connector - Google Patents
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JP2713305B2 - Superconducting connector - Google Patents

Superconducting connector

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JP2713305B2
JP2713305B2 JP63093352A JP9335288A JP2713305B2 JP 2713305 B2 JP2713305 B2 JP 2713305B2 JP 63093352 A JP63093352 A JP 63093352A JP 9335288 A JP9335288 A JP 9335288A JP 2713305 B2 JP2713305 B2 JP 2713305B2
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connector
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  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超伝導コネクタに関し、さらに詳しく述べる
と、超伝導セラミックスを応用した、対を構成する接触
部片どうしを接触させ、加圧して両者の電気的接続を得
る方法に用いられる超伝導コネクタに関する。本発明の
超伝導コネクタは、電子機器の分野等において広くかつ
有利に用いることができる。
The present invention relates to a superconducting connector. More specifically, the present invention relates to a superconducting connector, and more specifically, a superconducting ceramic is applied. The present invention relates to a superconducting connector used for a method of obtaining an electrical connection. INDUSTRIAL APPLICABILITY The superconducting connector of the present invention can be widely and advantageously used in the field of electronic equipment and the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

最近、液体窒素温度(77K)以上で超伝導を示すセラ
ミックス材料が発見され、これらの材料を各種の装置へ
応用するための研究開発が進められている。応用の一つ
として、電子機器へ適用があり、超伝導素子や回路の形
成法などについて検討されている。素子や回路の超伝導
特性を生かすためには、これらを互いに電気的に接続す
る部分においても超伝導を実現することが必要となる。
Recently, ceramic materials exhibiting superconductivity at a temperature of liquid nitrogen (77 K) or higher have been discovered, and research and development for applying these materials to various devices have been advanced. As one of the applications, there is an application to an electronic device, and a method of forming a superconducting element or a circuit is being studied. In order to make use of the superconducting characteristics of elements and circuits, it is necessary to realize superconductivity even in a portion where these are electrically connected to each other.

これまで、このような接続(以下、超伝導接続と呼
ぶ)をめざしたマイクロコネクタの例が、液体ヘリウム
温度(4.2K)で動作させるジョセフソン・コンピュータ
の実装に見られる(たとえば、S.K.Lahiriら、“Packag
ing Technology for Josephson Integrated Circuits",
IEEE Trans.Components,Hybrids,and Manufacturing Te
chnology,vol.CHMT−5、no.2(1982)p.271〜280.)。
このマイクロコネクタは、シリコンウェハ中にキャビテ
ィを設け、その中に水銀を充填したもので、回路基板か
らつき出したピンを、この水銀中へ突きさし、液体ヘリ
ウム温度まで冷却することによって、水銀を固化させピ
ンを固定させるとともに電気的接続を得るものである。
そして、このコネクタにおいては、ピン−水銀−ピンの
接続が行われる。ここで、ピンとして白金が用いられ、
その先端部(水銀に接触する部分)にはパラジウム(下
地)と金から成る二層の薄膜が形成されている(厚さ
は、いずれも1000Å)。これらの材料は、しかし、液体
ヘリウム温度において超伝導を示さないことから、ピン
−水銀−ピンの接続部全体で数百μΩ程度の抵抗であら
われる。前記文献では、回路の伝送特性の点から、この
程度の抵抗値は実用上無視できうると記述されている。
このように、コネクタを4.2Kという極低温で使用する場
合には、構成材料の抵抗が非常に低くなることから、構
成材料は超伝導体でなくともよい。
To date, examples of microconnectors aimed at such connections (hereinafter referred to as superconducting connections) have been found in Josephson computer implementations operating at liquid helium temperature (4.2K) (eg, SKLahiri et al. “Packag
ing Technology for Josephson Integrated Circuits ",
IEEE Trans.Components, Hybrids, and Manufacturing Te
chnology, vol. CHMT-5, no. 2 (1982) p.271-280.).
This microconnector has a cavity in a silicon wafer filled with mercury, and the pins sticking out of the circuit board are pushed into the mercury and cooled to the temperature of liquid helium, which causes the mercury to cool down. To fix the pins and obtain electrical connection.
In this connector, a pin-mercury-pin connection is made. Here, platinum is used as the pin,
A two-layer thin film made of palladium (base) and gold is formed at the tip (the part that comes into contact with mercury) (thickness is 1000 mm). These materials, however, do not exhibit superconductivity at liquid helium temperatures, and thus exhibit a resistance of the order of a few hundred μΩ across the pin-mercury-pin connection. The above-mentioned literature describes that from the viewpoint of the transmission characteristics of the circuit, such a resistance value can be practically ignored.
As described above, when the connector is used at a cryogenic temperature of 4.2 K, the resistance of the constituent material is extremely low, so that the constituent material does not have to be a superconductor.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

超伝導セラミックスを適用した機器は、しかしなが
ら、液体窒素温度(77K)もしくはそれ以上の温度で使
用されるので、コネクタの構成材料の抵抗が無視できな
くなる。例えば、白金の電気抵抗率は、80Kにおいて約
1.9μΩ−cmと、10Kでの値(0.0029μΩ−cm)の650倍
以上にもなる。(American Institute of Physics Hand
book,P.9−41)。これは、コネクタの接続部の抵抗を、
無視できないほどに増加させる。このため、液体窒素も
しくはそれ以上の温度で使用するコネクタにおいては、
接続部を構成する材料が使用温度で超伝導を示すか、あ
るいは無視できるほどに低い抵抗しか示さないことが不
可欠であり、しかも、その接触も超伝導接触(超伝導接
続時の接触をこのように呼ぶ)、あるいはそれに近い接
触を実現できるものでなくてはならない。すなわち、接
触抵抗を数百μΩオーダー未満にすることが必要とな
る。
However, since equipment using superconducting ceramics is used at a temperature of liquid nitrogen (77 K) or higher, the resistance of the constituent material of the connector cannot be ignored. For example, the electrical resistivity of platinum is about 80K
It is 1.9 μΩ-cm, which is 650 times or more the value at 10K (0.0029 μΩ-cm). (American Institute of Physics Hand
book, pp. 9-41). This means that the resistance of the connector connection
Increase to a level that cannot be ignored. For this reason, in connectors used at liquid nitrogen or higher,
It is essential that the material forming the connection exhibits superconductivity at the operating temperature or has a negligibly low resistance, and the contact is also a superconducting contact. ) Or close to it. That is, it is necessary to make the contact resistance less than the order of several hundred μΩ.

本発明の目的は、したがって、超伝導コネクタにおい
て、接触抵抗が数百μΩオーダー未満である超伝導接続
を実現することにある。
It is therefore an object of the present invention to realize a superconducting connector having a superconducting connector with a contact resistance of less than a few hundred μΩ.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記した目的は、本発明(第1の発明)によれば、接
触面に超伝導セラミック材料が被覆された第一の接触部
片を、接触面に超伝導セラミック材料が被覆された相手
側の第二の接触部片に摺動可能に接触せしめる第一の接
触力と、 前記第二の接触部片を前記第一の接触部片に押圧して支
持せしめる第二の接触力とを付勢する手段を有すること
を特徴とする、超伝導コネクタによって達成することが
できる。
According to the present invention (first invention), the above object is achieved by providing a first contact piece having a contact surface coated with a superconducting ceramic material, and a counterpart having a contact surface coated with a superconducting ceramic material. A first contact force for slidably contacting the second contact piece and a second contact force for pressing and supporting the second contact piece against the first contact piece. This can be achieved by a superconducting connector characterized by having

本発明による超伝導コネクタは、対を構成する接触部
片、例えば接触子、ピンなどの表面に超伝導セラミック
材料の被覆膜を形成し、これらを互いに接触・加圧させ
ることによって、超伝導接続を実現しようとするもので
ある。そして、本発明では、接触部片どうしを接触させ
る際、これらを小さい方を加えた状態で摺動させた後、
より大きな力(すなわち、従来の一般のコネクタにおけ
る、電気的接続を得るのに十分な加圧力、すなわち、接
触力に相当する力をさす)で加圧することを特徴とす
る。本発明によるコネクタでは、例えば、コネクタのハ
ウジングに、超伝導セラミックスの被覆膜を有する接触
子を固定する。そして、回路基板に接合してあるピンを
接触子のところに挿入して小さい力で両者を突き合せ、
この状態で接触子とピンのいずれか一方を摺動させる。
その後、所定の接触力を与える。このとき、接触子およ
びピンの表面には超伝導セラミックスの被覆膜が形成し
てあることから超伝導接続が得られる。本発明の超伝導
コネクタは、いろいろな分野において利用することがで
きるけれども、なかんずく、電子機器における利用が有
利である。
The superconducting connector according to the present invention is characterized in that a superconducting ceramic material is coated on the surface of a pair of contact pieces, for example, a contact, a pin, etc. It is intended to realize the connection. And, in the present invention, when the contact portions are brought into contact with each other, after sliding them in a state where the smaller one is added,
It is characterized in that it is pressurized with a larger force (that is, a pressing force sufficient to obtain an electrical connection in a conventional general connector, that is, a force corresponding to a contact force). In the connector according to the present invention, for example, a contact having a coating film of superconducting ceramic is fixed to the housing of the connector. Then, insert the pin joined to the circuit board into the contact and butt them together with a small force.
In this state, one of the contact and the pin is slid.
Thereafter, a predetermined contact force is applied. At this time, a superconducting ceramic coating film is formed on the surfaces of the contacts and the pins, so that a superconducting connection is obtained. Although the superconducting connector of the present invention can be used in various fields, it is particularly advantageous to use it in electronic equipment.

本発明の超伝導コネクタにおいて、接触子、ピンなど
の接触部片の表面への超伝導セラミック材料の被覆膜の
形成は、例えばペースト焼結法、スパッタリング法、蒸
着法、プラズマ溶射法等の技法を用いて有利に行うこと
ができる。なかんずく、ペースト焼結法は、実施が容易
である、等の利点を有するために、その使用が推奨され
る。ペースト焼結法は、一般に原料粉末(これは超伝導
材料そのものの粉末でも、さもなければ、超伝導材料形
成用出発物質の混合粉末でもよい)を有機バインダ及び
有機溶剤と混合し、均一に分散させて、得られたペース
ト状物を被塗物上にスクリーン印刷法等の印刷法によっ
て塗布し、最後にこのペースト状物の塗膜を大気中で80
0〜1000℃の高温度で焼成することによって行うことが
できる。
In the superconducting connector of the present invention, the formation of a coating film of a superconducting ceramic material on the surface of a contact piece such as a contact or a pin is performed by, for example, a paste sintering method, a sputtering method, an evaporation method, a plasma spraying method, or the like. This can be done advantageously using techniques. Above all, it is recommended to use the paste sintering method because it has advantages such as easy implementation. In the paste sintering method, a raw material powder (which may be a powder of a superconducting material itself or a mixed powder of a starting material for forming a superconducting material) is generally mixed with an organic binder and an organic solvent and uniformly dispersed. Then, the obtained paste is coated on the object to be coated by a printing method such as a screen printing method.
It can be performed by firing at a high temperature of 0 to 1000 ° C.

超伝導被覆膜の形成に使用する超伝導セラミックスペ
ーストは、それがペースト焼結法で塗布し、焼成し得る
かぎりにおいて限定されるものではない。代表的な有用
なセラミックスペーストとして、Y−Ba−Cu−O系セラ
ミックス(但し、Yは、Y,Sc,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,T
b,Dy,Ho,Er,Tm,Yb及びLuからなる群から選ばれた第III
a族元素であることができ、また、Baは、Ba,Sr,Ca及びM
gからなる群から選ばれた第II a族元素であることがで
きる)、例えばYBa2Cu3OXをあげることができる。YBa2C
u3OXのペーストは、例えば、Y2O3,CuO及びBaOの粉末を
出発原料とし、この原料を焼結して超伝導体のバルクを
得、このバルクを粉砕して有機バインダ及び有機溶剤に
分散させることによって調製することができる。
The superconducting ceramic paste used for forming the superconducting coating film is not limited as long as it can be applied by a paste sintering method and fired. As typical useful ceramic pastes, Y-Ba-Cu-O-based ceramics (where Y is Y, Sc, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, T
III, selected from the group consisting of b, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu
Ba can be a group a element, and Ba is Ba, Sr, Ca and M
can from the group consisting of g is a II a group metal selected), can be mentioned for instance YBa 2 Cu 3 O X. YBa 2 C
u 3 O X pastes, for example, a Y 2 O 3, CuO and BaO powder starting material, and sintering the raw material to obtain a bulk superconductor, organic binder and organic by grinding the bulk It can be prepared by dispersing in a solvent.

本発明の超伝導コネクタにおいて、接触部片どうしの
接触・加圧、すなわち、第一の接触部片を第二の接触部
片に摺動可能に接触せしめる第一の接触力と、第二の接
触部片を第一の接触部片に押圧して支持せしめる第二の
接触力の付勢は、いろいろな付勢手段を用いて行うこと
ができる。本発明者らの知見によれば、以下の実施例で
述べるように、バネを用いた接触・加圧機構を第一及び
第二の接触力のための付勢手段として使用することによ
って、特に有利な結果を得ることができる。
In the superconducting connector of the present invention, the contact / pressing of the contact pieces, that is, a first contact force for slidably bringing the first contact piece into contact with the second contact piece, and a second contact force. The biasing of the second contact force for pressing and supporting the contact piece against the first contact piece can be performed by using various biasing means. According to the findings of the present inventors, as described in the following examples, by using a contact / pressing mechanism using a spring as a biasing means for the first and second contact forces, particularly, Advantageous results can be obtained.

さらにまた、上記した目的は、本発明(第2の発明)
によれば、接触面に超伝導セラミック材料が被覆された
第一及び第二の接触部片を押圧して電気的接続を得る超
伝導コネクタであって、 常温において前記第一及び第二の接触部片を着脱可能
に保持し、前記超伝導セラミック材料の転移温度以下の
温度において変形して前記第一及び第二の接触部片を、
前記接触面どうしの接触が超伝導接触となる接触力で押
圧する形状記憶合金からなる付勢部材を有することを特
徴とする、超伝導コネクタによって達成することができ
る。
Furthermore, the above-described object is achieved by the present invention (second invention)
According to the present invention, there is provided a superconducting connector which obtains an electrical connection by pressing first and second contact portions having a contact surface coated with a superconducting ceramic material, wherein the first and second contact portions are at room temperature. Holding the pieces detachably, deforming the first and second contact pieces at a temperature below the transition temperature of the superconducting ceramic material,
This can be achieved by a superconducting connector having a biasing member made of a shape memory alloy that presses with a contact force that makes the contact between the contact surfaces become a superconducting contact.

本発明による超伝導コネクタは、先に述べた発明と同
様に、接触部片、例えば接触子、ピンなどの表面に超伝
導セラミック材料の被覆膜を形成し、これらを互いに接
触・加圧させることによって、超伝導接続を実現しよう
とするものである。そして、本発明では、接触部片どう
しを接触させる際、形状記憶合金(以下SMAと記す)を
利用して、両者を互いに加圧・接触させることを特徴と
する。本発明のコネクタでは、例えば、コネクタのハウ
ジングに超伝導セラミックスの被覆膜を有する接触子
と、これ及び/又は回路基板のピンを移動させるための
SMA製接触・加圧機構を設置する。そして、回路基板に
接合してあるピンを挿入し、これを液体窒素温度まで冷
却すると、SMAが膨張することによって接触子及び/又
はピンが押し付けられて加圧される。これによって、超
伝導接続が実現できる。
The superconducting connector according to the present invention forms a coating film of a superconducting ceramic material on the surface of a contact piece, for example, a contact, a pin, etc., and contacts and presses each other, similarly to the above-described invention. This aims to realize a superconducting connection. The present invention is characterized in that when the contact portions are brought into contact with each other, they are pressed and brought into contact with each other using a shape memory alloy (hereinafter referred to as SMA). In the connector of the present invention, for example, a contact having a superconducting ceramic coating film on a connector housing and a pin for moving the contact and / or a pin of a circuit board are provided.
Install SMA contact / pressing mechanism. Then, the pins joined to the circuit board are inserted and cooled to the temperature of liquid nitrogen. When the SMA expands, the contacts and / or the pins are pressed and pressed. Thereby, a superconducting connection can be realized.

この本発明の超伝導コネクタも、先に述べた発明と同
様に、電子機器の分野において有利に利用することがで
き、また、接触部片の表面への超伝導被覆膜の形成も同
様に行うことができる。
The superconducting connector of the present invention can also be advantageously used in the field of electronic equipment, similarly to the above-described invention, and the formation of the superconducting coating film on the surface of the contact piece can be similarly performed. It can be carried out.

この超伝導コネクタでは、接触・加圧機構をSMAから
製作することが特徴の1つである。ここで用いるSMAの
組成や成分は特に限定されるものではなく、例えば、Ti
Ni合金、Cu3Al合金、CuAlNi合金、CuZnAl合金、その他
をあげることができる。しいて言うならば、SMAの組成
及び成分は、SMAの組成を変えることによって接触部片
を加圧する温度を調節することができるので、コネクタ
を適用する温度範囲によってそれぞれ決められるであろ
う。このようなSMAは、接触・加圧機構として作用させ
るのに適当な形状に加工した後で用いられる。接触・加
圧機構として好ましい形状は、例えば、リング状であっ
て、このリングの輪の中に2個の接触部片を挿入し、SM
Aの膨張の結果として両者を接触・加圧する。なお、こ
こでいう「接触・加圧機構」は、換言すると、本発明の
付勢部材であり、したがって、常温において第一及び第
二の接触部片を着脱可能に保持するとともに、超伝導セ
ラミック材料の転移温度以下の温度においては、変形し
て、第一及び第二の接触部片を、それらどうしの接触が
超伝導接触となるような接触力で押圧する。
One of the features of this superconducting connector is that the contact / pressing mechanism is manufactured from SMA. The composition and components of the SMA used here are not particularly limited.
Examples include Ni alloy, Cu 3 Al alloy, CuAlNi alloy, CuZnAl alloy, and others. In other words, the composition and composition of the SMA will be determined by the temperature range to which the connector is applied, since the temperature at which the contact pieces are pressed can be adjusted by changing the composition of the SMA. Such SMA is used after being processed into a shape suitable for acting as a contact / pressing mechanism. A preferable shape of the contact / pressing mechanism is, for example, a ring shape, and two contact pieces are inserted into a ring of the ring to form a SM.
Both are contacted and pressurized as a result of the expansion of A. The “contact / pressing mechanism” referred to here is, in other words, the urging member of the present invention, and therefore, while holding the first and second contact pieces detachably at normal temperature, the superconducting ceramic At temperatures below the transition temperature of the material, it deforms and presses the first and second contact pieces with a contact force such that their contact becomes a superconducting contact.

〔作 用〕(Operation)

本発明による超伝導コネクタの作用を確認するため、
本発明者らは、次のような実験を行った。
To confirm the operation of the superconducting connector according to the present invention,
The present inventors conducted the following experiment.

第3図に示されるように、Y−Ba−Cu−O系セラミッ
ク製の棒状試験片A及びBを直角に交差させ、これらに
力(矢印参照)を加えつつ抵抗を測定し、このときの測
定値を接触抵抗とした。なお、超伝導セラミックのY,Ba
及びCuの組成比は1:2:3(モル比)とした。上記の2本
の試験片A及びBは、それぞれ、液体窒素温度(77K)
において、数μΩ程度の非常に低い抵抗値を示すことを
あらかじめ確認した。
As shown in FIG. 3, rod-shaped test pieces A and B made of Y—Ba—Cu—O ceramic were crossed at a right angle, and a resistance was measured while applying a force (see arrow) to them. The measured value was defined as the contact resistance. The superconducting ceramic Y, Ba
The composition ratio of Cu and Cu was 1: 2: 3 (molar ratio). Each of the above two test pieces A and B was a liquid nitrogen temperature (77K).
It was previously confirmed that the sample exhibited a very low resistance value of about several μΩ.

第3図に略示される試験装置を液体窒素(図示せず)
中に浸し、加圧力(接触力)を増加させつつ接触抵抗の
変化を測定した。得られた結果を第4図に示す。図に
は、接触抵抗が数百μΩ程度以下になったとき以降の測
定値を示してある。接触力が1kgfでほぼ200μΩの接触
抵抗を示し、2kgfでほぼ5μΩの接触抵抗となる。次
に、この状態から、接触力を減少させると、これにとも
なう接触抵抗の上昇割合は、接触力の増加時に比べて小
さく、0.3kgfにおいて50μΩ程度の低い値を示す。この
結果から、実際のコネクタにおいて、接触部片、例えば
接触子とピンとを一担大きな力で接触させた後、その力
を小さくしても、非常に低い接触抵抗が保たれることが
わかる。ところが、最初に与えるべき接触力は、第4図
に示したように、1kgf以上必要であり、本発明が対象と
するような電子機器用コネクタにとっては、実用上適用
できないほど大きな力である。ところで、第4図に示し
たように、一担大きな力で超伝導接触が得られると、接
触力をある程度まで小さくしても超伝導接触が得られ
る。これは、接触子とピンとの表面が、大きな接触力の
もとで、原子レベルで結びについたためと考えられる。
このことから、大きな接触力を与えることと同じ効果を
得る方法として、接触子とピンとを摺動させることが考
えられる。しかし、超伝導セラミックス同志を、通常の
コネクタにおけるような大きな接触力のもとで摺動させ
ると、セラミックスを構成する個々の粒子の脱落が著し
くなるおそれがある。粒子の脱落は、被覆膜の破壊につ
ながり、接続のくり返し回数の減少や信頼性の低下をも
たらす。本発明者らは、種々の検討の結果、比較的小さ
い接触力のもとで接触子とピンとを摺動させた後、接触
力を所定の値まで増すことによって、低い接触抵抗を実
現できることを見出し、先に述べたような本発明を完成
した。
The test apparatus schematically shown in FIG. 3 was replaced with liquid nitrogen (not shown).
The contact resistance was measured while increasing the pressure (contact force). The results obtained are shown in FIG. The figure shows measured values after the contact resistance is reduced to about several hundred μΩ or less. When the contact force is 1 kgf, the contact resistance is approximately 200 μΩ, and when the contact force is 2 kgf, the contact resistance is approximately 5 μΩ. Next, when the contact force is reduced from this state, the rate of increase in the contact resistance is smaller than when the contact force is increased, and shows a low value of about 50 μΩ at 0.3 kgf. From these results, it can be seen that, in an actual connector, after a contact piece, for example, a contact and a pin are brought into contact with a large force, a very low contact resistance is maintained even if the force is reduced. However, as shown in FIG. 4, the contact force to be applied first needs to be 1 kgf or more, which is a force that cannot be practically applied to an electronic device connector as the object of the present invention. By the way, as shown in FIG. 4, when superconducting contact is obtained with a large force, superconducting contact can be obtained even if the contact force is reduced to some extent. It is considered that this is because the surfaces of the contact and the pin were bonded at the atomic level under a large contact force.
From this, it is conceivable to slide the contact and the pin as a method of obtaining the same effect as providing a large contact force. However, when the superconducting ceramics are slid under a large contact force as in a normal connector, individual particles constituting the ceramics may be remarkably dropped. Dropout of particles leads to destruction of the coating film, resulting in a decrease in the number of connection repetitions and a decrease in reliability. As a result of various studies, the present inventors have found that, after sliding the contact and the pin under a relatively small contact force, a low contact resistance can be realized by increasing the contact force to a predetermined value. The present invention as described above has been completed.

また、上記したように、接触力を増加させた場合、接
触子が1kgfでほぼ200μΩの接触抵抗を示し、2kgfでほ
ぼ5μΩの接触抵抗となる。この結果から、実際のコネ
クタにおいて、接触子とピンとを1〜2kgfの力で接触さ
せることによって、低い接触抵抗が得られることがわか
る。ところが、与えるべき接触力は、第4図に示したよ
うに、1kgf以上必要であり、もし、コネクタの構造が、
従来一般的な、ばね接触子をピンに、同時に押しつける
ものならば、本発明が対象とするような電子機器用コネ
クタにとっては、実用上適用できないほど大きな力であ
る。しかし、本発明(第2の発明)で開示するように、
ハウジングの各接触子ごとに、ピンに力が加わるように
するならば、このような力は問題とならない。本発明
は、各接触子をそれぞれ独立に大きな力で各ピンに押え
つけることによって超伝導接続を得ようとするものであ
り、各ピンに独立して力を加えるため、上記のような問
題は生じない。本発明者らは、このような力を発生させ
るため、SMAを利用することを見い出し、本発明を完成
した。
Further, as described above, when the contact force is increased, the contact exhibits a contact resistance of approximately 200 μΩ at 1 kgf and a contact resistance of approximately 5 μΩ at 2 kgf. From these results, it can be seen that in the actual connector, a low contact resistance can be obtained by bringing the contact and the pin into contact with a force of 1 to 2 kgf. However, as shown in FIG. 4, the contact force to be applied needs to be 1 kgf or more.
Conventionally, if a spring contact is pressed against a pin at the same time, the force is so large that it cannot be practically applied to an electronic device connector as the object of the present invention. However, as disclosed in the present invention (second invention),
Such a force is not a problem if a force is applied to the pin for each contact of the housing. The present invention seeks to obtain a superconducting connection by pressing each contact against each pin with a large force independently, and applies a force to each pin independently. Does not occur. The present inventors have found use of SMA to generate such a force, and have completed the present invention.

〔実施例〕〔Example〕

次いで、本発明を添付の図面を参照しながら、いくつ
かの実施例について説明する。
The present invention will now be described with reference to the accompanying drawings for several embodiments.

第1図は本発明による超伝導コネクタの好ましい一例
をその接触圧発生機構とともに示したものである。この
超伝導コネクタは、第1図(A)に示されるように、回
路基板1、ばね式ピン移動装置(接触・加圧機構とし
て、すなわち、本発明でいう「第一及び第二の接触力を
付勢する手段」として)7、そして回路基板4の順で上
下に配置される。ピン移動装置7は、ハウジング(図示
せず)内に取り付けられるとともに、回路基板1に対し
て固定されたL型断面部材と、回路基板4の下面に設け
られたピン5を押圧するための押圧用バネ(図中、接触
子2と逆向きに「く」の字状に屈曲した部材)が植設さ
れ、L型断面部材上を滑動する滑動板と、L型断面部材
の垂直部と滑動板の左側との間に設けられ滑動板を左方
に牽引するばねと、滑動板の位置を定める位置決め治具
(図示せず)とを具備するように構成される。なお、位
置決め治具は、常識的な送り機構、例えばこのばねに併
設されL型断面部材の垂直部に開設されたねじ孔を貫通
して滑動板の左端に当接する送たねじにより実現可能で
ある。この送りねじの回転により、滑動板の位置を任意
に定めることができる。
FIG. 1 shows a preferred example of a superconducting connector according to the present invention together with its contact pressure generating mechanism. As shown in FIG. 1 (A), the superconducting connector includes a circuit board 1, a spring-type pin moving device (as a contact / pressing mechanism, that is, a "first and second contact force" in the present invention). 7) and the circuit board 4 are arranged in this order. The pin moving device 7 is mounted in a housing (not shown), and is fixed to the circuit board 1 by an L-shaped cross-sectional member, and is pressed to press the pins 5 provided on the lower surface of the circuit board 4. Spring (in the figure, a member bent in the shape of a letter “C” in the opposite direction to the contact 2) is implanted, and a sliding plate that slides on the L-shaped cross-section member, and a vertical portion of the L-shaped cross-section member slides. It is configured to include a spring provided between the left side of the plate and pulling the sliding plate to the left, and a positioning jig (not shown) for determining a position of the sliding plate. Note that the positioning jig can be realized by a common-sense feed mechanism, for example, a feed screw that is attached to this spring and passes through a screw hole formed in a vertical portion of the L-shaped cross-section member and abuts on the left end of the sliding plate. is there. By the rotation of the feed screw, the position of the sliding plate can be arbitrarily determined.

第一の接触部片として作用する接触子2は、図示のよ
うに回路基板1に取り付けられ、その接触面の部分に超
伝導セラミック被覆膜3を有する。この接触子の形状
は、必要に応じて、第2図の接触子の形状やその他の常
用の形状であってもよい。また、第二の接触部片として
作用するLSIモジュールの回路基板4のピン5は、その
全面に超伝導セラミック被覆膜6を有する。
A contact 2 acting as a first contact piece is attached to a circuit board 1 as shown, and has a superconducting ceramic coating 3 on a portion of its contact surface. The shape of the contact may be the shape of the contact shown in FIG. 2 or another conventional shape, if necessary. Further, the pins 5 of the circuit board 4 of the LSI module acting as the second contact piece have a superconductive ceramic coating film 6 on the entire surface.

図示の超伝導コネクタにおいて、第1図(A)の段階
では、ピン移動装置7の滑動板は位置決め治具により右
方に止められている。この状態では、押圧用バネとこれ
に対応する接触子2との間に広い隙間があり、この隙間
に回路基板4のピン5が緩挿される。
In the illustrated superconducting connector, at the stage of FIG. 1 (A), the sliding plate of the pin moving device 7 is stopped to the right by a positioning jig. In this state, there is a wide gap between the pressing spring and the corresponding contact 2, and the pin 5 of the circuit board 4 is loosely inserted into this gap.

次いで、第1図(B)の段階で、位置決め治具を操作
して、滑動板を左方に移動する。この滑動板の移動に伴
い、押圧用バネは左方に移動してピン5を左方に押し動
かし、さらにピン5を接触子2に押圧する。位置決め治
具は、押圧用バネによりピンを介在して押圧される接触
子2の撓みが、第一の接触力に等しい大きさF1の反発力
を生ずるように滑動板の位置を定める。このとき滑動板
にかかる力は、滑動板を牽引する左向きのばねの力と位
置決め治具に対する右向きの抗力との和が、接触子2の
撓みから生ずる右向きの反発力に等しい静的釣り合いの
状態にある。言い換えると、滑動板の第一の接触力に等
しい大きさF1の左向きの第一の接触力が付勢される。な
お、この滑動板の位置、即ち接触子2の撓み量と押圧用
バネの撓み量との和から定まる位置は、予め計算又は実
験的に求められる。この第一の接触力が付勢されている
状態で、回路基板4のピン5を図中矢印Cで示されるよ
うに上下に摺動する。なお、必要に応じて、ピン5に代
えて接触子2を、あるいは両者を互いに摺動させること
も可能である。
Next, at the stage of FIG. 1 (B), the sliding jig is moved leftward by operating the positioning jig. With the movement of the sliding plate, the pressing spring moves to the left to push the pin 5 to the left, and further presses the pin 5 against the contact 2. Positioning jig, the deflection of the probe member 2 which is pressed by interposing a pin by pressing spring, defines the position of the sliding plate to produce a repulsive force of equal magnitude F 1 to the first contact force. At this time, the force applied to the sliding plate is a state of static balance in which the sum of the leftward spring force pulling the sliding plate and the rightward reaction force against the positioning jig is equal to the rightward repulsive force resulting from the deflection of the contact 2. It is in. In other words, a leftward first contact force of magnitude F1 equal to the first contact force of the sliding plate is urged. The position of the sliding plate, that is, the position determined from the sum of the amount of deflection of the contact 2 and the amount of deflection of the pressing spring, can be calculated or experimentally obtained in advance. With the first contact force being urged, the pins 5 of the circuit board 4 are slid up and down as shown by the arrow C in the figure. In addition, it is also possible to slide the contact 2 instead of the pin 5 or both of them as needed.

加圧下における摺動の完了後、第1図(C)に示され
るように、再び位置決め治具を操作して、滑動板を左方
に移動する。移動量は、押圧用バネにより押圧される接
触子2の撓みが、予め定めた第二の接触力に等しい大き
さの反発力F2を生じさせる距離とする。その結果、ピン
5は接触子2に第二の接触力で押圧され、支持される。
After the completion of the sliding under the pressure, as shown in FIG. 1C, the positioning jig is operated again to move the sliding plate to the left. Movement amount, the deflection of the probe member 2 is pressed by the pressing spring, the predetermined second distance causing repulsive force F 2 equal size to the contact force. As a result, the pin 5 is pressed and supported by the contact 2 with the second contact force.

次いで、そのままの状態で、全体を液体窒素8中に浸
漬する。接触子2及びピン5の表面にはそれぞれ超伝導
セラミックスの被覆膜が形成してあるので、所期の超伝
導接続が完成する。
Next, the whole is immersed in liquid nitrogen 8 as it is. Since a coating film of superconducting ceramics is formed on the surfaces of the contact 2 and the pin 5, respectively, the desired superconducting connection is completed.

第1図に図示の超伝導コネクタを使用して、第4図の
場合と同様に、接触抵抗の接触力による変化を評価し
た。なお、ここで使用した接触子及びピンは、それぞ
れ、アルミナ製であって、その表面に以下の例1で述べ
ると同一のY−Ba−Cu−O系セラミック被覆層を有して
いた。第5図にグラフで示す結果から理解されるよう
に、接触子とピンを0.2kgfの力で加圧し摺動させた後、
接触力を0.05kgfまでもどし、この状態で、まわりを液
体窒素で満たし、再度接触力を増加させたとき、接触抵
抗は、0.3kgfの荷重で約60μΩと摺動なしの場合に比べ
てはるかに低い値を示す。さらに、接触抵抗は加圧力の
印加時と解除時でほとんど同等の変化を示す。この結果
から、本発明による方法の有効性が確かめられる。な
お、摺動時に加える力は、第6図に示すグラフから明ら
かなように、0.1kgf以上が必要である。この力の上限
は、セラミック材料の摩擦や粒子の脱落の程度によって
定められ、セラミック材料の組成などによって個々に決
まるので、発明ではとくに規定しない。しかし、0.6kgf
を上廻る斜線領域(図中のD)では、セラミックの摩耗
が顕著であるので、一般に好ましい範囲として0.1〜0.6
kgf、特に0.2〜0.4kgfをあげることができる。
Using the superconducting connector shown in FIG. 1, the change in the contact resistance due to the contact force was evaluated as in the case of FIG. The contacts and pins used here were each made of alumina, and had the same Y-Ba-Cu-O-based ceramic coating layer on the surface as described in Example 1 below. As can be understood from the results shown in the graph of FIG. 5, after the contact and the pin are pressed and slid with a force of 0.2 kgf,
When the contact force is reduced to 0.05 kgf and the surrounding area is filled with liquid nitrogen and the contact force is increased again, the contact resistance is about 60 μΩ at a load of 0.3 kgf, which is much higher than that without sliding. Indicates a low value. Further, the contact resistance shows almost the same change when the pressing force is applied and when it is released. The results confirm the effectiveness of the method according to the invention. It should be noted that the force to be applied at the time of sliding needs to be 0.1 kgf or more, as is clear from the graph shown in FIG. The upper limit of this force is determined by the degree of friction of the ceramic material and the detachment of the particles, and is individually determined by the composition of the ceramic material and the like. But 0.6kgf
In the hatched area (D in the figure) which exceeds the above, ceramic wear is remarkable.
kgf, especially 0.2 to 0.4 kgf.

第2図は、同じく、本発明による超伝導コネクタの好
ましい一例を示したものである。回路基板1及び4なら
びに接触子2及びピン5は、それぞれ、第1図のものに
対応し、接触子2の形状が僅かに異なる点を除いて実質
的に同じである。本例では、第2図(A)に示されてい
るように、リング状のピン移動装置9が接触・加圧機構
として用いられている。ピン移動装置9は、それぞれ、
TiNi合金(SMA)からできていて、各1個の接触子2及
びピン5を内部に保有するとともに、任意の取り付け手
段(図示せず)を介してハウジング(図示せず)に固定
されている。この段階で、接触子2及びピン5は非接触
である。
FIG. 2 also shows a preferred example of the superconducting connector according to the present invention. The circuit boards 1 and 4 and the contacts 2 and the pins 5 respectively correspond to those of FIG. 1 and are substantially the same except that the shape of the contacts 2 is slightly different. In this example, as shown in FIG. 2A, a ring-shaped pin moving device 9 is used as a contact / pressing mechanism. Each of the pin moving devices 9
It is made of TiNi alloy (SMA) and has one contact 2 and one pin 5 inside, and is fixed to a housing (not shown) via an optional mounting means (not shown). . At this stage, the contact 2 and the pin 5 are out of contact.

次いで、第2図(B)に示されるように、コネクタの
全体を液体窒素8中に浸漬すると、ピン移動装置9がSM
Aからできているので、その変形の結果として接触子2
にピンが強く押し付けられる。すなわち、液体窒素温度
まで冷却すると、SMAが変形することによって接触子2
とピン5が加圧され、これによって、超伝導接続が実現
される。
Next, as shown in FIG. 2 (B), when the entire connector is immersed in liquid nitrogen 8, the pin moving device 9
A, the contact 2
The pin is pressed strongly. That is, when cooled to the temperature of liquid nitrogen, the SMA is deformed and the contact 2
And the pin 5 are pressurized, thereby realizing a superconducting connection.

次いで、本発明の超伝導コネクタの製造及び使用を説
明する。
Next, the manufacture and use of the superconducting connector of the present invention will be described.

例1 第1図の超伝導コネクタ: 接触子の寸法は、厚さ0.5mm、幅3mm及び長さ20mm、ま
た、ピンの寸法は、直径1.5mm及び長さ25mmであった。
接触子及びピンは、それぞれ、アルミナから製作し、原
料アルミナには0.25重量%のMgO及び0.025重量%のCr2O
3を添加した。接触子及びピンの表面に被覆した超伝導
セラミック材料はY−Ba−Cu−O系材料(モル比Y:Ba:C
u=1:2:3)であり、次のようにして製膜した: 粒径1μmのY2O313.5g、粒径1μmのBaO48.6g及び
粒径3μmのCuO36.0gにポリエチルメタクリレート(PM
MA)バインダ1.5g、テルピネオール20g及びメチルエチ
ルケトン(MEX)50gを加え、ボールミルで72時間にわた
って混合した。得られた混合物をライカイ機に入れて混
練し、MEKを飛散させて超伝導セラミックスペーストを
得た。このペーストを接触子及びピンの表面にはけ塗り
し、乾燥後、大気中で950℃で12時間にわたって焼成し
た。超伝導セラミック被覆膜が接触子及びピン上に形成
された。
Example 1 Superconducting connector of FIG. 1: The dimensions of the contacts were 0.5 mm thick, 3 mm wide and 20 mm long, and the dimensions of the pins were 1.5 mm diameter and 25 mm long.
The contact and the pin were made of alumina, respectively, and the raw alumina contained 0.25% by weight of MgO and 0.025% by weight of Cr 2 O.
3 was added. The superconducting ceramic material coated on the surfaces of the contact and the pin is a Y-Ba-Cu-O-based material (molar ratio: Y: Ba: C
u = 1: 2: 3) and is, was formed into a film as follows: particle size 1μm Y 2 O 3 13.5g, polyethyl methacrylate in CuO36.0g of BaO48.6g and particle size 3μm particle size 1 [mu] m (PM
MA) 1.5 g binder, 20 g terpineol and 50 g methyl ethyl ketone (MEX) were added and mixed on a ball mill for 72 hours. The obtained mixture was put in a raikai machine and kneaded, and MEK was scattered to obtain a superconducting ceramic paste. This paste was brushed on the surfaces of the contact and the pin, dried, and fired at 950 ° C. for 12 hours in the air. A superconducting ceramic coating was formed on the contacts and pins.

上記のようにして作製した接触子をポリブチルテレフ
タレート(PBT)製ハウジングに固定した。一方、ピン
は、頭部が表面につき出るようにアルミナ基板に接合し
た。これをハウジング内に挿入し、ハウジング上部に設
けたピン移動装置によって、0.1kgfの力でピンを接触子
に押しつけた。そして、基板を上下に移動させることに
よって接触子とピンとを摺動させた。その後、接触力が
0.3kgfになるまで、ピンを接触子に押しつけた。このコ
ネクタを液体窒素中に浸漬し、ピン上部と接触子下部と
の抵抗を測定した結果、約60μΩの値が得られた。ピン
の摺動を施こさなかった場合には、接触力3kgfにおける
抵抗は1Ω以上となり、許容し得なかった。
The contact thus prepared was fixed to a polybutyl terephthalate (PBT) housing. On the other hand, the pins were bonded to the alumina substrate so that the heads protruded from the surface. This was inserted into the housing, and the pin was pressed against the contact with a force of 0.1 kgf by a pin moving device provided at the top of the housing. Then, the contact and the pin were slid by moving the substrate up and down. Then the contact force
The pin was pressed against the contact until it reached 0.3 kgf. This connector was immersed in liquid nitrogen, and the resistance between the upper part of the pin and the lower part of the contact was measured. As a result, a value of about 60 μΩ was obtained. When the pin was not slid, the resistance at a contact force of 3 kgf was 1 Ω or more, which was unacceptable.

例2 第2図の超伝導コネクタ 前記例1と同様にして接触子及びピンを製作した。本
例では、PBT製ハウジングの中にNi−50%Ti合金製のリ
ング形状のピン移動装置を固定しておき、これと接触す
るように、接触子を挿入、固定した。そして、ピンをア
ルミナ基板に接合したLSIモジュールモデルを作製し、
接触子間にピンを挿入した。これを液体窒素中に浸漬
し、LSIモジュールモデルのピンとコネクタピンとの間
の抵抗を測定した結果、100μΩ未満の値が得られ、本
発明の効果を確認できた。
Example 2 A superconducting connector of FIG. 2 A contact and a pin were manufactured in the same manner as in Example 1. In this example, a ring-shaped pin moving device made of a Ni-50% Ti alloy was fixed in a PBT housing, and a contact was inserted and fixed so as to be in contact with the pin moving device. Then, an LSI module model in which the pins were bonded to the alumina substrate was made,
A pin was inserted between the contacts. This was immersed in liquid nitrogen, and the resistance between the pins of the LSI module model and the connector pins was measured. As a result, a value of less than 100 μΩ was obtained, confirming the effect of the present invention.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、液体窒素温度あるいはそれ以上の温
度で用いた時に数百μΩオーダー未満の接触抵抗を示す
超伝導接続を実現することができる。
According to the present invention, it is possible to realize a superconducting connection exhibiting a contact resistance of less than several hundred μΩ when used at a temperature of liquid nitrogen or higher.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図及び第2図は、それぞれ、本発明による超伝導コ
ネクタの好ましい例を示した断面図、 第3図は、接触抵抗の測定を示した略示図、 第4図は、接触抵抗の接触力による変化を示したグラ
フ、 第5図は、接触抵抗の接触角による変化を示したグラ
フ、そして 第6図は、摺動時の、接触抵抗の接触角による変化を示
したグラフである。 図中、1は回路基板、2は接触子、3は超伝導セラミッ
ク被覆膜、4は回路基板、5はピン、6は超伝導セラミ
ック被覆膜、7はピン移動装置、そして8は液体窒素で
ある。
1 and 2 are cross-sectional views each showing a preferred example of a superconducting connector according to the present invention, FIG. 3 is a schematic view showing measurement of contact resistance, and FIG. FIG. 5 is a graph showing a change in contact resistance due to a contact angle, and FIG. 6 is a graph showing a change in contact resistance due to a contact angle during sliding. . In the figure, 1 is a circuit board, 2 is a contact, 3 is a superconducting ceramic coating film, 4 is a circuit board, 5 is a pin, 6 is a superconducting ceramic coating film, 7 is a pin moving device, and 8 is a liquid. Nitrogen.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−110566(JP,A) 実開 昭60−112090(JP,U) 実開 昭63−69496(JP,U) 実開 昭63−196566(JP,U) 実開 昭56−18669(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-110566 (JP, A) JP-A-60-112090 (JP, U) JP-A-63-69496 (JP, U) JP-A-63-69 196566 (JP, U) Actually open 1981-18669 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】接触面に超伝導セラミック材料が被覆され
た第一の接触部片を、接触面に超伝導セラミック材料が
被覆された相手側の第二の接触部片に摺動可能に接触せ
しめる第一の接触力と、 前記第二の接触部片を前記第一の接触部片に押圧して支
持せしめる第二の接触力とを付勢する手段を有すること
を特徴とする、超伝導コネクタ。
1. A first contact piece having a contact surface coated with a superconducting ceramic material is slidably contacted with a second contact piece having a contact surface coated with a superconducting ceramic material. Superconducting, comprising means for urging a first contact force to be applied, and a second contact force for pressing and supporting the second contact piece against the first contact piece. connector.
【請求項2】接触面に超伝導セラミック材料が被覆され
た第一及び第二の接触部片を押圧して電気的接続を得る
超伝導コネクタであって、 常温において前記第一及び第二の接触部片を着脱可能に
保持し、前記超伝導セラミック材料の転移温度以下の温
度において変形して前記第一及び第二の接触部片を、前
記接触面どうしの接触が超伝導接触となる接触力で押圧
する形状記憶合金からなる付勢部材を有することを特徴
とする、超伝導コネクタ。
2. A superconducting connector for obtaining an electrical connection by pressing first and second contact pieces having a contact surface coated with a superconducting ceramic material, wherein the first and second contact pieces are at room temperature. The contact piece is detachably held, and the first and second contact pieces are deformed at a temperature equal to or lower than the transition temperature of the superconducting ceramic material so that the contact between the contact surfaces becomes a superconducting contact. A superconducting connector having an urging member made of a shape memory alloy pressed by force.
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JPS60112090U (en) * 1983-12-29 1985-07-29 磐田電工株式会社 device socket
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